專利名稱：X射線管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種X射線管，它具有一陽極和一電子發(fā)射極，一至少基本上呈圓形截面的電子束從該電子發(fā)射極發(fā)出，該電子束從一個設(shè)在電子發(fā)射極和陽極之間的針孔光闌中穿過并撞擊在陽極的撞擊面上的一個聚焦區(qū)內(nèi)，一有效X射線束從該聚焦區(qū)發(fā)出。
眾所周知，如果X射線管聚焦區(qū)內(nèi)的X射線輻射的強(qiáng)度分布與高斯曲線近似的話，這是有利的，因?yàn)椋@樣一種強(qiáng)度分布對于決定圖像質(zhì)量的調(diào)制傳送功能具有有利的影響(參見A.Gebauer等著的“X射線電視”，Georg Thieme出版社，斯圖加特，1974年，第26-33頁)。另外，偏離理想的高斯曲線也對陽極的熱負(fù)荷有不利影響。具有與高斯曲線相近似的強(qiáng)度分布時，理論上可使陽極的最高溫度降低約10％(即在同樣最高溫度下，可使其功率相應(yīng)提高)。
在傳統(tǒng)的具有設(shè)計(jì)成螺旋形燈絲的電子發(fā)射極的X射線管中，對于在陽極上形成的線條形聚焦區(qū)而言，僅在聚焦區(qū)的長度方向產(chǎn)生一種相當(dāng)有利的，即梯形的X射線輻射的強(qiáng)度分布。在聚焦區(qū)的橫向上，與之相反，X射線輻射的強(qiáng)度分布具有一種“隆起”結(jié)構(gòu)，它多數(shù)情況下具有兩個最大值，有時還具有四個。一種這樣的強(qiáng)度分布與理想的高斯曲線偏差甚大。
上述情況也適合于一種由DE 2 855 905 A1所公開的X射線管，在該X射線管中，從一螺旋燈絲發(fā)出的電子束從一個為保護(hù)真空罩的陶瓷部件而設(shè)計(jì)成屏蔽電極形式的、設(shè)在螺旋燈絲和陽極之間的，具有陽極電位的針孔光闌中穿過。
在一種由DE 34 26 623 A1所公開的X射線管中，從一燈絲發(fā)出的電子束也從一個設(shè)在螺旋燈絲和陽極之間的，具有陽極電位的針孔光闌穿過。
在由Wo 92/03837 A1所公開的，本文前言所述類型的X射線管中，具有圓形截面的電子束從一個設(shè)在電子發(fā)射極和陽極之間的針孔光闌中穿過，該針孔光闌因?yàn)楸辉O(shè)置成聚焦電極的形式，因此，它具有一個與陽極電位所不同的電位。
在由DE-PS 331 837和DE 42 30 047 C1公開的X射線管中，其截面形狀沒有被說明的一電子束，從一個針孔光闌穿過，該針孔光闌的電位與陽極電位有所不同。
本發(fā)明的目的在于，對本文前言所述類型的一種X射線管進(jìn)行改進(jìn)，即形成一個具有與高斯曲線相近似的強(qiáng)度分布的聚焦區(qū)。
按照本發(fā)明，上述目的可通過一種具有一陽極和一電子發(fā)射極的X射線管來達(dá)到，一種至少截面基本呈圓形的電子束從該電子發(fā)射極發(fā)出，并從一個設(shè)在電子發(fā)射極和陽極之間的，具有陽極電位的針孔光闌中穿過，并且撞擊到陽極的撞擊面上的聚焦區(qū)內(nèi)，一有效X射線束從該聚焦區(qū)發(fā)出。
在本發(fā)明中，通過應(yīng)用一種具有圓形截面的電子束，而首先完成了這樣一個先決條件，即在聚焦區(qū)內(nèi)，對于任何方向都能產(chǎn)生一個與高斯曲線相近似的X射線輻射的強(qiáng)度分布。其次，通過使具有圓形截面的電子束穿過一個設(shè)在電子發(fā)射極和陽極之間的，具有陽極電位的針孔光闌，可以確保，電子束即便是在陽極附近仍具有其圓形截面。由于針孔光闌具有與陽極相同的電位，因此，在針孔光闌和陽極之間存在一個零電場區(qū)。在針孔光闌和陽極的撞擊面之間，因此不會產(chǎn)生因電場引起的電子束截面的幾何畸變，其結(jié)果是，撞擊在陽極的撞擊面上的，實(shí)際上仍是具有圓形截面的電子束。由此，在本發(fā)明所提出的X射線管中，可以確保，在聚焦區(qū)內(nèi)的X射線輻射強(qiáng)度分布即使從任何方向看上去都與理想的高斯曲線具有良好的近似性。如果沒有針孔光闌的存在，盡管采用能產(chǎn)生具有圓形截面的電子束的電子發(fā)射極，上述形式的強(qiáng)度分布也無法保證，因?yàn)?，撞擊在陽極的撞擊面上的電子束在其截面幾何形狀上會與圓形截面有明顯偏差。
為避免撞擊面上的熱負(fù)荷超過其允許極限，電子束以一個與撞擊面的法線成一角度地撞擊到聚焦區(qū)內(nèi)，該角最好大于45°，并且至少基本上與撞擊面法線同有效X射線束的中心線之間的夾角相當(dāng)。據(jù)此，產(chǎn)生一個近似于長條形的聚焦區(qū)。從有效X射線束的中心線束方向看；形成一個對高的圖面質(zhì)量有利的，至少基本上呈圓形的聚焦點(diǎn)。鑒于通常所進(jìn)行的對聚焦區(qū)的測量，在針孔光闌之后的電子束應(yīng)具有0.1-2mm的直徑，并以這樣一個角度撞擊到撞擊面上，即使聚焦區(qū)具有1-15mm的長度，其寬度與電子束直徑相當(dāng)。
按照本發(fā)明的一個特別優(yōu)先實(shí)施形式，電子束通過一個聚焦裝置被聚焦到一個焦點(diǎn)上，該焦點(diǎn)到電子發(fā)射極的距離大于撞擊面到電子發(fā)射極的距離。該焦點(diǎn)因此是一個虛擬的焦點(diǎn)，由電子發(fā)射極往外看，該焦點(diǎn)處在陽極的撞擊面后面。通過這種措施可達(dá)到，電子束具有一個片狀線束輪廓，這有利于使聚焦區(qū)內(nèi)的X射線輻射的強(qiáng)度分布更進(jìn)一步相似于理想的高斯曲線。另外，對片狀線束輪廓應(yīng)理解為，電子束在電子發(fā)射極和焦點(diǎn)或至少聚焦區(qū)之間至少基本上沒有交叉電子軌道。
鑒于電子束具有圓形截面，聚焦裝置，就其供電子束通過的孔的形狀而論，應(yīng)包含一個至少基本上旋轉(zhuǎn)對稱的聚焦電極。
按照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施形式，電子發(fā)射極具有一個從聚焦區(qū)看至少基本呈圓形的電子發(fā)射平面，它被容納在一個關(guān)于將電子發(fā)射極容置在其容置開口內(nèi)的至少基本上旋轉(zhuǎn)對稱的文納爾電極內(nèi)。可通過一種簡單方式，使電子束產(chǎn)生圓形截面。電子發(fā)射極做成一個所謂的低溫發(fā)射極是適宜的。這樣的低溫發(fā)射極是由這樣一種材料制成的，它具有比通常所用的鎢更低的電子逸出功，并由此在低溫下就能夠發(fā)射出足夠多的電子。低溫發(fā)射極例如作為燒結(jié)體可由銥-鈰或六硼化鑭制成。也存在下面的可能性，這種低溫發(fā)射極被制成直接或間接加熱的帶有一個用一種適合的材料、如以銥-鑭作涂層的發(fā)射平面的發(fā)射極。但對于電子發(fā)射極并不是必須不可避免地為低溫發(fā)射極。
下面借助于附圖對本發(fā)明的實(shí)施例作進(jìn)一步的說明，附圖中

圖1為根據(jù)本發(fā)明的X射線管縱向截面的簡圖；圖2為圖1所示X射線管縱向截面的局部放大圖；圖3為圖1和圖2中X射線管的聚焦區(qū)的放大透視圖；圖4為圖3中IV-IV線處剖面圖。
圖1中，1代表X射線管真空罩，該真空罩在所描述的實(shí)施例中，通常用金屬和陶瓷或玻璃，或可能采用其它材料制成。在真空罩1內(nèi)，裝有一個在一個管狀的延伸罩2內(nèi)的陰極裝置3，該陰極裝置具有一個被容納在一個旋轉(zhuǎn)對稱的文納爾電極4內(nèi)部的電子發(fā)射極，該電子發(fā)射極作為平面發(fā)射極被制成一種圓片形熱陰極5的形式，并借助一個陶瓷片6固定在文納爾電極4上。與熱陰極5相對，設(shè)有一個用7表示其總體的旋轉(zhuǎn)陽極，它具有一個通過軸8與一個轉(zhuǎn)子9相連的陽極盤10。轉(zhuǎn)子9以圖1中表示出的方式被可旋轉(zhuǎn)的支撐在一個與真空罩相連的軸11上。在轉(zhuǎn)子9的區(qū)域內(nèi)，定子12被安裝在真空罩1的外壁上，該定子與轉(zhuǎn)子9一起作用以構(gòu)成一個驅(qū)動旋轉(zhuǎn)陽極的電動機(jī)。
在X射線管工作時，交流電流通過導(dǎo)線13和14傳給定子12，因此，借助軸11使與轉(zhuǎn)子9相連的陽極盤10旋轉(zhuǎn)。
管電壓借助導(dǎo)線15和16來設(shè)定。導(dǎo)線15同軸11相連，而軸自身與真空罩1導(dǎo)電連接，導(dǎo)線16與熱陰極5的一個接頭相連。熱陰極5的另一個接頭與導(dǎo)線17相連，加熱電流通過導(dǎo)線可傳給熱陰極5。在這種情況下，一種呈圓形截面的電子束從熱陰極5發(fā)出。在圖1中僅示出了電子束ES的中心軸線，而在圖2和3中還描繪出了它的輪廓，即邊界線。
該電子束首先穿過一個聚焦電極19，該聚焦電極通過一個絕緣體21的中間連接而被固定在真空罩1上，然后穿過一個與真空罩1電連接、并且因此具有陽極電位的，設(shè)在一個至少基本上與電子束ES成直角的平面上的針孔光闌20的光闌孔A，撞擊在一個陽極盤10的撞擊面22上的用BF表示的聚焦區(qū)內(nèi)。X射線束從聚焦區(qū)BF發(fā)出。在圖1和圖2中，用點(diǎn)劃線示出的并用ZS和RS表示其中心線束和邊線束的有效X射線束，從一個線束出射窗23射出。
熱陰極5指的是一種所謂的低溫發(fā)射極，其由一種具有比通常用作陰極材料的鎢更低的電子逸出功，并因此具有更低的工作溫度的材料制成。熱陰極5作為燒結(jié)體由銥和鈰(Ir-Ce)或銥和鑭(Ir-La)或六硼化鑭(LaB6)制成。作為低溫發(fā)射極的材料，幾乎所有的由錸或元表周期表中第VIII縱列的金屬和鋇、鈣、鑭、釔、釓、鈰、釷、鈾元素組中的一種元素所組成的合金都適用。此外，添加有氧化鑭的鎢基合金或鉬基合金也適用。其次，鍍釷的鎢也適用于低溫發(fā)射極材料。
按照圖1，在熱陰極5的一根接頭和文納爾電極4之間有文納爾電壓UW存在。另外，按照圖1，在熱陰極5的一根接頭和聚焦電極19之間存在一個聚焦電壓UF。
為電子束ES而設(shè)的聚焦電極19的呈旋轉(zhuǎn)對稱的穿通孔的形狀、聚焦電壓UF和文納爾電壓UW的選擇原則在于，產(chǎn)生一個電子束ES的虛擬焦點(diǎn)或稱“交疊點(diǎn)”，該點(diǎn)從熱陰極5看過去處在撞擊面22的后面，由此產(chǎn)生一種片狀電子束ES，即在熱陰極5和聚焦區(qū)BF之間基本上沒有交叉的電子軌道。
為避免撞擊面的熱負(fù)荷超過其允許范圍，電子束ES同撞擊面22的法線N成這樣一個角度α而撞擊到聚焦區(qū)BF上，即產(chǎn)生一個長條形，確切地說是橢圓形聚焦區(qū)BF(參見圖3)。該聚焦區(qū)BF的寬度B與電子束的直徑D相當(dāng)(見圖4)。在熱陰極5、文納爾電極4、聚焦電極19和針孔光闌20的幾何形狀給定及加熱電流和管電壓給定時，該直徑D取決于文納爾電壓UW和聚焦電壓UF。
鑒于通常進(jìn)行的聚焦區(qū)測量，角α應(yīng)這樣選擇，使得當(dāng)電子束ES直徑D為0.1-2.0mm時，聚焦區(qū)的長度L在1-15mm之間，給定的直徑范圍適用于在針孔光闌20之后的電子束ES的直徑。
線束射出窗23的位置這樣來選擇、即使有效X射線束的中心線束ZS與聚焦區(qū)BF處的撞擊面22的法線N之間的夾角β至少基本上等于角α。從有效X射線束的中心線束方向看，存在一個對高圖像質(zhì)量有利的至少基本呈圓形的焦點(diǎn)。
由于電子束ES具有這種圓形截面，這就首先提供了這樣一個先決條件，即在聚焦區(qū)BF內(nèi)的任何方向都產(chǎn)生一個近似于高斯曲線的X射線輻射的強(qiáng)度分布。由于電子束從設(shè)在熱陰極5和陽極盤10之間的針孔光闌20穿過，這確保了電子束ES即便在陽極盤10附近仍具有其圓形截面。由于針孔光闌20具有與陽極相同的電位，因此在針孔光闌和陽極盤10之間存在一個零電場區(qū)，在該區(qū)內(nèi)不再發(fā)生由電場引起的電子束ES的截面幾何形狀的畸變。其結(jié)果是，實(shí)際上是一種圓形截面的電子束ES撞擊在面22上。據(jù)此，得以保證即使在聚焦區(qū)BF內(nèi)的任何方向上，X射線輻射的強(qiáng)度分布都與理想的高斯曲線良好近似。如果沒有針孔光闌20存在，盡管采用能產(chǎn)生一種圓形截面電子束的陰極裝置3，上述這樣一種強(qiáng)度分布也就無法保證。因?yàn)樽矒舻阶矒裘?2上的電子束ES在其截面幾何形狀上明顯偏離圓形截面。
由于電子束ES具有一種片狀線束輪廓，使得聚焦區(qū)BF處的X射線輻射的強(qiáng)度分布與理想的高斯曲線的近似性得以進(jìn)一步改善。
針孔光闌20還保護(hù)熱陰極5免受離子撞擊。因?yàn)?，在本發(fā)明提出的X射線管中，通過電子束ES與陽極盤10撞擊而產(chǎn)生的離子存在于零電場區(qū)內(nèi)，只有穿過針孔光闌20而進(jìn)入到針孔光闌20和熱陰極5之間的非零電場區(qū)的那部分離子才能到達(dá)熱陰極5。這樣，所產(chǎn)生的離子只有較少部分到達(dá)熱陰極5，所以在本發(fā)明提出的X射線管中，與沒有針孔光闌的X射線管相比，提高了熱陰極5的壽命，并由此提高了X射線管的壽命。與傳統(tǒng)的電子發(fā)射極，例如由鎢制成的電子發(fā)射極相比，用作熱陰極5的低溫發(fā)射極的優(yōu)點(diǎn)由于低的工作溫度而能夠獲得高的壽命，直到這時才充分顯示出來，因?yàn)橐呀?jīng)避免了因離子撞擊而使熱陰極5過早失效。
由于電子束ES以一個與撞擊面22的法線N成大于45°的角度α撞擊在聚焦區(qū)BF內(nèi)，而針孔光闌設(shè)在一個與電子束至少基本上垂直的平面內(nèi)，針孔光闌20的光闌孔A的尺寸比電子束為產(chǎn)生同樣大小的聚焦區(qū)以一個與撞擊面22的法線N成一小于45°的銳角撞擊到聚焦區(qū)時為小。這是有利的，因?yàn)殡x子到達(dá)熱陰極5的幾率隨光闌孔A越小而越低。還由于電子束具有一個圓形截面，對于給定的電子束ES截面面積和給定的角α而言。針孔光闌20的光闌孔A存在一個最小值。
在一個用來封閉延伸罩2的陶瓷件24的壁段內(nèi)側(cè)和一個容納帶有熱陰極5的文納爾電極4的陶瓷管25之間，設(shè)有兩個壓電轉(zhuǎn)換器26、27，它們基本上就是壓電晶體。壓電轉(zhuǎn)換器26、27一方面起使陰極裝置3和延伸罩2機(jī)械連接的作用；另一方面，它的作用在于出于校準(zhǔn)目的，為改變電子束ES同撞擊面22的法線N之間的夾角α和使撞擊面上的聚焦區(qū)BF移位而對熱陰極5和旋轉(zhuǎn)陽極7進(jìn)行相對調(diào)整。這可通過簡單的方法實(shí)現(xiàn)，即熱陰極5和旋轉(zhuǎn)陽極7能夠在一個包含電子束ES和法線N的平面內(nèi)做相對調(diào)整。對此，壓電轉(zhuǎn)換器26、27應(yīng)當(dāng)如此安裝，即在它們的電壓變化時，它們主要在法線N方向改變長度。
按照圖2，壓電轉(zhuǎn)換器26、27同一個控制裝置28連通。是開啟用X表示的旋鈕29a，還是開啟用α表示的旋鈕29b，要看情況而定，壓電轉(zhuǎn)換器將受同向或反向操縱。在受同向操縱時，分別按照其操縱方向，電子束沿法線N方向向一方或另一方平移。在反方向操作時，電子束ES同法線N之間的夾角α向一方或另一方變化。
壓電轉(zhuǎn)換器26、27由此構(gòu)成一個調(diào)節(jié)裝置，它使得，在壓電轉(zhuǎn)換器26、27的調(diào)節(jié)范圍內(nèi)，相應(yīng)地對陰極裝置3和旋轉(zhuǎn)陽極7之間的相互校準(zhǔn)進(jìn)行調(diào)整，即使聚焦區(qū)BF始終處在一個理想的位置。
當(dāng)法線N和電子束之間夾角很大時，如為80°時，這種可校準(zhǔn)性特別具有意義，因?yàn)椋词购苄〉腻e誤調(diào)整都可導(dǎo)致由于X射管工作時發(fā)熱引起旋轉(zhuǎn)陽極7移位和發(fā)熱引起包含熱陰極5的陰極裝置3傾斜和/或移位而使電子束ES偏離撞擊面22。
由于壓電轉(zhuǎn)換器26和27即使在已經(jīng)抽成真空的X射線管中也可由控制裝置來操作，因此任何時候，無論是在由發(fā)熱引起的旋轉(zhuǎn)陽極7移位，還是由發(fā)熱引起的包含熱陰極5的陰極裝置3傾斜和/或移位的場合下，可隨時對壓電轉(zhuǎn)換器26和27進(jìn)行相應(yīng)的校正性操作。因?yàn)椴恍枰貏e的校準(zhǔn)，X射線管的裝配就可容易地實(shí)現(xiàn)，確保了電子束按照要求撞擊在旋轉(zhuǎn)陽極7的撞擊面22上。
在所述的實(shí)施例中，為降低成本而采用了壓電轉(zhuǎn)換器26和27。也可采用其它電的、機(jī)械的、或機(jī)電的調(diào)節(jié)裝置。
在所述的實(shí)施例中，由壓電轉(zhuǎn)換器26和27組成的調(diào)節(jié)裝置由于其較低的質(zhì)量、即較低的重量而同陰極裝置3配置在一起。這就是說，要實(shí)現(xiàn)陰極裝置3和旋轉(zhuǎn)陽極7之間所希望的相對運(yùn)動，僅調(diào)節(jié)陰極裝置3就可以了。不過，原則上也有這種可能，即將調(diào)節(jié)裝置同旋轉(zhuǎn)陽極7配置在一起，由此，所希望的相對運(yùn)動僅通過旋轉(zhuǎn)陽極7的調(diào)節(jié)就可實(shí)現(xiàn)。另外，也有這種可能性，一個調(diào)節(jié)裝置既同陰極裝置3也同旋轉(zhuǎn)陽極7配置，則所希望的相對運(yùn)動通過陰極裝置3和旋轉(zhuǎn)陽極7的調(diào)節(jié)來實(shí)現(xiàn)。在所描述的實(shí)施例中，調(diào)節(jié)裝置包含多個調(diào)節(jié)部件，即兩個壓電轉(zhuǎn)換器26、27。在有些情況下，調(diào)節(jié)裝置僅包含一個調(diào)節(jié)部件就可以了。
對于所描述的燒結(jié)體形式的熱陰極5的結(jié)構(gòu)還存在著其它可能性。熱陰極5由一基體和一在用于發(fā)射電子的平面內(nèi)涂覆在基體上的涂層組成，其中，涂層由這樣一種材料組成，它具有比基體材料更低的電子逸出功。用作基體的材料，例如可供選擇的有鎢或鉬，用作涂層的材料為六硼化鑭(LaB6)。
還存在另一種可能性，熱陰極5由一基體和一涂層構(gòu)成，該涂層在電子發(fā)射平面以外的區(qū)域覆蓋在基體上，并由一種具有比基體材料更高的電子逸出功的材料組成。適合用作基體的材料例如為LaB6，用作涂層的材料為鎢或鉬。
如果采用一個對離子撞擊不敏感的電子發(fā)射極，可不用針孔光闌20，而設(shè)置一個具有陽極電位的其它電極，由此確保，實(shí)際具有圓形截面的電子束ES撞擊到撞擊面22上。
在上面所述的實(shí)施例中，涉及的是一種旋轉(zhuǎn)陽極X射線管。本發(fā)明也可應(yīng)用在帶有固定陽極的X射線管中。
在所述的實(shí)施例中，電子發(fā)射極由一個被直接加熱的熱陰極構(gòu)成，也可用一種其它電子發(fā)射極代替直接加熱式熱陰極，例如一種間接加熱的陰極或一種電子槍例如皮爾斯電子槍。如果一種直接加熱式熱陰極被用作電子發(fā)射極，它不是必須如在所述實(shí)施例中那樣制成平面發(fā)射極，相反，也可采用一種尤其是被彎曲成凹面的電子發(fā)射極。
權(quán)利要求
1.一種X射線管、其具有一個陽極(7)和一個電子發(fā)射極(5)，一至少基本上呈圓形截面的電子束從該電子發(fā)射極發(fā)出，該電子束從一個設(shè)在電子發(fā)射極(5)和陽極(7)之間的、具有陽極電位的針孔光闌(20)穿過，并撞擊在陽極(7)的撞擊面(22)上的聚焦區(qū)(BF)內(nèi)，一有效X射線束從該聚焦區(qū)發(fā)出。
2.按照權(quán)利要求1所述的X射線管，其中，電子束(ES)以一個與撞擊面(22)的法線(N)所成的角(α)撞擊在聚焦區(qū)(BF)內(nèi)，該角至少基本上與撞擊面(22)的法線(N)和有效電子束的中心線束(ZS)之間的夾角β相當(dāng)。
3.按照權(quán)利要求2所述的X射線管，它的電子束(ES)具有0.1-2.0mm的直徑，并以同撞擊面(22)的法線(N)成這樣一個角度(α)撞擊在聚焦區(qū)(BF)內(nèi)，即使聚焦區(qū)(BF)具有1～15mm的長度。
4.按照權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的X射線管，其電子束(ES)通過一個聚焦裝置(4、19)被聚焦到一個焦點(diǎn)(F)上，該焦點(diǎn)與電子發(fā)射極(5)的距離大于撞擊面到電子發(fā)射極(5)的距離。
5.按照權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的X射線管，其聚焦裝置(4、19)包含一個至少基本上旋轉(zhuǎn)對稱的聚焦電極(19)，電子束(ES)穿過該聚焦電極。
6.按照權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的X射線管，其電子發(fā)射極(5)具有一個從聚焦區(qū)(BF)看至少基本呈圓形的電子發(fā)射平面，該平面被容納在一個至少基本上旋轉(zhuǎn)對稱的文納爾電極(4)內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種X射線管，它具有一個陽極(7)和一個電子發(fā)射極(5)，一電子束(ES)從該電子發(fā)射極發(fā)射出，該電子束撞擊在陽極(7)的撞擊面(22)上的聚焦區(qū)(BF)內(nèi)，一有效X射線束從該聚焦區(qū)發(fā)射出。其中，一具有至少基本上呈圓形截面的電子束(ES)從一個設(shè)在電子發(fā)射極(5)和陽極(7)之間的、具有陽極電位的針孔光闌(20)穿過。
文檔編號H01J35/14GK1138743SQ9610460
公開日1996年12月25日 申請日期1996年4月5日 優(yōu)先權(quán)日1995年4月7日
發(fā)明者埃里克·赫爾, 赫爾穆特·庫恩, 馬賽厄斯·赫爾尼格 申請人:西門子公司