專利名稱：電子束發(fā)生裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過使用激光來產(chǎn)生電子束的裝置。
背景技術(shù)：
通常，電子槍是指一種使電子流以細(xì)的束的形式會聚，以便排出的設(shè)備，例如電子顯微鏡、行波管、布勞恩(Braim)管等等。
現(xiàn)有技術(shù)的電子槍使用電磁波來加速穿過耦合器內(nèi)部的電子束。也就是，使電磁波穿過形成在耦合器中的耦合孔入射到耦合器的內(nèi)部。然而，耦合孔導(dǎo)致了耦合器內(nèi)部的電場失去均衡性。電場失去均衡性使電子束的發(fā)射度增大，導(dǎo)致電子束的質(zhì)量下降。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題 因此，本發(fā)明的目的是提供一種能夠減少電子束發(fā)射度的電子束發(fā)生裝置。
本發(fā)明的技術(shù)目標(biāo)不限于上面所提到的，并且本領(lǐng)域技術(shù)人員通過下面的描述可以清楚地認(rèn)識到至此未提及的其它任何技術(shù)目標(biāo)。
技術(shù)方案 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于產(chǎn)生電子束的裝置，包括外殼，所述外殼包括產(chǎn)生電子束的后部；具有電子束發(fā)射孔的前部，所述電子束發(fā)射孔用來將所述電子束發(fā)射到外部；以及將所述后部與所述前部相連接的側(cè)部，所述側(cè)部具有第一孔，并且面對所述第一孔的相對的側(cè)部具有第二孔以便減少所述第一孔引起的電場的不均衡；以及波導(dǎo)管，所述波導(dǎo)管安裝在所述側(cè)部上以便通過所述第一孔向所述外殼的內(nèi)部供給電磁波， 其中由激光產(chǎn)生的所述電子束入射到所述外殼的內(nèi)部并且被供給到所述外殼的內(nèi)部的所述電磁波加速。
可以使所述激光通過所述前部被入射到所述外殼的內(nèi)部。
所述裝置可以進(jìn)一步包括第一抽吸口，所述第一抽吸口安裝在所述側(cè)部并且通過所述第二孔排出所述外殼的內(nèi)部的空氣，以使所述外殼的內(nèi)部成為真空。
所述第二孔的形狀可以與所述第一孔的形狀不同。
所述第二孔可以形成為在一個方向伸長的形狀。
所述第二孔可以是基本橢圓的形狀或者類似跑道的形狀。
所述側(cè)部可以包括第一和第二側(cè)部，所述前部可以與所述第一側(cè)部相聯(lián)結(jié)，所述第一和第二側(cè)部可以由連接部相連接，所述第二側(cè)部可以與所述后部相聯(lián)結(jié)，并且所述第一和第二孔可以形成在所述第一外殼或第二外殼上。
所述外殼可以包括入射孔和發(fā)射孔，激光通過所述入射孔被入射到所述外殼的內(nèi)部，在所述外殼的內(nèi)部被反射的所述激光通過所述發(fā)射孔被發(fā)射出。
可以使激光通過所述電子束發(fā)射孔被入射，并且可以使從所述后部被反射的激光通過所述電子束發(fā)射孔被發(fā)射出。
3 第三孔可以形成在所述外殼的所述側(cè)部上的第一孔與第二孔之間的中部，第四孔可以形成在面對所述第三孔的相對的側(cè)部上，以便減小由所述第一孔引起的電場的不均 所述第三孔和第四孔可以具有在一個方向伸長的形狀。
所述第三孔和第四孔可以是基本橢圓的形狀或者類似跑道的形狀。
所述第二孔到第四孔可以具有相同的形狀。
第二抽吸口可以安裝在第三孔所形成的位置處，第三抽吸口可以安裝在第四孔所形成的位置處。
有益效果 根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，由于電場的均衡性得以改善，因此能夠減少電子束的發(fā)射度。
此外，與現(xiàn)有技術(shù)的激光輸入孔和激光輸出孔分別形成在外殼側(cè)部的電子束發(fā)生裝置相比，在本發(fā)明的一個示例性實(shí)施例中，只有一個孔形成在外殼的前部，用來輸入和輸出激光束，并且也用作電子束發(fā)射孔，這樣便于制造。
本發(fā)明的技術(shù)效果不限于上述技術(shù)效果，并且本領(lǐng)域技術(shù)人員通過下面的描述可以清楚地理解未提及的其它技術(shù)效果。


從下面結(jié)合附圖給出的優(yōu)選實(shí)施例的描述中，本發(fā)明的上述和其它目的和特征將變得更加明顯，附圖中 圖1是示意性地示出在理想條件下沒有耦合孔的外殼的剖視圖，圖2是示出在理想條件下沒有耦合孔的外殼的電場的曲線圖； 圖3是示意性地示出具有單個耦合孔的外殼的剖視圖，圖4是示出具有單個耦合孔的外殼的電場的曲線圖； 圖5是示意性地示出具有耦合孔和單個抽吸孔的外殼的剖視圖，圖6是示出具有具有耦合孔和單個抽吸孔的外殼的電場的曲線圖； 圖7是示意性地示出具有耦合孔和三個抽吸孔的外殼的剖視圖，圖8是示出具有具有耦合孔和三個抽吸孔的外殼的電場的曲線圖； 圖9是根據(jù)本發(fā)明一個示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置的模擬設(shè)備的布局視圖； 圖10是根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置的透視圖； 圖11是根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置垂直于χ軸切開的剖視圖； 圖12是根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置垂直于ζ軸切開的剖面透視圖； 圖13是示出根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置的抽吸孔的形狀的示意圖； 圖14是示出根據(jù)本發(fā)明第一示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置的Ll與傅立葉系數(shù) (Fourier coefficient)之間關(guān)系的曲線圖； 圖15是根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置的透視圖； 圖16是根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置垂直于χ軸切開的側(cè)面剖視圖； 圖17是根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置垂直于ζ軸切開的側(cè)面剖面透視圖； 圖18是根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置垂直于ζ軸切開的剖面透視圖； 圖19是示出根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的電子束發(fā)生裝置的L2與傅立葉系數(shù)之間關(guān)系的曲線圖； 圖20是示出根據(jù)本發(fā)明第一和第二示例性實(shí)施例的電場的角度分布的曲線圖； 以及 圖21是示出根據(jù)本發(fā)明第二示例性實(shí)施例的相對于ζ軸的y軸方向的標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)射度的模擬結(jié)果的曲線圖。
具體實(shí)施例方式在下文中，將參照附圖描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。然而，本發(fā)明的所述實(shí)施例可以改變?yōu)槠渌囊恍┬问剑⑶冶景l(fā)明的范圍不應(yīng)當(dāng)被認(rèn)為是局限于下面的實(shí)施例。本發(fā)明的實(shí)施例旨在為本領(lǐng)域技術(shù)人員更全面地解釋本發(fā)明。因此，附圖中所示的元件的形狀等被夸大來強(qiáng)調(diào)有區(qū)別的說明，并且附圖中由相同的附圖標(biāo)記所標(biāo)識的元件表示相同的元件。
需要功率大但發(fā)射度小的用于產(chǎn)生電子束的裝置。發(fā)射度ε有三個分量并且由下面所示的等式1來表示 [等式1]
權(quán)利要求
1.一種用于產(chǎn)生電子束的裝置，所述裝置包括外殼，所述外殼包括產(chǎn)生電子束的后部；具有電子束發(fā)射孔的前部，所述電子束發(fā)射孔用來將所述電子束發(fā)射到外部；以及將所述后部與所述前部相連接的側(cè)部，所述側(cè)部具有第一孔，并且面對所述第一孔的相對的側(cè)部具有第二孔以便減少所述第一孔引起的電場的不均衡；以及波導(dǎo)管，所述波導(dǎo)管安裝在所述側(cè)部上以便通過所述第一孔向所述外殼的內(nèi)部供給電磁波，其中由入射到所述外殼的內(nèi)部的激光產(chǎn)生所述電子束，并且所述電子束被供給到所述外殼的內(nèi)部的所述電磁波加速。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述激光通過所述前部被入射到所述外殼的內(nèi)部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，進(jìn)一步包括第一抽吸口，所述第一抽吸口安裝在所述側(cè)部，并且通過所述第二孔排出所述外殼內(nèi)部的空氣，以使所述外殼的內(nèi)部成為真空。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第二孔的形狀與所述第一孔的形狀不同。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第二孔形成為在一個方向伸長的形狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中，所述第二孔是基本橢圓的形狀或者類似跑道的形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述側(cè)部包括第一和第二側(cè)部，所述前部與所述第一側(cè)部相聯(lián)結(jié)，所述第一和第二側(cè)部由連接部相連接，所述第二側(cè)部與所述后部相聯(lián)結(jié)， 并且所述第一和第二孔形成在所述第一外殼或第二外殼上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述外殼包括入射孔和發(fā)射孔，激光通過所述入射孔被入射到所述外殼的內(nèi)部，在所述外殼的內(nèi)部被反射的所述激光通過所述發(fā)射孔被發(fā)射。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，使激光通過所述電子束發(fā)射孔被入射，并且使從所述后部被反射的激光通過所述電子束發(fā)射孔被發(fā)射。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，第三孔形成在所述外殼的所述側(cè)部上的第一孔與第二孔之間的中部，第四孔形成在面對所述第三孔的相對的側(cè)部上，以便減小由所述第一孔引起的電場的不均衡。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中，所述第三孔和第四孔具有在一個方向伸長的形狀。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其中，所述第三孔和第四孔是基本橢圓的形狀或者類似跑道的形狀。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中，所述第二孔到第四孔具有相同的形狀。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其中，第二抽吸口安裝在第三孔所形成的位置處，第三抽吸口安裝在第四孔所形成的位置處。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種能夠減少電子束發(fā)射度的電子束發(fā)生裝置。為此目的，根據(jù)本發(fā)明的所述電子束發(fā)生裝置包括外殼，所述外殼包括產(chǎn)生電子束的后表面部；具有電子束發(fā)射孔的前表面部，所述電子束發(fā)射孔用來將所產(chǎn)生的電子束發(fā)射到外部；以及將所述后表面部與所述前表面部相連接的側(cè)表面部，其中所述側(cè)表面部具有第一孔，并且面對所述第一孔的相對的側(cè)部具有第二孔以便減少所述第一孔引起的電場的不均衡；以及波導(dǎo)管，所述波導(dǎo)管安裝在所述側(cè)表面部上以便通過所述第一孔將電磁波供給到所述外殼的內(nèi)部。提供到所述外殼內(nèi)的激光束產(chǎn)生電子束，所產(chǎn)生的電子束被供給到所述外殼內(nèi)的所述電磁波加速。
文檔編號H01J23/06GK102187422SQ201080002969
公開日2011年9月14日 申請日期2010年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月21日
發(fā)明者樸龍?jiān)? 樸成柱, 高仁洙, 金昶范, 洪周浩, 文成益 申請人:浦項(xiàng)工科大學(xué)校產(chǎn)學(xué)協(xié)力團(tuán)