專(zhuān)利名稱(chēng)：可旋轉(zhuǎn)濺射靶材支撐圓柱、可旋轉(zhuǎn)濺射靶材、制造可旋轉(zhuǎn)濺射靶材的方法以及涂覆設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實(shí)施例大體上與濺射設(shè)備有關(guān)，更具體而言，是有關(guān)于可旋轉(zhuǎn)靶材裝置、 可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置、可旋轉(zhuǎn)靶材、涂覆設(shè)備以及制造可旋轉(zhuǎn)靶材的方法。
背景技術(shù)：
可由多種方式來(lái)進(jìn)行基板上的材料薄膜沉積，例如在真空腔室中蒸鍍或?yàn)R射涂覆材料。藉由濺射方式進(jìn)行薄膜沉積的典型實(shí)例為在太陽(yáng)能晶片制造或半導(dǎo)體裝置制造中的濺射沉積應(yīng)用。在操作濺射陰極時(shí)會(huì)產(chǎn)生等離子體，且等離子體的離子會(huì)被加速而到達(dá)欲沉積至基板上的涂覆材料靶材上。靶材受轟擊使得涂覆材料的原子射出，原子累積于濺射陰極下方的基板上而成為沉積膜層?，F(xiàn)已知可使用磁增強(qiáng)陰極以得到較高的沉積速率，其亦稱(chēng)為磁濺射。一般的磁增強(qiáng)濺射陰極包括平坦靶材板以及相對(duì)于該靶材板而固定于固定位置的磁體數(shù)組。磁體所提供的磁場(chǎng)建立出靶材板材料產(chǎn)生濺射的路徑或區(qū)域。其它的典型磁增強(qiáng)濺射陰極包括圓柱形旋轉(zhuǎn)管，例如，背襯管(backing tube)，其外表面上涂布有一層靶材材料。磁性裝置(可包括磁體陣列)設(shè)置在該管內(nèi)部且提供磁場(chǎng)。 該管可沿其縱軸(longitudinal axis，長(zhǎng)軸)旋轉(zhuǎn)，因此該管可相對(duì)于磁性裝置而轉(zhuǎn)向，以選擇性地使其外表面上的靶材材料的不同部分或區(qū)段到達(dá)與磁體相對(duì)且在磁場(chǎng)內(nèi)的位置。在可旋轉(zhuǎn)磁濺射陰極的制造中，可藉由例如噴涂至背襯管的外表面來(lái)涂布靶材材料。此外，典型的濺射靶材的靶材材料會(huì)快速(例如在一周內(nèi))耗盡或消耗。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述情形，本發(fā)明提供如權(quán)利要求1所述的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置、如權(quán)利要求3所述的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置、如權(quán)利要求10所述的可旋轉(zhuǎn)靶材、如權(quán)利要求13所述的涂覆設(shè)備，以及如權(quán)利要求14所述的可旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法。在一個(gè)實(shí)施例中，一種濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座，用于托持固體靶材圓柱(solid target cylinder)，該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面、外軸向面以及連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面的至少一個(gè)前面(front face)；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件(flexible element)、第一面以及第二面，該第一面適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，以及該第二面是用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件。在另一實(shí)施例中，提供一種濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該靶材基座裝置用以容置至少一個(gè)固體靶材圓柱，該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括靶材基座圓柱，其具有軸、側(cè)向表面、中間部分、第一末端區(qū)域，以及與該第一末端區(qū)域相對(duì)的第二末端區(qū)域；以及至少一個(gè)靶材固定裝置，用以提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而做變化，該至少一個(gè)組件是選自于該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸之中。
在一個(gè)實(shí)施例中，一種濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材包括濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置， 該可旋轉(zhuǎn)靶材裝置包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座，用于托持固體靶材圓柱，該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面、外軸向面以及連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面的至少一個(gè)前面；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件、第一面以及第二面，該第一面適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，該第二面用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件。在一個(gè)實(shí)施例中，提供一種濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材，其包括用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該靶材基座裝置用以容置至少一個(gè)固體靶材圓柱；該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括靶材基座圓柱，其具有軸、側(cè)向表面、中間部分、第一末端區(qū)域，以及與該第一末端區(qū)域相對(duì)的第二末端區(qū)域；以及至少一個(gè)靶材固定裝置，用以提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而做變化，該至少一個(gè)組件是選自該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸之中；該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置具有至少一個(gè)固體靶材圓柱，其設(shè)置在該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面上，其中該至少一個(gè)靶材固定裝置提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而做變化，該至少一個(gè)組件選自該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸之中。在一個(gè)實(shí)施例中，一種涂覆設(shè)備包括用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置，該可旋轉(zhuǎn)靶材裝置包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座，用于托持固體靶材圓柱，該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面、 外軸向面以及連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面的至少一個(gè)前面；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件、第一面以及第二面，該第一面適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，該第二面用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件。在一個(gè)實(shí)施例中，提供一種包括用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置的涂覆設(shè)備，其中該靶材基座裝置用以容置至少一個(gè)固體靶材圓柱，該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括靶材基座圓柱，其具有軸、側(cè)向表面、中間部分、第一末端區(qū)域以及與該第一末端區(qū)域相對(duì)的第二末端區(qū)域；以及至少一個(gè)靶材固定裝置，用以提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而做變化，該至少一個(gè)組件是選自該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸。在一個(gè)實(shí)施例中，一種用于制造濺射裝置的可旋轉(zhuǎn)靶材的方法包括提供濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置，該可旋轉(zhuǎn)靶材裝置包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座，用于托持固體靶材圓柱， 該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面、外軸向面以及連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面的至少一個(gè)前面；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件、第一面以及第二面，該第一面適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，該第二面用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件；提供固體靶材圓柱；該方法包括選自下列步驟中的至少一個(gè)步驟將該固體靶材圓柱設(shè)置在該靶材基座圓柱的與該至少一個(gè)靶材固定裝置相鄰的側(cè)向表面上；將該至少一個(gè)靶材固定裝置的其中一者設(shè)置在該靶材基座圓柱的該第一末端區(qū)域處，以及將該至少一個(gè)靶材固定裝置的其中一者設(shè)置在該靶材基座圓柱的該第二末端區(qū)域處。在一個(gè)實(shí)施例中，一種用于制造濺射裝置的可旋轉(zhuǎn)靶材的方法包括提供濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該靶材基座裝置用以容置至少一個(gè)固體靶材圓柱，該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括靶材基座圓柱，其具有軸、側(cè)向表面、中間部分、第一末端區(qū)域以及與該第一末端區(qū)域相對(duì)的第二末端區(qū)域；以及至少一個(gè)靶材固定裝置，用以提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而做變化，該至少一個(gè)組件是自該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸中所選出；提供固體靶材圓柱；該方法包括選自下列步驟中的至少一個(gè)步驟將該固體靶材圓柱設(shè)置在該靶材基座圓柱的與該至少一個(gè)靶材固定裝置相鄰的側(cè)向表面上；將該至少一個(gè)靶材固定裝置的其中一者設(shè)置在該靶材基座圓柱的該第一末端區(qū)域處，以及將該至少一個(gè)靶材固定裝置的其中一者設(shè)置在該靶材基座圓柱的該第二末端區(qū)域處。其它特征與細(xì)節(jié)可參見(jiàn)從屬權(quán)利要求具體實(shí)施方式
以及附圖。實(shí)施例亦有關(guān)于用于實(shí)行所揭示的方法以及包括所述方法步驟的執(zhí)行裝置部位的設(shè)備。此外，實(shí)施例也有關(guān)于所述裝置的操作方法或制造方法，其可包括用于實(shí)行該裝置功能或用于制造該裝置多個(gè)部位的方法步驟，并且可藉由硬件組件、固件、軟件、經(jīng)適當(dāng)軟件編程的計(jì)算機(jī)、藉由上述軟硬件的任何組合或以其它方式執(zhí)行這些方法步驟。


為能更詳細(xì)了解本發(fā)明實(shí)施例的上述特征，可參照數(shù)個(gè)示范實(shí)施例來(lái)閱讀概要整理如上的實(shí)施例進(jìn)一步具體說(shuō)明。附圖顯示了數(shù)個(gè)實(shí)施例，且于實(shí)施方式中進(jìn)行說(shuō)明。部分實(shí)施例通過(guò)參照下述圖式而在實(shí)施方式中予以說(shuō)明，其中圖1概要顯示可旋轉(zhuǎn)靶材的截面圖，該可旋轉(zhuǎn)靶材包括根據(jù)本文實(shí)施例的用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置。圖加與圖2b分別概要顯示圖1所示實(shí)施例的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置的靶材基座圓柱與靶材固定裝置。圖3a概要顯示可旋轉(zhuǎn)靶材的截面圖，其包含根據(jù)文中實(shí)施例的用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置。圖北概要顯示圖1、加與3a中實(shí)施例的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置的靶材調(diào)整裝置。圖4概要顯示圖1實(shí)施例的保持裝置的截面圖。圖5概要顯示可旋轉(zhuǎn)靶材的截面圖，其包含根據(jù)文中另一實(shí)施例的用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置。圖6概要顯示可旋轉(zhuǎn)靶材的截面圖，其包含根據(jù)文中另一實(shí)施例的用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置。圖7概要顯示可旋轉(zhuǎn)靶材的截面圖，其包含根據(jù)文中另一實(shí)施例的用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)將參照各實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，其中一個(gè)或多個(gè)實(shí)例示于圖式中；每個(gè)實(shí)例皆為示例說(shuō)明，而非作為本發(fā)明的限制。應(yīng)知實(shí)施例的組件也可有利地用于其它實(shí)施例中，其無(wú)須進(jìn)一步說(shuō)明。在不限制本發(fā)明范圍的情況下，在下文中，參考濺射應(yīng)用來(lái)說(shuō)明可旋轉(zhuǎn)靶材裝置、可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置、可旋轉(zhuǎn)靶材、制造可旋轉(zhuǎn)靶材的方法以及涂敷設(shè)備的實(shí)例與實(shí)施方式。一般而言，可旋轉(zhuǎn)靶材裝置及/或可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括真空兼容材料 (vacuum-compatible materials)，并且涂覆設(shè)備是真空涂覆設(shè)備。本文說(shuō)明的實(shí)施例的典型應(yīng)用為例如用于顯示器制造(例如IXD、TFT顯示器及有機(jī)發(fā)光二極管(OLED))、太陽(yáng)能晶片制造與半導(dǎo)體裝置制造中所應(yīng)用的的濺射沉積。在以下附圖的說(shuō)明中，相同的組件符號(hào)代表相同的構(gòu)件。一般而言，僅針對(duì)個(gè)別實(shí)施例中的差異之處進(jìn)行說(shuō)明。在不限制范圍的情況下，下文中，可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置的靶材基座圓柱例如將被稱(chēng)為可旋轉(zhuǎn)靶材基座、背襯柱(backing cylinder)或背襯管(backing tube)?？尚D(zhuǎn)靶材將包括例如可旋轉(zhuǎn)靶材基座與固體靶材圓柱。根據(jù)第一實(shí)施例，一種用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座，用于托持固體靶材圓柱，該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面、外軸向面以及連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面的至少一個(gè)前面(front face)；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件、第一面以及第二面，該第一面適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，該第二面用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件。在實(shí)施例中，彈性組件被托持于第一面上且/或與固體靶材圓柱相鄰。在部分實(shí)施例中，彈性組件可受托持而與固體靶材圓柱排成列、可受托持而與該固體靶材圓柱成對(duì)齊列，及/或可受托持而與該固體靶材圓柱軸向?qū)R。在部分實(shí)施例(可與本文所說(shuō)明的任一實(shí)施例結(jié)合)中，彈性組件用以直接接觸該固體靶材圓柱的該前面，及/或包括固體組件，該固體組件用以直接接觸該固體靶材圓柱的該前面。根據(jù)第二實(shí)施例，提供一種濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該靶材基座裝置用以容置至少一個(gè)固體靶材圓柱，該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括靶材基座圓柱，其具有軸、側(cè)向表面、中間部分、第一末端區(qū)域以及與該第一末端區(qū)域相對(duì)的第二末端區(qū)域；以及至少一個(gè)靶材固定裝置，用以提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而做變化，該至少一個(gè)組件是選自該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸之中。該第一與該第二末端區(qū)域的至少其中一者具有最大外徑(outer diameter)，該最大外徑實(shí)質(zhì)上等于或小于該中間部分的外徑。該靶材固定裝置包括自保持裝置與靶材調(diào)整裝置中所選出的至少一個(gè)組件，該靶材調(diào)整裝置用以提供該靶材調(diào)整間隙，及/或被提供于該靶材調(diào)整間隙中。該靶材基座圓柱為管狀，且該靶材固定裝置用以提供實(shí)質(zhì)上可平行于該軸而做變化的該靶材調(diào)整間隙。在上述第一實(shí)施例中，可旋轉(zhuǎn)靶材基座可為本文所述任一實(shí)施例的靶材基座圓柱，且/或該第一面可為本文所述任一實(shí)施例的側(cè)向表面。此外，在第一實(shí)施例中，該第二面可包含在選自下列的至少一個(gè)組件內(nèi)根據(jù)本文所述實(shí)施例的靶材基座圓柱、如上述第二實(shí)施例與本文所述任一其它實(shí)施例的保持裝置，以及如本文所述實(shí)施例的保持裝置的該些組件中的其中的組件。彈性組件可為或可包含于本文所述任一實(shí)施例的該至少一個(gè)靶材固定裝置的至少其中一者，或是可為或可包含于本文所述任一實(shí)施例的靶材調(diào)整裝置。此外，該固體組件可為選自下列群組中的至少一個(gè)組件根據(jù)本文所說(shuō)明的任一實(shí)施例所述的該保持裝置的部分、壓縮凸緣與凸緣軸承。靶材基座裝置是為了例如使固體靶材圓柱同心地設(shè)置于靶材基座圓柱上。此外， 固體靶材圓柱可為中空?qǐng)A柱，藉由將固體靶材圓柱設(shè)置在靶材基座圓柱上，即產(chǎn)生典型的可旋轉(zhuǎn)靶材。可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置用于使該可旋轉(zhuǎn)靶材實(shí)質(zhì)水平地固定在濺射設(shè)備中。可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置也可用于使可旋轉(zhuǎn)靶材實(shí)質(zhì)垂直地固定。一般而言，靶材基座圓柱的側(cè)向表面可理解為圓柱筒體或圓柱的心軸。
由于彈性組件及/或靶材調(diào)整間隙的原因，當(dāng)靶材圓柱分別置于可旋轉(zhuǎn)靶材裝置或可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置上時(shí)，本文所揭示的實(shí)施例允許固體靶材圓柱在軸向方向上產(chǎn)生熱膨脹。因此，當(dāng)固體靶材圓柱產(chǎn)生熱膨脹時(shí)，即使固體靶材圓柱的材料包括硅或是由高純度硅所形成，也不會(huì)發(fā)生固體靶材圓柱破壞或崩裂的情形。本文所揭示的實(shí)施例由于可從背襯柱的至少一個(gè)末端進(jìn)出，因而允許在背襯柱上提供靶材，且該靶材可為固體靶材圓柱。這是因?yàn)椋?，部分?shí)施例的背襯柱結(jié)構(gòu)的原因， 其中該背襯柱的至少一個(gè)末端區(qū)域具有最大外徑，其實(shí)質(zhì)上等于或小于該背襯柱之中間部分的外徑。因此，可輕易在背襯柱上放置圓柱狀或管狀固體靶材(其內(nèi)徑與背襯柱的外徑相配或更大)。靶材可設(shè)計(jì)作為接合(bonded)式或非接合(non-bonded)式靶材來(lái)使用，一般為非鍵結(jié)接合式靶材。除此之外，相較于用于噴涂靶材的背襯柱，利用本文所述的實(shí)施例可將多個(gè)圓柱狀或管狀固體靶材或是將接合式或非接合式靶材的靶材套排列在背襯柱上。 此外，根據(jù)本文所述實(shí)施例的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置可重復(fù)使用，且可藉由更換圓柱狀靶材而恢復(fù)該可旋轉(zhuǎn)靶材。圖1概要顯示根據(jù)本文所述實(shí)施例的用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材1?？尚D(zhuǎn)靶材 1典型包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置2與管狀固體靶材5，在本文中也稱(chēng)為圓柱狀靶材或靶材5。在本文所述的實(shí)施例中，靶材5具有內(nèi)軸向面M、外軸向面55以及連接內(nèi)軸向面 54與外軸向面55的至少一個(gè)前面56。此外，在本文所述的實(shí)施例中，可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括彈性組件23或230、第一面3以及第二面250或81，該第一面3與固體靶材圓柱的內(nèi)軸向面相配，該第二面用以托持固體靶材圓柱外的該彈性組件。圖1所示的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置2的實(shí)例進(jìn)一步示意說(shuō)明于圖加中，且其包括背襯管4。在本文所述的部分實(shí)施例中，背襯管的至少一個(gè)末端區(qū)域具有最大外徑，該最大外徑實(shí)質(zhì)上等于或小于背襯管的中間部分的外徑。在圖1所示的實(shí)例中，可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置2額外包括兩個(gè)靶材固定裝置11、13。本實(shí)施例的背襯管4示意說(shuō)明于圖2b中，其具有軸40 (虛線)、中間部分12、側(cè)向表面3、第一末端區(qū)域7與第二末端區(qū)域9。在本實(shí)施例中，第二末端區(qū)域9具有最大外徑， 其實(shí)質(zhì)上等于或小于該中間部分12的外徑。在一些實(shí)施例中，藉由熔接接點(diǎn)10處的蓋體 8而于第二末端區(qū)域9處封閉背襯管4。此外，在第一末端區(qū)域7處，具有連接裝置以將該靶材基座裝置連接至靶材基座支撐件。在本實(shí)施例中，連接裝置是環(huán)形凸緣15，其于熔接接點(diǎn)16處熔接至背襯管4的第一末端區(qū)域7。在其它實(shí)施例中，凸緣15是夾環(huán)或螺環(huán)，且為可移除。藉由凸緣15，背襯管4具有開(kāi)口 18。此外，背襯管4可包括內(nèi)部空間6，用以容置自磁體裝置與冷卻系統(tǒng)中所選出的至少一個(gè)組件。在本文所揭示的實(shí)施例中，可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置可包括一個(gè)或多個(gè)靶材固定裝置，其中一個(gè)靶材固定裝置提供在該第一與該第二末端區(qū)域的至少其中一處，且為可移除。 在本文所述的實(shí)施例中，至少一個(gè)靶材固定裝置提供在第一與第二末端區(qū)域的至少其中一者處；在此實(shí)例的變化例中，至少一個(gè)靶材固定裝置是可移除的。根據(jù)本文所述的實(shí)施例，背襯管4的第一末端區(qū)域7與第二末端區(qū)域9各自具有靶材固定裝置11、13。靶材固定裝置11、13各自包括保持裝置與靶材調(diào)整裝置。在第1、加與2b圖所示的實(shí)施例中，靶材固定裝置11是提供在背襯管4的第一末端區(qū)域7處，且靶材固定裝置13是提供在背襯管4的第二末端區(qū)域9處。至少該靶材固定裝置13可從背襯管4移除。如圖2b所示，背襯管4的凸緣15可包括環(huán)形凹部17，其與襯管4的側(cè)向表面3相鄰。凸緣15與環(huán)形凹部17為靶材固定裝置11的部分。凸緣15作為靶材固定裝置11的保持裝置，而環(huán)形凹部17作為靶材固定裝置11的可調(diào)整凹部。圖加說(shuō)明本實(shí)施例在組裝狀態(tài)中的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置2的背襯管4以及靶材固定裝置11、13?？尚D(zhuǎn)靶材1的管狀固體靶材5并未示出。為了完成靶材固定裝置11， 在凸緣15的環(huán)形凹部17中提供螺卷環(huán)形彈簧21。此外，已組裝的靶材固定裝置13包括環(huán)形鎖定裝置(annular locking means) 230在本實(shí)施例中，如圖1所示，鎖定裝置23包括螺帽25與壓縮凸緣M，且在背襯管4的蓋體8處，提供中心螺栓沈作為凸緣軸承。中心螺栓 26具有與螺帽25的內(nèi)部螺紋相應(yīng)的外部螺紋。螺帽25進(jìn)一步包括墊圈22以作為凸緣固定構(gòu)件。鎖定裝置23于鄰近側(cè)向表面3的位置提供環(huán)形凹部觀0，藉由壓縮凸緣M的相應(yīng)直徑來(lái)建構(gòu)出凹部觀0。在組裝狀態(tài)中，當(dāng)接觸背襯管4的蓋體8時(shí)，壓縮凸緣M定位為與中心螺栓沈上的中心螺孔MO同心，且在凹部280填裝螺卷環(huán)形彈簧27。如圖4所示，其示意說(shuō)明鎖定裝置23的壓縮凸緣對(duì)。壓縮凸緣M包括中心螺孔 M，且在最外周?chē)幘哂袀?cè)向環(huán)形突出部39，從而當(dāng)鎖定裝置23設(shè)置于背襯管4時(shí)形成環(huán)形凹部280 (如圖加中所示容納有彈簧27的環(huán)形凹部)。壓縮凸緣M的形狀、寬度與內(nèi)徑皆可適當(dāng)選擇，以于組裝時(shí)提供與鎖定裝置23與彈簧27的良好匹配。概言之，在本實(shí)施例中，包括有螺栓沈、螺帽25與壓縮凸緣M的鎖定裝置23形成了靶材固定裝置13的保持裝置，而彈簧27作為靶材固定裝置13的靶材調(diào)整裝置。此外， 在本實(shí)施例中，凸緣15是靶材固定裝置11的保持裝置，而彈簧21是靶材固定裝置11的靶材調(diào)整裝置。圖1示出了在組裝狀態(tài)中的可旋轉(zhuǎn)靶材1。凸緣15與鎖定裝置23之間的距離(即本實(shí)施例中凸緣15與壓縮凸緣M之間的距離)大于管狀固體靶材5的長(zhǎng)度。靶材5定位于背襯管的側(cè)向表面3，并且置于靶材固定裝置11與13各自的彈簧21、27之間。因此，在凸緣15與鎖定裝置23之間和在凸緣15與管狀固體靶材5之間分別形成了靶材調(diào)整間隙觀、29。藉此，使靶材5在平行于該背襯管4的旋轉(zhuǎn)軸(在本實(shí)施例中為縱軸)的方向中熱膨脹是可行的，且可避免這種熱膨脹的不良影響。由于彈簧21與27的彈簧張力的原因，靶材5與背襯管4對(duì)齊，甚至是置中地設(shè)于背襯管4上。藉此可使管狀固體靶材5在與可旋轉(zhuǎn)靶材1的旋轉(zhuǎn)軸平行的方向上達(dá)到最佳定位。彈簧21與27托持靶材5于固定位置，即使形成有間隙觀與四。至少一個(gè)彈簧21與27包括選自由導(dǎo)電材料、金屬與不銹鋼所組成的群組中的至少一種材料。一般而言，彈簧21與27由平坦金屬條所制成，其本身卷繞成螺卷狀。因此， 彈簧21、27提供電接觸，一般期望可經(jīng)由彈簧21而至少在圖1所示的凸緣15與管狀固體靶材5之間提供既定電位。圖3a說(shuō)明了本文所示實(shí)施例的可旋轉(zhuǎn)靶材1的另一個(gè)實(shí)例，其具有管狀固體靶材50，該管狀固體靶材50包括兩個(gè)相鄰的管件51、52。在這樣的情形中， 每管件51、52都由個(gè)別相鄰彈簧21、27提供既定電位。圖北說(shuō)明彈簧21作為環(huán)形螺卷彈簧21、27的例子。在此例中，彈簧21是由平坦金屬條30制成，其本身卷繞成螺卷狀，所產(chǎn)生的平坦金屬條30的螺卷(coil)形成環(huán)狀(未示)，其尺寸與直徑適于填入凸緣15的凹部17。因此，彈簧27的直徑大小適于填入由設(shè)置在背襯管4上的壓縮凸緣M所形成的凹部觀0中。如圖北所示，彈簧21的平坦面定位在彈簧21的外周(outer circumference)處。因此，當(dāng)彈簧21是由導(dǎo)電材料制成時(shí)，彈簧與相鄰的凸緣15及靶材5之間的電接觸強(qiáng)度即可提高。在本文所述的實(shí)施例中，固體靶材圓柱的內(nèi)徑可實(shí)質(zhì)上等于或大于靶材基座圓柱的中間部分的外徑。一般而言，靶材5、50的外徑約IOOmm至200mm，更典型是約130mm至約 170mm之間，最典型的是約150mm至約160mm之間。靶材5、50的內(nèi)徑在約80mm至約180mm 的范圍內(nèi)，更典型是在約IlOmm至約150mm之間，最典型的是在約130mm至約140mm之間。靶材的厚度介于約3mm至30mm，且最典型的是約20mm。一般而言，靶材5的長(zhǎng)度介于約MOmm 至1540mm，更典型是在約440mm至約1340mm之間，且最典型的是在約440mm至約MOmm之間。背襯管4在中間部分的外徑介于約80mm至約180mm，更典型是在約IlOmm至約150mm之間，且最典型的是在約130mm至約140mm之間。背襯管4的內(nèi)徑一般介于約60mm至160mm， 更典型是在約90mm至約130mm之間，且最典型的是在約IlOmm至約120mm之間。背襯管4 的長(zhǎng)度介于約300mm至約1600mm，更典型是在約500mm至約1400mm之間，且最典型的是在約500mm至600mm之間。一般而言，靶材5、50的內(nèi)徑與背襯管4的外徑經(jīng)選擇，而使靶材 5,50的內(nèi)表面與背襯管4的側(cè)向表面3之間的空隙等于或小于0. 7mm,以于靶材與襯管之間提供所需的熱傳遞。在本文所述的部分實(shí)施例中，背襯管4的中間部分的外徑及/或內(nèi)徑在中間部分12的整體長(zhǎng)度上呈實(shí)質(zhì)上固定。此外，在本文所述的部分實(shí)施例中，靶材5、 50的外徑及/或內(nèi)徑在靶材5、50的整體長(zhǎng)度上呈實(shí)質(zhì)固定。用于本文所述實(shí)施例中的靶材材料的實(shí)例為靶材5包括硅(例如質(zhì)量為5N者)， 其可摻雜硼(例如Z-600)。一般而言，本文所述實(shí)施例適合用于實(shí)質(zhì)水平安裝或是相對(duì)于水平線而安裝，甚至是呈某傾斜程度地安裝可旋轉(zhuǎn)靶材1 ；這是因?yàn)閺椈?1、27為管狀固體靶材5提供可靠地對(duì)齊或置中設(shè)置(centering)。根據(jù)另一實(shí)施例，提供一種制造濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材的方法，其包括步驟提供如本文中任一實(shí)施例所述的用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置或可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置；提供固體靶材圓柱；以及將該固體靶材圓柱設(shè)置在該靶材基座圓柱的側(cè)向表面上。該方法可包括步驟在該設(shè)置靶材基座圓柱的步驟之后，將靶材固定裝置裝設(shè)在該靶材基座圓柱的第一與第二末端區(qū)域至少其中一者上。此外，該固體靶材圓柱是中空?qǐng)A柱，該固體靶材圓柱可同心地設(shè)置于該靶材基座圓柱上。一般而言，藉由結(jié)合根據(jù)上述其它實(shí)施例的固體靶材圓柱與靶材基座圓柱，即可形成可旋轉(zhuǎn)靶材。該可旋轉(zhuǎn)靶材可用于實(shí)質(zhì)水平安裝在濺射設(shè)備中的濺射靶材。在本文所述的方法實(shí)施例中，提供如圖2b所示的背襯管4。接著，將彈簧21同心定位于背襯管4的第二末端區(qū)域9處，且自第二末端區(qū)域9移動(dòng)至第一末端區(qū)域7。然后， 將管狀固體靶材5同心放置在第二末端區(qū)域9上，沿著背襯管4的中心軸40 (即本實(shí)施例中的縱軸)平行移動(dòng)而接觸彈簧21。其次，彈簧27同心放置于背襯管4上且接觸靶材5。 接著，藉由使壓縮凸緣M的螺孔240同心置于螺栓沈上并且接觸蓋體8，使該突出部39面向靶材5且將彈簧27填入凹部觀0，而將鎖定裝置23的多個(gè)組件安裝在末端區(qū)域9處。之后，螺帽23固定于螺栓26。因此，管狀固體靶材5對(duì)齊或置中地設(shè)置于彈簧21、27之間，而形成如圖1所示的可旋轉(zhuǎn)靶材1。靶材調(diào)整間隙觀、四因?yàn)橛袕椈?1、27而可變化，因此靶材調(diào)整間隙觀、四允許靶材材料在與可旋轉(zhuǎn)靶材1的旋轉(zhuǎn)軸平行的方向中熱膨脹。在部分實(shí)施例中，彈簧21是由導(dǎo)電材料制成，因此其可提供靶材5的既定電位。如上所述，背襯管4的第二末端區(qū)域9具有最大外徑，其實(shí)質(zhì)上等于或小于該中間部分的外徑。因此，藉由使管狀固體靶材5同心設(shè)置在第二末端區(qū)域9并且沿著背襯管的旋轉(zhuǎn)軸(在本實(shí)施例中為縱軸)平行移動(dòng)或推動(dòng)管狀固體靶材5，即可將管狀固體靶材5 (其內(nèi)徑實(shí)質(zhì)上等于或大于背襯管中間部分的外徑)放置在背襯管4上。此外，當(dāng)修復(fù)可旋轉(zhuǎn)靶材1，以替換耗盡的靶材5時(shí)，也可使用此程序。舉例而言，替換動(dòng)作可藉由下述方式來(lái)執(zhí)行自圖1所示的可旋轉(zhuǎn)靶材1上卸除解除靶材固定裝置13、移除靶材5、將另一靶材5同心設(shè)置在背襯管4上，以及將安裝靶材固定裝置13使其抵靠著該背襯管。此外，固體靶材圓柱可為中空?qǐng)A柱，該固體靶材圓柱同心設(shè)置在靶材基座圓柱上。 該可旋轉(zhuǎn)靶材可用于實(shí)質(zhì)水平地將濺射靶材安裝在濺射設(shè)備中。一般而言，使用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的固體靶材圓柱與靶材基座圓柱，使得可旋轉(zhuǎn)靶材得以修復(fù)，這在分別使用如本文所述實(shí)施例的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置與可旋轉(zhuǎn)靶材時(shí)，亦是可行的，因?yàn)榭稍诎胁幕潭▓A柱的至少一側(cè)處移除該用于托持靶材基座圓柱上的靶材圓柱的靶材固定裝置。舉例而言，在部分實(shí)施例中，其中一個(gè)靶材固定裝置是可移除軸環(huán)或可移除夾環(huán)。此外，當(dāng)水平托持的可旋轉(zhuǎn)靶材僅于側(cè)連接至靶材基座支撐件(例如軸承及/或驅(qū)動(dòng)器)時(shí)，可從無(wú)靶材基座支撐件的側(cè)移除靶材固定裝置，以更換靶材圓柱。在部分實(shí)施例中，靶材固定裝置用以在固體靶材圓柱鄰近處及/或保持裝置與固體靶材圓柱之間提供靶材調(diào)整間隙。根據(jù)實(shí)施例，該保持裝置可包括自下述選出的至少一個(gè)組件位于該靶材基座圓柱其中個(gè)末端區(qū)域處的凸緣、壓縮凸緣、凸緣軸承、凸緣固定構(gòu)件以及用以至少部分容置該靶材調(diào)整裝置的調(diào)整凹部；且/或該靶材固定裝置用以在該保持裝置的該些組件的至少一個(gè)組件相鄰處及/或在該保持裝置的兩組件之間提供該靶材調(diào)整間隙。圖6示意說(shuō)明可旋轉(zhuǎn)靶材110的另一實(shí)施例。可旋轉(zhuǎn)靶材110包括背襯管4、如圖2b所示的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置2以及靶材固定裝置130。圖中亦示出可旋轉(zhuǎn)靶材110的管狀固體靶材5。為完成靶材固定裝置11，在凸緣15的環(huán)形凹部17中提供有螺卷環(huán)形彈簧21。此外，已組裝的靶材固定裝置130包括環(huán)形鎖定裝置230。在本實(shí)施例中，鎖定裝置 230包括螺栓沈、螺帽25與壓縮凸緣M以及碟形彈簧270。在背襯管4的蓋體8處具有中心螺栓沈。中心螺栓沈具有與螺帽25的內(nèi)部螺紋相應(yīng)的外部螺紋。如圖6所示，螺帽25 進(jìn)一步包括墊圈22。鎖定裝230于螺帽25或墊圈22 (如果存在的話)與壓縮凸緣M之間提供環(huán)形調(diào)整間隙四0。為了組裝靶材固定裝置130，壓縮凸緣M的中心螺孔MO同心地定位在中心螺栓沈上的而接觸背襯管4的蓋體8。此外，碟形彈簧270定位為與壓縮凸緣 24相鄰，而螺帽23固定于碟形彈簧270上方建立，從而建立碟形彈簧270的彈力并形成靶材調(diào)整間隙四0。因此，管狀固體靶材5對(duì)齊或置中設(shè)置于彈簧21與270之間，形成如圖6 所示的可旋轉(zhuǎn)靶材1。由于彈簧21與270的原因，靶材調(diào)整間隙觀、290可變化，而允許靶材材料于與可旋轉(zhuǎn)靶材1的旋轉(zhuǎn)軸平行的方向中熱膨脹。此外，彈簧21由導(dǎo)電材料制成， 因此可提供靶材5的既定電位。在可旋轉(zhuǎn)靶材1或靶材110、靶材基座裝置、方法的上述實(shí)施例的變化例中，這些靶材固定裝置中僅有一個(gè)靶材固定裝置(因而只有一個(gè)靶材調(diào)整裝置)位于背襯管4處以將管狀固體靶材定位(例如對(duì)齊或置中設(shè)置)于其上。舉例而言，相較于以包含凹部17的凸緣15作為對(duì)靶材基座支撐件的連接裝置，也可使用不含凹部17的凸緣15。此類(lèi)實(shí)施例說(shuō)明于圖5與圖7，圖5與圖7分別示出可旋轉(zhuǎn)靶材101與111，可旋轉(zhuǎn)靶材101、111與圖 1和圖6的可旋轉(zhuǎn)靶材1、110不同處僅在于，可旋轉(zhuǎn)靶材101、111各自的靶材固定裝置13、 130是位于末端區(qū)域9，而末端區(qū)域7具有凸緣150，凸緣150直接接觸靶材5的相鄰前面 56。由于可從背襯柱的至少一個(gè)末端處進(jìn)出，故本文所述的實(shí)施例允許于背襯柱(例如背襯管)上提供圓柱形靶材(其可為固體靶材材料管)。這是因?yàn)槔绮糠謱?shí)施例的襯柱結(jié)構(gòu)的原因，其中背襯柱的至少一個(gè)末端區(qū)域具有最大外徑，該最大外徑實(shí)質(zhì)上等于或小于背襯柱之中間部分的外徑。因此，經(jīng)由具有最大外徑的至少一個(gè)末端區(qū)域(該最大外徑實(shí)質(zhì)上等于或小于背襯柱之中間部分的外徑)，可輕易在背襯柱上放置其內(nèi)徑與背襯柱的外徑相配的圓柱狀或管狀固體靶材。此外，根據(jù)本文所述的實(shí)施例，至少一個(gè)末端區(qū)域具有可移除靶材固定裝置，當(dāng)欲將圓柱形靶材放置在背襯柱上時(shí)，該靶材固定裝置可被移除。 靶材可經(jīng)設(shè)計(jì)為作為接合式或非接合式靶材使用，典型為非接合式靶材。當(dāng)靶材是作為非接合式靶材使用時(shí)，由于本文所述的實(shí)施例的原因，可避免固體靶材與背襯柱的昂貴接合， 因此不需要使用昂貴的接合材料來(lái)使靶材固定在背襯柱上。在其它實(shí)例中，固體靶材可藉由接合而提供于濺射陰極的背襯管上，然其也可能需要接合材料。除此之外，由于根據(jù)實(shí)施例，彈性組件及/或一個(gè)或多個(gè)靶材固定裝置可設(shè)置于背襯柱上，而允許在圓柱固體靶材與靶材固定裝置之間，或在靶材保持裝置的組件之間形成至少一個(gè)靶材調(diào)整間隙，故背襯柱材料與靶材材料的熱膨脹系數(shù)可不相同。此外，在包括彈性組件及/或靶材固定裝置的實(shí)施例中，靶材可固定至背襯柱上、或甚至置中設(shè)置或?qū)R于背襯柱上的期望位置處。因?yàn)閺椥越M件及/或靶材調(diào)整間隙的原因，當(dāng)靶材圓柱分別置于可旋轉(zhuǎn)靶材裝置或可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置上時(shí)，本文所述的實(shí)施例允許固體靶材圓柱于軸向方向上熱膨脹。因此，即使固體靶材圓柱包括硅或由高純度硅所制成，也不會(huì)發(fā)生固體靶材圓柱的破壞與崩裂情形。在實(shí)施例中，用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座，用于托持固體靶材圓柱，該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面、外軸向面以及連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面的至少一個(gè)前面；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件、第一面以及第二面，該第一面適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，該第二面用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該彈性組件用以直接接觸該固體靶材圓柱的該前面。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該彈性組件包括固體組件 (solid element)，其用以直接接觸該固體靶材圓柱的該前面。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的另一實(shí)施例中，提供一種用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該靶材基座裝置用以容置至少一個(gè)固體靶材圓柱，該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括靶材基座圓柱，其具有軸、側(cè)向表面、中間部分、第一末端區(qū)域以及與該第一末端區(qū)域相對(duì)的第二末端區(qū)域；以及至少一個(gè)靶材固定裝置，用以提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而變化，該至少一個(gè)組件是自該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸中所選出。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該靶材固定裝置包括自保持裝置與靶材調(diào)整裝置中所選出的至少一個(gè)組件，該靶材調(diào)整裝置用以提供該靶材調(diào)整間隙及 /或可被提供于該靶材調(diào)整間隙之中。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該靶材基座圓柱是管狀，且該靶材固定裝置用以提供可實(shí)質(zhì)平行于該軸而做變化的該靶材調(diào)整間隙。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，自該彈性組件、該靶材固定裝置與該靶材調(diào)整裝置中所選出的至少一個(gè)組件包括選自下列的至少一個(gè)組件彈性構(gòu)件、 環(huán)形彈性構(gòu)件、彈簧、碟型彈簧、螺卷彈簧、環(huán)形彈簧、環(huán)形螺卷彈簧、由平坦金屬條所制成的彈簧、由平坦金屬條所制成的螺卷彈簧、由平坦金屬條所制成的環(huán)形彈簧、由平坦金屬條所制成的環(huán)形螺卷彈簧、導(dǎo)電材料、金屬及不銹鋼。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該靶材固定裝置是可移除的 (removable)0在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，自該保持裝置與該靶材調(diào)整裝置中所選出的至少一個(gè)組件是可移除的。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該第一與該第二末端區(qū)域的至少其中一者具有最大外徑，該最大外徑實(shí)質(zhì)上等于或小于該中間部分的外徑。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該至少一個(gè)靶材固定裝置的至少其中一者是設(shè)置于該第一與該第二末端區(qū)域的至少其中末端區(qū)域處且為可移除。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該靶材固定裝置用以在該保持裝置相鄰處，及/或在該保持裝置與該固體靶材圓柱之間提供該靶材調(diào)整間隙。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該保持裝置包含選自下列的至少一個(gè)組件設(shè)置在該靶材基座圓柱的其中一個(gè)末端區(qū)域處的凸緣、壓縮凸緣、凸緣軸承、 凸緣固定構(gòu)件，以及用以至少部分容置該靶材調(diào)整裝置的調(diào)整凹部。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該靶材固定裝置用以在選自下述的至少一個(gè)位置處提供該靶材調(diào)整間隙在該保持裝置的該些組件的至少其中組件相鄰處，及/或在該保持裝置的該些組件的兩個(gè)組件之間。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該至少一個(gè)靶材固定裝置的至少其中一者包括連接裝置，用以連接該靶材基座裝置與靶材基座支撐件。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該第一末端區(qū)域具有連接裝置，用以連接該靶材基座裝置與靶材基座支撐件；及/或其中該連接裝置形成該至少一個(gè)靶材固定裝置的其中一者的該保持裝置。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，該第二末端區(qū)域具有最大外徑，該最大外徑實(shí)質(zhì)上等于或小于該中間部分的外徑，且其設(shè)置有該至少一個(gè)靶材固定裝置中的其中一者。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，一種包括濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材，其包含用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置，該可旋轉(zhuǎn)靶材裝置包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座，用于托持固體靶材圓柱，該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面、外軸向面以及連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面的至少一個(gè)前面；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件、第一面以及第二面，該第一面適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，該第二面用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，提供一種濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材，其包括用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該靶材基座裝置用以容置至少一個(gè)固體靶材圓柱；該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括靶材基座圓柱，其具有軸、側(cè)向表面、中間部分、第一末端區(qū)域以及與該第一末端區(qū)域相對(duì)的第二末端區(qū)域；以及至少一個(gè)靶材固定裝置，用以提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而做變化，該至少一個(gè)組件是自該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸所選出；該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置具有至少一個(gè)固體靶材圓柱，該至少一個(gè)固體靶材圓柱設(shè)置在該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面上，其中該至少一個(gè)靶材固定裝置提供靶材調(diào)整間隙，其實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而做變化，該至少一個(gè)組件是自該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸所選出。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，包括選自下列的至少一個(gè)組件具有該至少一個(gè)靶材固定裝置的至少其中一者(其設(shè)置在該第一與該第二末端區(qū)域中至少其中處)的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置；該至少一個(gè)靶材固定裝置的至少其中一者且可移除；該靶材固定裝置，其包括選自保持裝置與靶材調(diào)整裝置中的至少一個(gè)組件，該靶材調(diào)整裝置提供靶材調(diào)整間隙或可提供在靶材調(diào)整間隙中；靶材基座圓柱的第一與第二末端區(qū)域的至少其中一者，該靶材基座圓柱具有最大外徑，該最大外徑實(shí)質(zhì)上等于或小于該中間部分的外徑；以及至少一個(gè)固體靶材圓柱的內(nèi)徑實(shí)質(zhì)上等于或大于靶材基座圓柱的中間部分的外徑。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例包括選自下列的至少一個(gè)組件該至少一個(gè)固體靶材圓柱，其位于第一與第二末端區(qū)域之間；該至少一個(gè)固體靶材圓柱，其位置可由該至少一個(gè)靶材固定裝置予以調(diào)整；該靶材固定裝置，其提供靶材調(diào)整間隙于選自下列的位置處于該固體靶材圓柱相鄰處，以及在保持裝置與至少一個(gè)固體靶材圓柱之間； 以及，該靶材固定裝置，其提供該靶材調(diào)整間隙于選自下列的位置處在保持裝置的該些組件的至少一個(gè)組件相鄰處，以及在保持裝置的兩組件之間。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，一種涂覆設(shè)備包括用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置，該可旋轉(zhuǎn)靶材裝置包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座，用于托持固體靶材圓柱， 該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面、外軸向面以及連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面的至少一個(gè)前面；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件、第一面以及第二面，該第一面適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，該第二面用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，提供一種包括用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置的涂敷設(shè)備，其中該靶材基座裝置用以容置至少一個(gè)固體靶材圓柱， 該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括靶材基座圓柱，其具有軸、側(cè)向表面、中間部分、第一末端區(qū)域以及與該第一末端區(qū)域相對(duì)的第二末端區(qū)域；以及至少一個(gè)靶材固定裝置，用以提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于自該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸所選出的至少一個(gè)組件而做變化。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，一種用于制造濺射裝置的可旋轉(zhuǎn)靶材的方法包括提供用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置，該可旋轉(zhuǎn)靶材裝置包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座，用于托持固體靶材圓柱，該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面、外軸向面以及連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面的至少一個(gè)前面；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件、第一面以及第二面，該第一面適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，該第二面用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件；提供固體靶材圓柱；該方法包括選自下列的至少一個(gè)步驟 將該固體靶材圓柱設(shè)置在該靶材基座圓柱的與該至少一個(gè)靶材固定裝置相鄰的側(cè)向表面上；將該至少一個(gè)靶材固定裝置中的其中一者設(shè)置在該靶材基座圓柱的該第一末端區(qū)域處，及將該至少一個(gè)靶材固定裝置中的其中一者設(shè)置在該靶材基座圓柱的該第二末端區(qū)域處。在可與本文所述任一其它實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，一種用于制造濺射裝置的可旋轉(zhuǎn)靶材的方法包括提供用于濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該靶材基座裝置用以容置至少一個(gè)固體靶材圓柱，該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括靶材基座圓柱，其具有軸、側(cè)向表面、中間部分、第一末端區(qū)域以及與該第一末端區(qū)域相對(duì)的第二末端區(qū)域；以及至少一個(gè)靶材固定裝置，用以提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于自該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面與該軸中所選出的至少一個(gè)組件而做變化；提供固體靶材圓柱；該方法包括選自下列中的至少一個(gè)步驟將該固體靶材圓柱設(shè)置在該靶材基座圓柱的與該至少一個(gè)靶材固定裝置相鄰的側(cè)向表面上；將該至少一個(gè)靶材固定裝置中的其中一者設(shè)置在該靶材基座圓柱的該第一末端區(qū)域處，及將該至少一個(gè)靶材固定裝置中的其中一者設(shè)置在該靶材基座圓柱的該第二末端區(qū)域處。在本文所述的部分實(shí)施例中，可旋轉(zhuǎn)靶材基座為根據(jù)本文所述任一實(shí)施例的靶材基座圓柱；及/或該第一面是如本文所述任一實(shí)施例的側(cè)向平面；及/或該第二面是包含在選自下列的至少一個(gè)組件中根據(jù)本文所述任一實(shí)施例的靶材基座圓柱及/或保持裝置，及根據(jù)本文所述任一實(shí)施例的保持裝置的該些組件中的其中個(gè)組件；及/或該彈性組件是自根據(jù)本文所述任一實(shí)施例的靶材固定裝置與靶材調(diào)整裝置中所選出的至少一個(gè)組件；及/或該固體組件是自根據(jù)本文所述任一實(shí)施例的保持裝置的部分、壓縮凸緣以及凸緣軸承中所選出的至少一個(gè)組件。前述說(shuō)明以多個(gè)實(shí)施例(包括最佳實(shí)施方式)來(lái)揭示本發(fā)明，以使本領(lǐng)域技術(shù)人員可實(shí)行及使用本發(fā)明。本發(fā)明雖已以各種特定實(shí)施方式加以說(shuō)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)知本發(fā)明可于權(quán)利要求所限定的范疇與精神內(nèi)加以修改而實(shí)行，特別是，上述實(shí)施例中彼此不排斥的特征也可互相組合。本發(fā)明的保護(hù)范圍由權(quán)利要求加以限定，且其也包括本領(lǐng)域技術(shù)人員所能推出的其它實(shí)施例，此類(lèi)其它實(shí)施例也涵蓋在權(quán)利要求的范圍內(nèi)。前述內(nèi)容針對(duì)本發(fā)明的數(shù)個(gè)實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明，但在不背離發(fā)明基本范圍的前提下，亦可推出其它或進(jìn)一步的實(shí)施例，且本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求予以限定。
權(quán)利要求
1.一種濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置，其包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座G)，用于托持固體靶材圓柱(5)，該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面 ( )、外軸向面(5 以及連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面的至少一個(gè)前面(56)；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件03 ；230)、第一面(3)以及第二面Q50 ；81)，該第一面C3)適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，且該第二面O50 ；81)用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件。
2.如權(quán)利要求1的濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置，其中該彈性組件用以直接接觸該固體靶材圓柱的該前面(56)；及/或其中該彈性組件包括固體組件，該固體組件用以直接接觸該固體靶材圓柱的該前面 (56)。
3.一種濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該靶材基座裝置是用以接收至少一個(gè)固體靶材圓柱(5)，該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置包括靶材基座圓柱(4)，其具有軸(40)、側(cè)向表面(3)、中間部分(12)、第一末端區(qū)域(7)以及與該第一末端區(qū)域相對(duì)的第二末端區(qū)域(9)；以及至少一個(gè)靶材固定裝置(11，13)，用以提供靶材調(diào)整間隙08 ;29)，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而做變化，該至少一個(gè)組件選自于下列群組中該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面以及該軸。
4.如權(quán)利要求3的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該靶材固定裝置包括選自保持裝置(15； 23 ；230)與靶材調(diào)整裝置Ol ；27 ；270)中的至少一個(gè)組件，且該靶材調(diào)整裝置用以提供該靶材調(diào)整間隙及/或該靶材調(diào)整裝置被提供在該靶材調(diào)整間隙中；及/或其中該靶材基座圓柱為管狀，且該靶材固定裝置用以提供可實(shí)質(zhì)上平行于該軸而做變化的該靶材調(diào)整間隙。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中選自該彈性組件、該靶材固定裝置與該靶材調(diào)整裝置中的至少一個(gè)組件包括選自下述群組中的至少一個(gè)組件彈性構(gòu)件、環(huán)形彈性構(gòu)件、彈簧、碟型彈簧、螺卷彈簧、環(huán)形彈簧、環(huán)形螺卷彈簧、由平坦金屬條所制成的彈簧、由平坦金屬條所制成的螺卷彈簧、由平坦金屬條所制成的環(huán)形彈簧、由平坦金屬條所制成的環(huán)形螺卷彈簧、導(dǎo)電材料、金屬及不銹鋼；且/或其中選自該彈性組件、該靶材固定裝置與該靶材調(diào)整裝置中的至少一個(gè)組件是可移除的。
6.如權(quán)利要求3至5中任一項(xiàng)的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該第一與第二末端區(qū)域的至少其中一者具有最大外徑，其實(shí)質(zhì)上等于或小于該中間部分的外徑；及/或其中該至少一個(gè)靶材固定裝置(1 的至少其中一者是提供在該第一與第二末端區(qū)域的其中至少一個(gè)末端區(qū)域處且為可移除的。
7.如權(quán)利要求3至6中任一項(xiàng)的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該靶材固定裝置用以于該固體靶材圓柱鄰近處及/或在該保持裝置與該固體靶材圓柱之間提供該靶材調(diào)整間隙；及 /或其中該保持裝置包括選自下述群組中的至少一個(gè)組件位于該靶材基座圓柱的該些末端區(qū)域其中末端區(qū)域處的凸緣(15)、壓縮凸緣(M)、凸緣軸承(沈)、凸緣固定構(gòu)件0 以及用以至少部分容置該靶材調(diào)整裝置的調(diào)整凹部(17 ；25)；及/或其中該靶材固定裝置用以在該保持裝置的該些組件的至少一個(gè)組件相鄰處及/或在該保持裝置的該些組件的兩組件之間提供該靶材調(diào)整間隙。
8.如權(quán)利要求3至7中任一項(xiàng)的可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，其中該至少一個(gè)靶材固定裝置 (15)的至少其中一者包括連接裝置(15)，用以連接該靶材基座裝置與靶材基座支撐件；及 /或其中該第一末端區(qū)域具有連接裝置(15)，用以連接該靶材基座裝置與靶材基座支撐件；及/或其中該連接裝置形成該至少一個(gè)靶材固定裝置的其中一者的該保持裝置；及/或其中該第二末端區(qū)域(9)具有最大外徑，其實(shí)質(zhì)上等于或小于該中間部分的外徑，用以提供該至少一個(gè)靶材固定裝置的至少其中一者。
9.如權(quán)利要求1或2的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置，其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座是如權(quán)利要求3至8 中任一項(xiàng)所述的靶材基座圓柱；及/或其中該第一面是如權(quán)利要求3至8中任一項(xiàng)所述的側(cè)向表面；及/或其中該第二面是包含在至少一個(gè)組件中，該至少一個(gè)組件選自下列群組 權(quán)利要求3至8中任一項(xiàng)所述的靶材基座圓柱、權(quán)利要求3至8中任一項(xiàng)所述的保持裝置以及權(quán)利要求7所述的保持裝置中的該些組件的其中一者；及/或其中該彈性組件是選自于下列群組中的至少一個(gè)組件權(quán)利要求3至8中任一項(xiàng)所述的靶材固定裝置與靶材調(diào)整裝置；及/或其中該固體組件是選自下列群組中的至少一個(gè)組件權(quán)利要求3至8中任一項(xiàng)所述的保持裝置、壓縮凸緣與凸緣軸承。
10.一種濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材，其包括如權(quán)利要求3至9中任一項(xiàng)所述的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置或可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置具有至少一個(gè)固體靶材圓柱，其設(shè)置在該靶材基座圓柱的側(cè)向表面上，其中該至少一個(gè)靶材固定裝置(11，1 提供靶材調(diào)整間隙，該靶材調(diào)整間隙實(shí)質(zhì)上可平行于至少一個(gè)組件而做變化，該至少一個(gè)組件選自下列群組中該靶材基座圓柱的該側(cè)向表面以及該軸。
11.如權(quán)利要求10所述的濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材，其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置具有該至少一個(gè)靶材固定裝置的至少其中一者是設(shè)置在該第一與該第二末端區(qū)域的至少其中一者上；及/或其中該至少一個(gè)靶材固定裝置的至少其中一者可移除；及/或其中該靶材固定裝置包括至少一個(gè)組件，該至少一個(gè)組件選自下列群組中該保持裝置(15 ；23 ；230)與該靶材調(diào)整裝置Ol ；27)，該靶材調(diào)整裝置提供該靶材調(diào)整間隙及/或提供在該靶材調(diào)整間隙中；及/或其中該靶材基座圓柱的該第一與該第二末端區(qū)域的至少其中一者具有最大外徑，其實(shí)質(zhì)上等于或小于該中間部分的外徑；及/或其中該至少一個(gè)固體靶材圓柱的內(nèi)徑實(shí)質(zhì)上等于或大于該靶材基座圓柱的該中間部分的該外徑。
12.如權(quán)利要求10或11所述的可旋轉(zhuǎn)靶材，其中該至少一個(gè)固體靶材圓柱位于該第一與該第二末端區(qū)域之間，且/或具有由該至少一個(gè)靶材固定裝置所調(diào)整的部分；及/或其中該靶材固定裝置在該固體靶材圓柱鄰近處及/或在該保持裝置與該至少一個(gè)固體靶材圓柱之間提供該靶材調(diào)整間隙；及/或其中該靶材固定裝置在該保持裝置的至少一個(gè)組件鄰近處及/或在該保持裝置的兩組件之間提供該靶材調(diào)整間隙。
13.一種涂覆設(shè)備，其包括如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置或可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置，及/或如權(quán)利要求10至12中任一項(xiàng)所述的可旋轉(zhuǎn)靶材。
14.一種制造濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材的方法，其包括提供如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置或可旋轉(zhuǎn)靶材基座裝置； 提供固體靶材圓柱；以及將該固體靶材圓柱設(shè)置在該靶材基座圓柱的側(cè)向表面上，該側(cè)向表面與至少一個(gè)靶材固定裝置相鄰。
15.如權(quán)利要求14所述的方法，包括選自下列步驟的至少一個(gè)步驟將該至少一個(gè)靶材固定裝置的其中一者設(shè)置在該靶材基座圓柱的該第一末端區(qū)域處;及將該至少一個(gè)靶材固定裝置的其中一者設(shè)置在該靶材基座圓柱的該第二末端區(qū)域處。
全文摘要
一種濺射設(shè)備的可旋轉(zhuǎn)靶材裝置，該可旋轉(zhuǎn)靶材裝置包括可旋轉(zhuǎn)靶材基座(4)，用于托持固體靶材圓柱(5)，該固體靶材圓柱具有內(nèi)軸向面(54)、外軸向面(55)以及至少一個(gè)前面(56)，該前面連接該內(nèi)軸向面與該外軸向面；其中該可旋轉(zhuǎn)靶材基座包括彈性組件(23；230)、第一面(3)以及第二面(250；81)，該第一面適合該固體靶材圓柱的該內(nèi)軸向面的形狀，該第二面用以托持該固體靶材圓柱外部的該彈性組件。
文檔編號(hào)H01J37/34GK102197453SQ200980142266
公開(kāi)日2011年9月21日 申請(qǐng)日期2009年10月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月24日
發(fā)明者劉健, 羅蘭·特拉斯里, 邁克爾·舍弗爾 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料公司