專利名稱：一種100kvr能量檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種涉及一種100KVR能量檢測裝置，特別地涉及一種用于離子注入機(jī)的能量檢測裝置。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體器件集成度越來越高，半導(dǎo)體工藝設(shè)備越來越復(fù)雜，對離子源的的束流要求也越來越高。在半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備離子注入機(jī)中，注入離子的能量是進(jìn)行離子注入時需要準(zhǔn)確控制的關(guān)鍵參數(shù)。高電壓可以直接用靜電高壓計進(jìn)行測量，但這很不方便，也不夠安全。應(yīng)用于離子注入機(jī)的常規(guī)測量，一般是采用一組高值電阻，通過測量高電壓通過高值電阻的電流來實(shí)現(xiàn)，這種方法的測量電流表處于地電位，可直接連接到控制臺上，方便觀察。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝中離子注入機(jī)設(shè)備發(fā)展的要求，本發(fā)明設(shè)計了一種用于離子注入機(jī)能量檢測裝置。本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):一種100KVR能量檢測裝置，包括:一種100KVR能量檢測裝置，包括:絕緣蓋(I)、絕緣筒(2)、PCB板(3)、緊固螺釘(4)、底座板(5)、沉頭十字螺釘(6)、沉頭引出頭(7)和印制板固定件⑶。其中所述絕緣蓋⑴和底座板(5)通過十字沉頭螺釘(6)與絕緣筒⑵相連；其中所述印制板固定件(8)和緊固螺釘(4)將PCB板(3)固定在絕緣筒(2)內(nèi)；所述引出頭
(8)固定在PCB板(3)上。本發(fā)明專利具有如下顯著優(yōu)點(diǎn):1.結(jié)構(gòu)連接穩(wěn)定可靠，性能好特點(diǎn)；2.結(jié)構(gòu)連接操作方便，保證長期工作的可靠穩(wěn)定性。


下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，但不作為對本發(fā)明專利的限定。圖1是一種100KVR能量檢測裝置的剖面圖；圖2是絕緣蓋剖面圖；圖3是沉頭引出頭剖面圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖的具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，應(yīng)該理解，這些描述都是說明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。
圖1中示出了一種100KVR能量檢測裝置，其包括:絕緣蓋(I)、絕緣筒(2)、PCB板
(3)、緊固螺釘(4)、底座板(5)、沉頭十字螺釘￠)、沉頭引出頭(7)和印制板固定件(8)。其所述的絕緣蓋(I)和底座板(5)通過十字沉頭螺釘￠)與絕緣筒(2)相連，印制板固定件(8)和緊固螺釘(4)將PCB板(3)固定在絕緣筒(2)內(nèi)，所述的引出頭(8)固定在PCB板(3)上。所述PCB板⑶采用3mm厚的環(huán)氧覆銅板，其長為471臟，寬為98mm ；圖2是所述絕緣蓋(I)的剖面圖，沉頭十字螺釘(6)通過沉孔(701)固定在絕緣筒上；引出頭過孔(102)用于固定及穿過沉孔引出頭(7)。圖3是所述沉孔引出頭的剖面圖，引出頭固定孔(701)上端為沉頭開孔，下端為帶螺紋的過孔，PCB板(3)插入沉孔引出頭狹縫(702)，再通過十字沉頭螺釘(6)插入引出頭固定孔(701)將其固定在PCB板(3)上。本發(fā)明100KVR能量檢測裝置結(jié)構(gòu)連接穩(wěn)定可靠，性能好；同時結(jié)構(gòu)連接操作方便，保證長期工作的可靠穩(wěn)定性，滿足離子注入機(jī)高可靠性高標(biāo)準(zhǔn)要求。本發(fā)明的特定實(shí)施例已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，或者慣用手段的直接替換，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步的介紹，但 不作為對本發(fā)明的限定。
權(quán)利要求
1.一種IOOKVR能量檢測裝置，包括:絕緣蓋(I)、絕緣筒(2)、PCB板(3)、緊固螺釘(4)、底座板(5)、沉頭十字螺釘￠)、沉頭引出頭(7)和印制板固定件(8)。
2.如權(quán)力要求I所述的一種100KVR能量檢測裝置，其特征在于，其中所述絕緣蓋(I)和底座板(5)通過十字沉頭螺釘(6)與絕緣筒(2)相連；其中所述印制板固定件(8)和緊固螺釘⑷將PCB板 (3)固定在絕緣筒(2)內(nèi)；所述引出頭⑶固定在PCB板(3)上。
全文摘要
一種100KVR能量檢測裝置，包括絕緣蓋(1)、絕緣筒(2)、PCB板(3)、緊固螺釘(4)、底座板(5)、沉頭十字螺釘(6)、沉頭引出頭(7)和印制板固定件(8)。其特征在于，絕緣蓋(1)和底座板(5)通過十字沉頭螺釘(6)與絕緣筒(2)相連，印制板固定件(8)和緊固螺釘(4)將PCB板(3)固定在絕緣筒(2)內(nèi)，引出頭(8)固定在PCB板(3)上。說明書對裝置工作原理進(jìn)行了詳細(xì)的說明，并給出了具體的實(shí)施方案。
文檔編號H01J37/244GK103187226SQ201110452400
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者彭彬 申請人:北京中科信電子裝備有限公司