一種射頻電場(chǎng)增強(qiáng)的單光子-化學(xué)電離源的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及質(zhì)譜儀電離源，具體的說是一種射頻電場(chǎng)增強(qiáng)的單光子-化學(xué)電離源，該電離源包括真空紫外光源，離子產(chǎn)生和傳輸區(qū)以及電離室真空腔體；在電離離子產(chǎn)生和傳輸區(qū)內(nèi)平行、間隔設(shè)置有若干傳輸電極和真空差分孔電極；沿電極的軸線方向都開有通孔，真空紫外光源發(fā)射的紫外光沿此軸線方向入射到孔電極上；傳輸電極和孔電極上分別施加有直流電壓，其中一個(gè)傳輸電極上疊加有射頻電壓。通過對(duì)射頻電壓開啟和關(guān)閉的控制，可以實(shí)現(xiàn)兩種不同電離方式的切換。本發(fā)明所涉及的電離源在包含單光子電離源的基礎(chǔ)上，利用光電效應(yīng)得到的光電子電離試劑氣體得到化學(xué)電離源，通過電離區(qū)內(nèi)引入射頻電場(chǎng)增強(qiáng)光電子引發(fā)的化學(xué)電離，提高了檢測(cè)靈敏度，并且可實(shí)現(xiàn)電離能高于紫外線光子能量的樣品分子的軟電離，拓寬了可分析樣品的范圍。
【專利說明】一種射頻電場(chǎng)增強(qiáng)的單光子-化學(xué)電離源
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及質(zhì)譜儀電離源，具體的說是一種射頻電場(chǎng)增強(qiáng)的單光子-化學(xué)電離源。本發(fā)明在包含單光子電離源的基礎(chǔ)上，利用光電效應(yīng)得到的光電子電離試劑氣體得到化學(xué)電離源，通過電離區(qū)內(nèi)引入射頻電場(chǎng)增強(qiáng)光電子引發(fā)的化學(xué)電離，提高了檢測(cè)靈敏度，并且可實(shí)現(xiàn)電離能高于紫外線光子能量的樣品分子的軟電離，拓寬了分析樣品的范圍。通過對(duì)射頻電壓開啟和關(guān)閉的控制，可靈活地實(shí)現(xiàn)兩種不同電離方式之間的切換。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的有機(jī)物質(zhì)譜中通常采用電子轟擊電離源(EI )，它利用70eV能量的電子去轟擊有機(jī)物分子，使其電離，每種有機(jī)物都能得到各自的特征譜圖，通過譜圖庫(kù)檢索，大多能夠準(zhǔn)確的進(jìn)行定性分析。但是，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的碎片離子，尤其在分析復(fù)雜混合物時(shí)的譜峰重疊，識(shí)譜困難，不利于樣品的快速、在線分析。真空紫外光能夠使電離能(IE)低于其光子能量的有機(jī)物分子發(fā)生軟電離，主要產(chǎn)生分子離子，幾乎沒有碎片離子，適合于快速的定性定量分析。侯可勇[中國(guó)發(fā)明專利:200610011793.2]和鄭培超[中國(guó)發(fā)明專利:200810022557.X]將真空紫外光電離源與質(zhì)譜結(jié)合，得到的有機(jī)物質(zhì)譜圖中只包含有機(jī)物的分子離子峰，譜圖簡(jiǎn)單，可根據(jù)分子量和信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行快速的定性、定量分析。
[0003]真空紫外光源中特別是真空紫外燈中使用的光窗材料限制了透過光的光子能量。目前已知的僅有LiF光窗材料透過光子能量最高可達(dá)11.8eV。所以，只有電離能低于
11.8eV的有機(jī)物分子利用11.8eV光子能夠得到有效電離，而電離能高于11.8eV的化合物光子則無能為力。為解決該問題，花磊[PCT:201010567193]采用真空紫外光源在試劑區(qū)產(chǎn)生的光電子，在靜電場(chǎng)下加速電離試劑氣體，產(chǎn)生試劑離子。然后傳輸試劑離子進(jìn)入反應(yīng)區(qū)與樣品分子發(fā)生化學(xué)電離。該發(fā)明實(shí)現(xiàn)了單光子電離和化學(xué)電離兩種軟電離方式的在線切換，拓寬了可分析物的范圍。
[0004]然而，商品化的真空紫外燈光源有限的光密度，不僅限制了單光子電離的靈敏度，而且也限制了光電子的數(shù)量，降低了試劑離子強(qiáng)度，導(dǎo)致化學(xué)電離靈敏度受限。而且，在較高的氣壓條件下，電子與氣體分子頻繁碰撞，在發(fā)生碰撞后，需要從靜電場(chǎng)中重新獲得能量去碰撞電離分子，然而電子在靜電場(chǎng)中單方向直線運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)速度快，電子在電離區(qū)的停留時(shí)間短，導(dǎo)致靜電場(chǎng)加速光電子電離試劑氣體分子的效率低下。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種射頻電場(chǎng)增強(qiáng)的單光子-化學(xué)電離源，在包含單光子電離源的基礎(chǔ)上，通過在電離區(qū)引入射頻電場(chǎng)，利用射頻電場(chǎng)調(diào)制光電子振蕩、往復(fù)運(yùn)動(dòng)，提高光電子運(yùn)動(dòng)路程和在電離區(qū)中的停留時(shí)間，增強(qiáng)光電子電離作用，提高檢測(cè)靈敏度，并且利用化學(xué)電離源可實(shí)現(xiàn)電離能高于紫外線光子能量的樣品分子的軟電離。通過對(duì)射頻電壓開啟和關(guān)閉的控制，可靈活實(shí)現(xiàn)單光子電離、單光子-化學(xué)電離兩種不同電離方式之間的切換。[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:
[0007]—種射頻電場(chǎng)增強(qiáng)的單光子-化學(xué)電離源，包括真空紫外光源、電離室腔體、一個(gè)或一個(gè)以上的傳輸電極和差分孔電極，于電離室腔體壁上有樣品氣毛細(xì)管接口、試劑氣毛細(xì)管接口、真空規(guī)接口和真空泵抽氣口 ；
[0008]傳輸電極置于電離室腔體內(nèi)部，傳輸電極的軸向開有通孔；當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極時(shí)，一個(gè)以上的傳輸電極之間相互平行、間隔設(shè)置，通孔同軸；
[0009]于傳輸電極的通孔上方處的電離室腔體壁上設(shè)有紫外光入口，紫外光入口與通孔同軸；于傳輸電極的下方處設(shè)有差分孔電極，差分孔電極的孔與通孔同軸，紫外光源發(fā)出的紫外光從紫外光入口照射在差分孔電極表面，通過光電效應(yīng)產(chǎn)生光電子；
[0010]傳輸電極上施加有直流傳輸電壓；當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極時(shí)，一個(gè)以上的傳輸電極的各電極上依次施加有直流傳輸電壓，各電極上依次施加的電壓沿光入射方向依次降低；
[0011]在傳輸電極的其中一個(gè)通過電容耦合的方式疊加有一射頻電壓；
[0012]當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極時(shí)，除疊加有射頻電壓的傳輸電極之外的其他每片電極上都通過電容接地；
[0013]差分孔電極上施加有直流電壓，且通過電容接地，同時(shí)也通過電阻連接到地；
[0014]試劑氣毛細(xì)管和樣品氣毛細(xì)管分別通過電離室腔體壁上的試劑氣毛細(xì)管接口和樣品氣毛細(xì)管接口進(jìn)入電離室內(nèi)部；試劑氣毛細(xì)管和樣品氣毛細(xì)管的氣體出口位于傳輸電極與差分孔電極之間或傳輸電極與傳輸電極之間；試劑氣毛細(xì)管和樣品氣毛細(xì)管的氣體出口端垂直于紫外光束。
[0015]—個(gè)以上的傳輸電極的各電極上依次施加有直流傳輸電壓，直流傳輸電壓米用同一直流電源，各電極上依次施加的直流電壓通過電阻進(jìn)行分壓。
[0016]傳輸電極與差分孔電極之間通過絕緣材料隔開，所有電極中間開有通孔，電極之間同軸且間隔設(shè)置；
[0017]當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極時(shí)，相鄰兩片傳輸電極之間通過絕緣材料隔開，所有傳輸電極中間開有通孔，傳輸電極之間同軸且間隔設(shè)置。
[0018]差分孔電極中部開有小孔，與傳輸電極同軸；
[0019]于差分孔電極下方設(shè)有質(zhì)量分析器，電離室產(chǎn)生的離子通過小孔進(jìn)入質(zhì)量分析器；所述的質(zhì)量分析器為飛行時(shí)間質(zhì)量分析器、四級(jí)桿質(zhì)量分析器或離子阱質(zhì)量分析器。
[0020]紫外光源可為氣體放電燈光源、激光光源或同步輻射光源。
[0021]樣品通過樣品氣毛細(xì)管進(jìn)樣；
[0022]真空規(guī)接口與真空規(guī)相連，真空泵抽氣口經(jīng)調(diào)節(jié)閥門與真空泵相連；電離室真空度通過對(duì)真空泵和調(diào)節(jié)閥門控制，維持在IPa到500Pa之間；電離室真空值通過真空規(guī)來獲得。
[0023]電離源可以實(shí)現(xiàn)兩種不同的工作模式的切換；
[0024]當(dāng)關(guān)閉射頻電壓時(shí)，為單光子電離模式；當(dāng)開啟射頻電壓時(shí)，光電效應(yīng)產(chǎn)生的光電子從射頻場(chǎng)中獲得能量，光電子碰撞電離試劑氣體產(chǎn)生試劑離子，得到軟電離的化學(xué)電離源，此時(shí)單光子電離和化學(xué)電離同時(shí)作用；
[0025]傳輸電極為片狀或板狀，中部沿軸向(軸向是指垂直于板面的法線方向)開有通孔。
[0026]本發(fā)明提供的電離源，在包含單光子電離源的基礎(chǔ)上，通過在電離區(qū)引入射頻電場(chǎng)在中等氣壓條件下，利用射頻電場(chǎng)控制光電子振蕩，有效電離試劑氣體，產(chǎn)生的試劑離子進(jìn)一步與樣品分子發(fā)生化學(xué)電離。僅通過控制射頻電壓的開啟和關(guān)閉，可以實(shí)現(xiàn)兩種軟電離方式的快速切換。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1為本發(fā)明的基于真空紫外光的射頻電場(chǎng)增強(qiáng)的單光子-化學(xué)電離源結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖2為實(shí)施例1中IOppm苯、甲苯和二甲苯氣體樣品(O2為平衡氣)在不同條件下的質(zhì)譜圖，包括僅有紫外光電離時(shí)，沒有紫外光僅有射頻電壓時(shí)，紫外光和射頻電壓同時(shí)施加時(shí)。
[0029]圖3為實(shí)施例2中O2作為試劑氣體時(shí)射頻場(chǎng)化學(xué)電離IOppm氯仿(CHCl3)累計(jì)50萬次獲得的質(zhì)譜圖，氯仿的電離能為11.4eV，大于光子能量10.6eV。
[0030]圖4為實(shí)施例3中O2作為試劑氣體時(shí)不同電離能樣品的增強(qiáng)倍數(shù)。
【具體實(shí)施方式】
[0031]請(qǐng)參閱圖1，為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明的電離源，由真空紫外光源1、電離室腔體2、若干傳輸電極4和差分孔電極5,于電離室腔體2壁上有樣品氣毛細(xì)管3接口，試劑氣毛細(xì)管9，真空規(guī)6接口和真空泵7抽氣口構(gòu)成。
[0032]試劑氣毛細(xì)管9和樣品氣毛細(xì)管3分別通過電離室腔體2壁上的試劑氣毛細(xì)管9接口和樣品氣毛細(xì)管3接口進(jìn)入電離室內(nèi)部；試劑氣毛細(xì)管9和樣品氣毛細(xì)管3的氣體出口位于傳輸電極與差分孔電極之間或傳輸電極與傳輸電極之間；試劑氣毛細(xì)管9和樣品氣毛細(xì)管3的氣體出口端垂直于紫外光束。
[0033]電離室氣壓通過連接真空泵7的調(diào)節(jié)閥門8進(jìn)行控制，氣壓維持在IPa到500Pa之間；氣壓值通過真空規(guī)6來獲得。
[0034]傳輸電極4置于電離室腔體2內(nèi)部，傳輸電極4的軸向開有通孔；當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極4時(shí)，一個(gè)以上的傳輸電極4之間相互平行、間隔設(shè)置,通孔同軸；于傳輸電極4的通孔上方處的電離室腔體2壁上設(shè)有紫外光入口，紫外光入口與通孔同軸；于傳輸電極4的下方處設(shè)有差分孔電極5，差分孔電極5的孔與通孔同軸，紫外光源I發(fā)出的紫外光從紫外光入口照射在差分孔電極5表面,通過光電效應(yīng)產(chǎn)生光電子；傳輸電極4上施加有直流傳輸電壓；當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極4時(shí),一個(gè)以上的傳輸電極4的各電極上依次施加有直流傳輸電壓，各電極上依次施加的電壓沿光入射方向依次降低；在傳輸電極4的其中一個(gè)通過電容稱合的方式疊加有一射頻電壓；當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極4時(shí)，除疊加有射頻電壓的傳輸電極4之外的其他每片電極上都通過電容接地；差分孔電極5上施加有直流電壓，且通過電容接地，同時(shí)也通過電阻連接到地；
[0035]電離室產(chǎn)生的離子通過小孔進(jìn)入質(zhì)量分析器；所述的質(zhì)量分析器為飛行時(shí)間質(zhì)量分析器、四級(jí)桿質(zhì)量分析器或離子阱質(zhì)量分析器。
[0036]電離源可以實(shí)現(xiàn)兩種不同的工作模式的切換。當(dāng)關(guān)閉射頻電壓時(shí)，為單光子電離模式；當(dāng)開啟射頻電壓時(shí)，光電效應(yīng)產(chǎn)生的光電子從射頻場(chǎng)中獲得能量，光電子碰撞電離試劑氣體產(chǎn)生試劑離子得到軟電離的化學(xué)電離源，此時(shí)單光子電離和化學(xué)電離同時(shí)作用；
[0037]本發(fā)明的電離源工作于射頻電場(chǎng)增強(qiáng)化學(xué)電離模式時(shí)，樣品氣體通過樣品毛細(xì)管3通入電離室，試劑氣體通過試劑毛細(xì)管9通入電離室。紫外光在差分孔電極5上產(chǎn)生光電效應(yīng)釋放光電子。光電子在射頻電場(chǎng)的作用下在電離室作振蕩運(yùn)動(dòng)，不斷與試劑氣體分子碰撞，產(chǎn)生大量試劑離子。當(dāng)試劑氣體分子電離能高于樣品分子電離能時(shí)，樣品分子發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移的化學(xué)電離。獲得的樣品離子在傳輸電極4的作用下，通過差分孔電極5進(jìn)入質(zhì)量分析器。 [0038]電離源工作于單光子電離模式時(shí)，樣品氣體通過樣品毛細(xì)管3通入電離室。分子吸收紫外光子，當(dāng)光子能量大于分子電離能時(shí)可發(fā)生光電離。
[0039]實(shí)施例1
[0040]針對(duì)本發(fā)明所述的電離源射頻電場(chǎng)增強(qiáng)作用的考查，使用發(fā)射光子能量為10.6eV的商品化Kr燈作為真空紫外光源，將該電離源與飛行時(shí)間質(zhì)量分析器聯(lián)用。選用內(nèi)徑為Φ 150 μ m、長(zhǎng)度為30cm的石英毛細(xì)管分別作為樣品氣體進(jìn)樣管。樣品氣為IOppm的苯(IE=9.24eV)、甲苯(IE=8.83eV)、對(duì)二甲苯(IE=8.44eV)，樣品氣以O(shè)2作為平衡氣體，本實(shí)驗(yàn)直接以平衡氣O2 (IE=12.07eV)作為試劑氣體。調(diào)節(jié)電離源腔體內(nèi)的氣壓至50Pa，氣體進(jìn)樣量為20mL/min。傳輸電極在此采用兩片電極組成。第一片施加直流電壓12V，第二片施加直流電源IIV，并在第二片傳輸電極上疊加一個(gè)峰峰值為216V，頻率7MHz的射頻電壓。差分孔電極上施加直流電壓5V。三個(gè)電極的間距為6mm。第一片傳輸電極和差分孔電極接地濾波電容大小都為100μ F，第二片傳輸電極上射頻耦合電容大小為100nF。情形一 --僅開紫外燈，進(jìn)行單光子電離樣品分子；情形二:僅施加射頻電場(chǎng)；情形三:打開紫外燈，施加射頻電場(chǎng)，化學(xué)電離。得到的質(zhì)譜信號(hào)如圖2所示。由圖可見，在紫外燈提供光電子的條件下，引入射頻電場(chǎng)后顯著提高了信號(hào)強(qiáng)度。
[0041]實(shí)施例2
[0042]對(duì)于本發(fā)明的電離源拓寬分析物范圍的性能考察，樣品氣為IOppm氯仿(IE=Il.37eV)，選取電離能高于光子能量10.6eV的O2 (12.07eV)作為平衡氣體和試劑氣體。選用內(nèi)徑為Φ 150 μ m、長(zhǎng)度為30cm的石英毛細(xì)管作為樣品氣體進(jìn)樣管。調(diào)節(jié)電離源腔體內(nèi)的氣壓至50Pa，氣體進(jìn)樣量為20mL/min。第一片施加直流電壓12V，第二片施加直流電源11V，并在第二片傳輸電極上疊加一個(gè)峰峰值為216V，頻率7MHz的射頻電壓。差分孔電極上施加直流電壓5V。三個(gè)電極的間距為6mm。第一片傳輸電極和差分孔電極接地濾波電容大小都為100 μ F，第二片傳輸電極上射頻耦合電容大小為100nF?？偫塾?jì)次數(shù)50萬次，得到圖3所示的質(zhì)譜信號(hào)。其中，質(zhì)荷比為83，85，87的峰為CHCl2+,譜圖幾乎無碎片離子，實(shí)現(xiàn)了高電離能樣品氯仿的軟電離。
[0043]實(shí)施例3
[0044]在實(shí)施例2同樣的工作條件下，改變不同樣品，測(cè)試射頻電場(chǎng)軟電離源的增強(qiáng)倍數(shù)。如圖4所示，(a)為電離能小于光子能量10.6eV的樣品，倍數(shù)為射頻場(chǎng)化學(xué)電離與單光子電離強(qiáng)度的比較；(b)為電離能大于光子能量10.6eV的樣品，倍數(shù)為射頻場(chǎng)化學(xué)電離與直流場(chǎng)產(chǎn)生化學(xué)電離強(qiáng)度的比較。直流場(chǎng)產(chǎn)生化學(xué)電離的工作條件是:傳輸電壓第一片施加直流電壓150V，第二片施加直流電壓13V，差分孔電極施加直流電壓5V。由圖可見，本電離源在包含單光子電離模式的基礎(chǔ)上，通過引入射頻電場(chǎng)在中等氣壓條件下，控制光電子振蕩，有效電離試劑氣體，產(chǎn)生的試劑離子進(jìn)一步與樣品分子發(fā)生化學(xué)電離。本電離源不僅提高了檢測(cè)靈敏度，而且可以電離電離能高于光子能量的樣品，拓寬了可分析檢測(cè)分子的范圍。而且僅通過控制射頻電壓的開啟和關(guān)閉，可以實(shí)現(xiàn)兩種軟電離方式的快速切換。
【權(quán)利要求】
1.一種射頻電場(chǎng)增強(qiáng)的單光子-化學(xué)電離源，其特征在于:包括真空紫外光源(I)、電離室腔體(2)、一個(gè)或一個(gè)以上的傳輸電極(4)和差分孔電極(5),于電離室腔體(2 )壁上有樣品氣毛細(xì)管(3)接口、試劑氣毛細(xì)管(9)接口、真空規(guī)(6)接口和真空泵(7)抽氣口 ； 傳輸電極(4)置于電離室腔體(2)內(nèi)部,傳輸電極(4)的軸向開有通孔；當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極(4)時(shí)，一個(gè)以上的傳輸電極(4)之間相互平行、間隔設(shè)置，通孔同軸； 于傳輸電極(4)的通孔上方處的電離室腔體(2)壁上設(shè)有紫外光入口，紫外光入口與通孔同軸；于傳輸電極(4)的下方處設(shè)有差分孔電極(5)，差分孔電極(5)的孔與通孔同軸，紫外光源(I)發(fā)出的紫外光從紫外光入口照射在差分孔電極(5)表面，通過光電效應(yīng)產(chǎn)生光電子; 傳輸電極(4)上施加有直流傳輸電壓；當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極(4)時(shí),一個(gè)以上的傳輸電極(4)的各電極上依次施加有直流傳輸電壓,各電極上依次施加的電壓沿光入射方向依次降低； 在傳輸電極(4)的其中一個(gè)通過電容耦合的方式疊加有一射頻電壓； 當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極(4)時(shí)，除疊加有射頻電壓的傳輸電極(4)之外的其他每個(gè)電極上都通過電容接地； 差分孔電極(5 )上施加有直流電壓，且通過電容接地，同時(shí)也通過電阻連接到地； 試劑氣毛細(xì)管(9)和樣品氣毛細(xì)管(3)分別通過電離室腔體(2)壁上的試劑氣毛細(xì)管(9)接口和樣品氣毛細(xì)管(3)接口進(jìn)入電離室內(nèi)部；試劑氣毛細(xì)管(9)和樣品氣毛細(xì)管(3)的氣體出口位于傳輸電 極與差分孔電極之間或傳輸電極與傳輸電極之間；試劑氣毛細(xì)管(9)和樣品氣毛細(xì)管(3)的氣體出口端垂直于紫外光束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述單光子-化學(xué)電離源，其特征在于: 一個(gè)以上的傳輸電極(4)的各電極上依次施加有直流傳輸電壓,直流傳輸電壓米用同一直流電源，各電極上依次施加的直流電壓通過電阻進(jìn)行分壓。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述單光子-化學(xué)電離源，其特征在于: 傳輸電極(4)與差分孔電極(5)之間通過絕緣材料隔開，所有電極中間開有通孔，電極之間同軸且間隔設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述單光子-化學(xué)電離源，其特征在于: 當(dāng)為一個(gè)以上的傳輸電極(4 )時(shí),相鄰兩片傳輸電極之間通過絕緣材料隔開，所有傳輸電極中間開有通孔，傳輸電極之間同軸且間隔設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述單光子-化學(xué)電離源，其特征在于: 差分孔電極(5)中部開有小孔,與傳輸電極同軸； 于差分孔電極(5)下方設(shè)有質(zhì)量分析器，電離室產(chǎn)生的離子通過小孔進(jìn)入質(zhì)量分析器；所述的質(zhì)量分析器為飛行時(shí)間質(zhì)量分析器、四級(jí)桿質(zhì)量分析器或離子阱質(zhì)量分析器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述單光子-化學(xué)電離源，其特征在于: 紫外光源(I)可為氣體放電燈光源、激光光源或同步輻射光源。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述單光子-化學(xué)電離源，其特征在于: 樣品通過樣品氣毛細(xì)管(3)進(jìn)樣； 真空規(guī)(6)接口與真空規(guī)(6)相連，真空泵(7)抽氣口經(jīng)調(diào)節(jié)閥門(8)與真空泵(7)相連；電離室真空度通過對(duì)真空泵(7 )和調(diào)節(jié)閥門(8 )控制，維持在IPa到500Pa之間；電離室真空值通過真空規(guī)(6)來獲得。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述單光子-化學(xué)電離源，其特征在于: 電離源可以實(shí)現(xiàn)兩種不同的工作模式的切換； 當(dāng)關(guān)閉射頻電壓時(shí)，為單光子電離模式；當(dāng)開啟射頻電壓時(shí)，光電效應(yīng)產(chǎn)生的光電子從射頻場(chǎng)中獲得能量，光電子碰撞電離試劑氣體產(chǎn)生試劑離子，得到軟電離的化學(xué)電離源，此時(shí)單光子電離和化學(xué)電離同時(shí)作用。
【文檔編號(hào)】H01J49/16GK103972018SQ201310041475
【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2013年2月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月1日
【發(fā)明者】李海洋, 陳平, 侯可勇, 花磊, 趙無垛, 謝園園, 陳文東, 渠團(tuán)帥 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所