專利名稱：可加光纖的透射電子顯微鏡樣品桿的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及透射電子顯微鏡配件，更具體地，涉及一種可加光纖的透射電子顯微鏡樣品桿。
背景技術(shù)：
透射電子顯微鏡(簡(jiǎn)稱透射電鏡)中的原位技術(shù)是當(dāng)前迅速發(fā)展的研究領(lǐng)域。由于其可以在接近實(shí)際應(yīng)用條件下對(duì)材料和器件的結(jié)構(gòu)變化和物理性質(zhì)進(jìn)行研究，有利于在微觀尺度準(zhǔn)確地了解材料和器件的實(shí)際使用效果。光學(xué)性質(zhì)是材料和器件的一個(gè)重要性質(zhì)，可以反映材料和器件的諸多物理性能，如發(fā)光特性可以反映半導(dǎo)體材料的能級(jí)特征，熒光光譜可以反映特定分子的位置和種類等。當(dāng)需要研究光輻射對(duì)樣品的影響時(shí)，需要將光信號(hào)照射到樣品上，研究光輻射下樣品的性能變化。當(dāng)需要研究樣品上的發(fā)光情況，如電子束輻照激發(fā)的光信號(hào)，或者是其他原因產(chǎn)生的光信號(hào)，就需要將光信號(hào)通過光纖或光導(dǎo)管導(dǎo)出電鏡之外，用光譜儀進(jìn)行分析。目前，在透射電鏡樣品桿上加裝光纖以實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的導(dǎo)入 和導(dǎo)出，是原位電鏡技術(shù)研究的一個(gè)重要內(nèi)容。現(xiàn)有的技術(shù)方案主要有以下兩種第一種方案是在透射電鏡的鏡筒上插入一個(gè)光學(xué)部件，能夠?qū)⒐庑盘?hào)照射到樣品上或者通過光纖或光導(dǎo)管收集來自樣品的信號(hào)。由于鏡筒部分空間相對(duì)較大，有利于設(shè)計(jì)安裝比較復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)，較易實(shí)現(xiàn)真空密封，同時(shí)也不用對(duì)樣品桿進(jìn)行任何的改動(dòng)，從工藝角度而言難度較小。為了提高光信號(hào)的收集范圍，在光學(xué)部件的頭部會(huì)設(shè)計(jì)一個(gè)內(nèi)凹的反射面，以增加信號(hào)收集的立體角，讓更多的光信號(hào)進(jìn)入光導(dǎo)管或光纖。缺陷在于為了提高光信號(hào)的收集效率，需要將收集探頭盡量的靠近樣品。由于透射電鏡的放置樣品的部位結(jié)構(gòu)復(fù)雜，探頭很難貼近樣品，信號(hào)強(qiáng)度較難提高。另外，由于需要對(duì)透射電鏡的鏡筒進(jìn)行改造，有一定的風(fēng)險(xiǎn)，必須在電鏡廠商的協(xié)助下完成。而且系統(tǒng)被限制在特定的透射電鏡上，限制了其使用范圍。第二種方案是通過在樣品桿內(nèi)部設(shè)置光導(dǎo)管或光纖傳送光信號(hào)，光導(dǎo)管或光纖通過設(shè)置在樣品桿內(nèi)部中空部分實(shí)現(xiàn)樣品和外部光源或光譜儀之間的連通。通過將光導(dǎo)管或光纖安置在標(biāo)準(zhǔn)樣品桿上，可以靈活地在任何一臺(tái)對(duì)應(yīng)型號(hào)的透射電鏡上進(jìn)行同樣的研究，大大擴(kuò)展了其使用范圍。但是由于光導(dǎo)管或光纖是通過樣品桿內(nèi)部傳導(dǎo)光信號(hào)，對(duì)于雙傾樣品桿，桿身內(nèi)部設(shè)有驅(qū)動(dòng)樣品桿Y軸方向傾轉(zhuǎn)的傳動(dòng)裝置，一方面光導(dǎo)管或光纖勢(shì)必和這些機(jī)械裝置相互干擾，另一方面也限制了光纖的數(shù)量。同時(shí)為了提高光信號(hào)的收集效率，也需要在樣品桿頭部安裝一個(gè)反射鏡面。但盡管如此，其光信號(hào)傳輸?shù)哪芰θ匀徊粡?qiáng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述缺陷，提供一種可加光纖的透射電子顯微鏡樣品桿，減少樣品桿內(nèi)部光纖與傾轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置相互干擾。本發(fā)明的另一個(gè)目的是在樣品桿正常操作的前提下，在樣品桿中裝載較多數(shù)量的光纖，從而不需要額外設(shè)置反射鏡面來提高光信號(hào)收集效率。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種可加光纖的透射電子顯微鏡樣品桿，所述光纖通過所述樣品桿從透射電鏡外部進(jìn)入透射電鏡樣品室，用于將透射電鏡外部的光信號(hào)施加給樣品室內(nèi)的樣品或是將樣品室內(nèi)的樣品產(chǎn)生的光信號(hào)傳導(dǎo)至透射電鏡外部，所述樣品桿包括樣品桿頭，所述樣品桿頭設(shè)有載臺(tái)，用于承載樣品；樣品桿身，所述樣品桿身設(shè)有密封圈，用于在將樣品桿放入透射電子顯微鏡樣品室時(shí)保持樣品室的S封；以及手握柄，在至少部分的樣品桿身外表面處設(shè)有至少一條導(dǎo)槽沿桿身長度方向延伸至樣品桿頭，光纖設(shè)置在所述至少一條導(dǎo)槽內(nèi)。在一種實(shí)施方式中，所述樣品桿身外表面沿桿身長度方向設(shè)有至少一條導(dǎo)槽，在 密封圈處的導(dǎo)槽內(nèi)鋪設(shè)環(huán)氧樹脂固化劑密封，以保證密封圈處的密封。所述樣品桿身可以包括同軸設(shè)置的前端細(xì)桿和后端粗桿，所述前端細(xì)桿與后端粗桿通過錐形過渡段連接，所述前端細(xì)桿與樣品桿頭連接，后端粗桿與手握柄連接，所述密封圈設(shè)置在后端粗桿上。在一種實(shí)施方式中，所述前端細(xì)桿外表面沿桿身長度方向設(shè)有至少一條導(dǎo)槽，在錐形過渡段開設(shè)有通孔，所述導(dǎo)槽在桿身表面延伸至所述通孔，樣品桿頭處的光纖沿所述至少一條導(dǎo)槽經(jīng)通孔進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部。在一種實(shí)施方式中，所述前端細(xì)桿外表面沿桿身長度方向設(shè)有至少一條導(dǎo)槽，并且在后端粗桿上設(shè)置一通孔；所述導(dǎo)槽在桿身表面經(jīng)由錐形過渡段延伸至所述通孔，樣品桿頭處的光纖沿所述至少一條導(dǎo)槽經(jīng)所述通孔進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部；所述密封圈設(shè)置在所述通孔與手握柄之間的后端粗桿上。在一種實(shí)施方式中，所述透射電子顯微鏡樣品桿是雙傾樣品桿，在手握柄的端部設(shè)有轉(zhuǎn)柄，所述光纖進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部后，從手握柄內(nèi)部經(jīng)手握柄的轉(zhuǎn)柄處向外伸出。在一種實(shí)施方式中，所述密封圈與手握柄之間的后端粗桿表面上設(shè)有引出孔，光纖進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部后經(jīng)所述引出孔向外伸出，并且在所述引出孔處通過環(huán)氧樹脂固化劑密封。優(yōu)選地，所述導(dǎo)槽的槽寬為0. 5-lmm。優(yōu)選地，所述樣品桿頭處的光纖的截面設(shè)置為朝著處于初始位置的載臺(tái)表面。在一種實(shí)施方式中，所述樣品桿頭處光纖的截面設(shè)置為與處于初始位置的載臺(tái)表面所成夾角在預(yù)定的角度范圍內(nèi)。所述預(yù)定的角度范圍可以為0-40度。本發(fā)明通過將至少部分光纖鋪設(shè)在樣品桿表面的導(dǎo)槽內(nèi)，盡量避開樣品桿內(nèi)部的傾轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置，從而避免了光纖和雙傾樣品桿內(nèi)部傾轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置相互影響。且本發(fā)明可以在保證機(jī)械強(qiáng)度的基礎(chǔ)上盡可能地增加光纖數(shù)量，有利于提高光信號(hào)傳輸量以及可靠性。本發(fā)明中，光纖的數(shù)量取決于導(dǎo)槽的寬度以及數(shù)量。由于樣品桿外表面積比較大，在保證機(jī)械強(qiáng)度的基礎(chǔ)上，可以開設(shè)盡量多的導(dǎo)槽，因此可以大大地增加光纖的數(shù)量，有利于提高光信號(hào)的收集效率。


圖1為根據(jù)本發(fā)明的透射電子顯微鏡樣品桿的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1所示的透射電子顯微鏡樣品桿沿中軸線切開的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為根據(jù)本發(fā)明的傾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為根據(jù)本發(fā)明的透射電子顯微鏡樣品桿的另一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。如圖1和圖2所示，本發(fā)明的可加光纖的的透射電子顯微鏡樣品桿，光纖通過樣品桿從透射電鏡外部進(jìn)入透射電鏡樣品室，用于將透射電鏡外部的光信號(hào)施加給樣品室內(nèi)的 樣品或是將樣品室內(nèi)的樣品產(chǎn)生的光信號(hào)傳導(dǎo)至透射電鏡外部。樣品桿包括樣品桿頭1、樣品桿身和手握柄4，樣品桿頭I設(shè)有載臺(tái)7，樣品被承載在載臺(tái)7上。樣品桿身為中空結(jié)構(gòu)，外表面設(shè)有密封圈5,用于在將樣品桿放入透射電子顯微鏡樣品室時(shí)保持樣品室的密封。在至少部分的樣品桿身外表面處設(shè)有至少一條導(dǎo)槽沿桿身長度方向延伸至樣品桿頭，光纖設(shè)置在至少一條導(dǎo)槽內(nèi)。圖1和圖2示出的樣品桿與FEI公司的樣品桿類似，樣品桿身可以包括同軸設(shè)置的如端細(xì)桿2和后端粗桿3。如端細(xì)桿2和后端粗桿3均為中空結(jié)構(gòu)。如端細(xì)桿2與后端粗桿3可以通過錐形過渡段9連接。其中，前端細(xì)桿2與樣品桿頭I連接，后端粗桿3與手握柄4連接。密封圈5設(shè)置在后端粗桿3上。圖中所示的樣品桿為雙傾樣品桿，在樣品桿身內(nèi)部設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)載臺(tái)7在Y軸傾轉(zhuǎn)的傾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器10。傾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器10可以具有類似曲軸的結(jié)構(gòu)，較常見的情形可以如圖3所示，傾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器10由前端軸101、橢圓柱102和后端軸103連接組成。其中，前端軸101與載臺(tái)7連接，傾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器10的后端軸103依次從樣品桿頭I穿過前端細(xì)桿2、后端粗桿3，直至手握柄4?？梢栽谑治毡?末端設(shè)置一個(gè)轉(zhuǎn)柄6，通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)柄6可以方便地帶動(dòng)傾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器10在Y軸方向傾轉(zhuǎn)樣品。由于前端細(xì)桿2直徑較小，且內(nèi)部包含了后端軸103，為了避免當(dāng)后端軸103轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)磨損光纖，因此光纖最好不從前端細(xì)桿2中通過。后端粗桿3的直徑較粗，其內(nèi)部空間較大，光纖和傾轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器10之間的影響較小。因此光纖可以從后端粗桿3的內(nèi)部通過。在一個(gè)實(shí)施例中，前端細(xì)桿2外表面沿桿身長度方向設(shè)有至少一條導(dǎo)槽21，在錐形過渡段9開設(shè)有通孔91，導(dǎo)槽21在桿身表面延伸至通孔91，樣品桿頭I處的光纖8沿至少一條導(dǎo)槽21經(jīng)通孔91進(jìn)入后端粗桿3的內(nèi)部。在一個(gè)實(shí)施例中，通孔91可以設(shè)置在錐形過渡段9靠近前端細(xì)桿2的一端，這樣光纖8可以沿前端細(xì)桿2的至少一條導(dǎo)槽內(nèi)直接經(jīng)通孔進(jìn)入桿身內(nèi)部，而不需將導(dǎo)槽延伸至錐形過渡段9。在另一個(gè)實(shí)施例中，通孔91可以設(shè)置在錐形過渡段9靠近后端粗桿3的一端，這樣需要將導(dǎo)槽延伸至錐形過渡段9的外表面，光纖8可以沿前端細(xì)桿2的至少一條導(dǎo)槽內(nèi)進(jìn)入錐形過渡段9外表面的導(dǎo)槽，再經(jīng)通孔進(jìn)入后端粗桿3。這個(gè)實(shí)施例的好處在于，在后端粗桿3內(nèi)部的光纖可以更加靠近桿身的圓周，更好地避免與桿身內(nèi)部中心的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相互干擾。在一個(gè)實(shí)施例中，前端細(xì)桿2外表面沿桿身長度方向設(shè)有至少一條導(dǎo)槽21,在過渡段9表面沿桿身長度方向也設(shè)有至少一條導(dǎo)槽(圖中未示出)，并且在后端粗桿上設(shè)置一通孔(圖中未示出)；導(dǎo)槽在桿身表面經(jīng)由錐形過渡段延伸至通孔，樣品桿頭處的光纖沿至少一條導(dǎo)槽經(jīng)所通孔進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部；在該實(shí)施例中，密封圈5設(shè)置在通孔與手握柄4之間的后端粗桿3上。光纖8進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部后，可以從手握柄4內(nèi)部經(jīng)手握柄的轉(zhuǎn)柄6處向外伸出。也可以在密封圈與5手握柄4之間的后端粗桿3表面上設(shè)有引出孔(圖中未示出)，光纖8進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部后經(jīng)引出孔向外伸出，與外面的光源或光譜儀連接。為了保證樣品室內(nèi)部的真空度，還需要在引出孔處通過環(huán)氧樹脂固化劑密封。這樣的好處在于即使涂覆樹脂會(huì)影響樣品桿表面的平整度，而由于涂覆部位在電鏡外部，因此不會(huì)影響樣品桿的插拔操作。并且在拆卸光纖的時(shí)候也很方便，不用擔(dān)心在刮除樹脂時(shí)引起樣品桿表面不夠平整。在其他的實(shí)施例中，也可以將導(dǎo)槽設(shè)置成貫穿樣品桿身表面，讓光纖8完全從樣品桿的外側(cè)通過，形成與內(nèi)部獨(dú)立的光通道。在如圖4所示的實(shí)施例中，前端細(xì)桿2外表面沿桿身長度方向設(shè)有至少一條導(dǎo)槽21,后端粗桿3外表面沿桿身長度方向也設(shè)有至少一條導(dǎo)槽31，光纖8沿前端細(xì)桿2表面的至少一條導(dǎo)槽21延伸，從密封圈5內(nèi)部延伸至后端粗桿3表面的至少一條導(dǎo)槽31，光纖可以從后端粗桿3表面的至少一條導(dǎo)槽31直接延伸出來與光源或光譜儀連接。為了便于保持透射電鏡內(nèi)部的真空度，需要保證密封圈處的密封。 這種情況下，將光纖鋪設(shè)好之后，還需在密封圈5處的導(dǎo)槽31內(nèi)鋪設(shè)環(huán)氧樹脂類固化劑密封，并將其加工成和樣品桿身平滑一致的外形，以免導(dǎo)槽31在通過密封圈時(shí)導(dǎo)致密封圈處密封不好。由于透射電鏡在工作時(shí)需要保持很高的真空度，因此該實(shí)施例對(duì)加工精度要求較聞。在上述的實(shí)施例中，由于樣品桿的載臺(tái)7是可以進(jìn)行Y軸傾轉(zhuǎn)的，即載臺(tái)的位置是可變的，為了便于表述樣品桿頭處的光纖截面與載臺(tái)的相對(duì)關(guān)系，定義載臺(tái)的初始位置載臺(tái)7未進(jìn)行任何傾轉(zhuǎn)時(shí)所處的位置。進(jìn)一步地，當(dāng)載臺(tái)處于初始位置時(shí)，把樣品桿放入透射電鏡樣品室內(nèi)，載臺(tái)表面基本水平。定義了這樣一個(gè)初始位置后，就可以將樣品桿頭處光纖的截面設(shè)置為朝著處于初始位置的載臺(tái)表面。但如果將所有光纖的截面均設(shè)置成與處于初始位置的載臺(tái)表面相面對(duì)，當(dāng)載臺(tái)進(jìn)行Y軸傾轉(zhuǎn)時(shí)，有可能光纖收集不到載臺(tái)上樣品發(fā)出的光信號(hào)。因此光纖的截面最好設(shè)置成與處于初始位置的載臺(tái)表面成一定的夾角，該夾角的大小在預(yù)定的角度范圍內(nèi)。這里的“預(yù)定的角度范圍”與載臺(tái)Y軸傾轉(zhuǎn)的角度有關(guān)，例如可以為0-40度。在本發(fā)明中，光纖的數(shù)量取決于導(dǎo)槽的寬度及數(shù)量。一般的樣品桿自身直徑較小，導(dǎo)槽的槽寬可以設(shè)置在0.5-lm m之間。由于樣品桿外表面積比較大，在保證機(jī)械強(qiáng)度的基礎(chǔ)上，可以盡量多地開設(shè)導(dǎo)槽，從而大大增加光纖的數(shù)量，而且在本發(fā)明中幾乎規(guī)避了光纖和雙傾樣品桿內(nèi)部的傾轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置磨損的可能，提高了雙傾樣品桿的可靠性和耐用性。本發(fā)明的可加光纖的透射電子顯微鏡樣品桿具有很高的通用性，可用于同一廠家的透射電鏡，樣品桿的具體結(jié)構(gòu)則可以因透射電鏡廠家的設(shè)計(jì)不同而不同。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種可加光纖的透射電子顯微鏡樣品桿，所述光纖通過所述樣品桿從透射電鏡外部進(jìn)入透射電鏡樣品室，用于將透射電鏡外部的光信號(hào)施加給樣品室內(nèi)的樣品或是將樣品室內(nèi)的樣品產(chǎn)生的光信號(hào)傳導(dǎo)至透射電鏡外部，所述樣品桿包括 樣品桿頭，所述樣品桿頭設(shè)有載臺(tái)，用于承載樣品； 樣品桿身，所述樣品桿身設(shè)有密封圈，用于在將樣品桿放入透射電子顯微鏡樣品室時(shí)保持樣品室的S封；以及 手握柄， 其特征在于，在至少部分的樣品桿身外表面處設(shè)有至少一條導(dǎo)槽沿桿身長度方向延伸至樣品桿頭，光纖設(shè)置在所述至少一條導(dǎo)槽內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電子顯微鏡樣品桿，其特征在于，所述樣品桿身外表面沿桿身長度方向設(shè)有至少一條導(dǎo)槽，在密封圈處的導(dǎo)槽內(nèi)鋪設(shè)環(huán)氧樹脂固化劑密封，以保證密封圈處的密封。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透射電子顯微鏡樣品桿，其特征在于，所述樣品桿身包括同軸設(shè)置的前端細(xì)桿和后端粗桿，所述前端細(xì)桿與后端粗桿通過錐形過渡段連接，所述前端細(xì)桿與樣品桿頭連接，后端粗桿與手握柄連接，所述密封圈設(shè)置在后端粗桿上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的透射電子顯微鏡樣品桿，其特征在于，所述前端細(xì)桿外表面沿桿身長度方向設(shè)有至少一條導(dǎo)槽，在錐形過渡段開設(shè)有通孔，所述導(dǎo)槽在桿身表面延伸至所述通孔，樣品桿頭處的光纖沿所述至少一條導(dǎo)槽經(jīng)通孔進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的透射電子顯微鏡樣品桿，其特征在于，所述前端細(xì)桿外表面沿桿身長度方向設(shè)有至少一條導(dǎo)槽，并且在后端粗桿上設(shè)置一通孔；所述導(dǎo)槽在桿身表面經(jīng)由錐形過渡段延伸至所述通孔，樣品桿頭處的光纖沿所述至少一條導(dǎo)槽經(jīng)所述通孔進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部； 所述密封圈設(shè)置在所述通孔與手握柄之間的后端粗桿上。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的透射電子顯微鏡樣品桿，其特征在于，所述透射電子顯微鏡樣品桿是雙傾樣品桿，在手握柄的端部設(shè)有轉(zhuǎn)柄，所述光纖進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部后，從手握柄內(nèi)部經(jīng)手握柄的轉(zhuǎn)柄處向外伸出。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的透射電子顯微鏡樣品桿，其特征在于，所述密封圈與手握柄之間的后端粗桿表面上設(shè)有引出孔，光纖進(jìn)入后端粗桿內(nèi)部后經(jīng)所述引出孔向外伸出，并且在所述引出孔處通過環(huán)氧樹脂固化劑密封。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的透射電子顯微鏡樣品桿，其特征在于，所述導(dǎo)槽的槽寬為0. 5-lmm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的透射電子顯微鏡樣品桿，其特征在于，所述樣品桿頭處的光纖的截面設(shè)置為朝著處于初始位置的載臺(tái)表面。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的透射電子顯微鏡樣品桿，其特征在于，所述樣品桿頭處光纖的截面設(shè)置為與處于初始位置的載臺(tái)表面所成夾角在預(yù)定的角度范圍內(nèi)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的透射電子顯微鏡樣品桿，其特征在于，所述預(yù)定的角度范圍為0-40度。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種可加光纖的透射電子顯微鏡樣品桿，所述光纖通過所述樣品桿從透射電鏡外部進(jìn)入透射電鏡樣品室，用于將透射電鏡外部的光信號(hào)施加給樣品室內(nèi)的樣品或是將樣品室內(nèi)的樣品產(chǎn)生的光信號(hào)導(dǎo)至透射電鏡外部，所述樣品桿包括樣品桿頭，所述樣品桿頭設(shè)有載臺(tái)，用于承載樣品；樣品桿身，所述樣品桿身設(shè)有密封圈，用于在將樣品桿放入透射電子顯微鏡樣品室時(shí)保持樣品室的密封以及手握柄，在至少部分的樣品桿身外表面處設(shè)有至少一條導(dǎo)槽沿桿身長度方向延伸至樣品桿頭，光纖設(shè)置在所述至少一條導(dǎo)槽內(nèi)。本發(fā)明將至少部分光纖鋪設(shè)在樣品桿表面的導(dǎo)槽內(nèi)，盡量避開樣品桿內(nèi)部的傾轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置，從而避免了光纖和雙傾樣品桿內(nèi)部傾轉(zhuǎn)傳動(dòng)裝置相互影響。
文檔編號(hào)H01J37/20GK103000480SQ20121050112
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月29日
發(fā)明者姚湲, 楊新安, 段曉峰 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院物理研究所