專利名稱：一種電子管排氣臺的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種電子管的生產設備，尤其是電子管生產過程中用到的一種排氣設備。
背景技術：
在電子管的生產過程中，排氣工序是決定電子管品質的最為重要的工序。目前，多工位電子管排氣臺都能基本滿足生產的需要，工序步驟都是裝好待排電子管，抽真空，并且烘烤；對電子管加載高電壓，進行毛刺處理；當陽極，負柵極，燈絲，正柵極達到工藝要求后封管、取下。但是設備的每個工位都需要一套燈絲電源和一套陽極電源，電路連接復雜， 并且整臺設備能耗大；對電子管芯柱、陽極、排氣管根部進行冷卻的高壓空氣的流量需要靠操作者的經驗來調節(jié)，不能自動量化控制，影響產品質量的穩(wěn)定性。

實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種電子管排氣臺，采用一套燈絲電源與一套陽極電源來控制二個排位，通過程控流量計進行調節(jié)冷卻的高壓空氣，從而提高效率和產品的質量，節(jié)約能耗。本實用新型的技術方案是一種電子管排氣臺，包括機架，機械泵，擴散泵，冷阱， 工作臺，烘箱，傳動機構，電氣控制系統(tǒng)，其中，兩個機械泵和兩個擴散泵設置在機架的底部，所述機械泵通過真空管路依次連接擴散泵、冷阱，所述冷阱通過真空管路依次與四個超高真空閥和四個排位連接，待排氣的電子管安裝在排位上；所述排位設置在工作臺上；所屬烘箱設置在機架的側柱上，通過設在機架頂部的傳動機構上下運動；每個排位的冷卻空氣管路上都設置有電控流量閥；烘箱電源，機械泵、擴散泵電源，燈絲電源，正一柵、負一柵電源，陽極電源，離子流電源，毛刺電源，超高真空閥，冷卻空氣的電控流量閥都通過控制線路與電氣控制系統(tǒng)連接。所述工作臺呈長方形，8個排位呈直線設置在工作臺上。所述排位與工作臺之間依次連接有可伐、陶瓷管、可伐。所述一套燈絲電源和一套陽極電源同時控制2個排位。所述電氣控制系統(tǒng)是PLC控制系統(tǒng)。本實用新型采用的結構簡單，維護方便，整個設備布局緊湊，采用兩套機械泵和擴散泵控制8個排位，一套燈絲電源和一套陽極電源同時控制2個排位，冷卻空氣通過電控流量閥的自動調節(jié)，節(jié)約了能源，同時提高了生產效率和保證了產品質量的穩(wěn)定。

圖1是本實用新型的結構示意圖；圖2是本實用新型的工作臺排位結構示意圖；圖中1-機械泵，2-電控流量閥，3-超高真空閥，4-工作臺，5-機架，6_烘箱，7_傳動機構，8-冷講，9-擴散泵，10-電氣控制系統(tǒng)，11-陶瓷管，12-可伐，13-待排氣的電子管。
具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型作進一步詳細說明。如圖1和圖2，本實用新型提供的電子管排氣臺，包括機架5，機械泵1，擴散泵9， 冷阱8，工作臺4，烘箱6，傳動機構7，電氣控制系統(tǒng)10，其中，兩個機械泵1和兩個擴散泵9 設置在機架1的底部，所述機械泵1通過真空管路依次連接擴散泵9、冷阱8，所述冷阱8通過真空管路依次與四個超高真空閥3和四個排位連接，待排氣的電子管13安裝在排位上； 兩套機械泵、擴散泵、冷阱即可控制八個排位。所述排位設置在工作臺4上，二者之間依次連接有可伐12、陶瓷管13、可伐12 ；所述烘箱6設置在機架5的側柱上，通過設在機架5頂部的傳動機構7上下運動；每個排位的冷卻空氣管路上都設置有電控流量閥2 ；烘箱電源， 機械泵、擴散泵電源，燈絲電源，正一柵、負一柵電源，陽極電源，離子流電源，毛刺電源，超高真空閥，冷卻空氣的流量閥都通過控制線路與PLC電氣控制系統(tǒng)10連接。一套燈絲電源和一套陽極電源同時控制兩個排位。具體操作時將待排氣的電子管13安裝在排位管上，啟動電氣控制系統(tǒng)10，由于電氣控制系統(tǒng)10是PLC控制系統(tǒng)，所以電氣控制系統(tǒng)10會按照預設的排氣程序自動控制各部件工作。其工序是，啟動機械泵1排氣，當?shù)竭_真空度參數(shù)時，啟動擴散泵9，當?shù)竭_高真空度參數(shù)時，傳動機構7使烘箱6下落罩住待排氣的電子管13進行加熱，當排氣達到要求時，烘箱6自動關閉，使待排氣的電子管13冷卻至預設溫度后，啟動毛刺電源對電子管內部進行去毛刺處理，啟動燈絲電源、正一柵電源、陽極電源、負一柵電源對電子管進行老煉， 并用離子流電源來測量電子管內部因殘余氣體造成的離子流，即相對真空度。高壓空氣通過電控流量閥2對電子管芯柱、陽極、排氣管根部進行風冷，風量大小由電氣控制系統(tǒng)10預設的排氣程序控制電控流量閥2來自動調整。待排氣的電子管13的陽極，負柵極，燈絲，正柵極滿足工藝要求以后，封閉電子管，電氣控制系統(tǒng)10自動關閉整個設備，即可取下排完氣得電子管。進行下一個工作循環(huán)。本實用新型采用的結構簡單有效，維護方便，自動化程度高。采用本實用新型即用兩套機械泵和擴散泵控制8個排位，一套燈絲電源和一套陽極電源同時控制2個排位，節(jié)約了能源，提高了生產效率。每個排位都設置有單獨的超高真空閥和風冷空氣電控流量閥，使電子管在排氣的質量更穩(wěn)定，生產過程中，即使一個排位的電子管出現(xiàn)意外，電氣控制系統(tǒng)會立即關閉相應的超高真空閥和風冷空氣電控流量閥，這樣就不會影響其它排位的正常工作。當然，本實用新型還可有其它多種實施例，在不背離本實用新型精神及其實質的情況下，熟悉本領域的技術人員當可根據本實用新型做出各種相應的改變和變形，但這些相應的改變和變形都應屬于本實用新型所附的權利要求的保護范圍。
權利要求1.一種電子管排氣臺，包括機架(5)，機械泵(1)，擴散泵(9)，冷阱(8)，工作臺(4)，烘箱(6)，傳動機構(7)，電氣控制系統(tǒng)(10)，其特征在于兩個機械泵(1)和兩個擴散泵(9) 設置在機架( 的底部，所述機械泵(1)通過真空管路依次連接擴散泵(9)、冷阱(8)，所述冷阱(8)通過真空管路依次與四個超高真空閥(3)和四個排位連接，待排氣的電子管(13) 安裝在排位上；所述排位設置在工作臺(4)上；所屬烘箱(6)設置在機架(1)的側柱上，通過設在機架⑴頂部的傳動機構(7)上下運動；每個排位的冷卻空氣管路上都設置有電控流量閥O)；烘箱電源，機械泵、擴散泵電源，燈絲電源，正一柵、負一柵電源，陽極電源，離子流電源，毛刺電源，超高真空閥，冷卻空氣的電控流量閥都通過控制線路與電氣控制系統(tǒng)連接(10)。
2.根據權利要求1所述的電子管排氣臺，其特征在于所述工作臺(4)呈長方形，8個排位呈直線分布其上。
3.根據權利要求1所述的電子管排氣臺，其特征在于所述排位與工作臺(4)之間依次連接有可伐(11)、陶瓷管(12)、可伐(11)。
4.根據權利要求1所述的電子管排氣臺，其特征在于所述燈一套絲電源和一套陽極電源同時控制2個排位。
5.根據權利要求1、2、3或4所述的電子管排氣臺，其特征在于所述電氣控制系統(tǒng) (10)是PLC控制系統(tǒng)。
專利摘要本實用新型提供一種電子管排氣臺，包括機架，機械泵，擴散泵，冷阱，工作臺，烘箱，傳動機構，電氣控制系統(tǒng)，其中，機械泵、擴散泵設置在機架的底部，所述機械泵通過真空管路依次連接擴散泵、冷阱、超高真空閥和排位，待排氣的電子管安裝在工作臺的排位上；所屬烘箱通過設在機架頂部的傳動機構可順機架的側柱上下運動；每個排位的冷卻空氣管路上都設置有電控流量閥；烘箱電源，機械泵、擴散泵電源，燈絲電源，正一柵、負一柵電源，陽極電源，離子流電源，毛刺電源，超高真空閥，冷卻空氣的電控流量閥都通過控制線路與PLC電氣控制系統(tǒng)連接。本實用新型采用的結構簡單有效，提高了效率和產品的質量，節(jié)約能耗。
文檔編號H01J9/385GK202018941SQ20112010515
公開日2011年10月26日 申請日期2011年4月12日 優(yōu)先權日2011年4月12日
發(fā)明者曾朝東, 韓建軍 申請人:成都旭光電子股份有限公司