專利名稱：一種電子束通道組件組裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及儀器儀表(分析儀器)領(lǐng)域，特別是一種電子顯微鏡中電子束通 道組件組裝裝置。
背景技術(shù)：
電子顯微鏡中的電子槍是一個(gè)微小的高亮度電子源，其作用就是為整個(gè)系統(tǒng)提供 一個(gè)穩(wěn)定的電子源以形成電子束。電子槍是由鎢絲熱陰極、柵極和陰極構(gòu)成的部件，能發(fā)射 并形成速度均勻的電子束。電子槍的總組件包括發(fā)射組件和電子束通道組件。所述發(fā)射組件由燈絲組件和燈絲粘結(jié)組件裝配而成，所述燈絲粘結(jié)組件上成型有 中心小孔，這個(gè)中心小孔適于發(fā)射燈絲(即發(fā)叉鎢絲)發(fā)射出來(lái)的電子束穿過(guò)。所述燈絲 組件由燈絲柵帽組件(或稱之為燈絲座、鎢絲熱陰極)和燈絲固定座裝配而成；而所述燈 絲柵帽組件則由柵帽和燈絲陶瓷組件裝配而成，在所述燈絲陶瓷組件上焊接有所述發(fā)射燈 絲。從所述發(fā)射組件發(fā)射出來(lái)的電子束將通過(guò)所述電子束通道組件發(fā)射到透鏡系統(tǒng)中。所述電子束通道組件為電子束的行進(jìn)通道，需要保證電子束有符合規(guī)定尺寸的 通道距離，而且所述電子束通道組件中各個(gè)零件的裝配精確度要求非常高要求各個(gè)零件 (第一零件、第二零件和第三零件)的中心孔要重合(即同心度要求)，還要保證各個(gè)部件 間隔一定的規(guī)定距離并且相互平行，以保證不會(huì)對(duì)電子束的行進(jìn)過(guò)程造成任何影響，使電 子束能順利通過(guò)。這一組裝過(guò)程僅靠手工操作會(huì)產(chǎn)生很大誤差，遠(yuǎn)達(dá)不到工藝精確度要求。 由于上述高精度的裝配要求，所述電子束通道組件需要一個(gè)專業(yè)裝置來(lái)輔助組裝，但是目 前市場(chǎng)上還沒(méi)有這種裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容為此，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于現(xiàn)有技術(shù)沒(méi)有能精確組裝電子束通道 組件的裝置，而提供一種能精確地裝配電子束通道組件的組裝裝置。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下一種電子束通道組件組裝裝置，包括基座，其內(nèi)部成型有適于容納所述電子束通道組件的腔室；平行控制機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述基座上，用于使所述電子束通道組件中各零件之間相 互平行；同心度控制機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述基座上，用于控制成型在各所述零件上、適于電子束 穿過(guò)的各個(gè)中心孔之間的同心度；定位固定機(jī)構(gòu)，與所述平行控制機(jī)構(gòu)和所述同心度控制機(jī)構(gòu)配合，將各所述零件 固定定位。上述組裝裝置中，所述基座的所述腔室的側(cè)壁上成型有沿徑向延伸貫通的多個(gè)調(diào)整孔，多個(gè)所述調(diào)整孔的軸心分布在沿軸向方向的至少一個(gè)垂直于軸向的橫截面上，每個(gè)所述橫截面上至少 分布有三個(gè)所述調(diào)整孔，且每個(gè)所述橫截面上的所述調(diào)整孔分別對(duì)應(yīng)各個(gè)所述中心孔；所述平行控制機(jī)構(gòu)，包括置于各所述零件之間的墊塊，所述墊塊的至少一組相對(duì) 面為相互平行的平面；所述同心度控制機(jī)構(gòu)，包括適于與所述調(diào)整孔配合的調(diào)整螺栓，每個(gè)所述橫截面 上設(shè)置至少三個(gè)所述調(diào)整螺栓；所述定位固定機(jī)構(gòu)，包括用于依次將各所述零件和各所述零件之間的所述墊塊壓 緊的壓緊部件，與成型在各所述零件上且沿軸向延伸的定位孔配合的、至少穿過(guò)兩個(gè)所述 零件的定位針，以及與粘接劑配合將各所述零件粘接固定的絕緣棒。上述組裝裝置中，所述零件包括第一零件、第二零件和第三零件；所述腔室沿軸向 適于容納所述第二零件和所述第一零件，所述調(diào)整孔分布在兩個(gè)所述橫截面上，且分別對(duì) 應(yīng)所述第二零件和所述第一零件的所述中心孔；所述基座靠近所述第二零件的一端與壓蓋 可拆卸連接，所述壓蓋內(nèi)部成型有適于容納所述第三零件的容納腔，所述壓蓋的側(cè)壁上成 型有沿徑向延伸貫通的、分布在一個(gè)所述橫截面 上的多個(gè)所述調(diào)整孔，所述調(diào)整孔對(duì)應(yīng)所 述第三零件的所述中心孔。上述組裝裝置中，所述墊塊包括置于所述第一零件和所述第二零件之間的小墊 塊，以及置于所述第二零件和所述第三零件之間的大墊塊；所述壓緊部件包括用于依次壓 緊所述第二零件、所述小墊塊和所述第一零件的壓板，以及用于依次壓緊所述第三零件、所 述大墊塊和由所述第二零件和所述第一零件構(gòu)成的所述組合件的定位板；所述壓板與所述 基座可拆卸連接；所述定位板與所述壓蓋可拆卸連接。上述組裝裝置中，所述定位板和所述壓蓋之間還包括套筒，所述套筒適于穿過(guò)所 述第三零件的所述中心孔。上述組裝裝置中，所述定位板和所述套筒為一體結(jié)構(gòu)。上述組裝裝置中，所述壓板和所述定位板沿圓周均成型有壓緊螺孔，所述壓緊螺 孔與壓緊螺釘配合將相應(yīng)部件壓緊。上述組裝裝置中，在所述壓板和所述第二零件之間還設(shè)置有墊片。上述組裝裝置中，所述小墊塊和所述大墊塊的數(shù)量分別為至少三塊，所述定位針 的數(shù)量為至少六個(gè)。上述組裝裝置中，所述基座可拆卸地安裝在顯微鏡接口板上。本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)①本實(shí)用新型的電子束 通道組件組裝裝置，具有平行控制機(jī)構(gòu)和同心度控制機(jī)構(gòu)，能夠?qū)㈦娮邮ǖ澜M件的各零 件精確地組裝起來(lái)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中電子束通道組件精確組裝難的問(wèn)題；②本實(shí)用新型 的電子束通道組件組裝裝置，基座的腔室的側(cè)壁上成型有沿徑向延伸貫通的多個(gè)調(diào)整孔， 平行控制機(jī)構(gòu)包括置于各所述零件之間的墊塊，同心度控制機(jī)構(gòu)包括適于與調(diào)整孔配合的 調(diào)整螺栓，上述結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于實(shí)現(xiàn)，能夠確保電子束通道組件的各零件(第一零件、第二 零件和第三零件)相互平行，誤差小于0. 005mm,并能有效調(diào)整上述零件的各個(gè)中心孔的同 心度，使第一零件、第二零件的同心度誤差小于0. 002mm，第二零件和第三零件的同心度誤 差小于0. 005-0. Olmm,并且使第一零件、第二零件和第三零件圓周上定位孔的同心度誤差 小于0. 05mm，通過(guò)與定位固定機(jī)構(gòu)的配合，能夠?qū)⒌谝涣慵⒌诙慵偷谌慵奖愕?、精確地組裝在一起形成電子束通道組件，實(shí)現(xiàn)電子束通道組件的精確組裝；③本實(shí)用新型 的電子束通道組件組裝裝置，將第一零件、第二零件放置在基座的腔室中，將第三零件放置 在壓蓋的容納腔中，并且采用壓板依次壓緊第二零件、小墊塊和第一零件，采用定位板依次 壓緊第三零件、大墊塊和組合件，增強(qiáng)了組裝的靈活性和便利性，利于電子束通道組件的精 確組裝；④本實(shí)用新型的電子束通道組件組裝裝置，在定位板和壓蓋之間還設(shè)有套筒，套筒 穿過(guò)第三零件的中心孔，用于輔助調(diào)整第三零件與組合件(由第一零件和第二零件組裝而 成)的同心度；⑤本實(shí)用新型的電子束通道組件組裝裝置，在壓板和第二零件之間還設(shè)置 有墊片，使壓緊螺釘?shù)膲壕o端通過(guò)抵住該墊片將第二零件、小墊塊和第一零件壓緊，避免由 于壓緊螺釘?shù)膲壕o端與第二零件直接接觸而使第二零件發(fā)生損壞，有效保護(hù)了電子束通道 組件；⑥本實(shí)用新型的電子束通道組件組裝裝置，調(diào)整螺栓圍繞各個(gè)中心孔均勻排布，以準(zhǔn) 確調(diào)整同心度，確保滿足精確度要求。

為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本實(shí)用新型的具體實(shí)施 例并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明，其中圖1是本實(shí)用新型的組裝裝置在組裝第一零件和第二零件時(shí)的過(guò)程示意圖；圖2是第一零件和第二零件組裝后組裝裝置的局部剖視圖；圖3是第一零件和第二零件組裝后組裝裝置的仰視圖； 圖4是本實(shí)用新型的組裝裝置在組裝組合件和第三零件時(shí)的過(guò)程示意圖；圖5是組合件和第三零件組裝后組裝裝置的局部剖視圖；圖6是組合件和第三零件組裝后組裝裝置的俯視圖。圖中附圖標(biāo)記表示為1-底座，2-第一零件，3-小墊塊，4-第二零件，5-調(diào)整螺 栓，6-墊片，7-壓板，8-壓緊螺栓，9-定位針，10-顯微鏡接口板，11-第三零件，12-定位板， 13-壓蓋，14-大墊塊，15-組合件，16-套筒，17-調(diào)整孔。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型所涉及的電子束通道組件為發(fā)射燈絲發(fā)射出來(lái)的電子束的行進(jìn)通道， 所述電子束通道組件的各零件包括第一零件2、第二零件4和第三零件11，所述第一零件2、 所述第二零件4和所述第三零件11的中心均成型有適于所述電子束通過(guò)的中心孔。如圖1-6所示，是本實(shí)用新型電子束通道組件組裝裝置的優(yōu)選實(shí)施例。所述電子 束通道組件組裝裝置包括基座1、設(shè)置于所述基座1上的平行控制機(jī)構(gòu)、同心度控制機(jī)構(gòu) 和定位固定機(jī)構(gòu)。其中，所述基座1可拆卸地安裝在顯微鏡接口板10上，所述顯微鏡接口板10用于 將所述電子束通道組件組裝裝置固定安裝在所述顯微鏡上，以進(jìn)行組裝操作。所述基座1 的內(nèi)部成型有適于容納所述電子束通道組件的腔室，所述腔室的側(cè)壁上成型有沿徑向延伸 貫通的多個(gè)調(diào)整孔17，多個(gè)所述調(diào)整孔17的軸心分布在沿軸向方向的至少一個(gè)垂直于軸 向的橫截面上，每個(gè)所述橫截面上至少分布有三個(gè)所述調(diào)整孔17，且每個(gè)所述橫截面上的 所述調(diào)整孔17分別對(duì)應(yīng)各個(gè)所述中心孔。在本實(shí)施例中，所述腔室沿軸向適于容納所述第 二零件4和所述第一零件2，所述調(diào)整孔17分布在兩個(gè)所述橫截面上，且分別對(duì)應(yīng)所述第二零件4和所述第一零件2的所述中心孔。所述基座1靠近所述第二零件4的一端與壓蓋 13可拆卸連接，所述壓蓋13內(nèi)部成型有適于容納所述第三零件11的容納腔，所述壓蓋13 的側(cè)壁上成型有沿徑向延伸貫通的、分布在一個(gè)所述橫截面上的多個(gè)所述調(diào)整孔17，所述 調(diào)整孔17對(duì)應(yīng)所述第三零件11的所述中心孔。在本實(shí)施例中，每個(gè)所述橫截面上均分布 有三個(gè)所述調(diào)整孔17。所述平行控制機(jī)構(gòu)用于使所述電子束通道組件中各所述零件之間相互平行。所述 平行控制機(jī)構(gòu)包括置于各所述零件之間的墊塊。在本實(shí)施例中，所述墊塊包括置于所述第 一零件2和所述第二零件4之間的小墊塊3，以及置于所述第二零件4和所述第三零件11 之間的大墊塊14。在本實(shí)施例中，所述墊塊的至少一組相對(duì)面為相互平行的平面(在本實(shí) 施例中，所述墊塊為市售件)；所述小墊塊3和所述大墊塊14的數(shù)量分別至少三塊，在本實(shí) 施例中，為各三塊。所述同心度控制機(jī)構(gòu)用于控制成型在各所述零件上、適于電子束穿過(guò)的各個(gè)所述 中心孔之間的同心度。所述同心度控制機(jī)構(gòu)包括適于與所述調(diào)整孔17配合的調(diào)整螺栓5， 每個(gè)所述橫截面上都設(shè)置至少三個(gè)所述調(diào)整螺栓5，在本實(shí)施例中，每個(gè)所述橫截面上都設(shè) 置三個(gè)所述調(diào)整螺栓5。所述定位固定機(jī)構(gòu)與所述平行控制機(jī)構(gòu)和所述同心度控制機(jī)構(gòu)配合，將各所述零 件固定定位。所述定位固定機(jī)構(gòu)包括用于依次將各所述零件和各所述零件之間的所述墊 塊壓緊的壓緊部件，與成型在各所述零件上且沿軸向延伸的定位孔配合的、至少穿過(guò)兩個(gè) 所述零件的定位針9，以及與粘接劑配合將各所述零件粘接固定的絕緣棒。所述定位針9的 數(shù)量為至少六個(gè)，在本實(shí)施例中，所述定位針9包括三個(gè)較短定位針和三個(gè)較長(zhǎng)定位針，較 短所述定位針9用于將所述第一零件2和所述第二零件4定位，較長(zhǎng)所述定位針9用于將 所述第一零件2、所述第二零件4和所 述第三零件11定位。在本實(shí)施例中，所述壓緊部件包 括用于依次壓緊所述第二零件4、所述小墊塊3和所述第一零件2的壓板7，以及用于依次 壓緊所述第三零件11、所述大墊塊14和由所述第二零件4和所述第一零件2構(gòu)成的所述 組合件15的定位板12。其中，所述壓板7與所述基座1可拆卸連接，所述定位板12與所 述壓蓋13可拆卸連接。所述壓板7和所述定位板12沿圓周均成型有壓緊螺孔，所述壓緊 螺孔與壓緊螺釘8配合將相應(yīng)部件壓緊。在所述壓板7和所述第二零件4之間還設(shè)置有墊 片6 ；在所述定位板12和所述壓蓋13之間還包括套筒16，所述套筒16適于穿過(guò)所述第三 零件11的所述中心孔，在本實(shí)施例中，所述定位板12和所述套筒16為一體結(jié)構(gòu)。利用本實(shí)用新型提供的所述組裝裝置組裝所述電子束通道組件需要在光學(xué)顯微 鏡的配合下完成，具體工作過(guò)程詳述如下第一步，將所述顯微鏡接口板10固定在所述光學(xué)顯微鏡上。第二步，將所述第一零件2放入所述底座1的所述腔室中并用所述調(diào)整螺栓5固 定，在所述第一零件2的上表面沿圓周均勻放置三塊所述小墊塊3，再將所述第二零件4放 置在所述小墊塊3的上表面并用其他所述調(diào)整螺栓5固定；再將三個(gè)較短的所述定位針9 自上而下依次穿過(guò)成型在所述第二零件4和所述第一零件2圓周上的所述定位孔，使所述 第一零件2和所述第二零件4在圓周向定位；在所述第二零件4的上表面放置所述墊片6， 在所述墊片6的上面放置所述壓板7，使所述壓板7與所述底座1固定連接；將所述壓緊螺 栓8旋進(jìn)成型在所述壓板7上的所述壓緊通孔，依次將所述壓板7、所述墊片6、所述第二零件4、所述小墊塊3和所述第一零件2適當(dāng)壓緊。第三步，此時(shí)，自上而下的所述壓板7、所述墊片6、所述第二零件4、所述小墊塊3 和所述第一零件2、所述底座1等已經(jīng)連接為一個(gè)整體，從所述顯微鏡接口板10上取下所述 整體，并上下顛倒，使所述壓板7與所述顯微鏡接口板10固定連接，適當(dāng)松開(kāi)各個(gè)所述調(diào)整 螺栓5，在所述光學(xué)顯微鏡下調(diào)整所述第一零件2和所述第二零件4的所述中心孔的同心 度，直至滿足精度要求，使其誤差小于0. 002mm,再擰緊所述調(diào)整螺栓5，至此所述第一零件 2和所述第二零件4已裝配好形成所述組合件15，如圖1-3所示。第四步，將調(diào)整好同心度的所述整體再次上下顛倒，使所述底座1再與所述顯微 鏡接口板10固定連接。第五步，在所述底座1的上表面安裝所述壓蓋13 ；所述組合件15的上表面沿圓周 均勻放置三塊所述大墊塊14，再將所述第三零件11放置在所述大墊塊14的上表面并使所 述套筒16穿過(guò)所述第三零件11的所述中心孔，用三個(gè)較長(zhǎng)的所述定位針9自上而下將穿 過(guò)成型在所述第三零件11、所述第二零件4和所述第一零件2圓周上的其他所述定位孔，使 所述第三零件11、所述第二零件4和所述第一零件2在圓周向定位；將所述壓緊螺栓8穿 過(guò)成型在所述定位板12上的所述壓緊通孔并與所述壓蓋13上對(duì)應(yīng)的螺孔緊固配合，依次 將所述定位板12、所述壓蓋13、所述套筒16、所述第三零件11、所述大墊塊14和所述組合 件15適當(dāng)壓緊。 第六步，在所述光學(xué)顯微鏡下，通過(guò)所述壓蓋13上的所述調(diào)整螺栓5，調(diào)整所述組 合件15和所述第三零件11的同心度，直至滿足精度要求，誤差小于0. 005-0. 01mm，再擰緊 所述壓緊螺栓8，至此所述第三零件11和所述組合件15已裝配好，如圖4-6所示。第七步，取出上述六個(gè)所述定位針9，在原來(lái)所述定位針9的位置插入所述絕緣 柱，所述絕緣柱會(huì)將所述第一零件2、所述第二零件4和所述第三零件11粘接成一體形成所 述電子束通道組件，從所述組裝裝置上取下已經(jīng)組裝好所述電子束通道組件，并取出所述 小墊塊3和所述大墊塊14，至此所述電子束通道組件已經(jīng)裝配完成。在其他實(shí)施例中，所述定位板12和所述套筒16可為分體結(jié)構(gòu)，以方便操作。而且， 在每個(gè)所述橫截面上可分布四個(gè)等更多的所述調(diào)整孔17，以提高精度，方便操作。顯然，上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說(shuō)明所作的舉例，而并非對(duì)實(shí)施方式的限定。對(duì) 于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或 變動(dòng)。這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見(jiàn)的變化或 變動(dòng)仍處于本實(shí)用新型創(chuàng)造的保護(hù)范圍之中。
權(quán)利要求一種電子束通道組件組裝裝置，其特征在于包括基座(1)，其內(nèi)部成型有適于容納所述電子束通道組件的腔室；平行控制機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述基座(1)上，用于使所述電子束通道組件中各零件之間相互平行；同心度控制機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述基座(1)上，用于控制成型在各所述零件上、適于電子束穿過(guò)的各個(gè)中心孔之間的同心度；定位固定機(jī)構(gòu)，與所述平行控制機(jī)構(gòu)和所述同心度控制機(jī)構(gòu)配合，將各所述零件固定定位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組裝裝置，其特征在于所述基座(1)的所述腔室的側(cè)壁上成型有沿徑向延伸貫通的多個(gè)調(diào)整孔(17)，多個(gè)所 述調(diào)整孔(17)的軸心分布在沿軸向方向的至少一個(gè)垂直于軸向的橫截面上，每個(gè)所述橫 截面上至少分布有三個(gè)所述調(diào)整孔(17)，且每個(gè)所述橫截面上的所述調(diào)整孔(17)分別對(duì) 應(yīng)各個(gè)所述中心孔；所述平行控制機(jī)構(gòu)，包括置于各所述零件之間的墊塊，所述墊塊的至少一組相對(duì)面為 相互平行的平面；所述同心度控制機(jī)構(gòu)，包括適于與所述調(diào)整孔(17)配合的調(diào)整螺栓(5)，每個(gè)所述橫 截面上設(shè)置至少三個(gè)所述調(diào)整螺栓(5)；所述定位固定機(jī)構(gòu)，包括用于依次將各所述零件和各所述零件之間的所述墊塊壓緊的 壓緊部件，與成型在各所述零件上且沿軸向延伸的定位孔配合的、至少穿過(guò)兩個(gè)所述零件 的定位針(9)，以及與粘接劑配合將各所述零件粘接固定的絕緣棒。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的組裝裝置，其特征在于所述零件包括第一零件(2)、第二零 件(4)和第三零件(11)；所述腔室沿軸向適于容納所述第二零件(4)和所述第一零件(2)， 所述調(diào)整孔(17)分布在兩個(gè)所述橫截面上，且分別對(duì)應(yīng)所述第二零件(4)和所述第一零件 (2)的所述中心孔；所述基座(1)靠近所述第二零件(4)的一端與壓蓋(13)可拆卸連接， 所述壓蓋(13)內(nèi)部成型有適于容納所述第三零件(11)的容納腔，所述壓蓋(13)的側(cè)壁上 成型有沿徑向延伸貫通的、分布在一個(gè)所述橫截面上的多個(gè)所述調(diào)整孔(17)，所述調(diào)整孔 (17)對(duì)應(yīng)所述第三零件(11)的所述中心孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的組裝裝置，其特征在于所述墊塊包括置于所述第一零件(2) 和所述第二零件(4)之間的小墊塊(3)，以及置于所述第二零件(4)和所述第三零件(11) 之間的大墊塊(14)；所述壓緊部件包括用于依次壓緊所述第二零件(4)、所述小墊塊(3)和 所述第一零件(2)的壓板(7)，以及用于依次壓緊所述第三零件(11)、所述大墊塊(14)和 由所述第二零件(4)和所述第一零件(2)構(gòu)成的所述組合件(15)的定位板(12)；所述壓 板(7)與所述基座(1)可拆卸連接；所述定位板(12)與所述壓蓋(13)可拆卸連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的組裝裝置，其特征在于所述定位板(12)和所述壓蓋(13)之 間還包括套筒(16)，所述套筒(16)適于穿過(guò)所述第三零件(11)的所述中心孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的組裝裝置，其特征在于所述定位板(12)和所述套筒(16)為 一體結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的組裝裝置，其特征在于所述壓板(7)和所述定位板(12)沿 圓周均成型有壓緊螺孔，所述壓緊螺孔與壓緊螺釘(8)配合將相應(yīng)部件壓緊。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的組裝裝置，其特征在于在所述壓板(7)和所述第二零件(4) 之間還設(shè)置有墊片(6)。
9.根據(jù)權(quán)利要求4-8任一所述的組裝裝置，其特征在于所述小墊塊(3)和所述大墊 塊(14)的數(shù)量分別為至少三塊，所述定位針(9)的數(shù)量為至少六個(gè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的組裝裝置，其特征在于所述基座(1)可拆卸地安裝在顯微 鏡接口板(10)上。
專利摘要一種電子束通道組件組裝裝置，包括基座(1)，設(shè)置于所述基座(1)上的平行控制機(jī)構(gòu)、同心度控制機(jī)構(gòu)和定位固定機(jī)構(gòu)；所述基座(1)的內(nèi)部成型有適于容納所述電子束通道組件的腔室；所述平行控制機(jī)構(gòu)用于使所述電子束通道組件中各零件之間相互平行；所述同心度控制機(jī)構(gòu)用于控制成型在各所述零件上、適于電子束穿過(guò)的各個(gè)中心孔之間的同心度；所述定位固定機(jī)構(gòu)與所述平行控制機(jī)構(gòu)和所述同心度控制機(jī)構(gòu)配合，將各所述零件固定定位。本實(shí)用新型提供的電子束通道組件組裝裝置能將所述電子束通道組件精確地組裝起來(lái)。
文檔編號(hào)H01J9/00GK201594517SQ20102010304
公開(kāi)日2010年9月29日 申請(qǐng)日期2010年1月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月27日
發(fā)明者劉亞琪 申請(qǐng)人:北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司