專利名稱：激光加工裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及對加工臺上的多個工件進行激光加工的激光加工裝
置。
背景技術：
近年來，為了高精度且快速地對工件進行激光加工，開發(fā)了多 種激光加工裝置。作為這種激光加工裝置，有例如設置多個加工頭， 同時加工多個工件(被加工物)的激光加工裝置。在由多個加工頭同 時加工多個工件的情況下，通過檢測各工件的位置相對于加工臺的偏
差量，由fe透鏡對檢測出的位置偏差量進行校正，高精度地加工各 工件。
專利文獻i中記載的加工裝置，其利用安裝在各加工頭上的檢 測單元檢測各被加工物的位置，根據(jù)檢測到的數(shù)據(jù)，使加工臺移動到 每個加工頭的位置偏差大致相同的位置上，由此高精度地同時加工多 個被加工物。
另外，專利文獻2中記載的激光加工裝置，其具有將來自i個 激光振蕩器的激光分為多束的激光束分割單元，從激光束分割單元到 各被加工物之間，分別對各激光束設置激光束遮擋機構，以遮擋激光 束。而且，獨立控制對載置于各加工軸上的各被加工物的激光束的照 射、不照射。
專利文獻1:特開2002-361463號公報 專利文獻2:特開2003-112275號公報

發(fā)明內(nèi)容
但是，上述前者的現(xiàn)有技術中，在要加工多個工件的情況下， 即使多個工件的偏差量中有1個工件的偏差量未落入規(guī)定的偏差量之內(nèi)，也必須檢測異常而中止所有的工件加工。因此，存在即使1 個工件偏差量未落入規(guī)定的偏差量之內(nèi)的情況下，也無法快速進行工 件加工的問題。另外，在上述前者的現(xiàn)有技術中，在使工作臺以使多 個工件的偏差量相等的方式移動之后，要判斷是進行多個工件加工還 是中止。因此，存在中止工件加工的情況下，工作臺無用地進行移動 動作的問題。
另外，在上述后者的現(xiàn)有技術中，在多個工件的偏差量未落入 規(guī)定的偏差量之內(nèi)的情況下，必須遮擋規(guī)定的激光束，僅由未被遮擋 的激光束進行加工。因此，存在無法加工激光束被遮擋一側(cè)的工件， 不能快速進行加工的問題。
本發(fā)明是鑒于上述情況提出的，目的在于得到一種激光加工裝 置，其能夠高精度、快速地進行工件激光加工。
為了解決上述課題，實現(xiàn)目的，本發(fā)明的激光加工裝置，其從
多個激光照射軸，經(jīng)由與各激光照射軸對應的fe透鏡，同時照射多
個激光束，同時對載置于1個加工臺上的多個工件進行激光加工，其 特征在于，具有偏差值計算部，其對于每個工件，檢測前述各工件 相對于前述加工臺的位置偏差，計算每個工件相對于前述加工臺的位 置偏差值；加工方法選擇部，其根據(jù)前述偏差值計算部計算出的位置 偏差值，從預先設定的多種加工方法中選擇與前述位置偏差值對應的 工件的加工方法；校正值設定部，其根據(jù)前述加工方法選擇部選擇出 的加工方法，設定對前述各工件的位置偏差進行校正的前述加工臺的 移動量的校正值；以及加工控制部，其在利用由前述加工方法選擇部 選擇出的加工方法，使用由前述校正值設定部設定的校正值，加工前 述加工臺上的多個工件時，進行加工控制，前述加工方法選擇部，在
前述加工臺上的某個工件處于可以經(jīng)由前述fe透鏡進行激光加工的
區(qū)域之外、且前述加工臺上的各工件間的位置偏差值的差小于規(guī)定值 的情況下，從前述多種加工方法中選擇同時加工方法，該同時加工方 法是向前述加工臺上的所有工件同時照射前述激光束，對前述加工臺 上的所有工件進行同時加工，前述校正值設定部，在前述加工方法選 擇部選擇了前述同時加工方法的情況下，設定前述校正值，以使得前述加工臺上的所有工件，進入可以經(jīng)由與各工件對應的fe透鏡同時
進行激光加工的區(qū)域內(nèi)。 發(fā)明的效果
本發(fā)明涉及的激光加工裝置，根據(jù)計算出的位置偏差值，從預 先設定的多種加工方法中選擇與位置偏差值對應的工件加工方法，在 加工臺上的某個工件處于可以經(jīng)由fB透鏡進行激光加工的區(qū)域之 夕卜、且加工臺上的各工件間的位置偏差值小于規(guī)定值的情況下，因為 選擇下述同時加工方法，即，設定校正值，以使得加工臺上的所有工
件進入可經(jīng)由與各工件對應的fe透鏡、同時進行激光加工的區(qū)域內(nèi)，
同時向加工臺上的所有工件照射激光束，進行加工臺上的所有工件的 同時加工，所以，起到能夠高精度、快速進行工件激光加工的效果。


圖1是表示實施方式涉及的激光加工系統(tǒng)的結構的圖。
圖2是表示實施方式涉及的激光加工裝置的結構的框圖。 圖3是表示實施方式涉及的激光加工系統(tǒng)的動作順序的流程圖。 圖4是表示通過電控反射鏡調(diào)整使得工件處于加工范圍內(nèi)的情 況的圖。
圖5是表示通過電控反射鏡調(diào)整使得工件不處于加工范圍內(nèi)的 情況的圖。
圖6是表示僅在電控反射鏡調(diào)整中，2個工件不處于加工范圍內(nèi)
的情況的一個例子的圖。
圖7是用于說明由加工臺進行的工件位置校正的概念的圖(l)。
圖8是用于說明由加工臺進行的工件位置校正的概念的圖(2)。
圖9是表示偏差量計算處理的詳細順序的流程圖。
圖IO是表示處理單個工件時的處理順序的流程圖。
圖11是表示向加工臺同時對2個工件進行重新放置處理時的處
理順序的流程圖。
圖12是表示向加工臺對單個工件進行重新放置處理時的處理順序的流程圖。圖13是表示向加工臺對下一批的2個工件進行同時放置處理時 的處理順序的流程圖。圖14是表示向加工臺對下一批工件進行單個放置處理時的處理順序的流程圖。
具體實施方式
下面，根據(jù)附圖詳細說明本發(fā)明涉及的激光加工裝置的實施方 式。并且，本發(fā)明不限定為本實施方式。 實施方式圖l是表示本發(fā)明的實施方式涉及的激光加工系統(tǒng)的結構的圖。激光加工系統(tǒng)101具有對工件(被加工物)進行激光加工的激光加工 機構1、向激光加工1進行工件搬入的工件搬入裝置9、從激光加工 機構1進行工件搬出的工件搬出裝置11、以及進行工件定位的工件 定位裝置12。激光加工機構1具有以下功能從多個激光照射軸開始，經(jīng)由與各激光照射軸對應的fe透鏡(加工頭)，同時照射多個激光束，同時激光加工載置于1個加工臺上的多個工件。激光加工機構1具有激光振蕩器13、反射鏡2A、 2B、 2X、遮光器3A、 3B、電控反射鏡 4A、 4B、 5A、 5B、加工頭6A、 6B、工件位置檢測照相機7A、 7B、 載有工件8A、 8B的加工臺10。激光振蕩器13以規(guī)定的定時出射(產(chǎn)生)激光束，入射至反射 鏡2X。反射鏡2A、 2B、 2X反射由激光振蕩器13出射的激光束，導 向規(guī)定的光路。反射鏡2X反射來自激光振蕩器13的激光束，向反 射鏡2A、 2B入射。反射鏡2A、 2B反射來自反射鏡2X的激光束， 分別向遮光器3A、 3B入射。遮光器3A、 3B根據(jù)要求，分別將來自 反射鏡2A、 2B的激光束遮擋或使其通過。電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B使激光束以任意的角度掃描，將 激光束導向規(guī)定的光路。電控反射鏡4A、 5A使通過了遮光器3A的 來自反射鏡2A的激光束向加工頭6A入射。電控反射鏡4B、 5B使通過了遮光器3B的來自反射鏡2B的激光束向加工頭6B入射。加工頭6A、 6B分別具有fe透鏡，校正經(jīng)由電控反射鏡5A、 5B入射的激光束并使其出射，以使其分別垂直于工件8A、 8B入射。 加工臺10載置工件8A、 8B,并向XY方向移動。工件8A、 8B由分別從加工頭6A、 6B發(fā)出的激光束進行激光加工。其中的工件8A、 8B載置于同一加工臺10上，在工件8A、 8B上進行同樣加工圖案的激光加工。工件位置檢測照相機7A、 7B是拍攝工件8A、 8B相對于加工.臺 10的位置的圖像拍攝單元。工件位置檢測照相機7A、 7B拍攝的工 件8A、 8B的位置，在判斷工件8A、 8B相對于加工臺10的位置偏 差量(位置偏差值)時使用。工件定位裝置12是在進行工件8A、 8B向激光加工機構1的搬 入之前，將工件8A、 8B的板端等定位在規(guī)定位置(修正位置)的裝 置。工件搬入裝置9提起由工件定位裝置12進行定位后的工件定位 裝置12上的工件8A、 8B，將其搬入激光加工機構1的加工臺10。 工件搬出裝置ll提起加工臺10上的工件8A、 8B，向激光加工機構 1的外部搬出。下面，對實施方式涉及的激光加工裝置的結構進行說明。圖2 是表示本發(fā)明的實施方式涉及的激光加工裝置的結構的框圖。激光加 工裝置100是進行加工臺的位置校正、電控反射鏡的調(diào)整而進行工件 激光加工的裝置，具有加工程序存儲部22、位置檢測部23、偏差量 顯示部24、工作臺控制部25、反射鏡控制部26、激光束照射控制部 27、控制部(加工控制部)21。此外，這里省略激光加工機構1的圖 示。加工程序存儲部22存儲激光加工裝置100 (激光加工機構1) 進行工件8A、 8B的激光加工時使用的加工程序。加工程序存儲部 22與控制部21連接，在進行工件8A、 8B的激光加工時，由控制部 21讀出加工程序。位置檢測部23根據(jù)工件位置檢測照相機7A、7B拍攝的工件8A、 8B的圖像，檢測工件8A、 8B相對于加工臺IO的位置。位置檢測部23將檢測到的工件8A、 8B相對于加工臺IO的位置(位置信息)輸 入控制部21?？刂撇?1使用加工程序存儲部22中存儲的加工程序，生成對 工作臺控制部25、反射鏡控制部26、激光束照射控制部27的控制指 示信息。在本實施方式中，控制部21根據(jù)由位置檢測部23發(fā)送的工 件8A、 8B的位置信息，確定工件8A、 8B的加工方法(同時加工2 個的同時加工方法、單個地加工的單獨加工方法等)?？刂撇?1具 有同時加工處理部31、單獨加工處理部32、偏差量計算部(偏差值 計算部、校正值設定部)33、偏差量判斷部(加工方法選擇部、加工 方法設定部)34。在工件8A、 8B放置在加工臺10上而開始工件8A、 8B的加工 時，偏差量計算部33計算工件8A、 8B在加工臺IO上的位置偏差量 (相對于作為基準的放置位置的偏差量)。偏差量計算部33使用由 位置檢測部23發(fā)送的工件8A、 8B的位置信息，計算工件8A、 8B 的位置偏差量，將計算結果(位置偏差量)發(fā)送給偏差量判斷部34。偏差量判斷部34根據(jù)從偏差量計算部33接收到的工件8A、 8B 的位置偏差量，判斷能否通過加工臺IO進行的位置校正或電控反射 鏡4A、 4B、 5A、 5B的調(diào)整，校正工件8A、 8B的位置(校正判斷)。偏差量判斷部34根據(jù)校正判斷的判斷結果等，確定工件8A、 8B的加工順序。在各工件8A、 8B相對于加工臺10的偏差量小于或 等于由加工程序規(guī)定的規(guī)定值的情況下，偏差量判斷部34選擇同時 加工處理部31，指令工件8A、 8B的同時加工處理。在各工件相對 于加工臺10的偏差量大于由加工程序規(guī)定的規(guī)定值的情況下，偏差 量判斷部34選擇單獨加工處理部32，指令工件8A、 8B的單獨加工 處理。在偏差量判斷部34判斷為同時加工例如2個工件8A、 8B的 情況下，指令同時加工處理部31進行工件8A、 8B的同時加工處理， 在判斷為例如單個地加工工件8A、 8B的情況下，指令單獨加工處理 部32進行工件8A、 8B的單個加工處理。同時加工處理部31根據(jù)來自偏差量判斷部34的指示，生成用 于同時加工處理工件8A、 8B的控制指令信息、工件8A、 8B的位置校正量(進行同時加工時的加工臺10、反射鏡2A、 2B的位置數(shù)據(jù)) (加工臺10的移動量的校正值)。同時加工處理部31具有同時位置 校正處理部41和同時加工處理指令部42。同時位置校正處理部41 計算(生成)用于同時加工處理工件8A、 8B的加工臺10的位置和 反射鏡2A、 2B的位置的校正數(shù)據(jù)(位置校正量)。同時加工處理指 令部42生成用于同時加工處理工件8A、 8B的控制指令信息。同時 位置校正處理部41計算出的位置校正量、同時加工處理指令部42 生成的控制指令信息，被輸入工作臺控制部25、反射鏡控制部26、 激光束照射控制部27。同時加工處理指令部42通過向激光束照射控制部27輸出指令 同時加工的信息，使激光束照射控制部27打開遮光器3A、 3B，實 施兩階段(工件8A、 8B)的同時加工。單獨加工處理部32根據(jù)來自偏差量判斷部34的指令，對每個 工件8A、 8B生成用于單個進行加工處理的工件8A、 8B的控制指令 信息、以及工件8A、 8B的位置校正量(進行單個處理時的加工臺 10或反射鏡2A、 2B的位置數(shù)據(jù))。單獨加工處理部32具有單獨位 置校正處理部43和單獨加工處理指令部44。單獨位置校正處理部43 計算(生成)用于單個地對工件8A、 8B進行加工處理的加工臺10 的位置和反射鏡2A、 2B的位置校正數(shù)據(jù)(位置校正量)。單獨加工 處理指令部44生成用于單個地對工件8A、 8B進行加工處理的控制 指令信息。單獨位置校正處理部43計算出的位置校正量、單獨加工 處理指令部44生成的控制指令信息，以進行單獨處理的工件的順序 輸入工作臺控制部25、反射鏡控制部26、激光束照射控制部27。單獨加工處理部32通過向激光束照射控制部27輸出指令單獨 加工的信息，使激光束照射控制部27打開遮光器3A、 3B中的某一 個，進行工件8A、 8B的單獨加工。工作臺控制部25、反射鏡控制部26、激光束照射控制部27，根 據(jù)來自控制部21的控制指令信息及位置校正量，控制激光加工機構 1。工作臺控制部25進行與加工臺IO的移動(位置)相關的控制。 反射鏡控制部26控制反射鏡2A、 2B、 2X、電控反射鏡4A、 4B、 5A、5B等，調(diào)整向工件8A、 8B出射的激光束的光路。激光束照射控制 部27控制激光振蕩器13、遮光器3A、 3B，對射向工件8A、 8B的 激光束(出射定時、輸出)進行調(diào)整。偏差量顯示部24具有液晶監(jiān)視器等信息顯示單元，顯示偏差量 計算部33計算出的工件8A、 8B相對于加工臺10的偏差量、工件 8A、 8B的加工狀態(tài)等。下面，對實施方式涉及的激光加工裝置的動作順序進行說明。 圖3是表示本發(fā)明的實施方式涉及的激光加工系統(tǒng)的動作順序的流 程圖。在激光加工系統(tǒng)101中，如果開始工件8A、 8B的激光加工， 則首先工件8A、 8B定位在工件定位裝置12上。工件搬入裝置9提 起由工件定位裝置12定位后的工件8A、 8B,將其搬入(置于)加 工臺10上?？刂撇?1的偏差量計算部33計算工件8A、 8B在加工臺10上 的位置偏差量(步驟S10)，將計算結果傳送給偏差量判斷部34。 偏差量判斷部34根據(jù)從偏差量計算部33接收到的工件8A、 8B的位 置偏差量，判斷通過電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B的調(diào)整，工件8A、 8B是否處于加工范圍內(nèi)(工件8A、 8B是否分別處于可以由加工頭 6A、 6B的fe透鏡進行加工的范圍內(nèi))(步驟S20)。在這里，對于通過電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B的調(diào)整，工件 8A、 8B是否處于加工范圍內(nèi)的判斷處理進行說明。圖4及圖5是用 于說明通過電控反射鏡的調(diào)整，工件是否處于加工范圍內(nèi)的判斷處理 的圖。在這里，對通過電控反射鏡4A、 5A的調(diào)整，工件8A是否處于 加工范圍內(nèi)的判斷進行說明。在圖4及圖5中，用加工范圍52A表 示可以由fe透鏡進行加工的范圍，用加工圖案51A表示工件8A的 加工圖案。在圖4中，表示通過電控反射鏡4A、 5A的調(diào)整，工件 8A處于加工范圍內(nèi)的情況，在圖5中，表示通過電控反射鏡4A、 5A 的調(diào)整，工件8A不處于加工范圍內(nèi)的情況。在圖4中，因為所有的加工圖案51A都落入加工范圍52A內(nèi)， 所以通過電控反射鏡的調(diào)整，工件8A處于加工范圍內(nèi)。另一方面，在圖5中，因為不是所有的加工圖案51A都落入加工范圍52A內(nèi)， 所以僅通過電控反射鏡4A、 5A的調(diào)整，工件8A不處于加工范圍內(nèi)。在工件8A、 8B處于可以由fe透鏡進行加工的范圍內(nèi)的情況下 (步驟S20、是)，偏差量判斷部34向同時加工處理部31指示進行 工件8A、 8B的同時加工處理(2個的同時加工處理)。同時加工處理部31的同時加工處理指令部42，生成用于同時加 工處理工件8A、 8B的控制指令信息，發(fā)送給反射鏡控制部26。反 射鏡控制部26調(diào)整(校正處理)電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B，以 使得激光照射出工件8A、 8B的加工圖案51A、 51B (步驟S30)。然后，激光加工裝置100的控制部21，使用加工程序存儲部22 的加工程序， 一邊控制工作臺控制部25、反射鏡控制部26、激光束 照射控制部27,—邊進行工件8A、 8B的同時加工處理(步驟S40)。另一方面，在工件8A、 8B處于可以由f0透鏡進行加工的范圍 之外的情況下(步驟S20、否)，偏差量判斷部34根據(jù)從偏差量計 算部33接收到的工件8A、 8B的位置偏差量，判斷通過加工臺10的 移動(工件8A、 8B的位置校正)(工作臺位置校正)，工件8A、 8B是否都處于加工范圍內(nèi)(能否由加工臺IO進行工件8A、 8B的位 置校正)。也就是說，偏差量判斷部34判斷工件8A、 8B間的位置 偏差值的差是否小于規(guī)定值(步驟S50)。在本實施方式中，如果通過電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B的調(diào) 整，工件8A、 8B都處于加工范圍內(nèi)，則判斷為工件8A、 8B處于可 以由fe透鏡進行加工的范圍內(nèi)。圖6是表示僅通過電控反射鏡的調(diào) 整，2個工件不處于加工范圍內(nèi)的情況的一個例子的圖。在圖6中，用加工范圍52A表示可以由電控反射鏡4A、 5A進 行調(diào)整的加工范圍，用加工范圍52B表示可以由電控反射鏡4B、 5B 進行調(diào)整的加工范圍。另外，用加工圖案51A表示工件8A的加工圖 案，用加工圖案51B表示工件8B的加工圖案。在這里，因為所有的加工圖案51A都落入加工范圍52A內(nèi)，所 以通過電控反射鏡4A、 5A的調(diào)整，工件8A處于加工范圍內(nèi)。另一 方面，因為不是所有的加工圖案51B都落入加工范圍51B內(nèi)，所以只通過電控反射鏡4B、 5B的調(diào)整，工件8B不處于加工范圍內(nèi)。因 此，通過電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B的調(diào)整，不能使得工件8A、 8B 二者都處于加工范圍內(nèi)，判斷工件8A、 8B不處于可以由f0透鏡 進行加工的范圍內(nèi)。在這里，對于利用加工臺10的位置校正，工件8A、 8B是否都 處于加工范圍內(nèi)的判斷處理的概念進行說明。圖7及圖8是用于說明 利用加工臺的工件的位置校正的概念的圖。在圖7中，表示利用加工臺IO進行位置校正，以使得2個加工 圖案51A、 51B中， 一個加工圖案(這里為加工圖案51B)的最端部 (加工圖案的右上角部分)，與加工圖案對應的加工區(qū)域(這里是加 工范圍52B)的最端部(加工區(qū)域的右上角部分)重合的情況。如果 按照這種方式對加工臺進行位置校正，則隨著加工圖案51B的移動， 加工圖案51A也移動。在本實施方式中，在利用加工臺IO進行位置校正，以使得例如 加工圖案51B的最端部與加工范圍52B的最端部重合的情況下(所 有的加工圖案51B都落入加工范圍52B內(nèi)的情況下)，如果所有的 加工圖案51A都落入加工范圍內(nèi)52A內(nèi)，則判斷為通過利用加工臺 IO的位置校正，工件8A、 8B都處于加工范圍內(nèi)。在圖7所示的工件8A、 8B的位置校正的情況下，在使加工圖 案51B的最端部與加工范圍52B的最端部重合的情況下，因為所有 的加工圖案51A都落入加工范圍52A內(nèi)，所以判斷為通過利用加工 臺10的位置校正，工件8A、 8B都處于加工范圍內(nèi)。此外，在這里，對于利用加工臺IO進行位置校正以使得加工圖 案51B的最端部中加工圖案的右上角部分與加工范圍52B的最端部 (加工區(qū)域的右上角部分)重合的情況進行了說明，但也可以是利用 加工臺IO進行位置校正，以使得加工圖案51B和加工范圍52B在其 它位置重合。例如，對應于加工圖案51A相對于加工范圍52A的偏 差方向，確定使加工圖案51B和加工范圍52B重合的位置校正。在加工圖案51A相對于加工范圍52A偏向圖中右上方的情況 下，利用加工臺IO進行位置校正，以使得加工圖案51B的最端部中加工圖案的左下角部分與加工范圍52B的最端部(加工區(qū)域的左下 角部分)重合。另外，在加工圖案51A相對于加工范圍52A偏向圖中左上方的 情況下，利用加工臺IO進行位置校正，以使得加工圖案51B的最端 部中加工圖案的右下角部分與加工范圍52B的最端部(加工區(qū)域的 右下角部分)重合。另外，在加工圖案51A相對于加工范圍52A偏向圖中右下方的 情況下，利用加工臺IO進行位置校正，以使得加工圖案51B的最端 部中加工圖案的左上角部分與加工范圍52B的最端部(加工區(qū)域的 左上角部分)重合。另外，在這里，對于利用加工臺IO進行位置校正，以使得2個 加工圖案51A、 51B中，加工圖案51B的最端部與加工范圍52B的 最端部重合的情況進行了說明，但也可以利用加工臺IO進行位置校 正，以使得2個加工圖案51A、 51B中，加工圖案51A的最端部與 加工范圍52A的最端部重合。另外，在圖8中，表示使用2個加工圖案51A、 51B的偏差位 置的中點(偏差位置的平均值)，利用加工臺IO進行位置校正的情 況。換言之，利用加工臺IO進行位置校正，以使得加工范圍52A、 52B的中點與加工圖案51A、 51B的中點重合。也就是說，計算加工 圖案51A、 51B偏離光束照射的目標位置(加工范圍52A、 52B的中 心位置)的偏差量(坐標)，計算該偏差量的平均值。并且，移動加 工臺10的位置進行位置校正，以使得各加工圖案51A、 51B的偏差 量與計算出的平均值相等。例如，在以加工范圍52A的中心位置為原點坐標(0,0)的情況 下，利用加工臺10進行位置校正前的加工圖案51A的中心為坐標 (al， a2)，在以加工范圍52B的中心位置為原點坐標(O，O)的情 況下，利用加工臺IO進行位置校正前的加工圖案51B的中心為坐標 (bl， b2)，在上述情況下，加工圖案51A、 51B相對于加工范圍 52A、 52B的偏差量(坐標)的平均值，x坐標為(al+bl) /2、 y坐 標為(a2+b2) /2。因此，該情況下，移動加工臺10進行加工圖案51A、 51B的位置校正，以使得各加工圖案51A、 51B的中心為 ((al+bl) /2，(a2+b2) /2)。如果按照這種方式進行加工臺10 的位置校正，則加工圖案51A、 51B這兩者分別在加工范圍52A、 52B 的區(qū)域內(nèi)移動。在本實施方式中，在例如根據(jù)2個加工圖案51A、 51B的偏差 位置的中點移動加工臺10，進行加工圖案51A、 51B的位置校正的 情況下，如果所有的加工圖案51A都落入加工范圍51A內(nèi)、所有的 加工圖案51B都落入加工范圍52B內(nèi)，則判斷通過利用加工臺10的 位置校正，工件8A、 8B都處于加工范圍內(nèi)。在圖8所示的工件8A、 8B的位置校正的情況下，因為所有的 加工圖案51A都落入加工范圍52A內(nèi)、所有的加工圖案51B都落入 加工范圍52B內(nèi)，所有判斷通過利用加工臺10的位置校正，工件8A、 8B都處于加工范圍內(nèi)。也就是說，在本實施方式中，如果能夠利用加工臺IO進行位置 校正，以使得所有的加工圖案51A都落入加工范圍內(nèi)52A內(nèi)，且所 有的加工圖案51B都落入加工范圍52B內(nèi)，則判斷通過利用加工臺 IO的位置校正，工件8A、 8B都處于加工范圍內(nèi)。在通過利用加工臺IO的位置校正，工件8A、 8B處于加工范圍 內(nèi)的情況下(工件8A、8B間的位置偏差量的差小于規(guī)定值的情況下) (步驟S60、是)，偏差量判斷部34向同時加工處理部31指示進行 工件8A、 8B的同時加工處理。同時加工處理部31的同時加工處理指令部34，生成用于同時加 工處理工件8A、 8B的控制指令信息，并傳送給工作臺控制部25、 反射鏡控制部26。工作臺控制部25調(diào)整(校正處理)加工臺10的 位置，以使得工件8A、 8B的位置成為可以通過電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B的調(diào)整進行加工的范圍。另外，反射鏡控制部26調(diào)整電控 反射鏡4A、 4B、 5A、 5B，以向工件8A、 8B的加工圖案51A、 51B 照射光束(步驟S30)。在這里，對于利用加工臺IO進行的工件8A、 8B的位置校正值 的計算方法進行說明。首先，對于能否通過電控反射鏡4A、 4B、 5A、5B的校正(調(diào)整)，對工件8A、 8B進行激光加工的判斷方法進行 說明。由激光加工裝置100進行激光加工的工件8A、 8B，因工件形成 的工序或周圍環(huán)境的變化，工件8A、 8B上的圖案會相對于設計值產(chǎn) 生伸縮偏差、偏移偏差、旋轉(zhuǎn)偏差、直角偏差、梯形偏差等的圖案形 狀的偏差。在產(chǎn)生上述偏差的情況下，因為要考慮偏差量而高精度地進行 激光加工，所以需要用工件位置檢測照相機7A、 7B檢測載置于加工 臺10上的工件8A、 8B的定位標志，校正工件8A、 8B的位置偏差。在只有一個工件的情況下，如果用現(xiàn)有的方法計算相對于目標 位置(X、 Y)的偏差校正后(對圖案形狀的對數(shù)校正后)的激光加 工位置(X，、 Y，)，則例如旋轉(zhuǎn)偏差、伸縮偏差、偏移偏差可以用 式(1)及式(2)表示。此外，其中的P11 P13、 P21 P23為任意 的校正系數(shù)。<formula>formula see original document page 17</formula>另外，在例如有2個工件8A、 8B的情況下，相對于各個工件 8A、 8B的共用的目標位置(X， Y)，求出各工件8A、 8B的校正式 (校正坐標)。如果使工件8A的校正后的坐標為(X'p， Y，p)、工 件8B的坐標為(X'q， Y'q)，則工件8A、 8B的校正式可以用式(3) 式(6)表示。此外，其中的P11 P13、 P21 P23、 Q11 Q13、 Q21 Q23為任意的校正系數(shù)。<formula>formula see original document page 17</formula>
目標位置的X、 Y分量可以用電控反射鏡位置坐標(Xm， Ym) 和工作臺位置(Xt， Yt)的和表示。電控反射鏡4A、 5A和電控反射 鏡4B、 5B對于工件8A和工件8B是獨立的，但加工臺10對于工件 8A和工件8B是共用的。因此，必須使用與各工件8A、 8B對應的電控反射鏡位置，對工作臺位置(Xt， Yt)進行校正。如果相對于工作臺位置(Xt， Yt)校正式(3) 式(6)，則得到式(7) 式(10)。此外，這里的X'pm是使用加工臺IO的工作臺位置(X分量) 校正后的電控反射鏡坐標(工件8A的X分量)，Y'pm是使用加工 臺10的工作臺位置(Y分量)校正后的電控反射鏡坐標(工件8A 的Y分量)。另外，X'qm是使用加工臺10的工作臺位置(X分量) 校正后的電控反射鏡坐標(工件8A的X分量)，Y'qm是使用加工 臺10的工作臺位置(Y分量)校正后的電控反射鏡坐標(工件8A 的Y分量)。X，pm = PllX+P12Y+P13-Xt... (7)Y，pm = P21X+P22Y+P23 — Yt... (8)X，qm = QllX+Q12Y+Q13 — Xt". (9)Y，qm = Q21X+Q22Y+Q23 —Yt…(10)可以利用fe透鏡進行加工的加工范圍的寬度(i邊是fL的四方 區(qū)域)是固定的。因此，fe透鏡的加工范圍(i邊f(xié)L)和校正后的電控反射鏡坐標(由式(7) 式(10)表示的X，pm、 Y，pm、 X'qm、 Y，qm) 的差，可以用式(11) 式(14)計算。此外，這里的Wpx、 Wpy、 Wqx、 Wqy表示f0透鏡的加工范圍與校正后的電控反射鏡坐標的差， 在這些值都為正的情況下，能夠同時加工工件8A、 8B。Wpx=fL/2—IPllX+P12Y+P13 — Xt卜"(11)Wpy = fL/2 —IP21X+P22Y+P23 — Ytl…(12)Wqx = fL/2 —1Q11X+Q12Y+Q13—Xt卜"(13)Wqy = fL/2 —IQ21X+Q22Y+Q23 — Ytl…(14)但是，在激光照射位置相對于目標位置的偏差量大的情況下， 有時不能僅通過利用電控反射鏡的校正(照射位置的校正)，同時加 工工件8A、 8B。因此，在本實施方式中，為了盡可能地靈活使用可 以利用fe透鏡加工的范圍，利用加工臺IO校正工件8A、 8B的位置。下面，對于由加工臺IO進行的工件8A、 8B的位置校正值的計 算方法迸行說明。目標位置(X， Y)可以由電控反射鏡坐標(Xm， Ym)和工作臺位置(Xt， Yt)的和表示。如果由電控反射鏡坐標(Xm，Ym)和工作臺位置(Xt， Yt)的和表示對目標位置(X， Y)校正后 的激光加工位置(X'， Y，)，則得到式(15)、式(16).X，=Px(Xm， Ym)+Px(Xt， Yt)…(15)Y，=Py(Xm， Ym)+Py(Xt， Yt)…(16)此外，其中的Px(Xm， Ytn)、 Py(Xm， Ym)是反射鏡位置處的校 正坐標(利用電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B校正后的情況下的坐標)， Px(Xt， Yt)、 Py(Xt， Yt)是工作臺位置處的校正坐標(利用加工臺10 進行校正后的情況下的坐標)。Px(Xm， Ym)、 Px(Xt， Yt)、 Py(Xm， Ym)、 Py(Xt， Yt)分別具有下述式(17) 式(20)的關系。 Px(Xm， Ym)=(Pll+P12)Xm+(Pll+P12)Ym." (17) Px(Xt， Yt)=(Pll+P12)Xt+(Pll+P12)Yt+P13.'. (18) Py(Xm， Ym)=(P21+P22)Xm+(P21+P22)Ym." (19) Py(Xt， Yt)=(P21+P22)Xt+(P21+P22)Yt+P23'" (20) 在2個工件工件8A、 8B被置于加工臺IO上的情況下，相對于 各工件8A、 8B共用的目標位置(X, Y)，求出各工件8A、 8B各 自的校正式。工件8A、8B的校正后的激光加工位置，可以用式(21) 式(24)表示。X，p-Px(Xm， Ym)+Px(Xt， Yt)…(21) Y，p=Py(Xm， Ym)+Py(Xt， Yt)…(22) X，q=Qx(Xm， Ym)+Qx(Xt， Yt)…(23) Y，q-Qy(Xm， Ym)+Qy(Xt, Yt)…(24)此外，其中的X，p、 Y'p是工件8A校正后的激光加工位置(X 分量和Y分量)，X'q、 Y，q是工件8B校正后的激光加工位置(X 分量和Y分量)。另外，其中的Px(Xm， Ym)、 Py(Xm， Ym)是反射鏡位置處的校 正坐標(利用電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B校正后的情況下的坐標)， Px(Xt， Yt)、 Py(Xt， Yt)是工作臺位置處的校正坐標(利用加工臺10 校正后的情況下的坐標)。Px(Xm， Ym) 、 Px(Xt, Yt)、 Py(Xm,Ym)、 Py(Xt, Yt)分別具有前述式(17) 式(20)以及下述式(25) 式 (28)的關系。Qx(Xm， Ym)=(Qll+Q12)Xm+(Qll+Q12)Ym." (25) Qx(Xt， Yt)=(Qll+Q12)Xt+(Qll+Q12)Yt+Q13". (26) Qy(Xm， Ym)=(Q21+Q22)Xm+(Q21+Q22)Ym." (27) Qy(Xt， Yt)=(Q21+Q22)Xt+(Q21+Q22)Yt+Q23... (28) 在激光加工裝置100中，電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B配置在 針對各工件8A、 8B獨立的軸上，能夠?qū)γ總€工件8A、 8B進行定位。 加工臺IO配置在工件8A、 8B共用的軸上，加工臺10的工作臺位置 必須對工件8A、 8B共用。例如在使工作臺位置以工件8A的位置為基準的情況下，在工件 8B頂ij，需要對工件8A側(cè)的電控反射鏡位置坐標，考慮式(21) 式(24)的工作臺校正。因此，如果通過加工臺IO的移動進行位置 校正，以使得工件8A的偏差量為0，則Wpx、 Wpy、 Wqx、 Wqy可 以由式(29) 式(32)計算。此外，這里的Wqx、 Wqy是工件8B 相對于工件8A的偏差量。 Wpx=0…(29) Wpy=0…(30)Wqx=Qx(Xt， Yt) —Px(Xt， Yt) ... (31) Wqy-Qy(Xt， Yt) — Py(Xt， Yt) ... (32)也就是說，如果使由加工臺IO進行的位置校正(移動)以工件 8A的偏差量為基準，則fe透鏡和工件8B的加工圖案的偏差量為工 件8B單獨的偏差量和工件8A單獨的偏差量的和。在工件8B側(cè)的偏差量(Wqx、 Wqy)大于規(guī)定值的情況下，因 為不能同時加工工件8A、 8B，所以要重新計算Wqx、 Wqy與由fe 透鏡進行的加工范圍fL的差，并移動加工臺10，以使其落入fe透鏡 的加工范圍內(nèi)。例如，在Wqx、 Wqy在正向超過fe透鏡的加工范圍 的情況下，Wpx、 Wpy、 Wqx、 Wqy通過式(33) 式(36)計算。Wpx=fL/2— (Qx(Xt， Yt) —Px(Xt， Yt)) ... (33)Wpy = fL/2— (Qy(Xt, Yt) —Py(Xt， Yt)) …(34)Wqx=fL/2…(35)Wqy=fL/2…(36)該情況下，加工臺IO的位置為(Px(Xt， Yt) —Wpx， Py(Xt， Yt) 一Wpy)。另外，還可以以工件8A和工件8B的由加工臺10的移動 校正后的工件8A、 8B的偏差量(偏差的坐標位置)的正中間點 ((Px(Xt， Yt)+Qx (Xt， Yt) ) /2， ( (Py(Xt， Yt)+Qy (Xt, Yt)) /2)為基準，重新計算工件8A、 8B的偏差量。該情況下，Wpx、 Wpy、 Wqx、 Wqy可以利用式(37) 式(40)計算。Wpx= (Px(Xt,Yt)-Qx(Xt，Yt))/2 ... (37)Wpy= (Py(Xt,Yt)-Qy(Xt，Yt))/2 ... (38)Wpx= (Qx(Xt，Yt)-Px(Xt,Yt))/2…(39)Wpx= (Qy(Xt，Yt)-Py(Xt，Yt))/2…(40)該情況下，對計算出的Wpx、 Wpy、 Wqx、 Wqy，利用電控反 射鏡進行激光照射位置的校正，進行激光加工。其中的Wpx、 Wpy 是工件8A相對于工件8A、 8B的中點的偏差量，Wqx、 Wqy是工件 8B相對于工件8A、 8B的中點的偏差量。由此，由式(33) 式(36) 或式(37) 式(40)計算出的Wpx、 Wpy、 Wqx、 Wqy的值，成 為工件8A、 8B間的偏差量。調(diào)整了加工臺10的位置和電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B之后， 激光加工裝置100的控制部21使用加工程序存儲部22的加工程序， 一邊控制工作臺控制部25、反射鏡控制部26、激光束照射控制部27， 一邊進行工件8A、 8B的同時加工處理(步驟S40)。在通過加工臺10進行的位置校正而工件8A、 8B不同時處于加 工范圍內(nèi)的情況下(工件8A、 8B間的位置偏差量的差大于規(guī)定值的 情況下)(步驟S60、否)，偏差量判斷部34判斷是否以工件8A、 8B的加工順序，單個地加工工件8A、 8B。對于激光加工裝置100，預先設定在通過加工臺10的位置校正 而工件8A、 8B不同時處于加工范圍內(nèi)的情況下，是否單個地加工工 件8A、 8B。在對激光加工裝置100，設定在不進行工件8A、 8B的 同時加工處理時，單個加工工件8A、 8B的情況下(步驟S70、是)， 偏差量判斷部34判斷以工件8A、 8B的加工順序，單個加工工件8A、 8B。偏差量判斷部34指令單獨加工處理部32進行工件8A、犯的單獨加工處理(單個加工處理)。單獨加工處理部32的單獨加工處理指令部44，生成用于單個加 工處理工件8A、 8B的控制指令信息，單獨位置校正處理部43生成 工件8A、 8B的位置校正量(進行單獨處理時的各個位置校正量)。 單獨位置校正處理部43計算出的位置校正量、單獨加工處理指令部 44生成的控制指令信息，輸入至工作臺控制部25、反射鏡控制部26。工作臺控制部25、反射鏡控制部26，根據(jù)位置校正量調(diào)整加工 臺10、電控反射鏡4A、 4B、 5A、 5B等。激光加工裝置100的控制 部21，使用加工程序存儲部22的加工程序，控制工作臺控制部25、 反射鏡控制部26、激光束照射控制部27，進行工件8A、 8B的單獨 加工處理(步驟S80)。在對激光加工裝置100設定在不進行工件8A、 8B的同時加工 處理時，不單個加工工件8A、 8B的情況下(步驟S70、否)，偏差 量判斷部34判斷是否以工件8A、 8B的加工順序，進行工件8A、 8B 向加工臺10的重新放置(步驟S90)。對于激光加工裝置100，預先設定其在不能同時加工工件8A、 8B也不單個加工工件8A、 8B的情況下，是否進行工件8A、 8B向 加工臺IO的重新放置。在對激光加工裝置100，設定在不能同時加工工件8A、 8B也不 單個加工工件8A、 8B時，進行工件8A、 8B向加工臺10的重新放 置的情況下(步驟S90、是)，偏差量判斷部34判斷進行工件8A、 8B向加工臺10的重新放置(再次搬入)。偏差量判斷部34指令工 件搬出裝置ll、工件定位裝置12、工件搬入裝置9，進行工件8A、 8B向加工臺10的重新放置處理，以使其進行工件8A、 8B的重新放 置處理。由此，能夠進行工件8A、 8B向加工臺10的重新放置處理 (步驟S100)。在工件8A、 8B向加工臺10的重新放置處理后，激光加工系統(tǒng) 101返回步驟S10的處理，計算工件8A、 8B在加工臺10上的偏差 量。然后，激光加工系統(tǒng)101重復步驟S20以后的處理。另一方面，在對激光加工裝置IOO設定在不能同時加工工件8A、8B，也不單個加工工件8A、 8B時，不進行工件8A、 8B向加工臺 10的重新放置處理的情況下(步驟S90、否)，偏差量判斷部34判 斷是否進行激光加工裝置100的停止處理(步驟SllO)。對于激光加工裝置100，預先設定在不進行工件8A、 8B向加工 臺IO的重新放置的情況下，是否進行激光加工裝置IOO的停止處理。 在對激光加工裝置100，設定在不進行工件8A、 8B向加工臺10的 重新放置時，進行加工加工裝置IOO的停止處理的情況下(步驟SIIO、 是)，偏差量判斷部34使其進行激光加工裝置100的停止處理(步 驟S120)。此時，激光加工裝置100還可以輸出用于通知異常停止 的警報。另一方面，在對激光加工裝置100，設定即使在不進行工件8A、 8B向加工臺10的重新放置時，也不進行激光加工裝置100的停止處 理的情況下(步驟S110、否)，偏差量判斷部34判斷進行下一批工 件向加工臺10放置處理。偏差量判斷部34指令工件搬出裝置11、 工件定位裝置12、工件搬入裝置9，進行下一批工件向加工臺10的 放置處理，使其進行下一批工件的放置處理。由此，工件8A、 8B被 搬出加工臺10，進行下一批工件的放置處理(步驟S130)。在工件8A、 8B向加工臺10的下一批工件放置處理之后，激光 加工系統(tǒng)101返回步驟S10的處理，計算工件8A、 8B在加工臺10 上的位置偏差量。然后，激光加工系統(tǒng)101重復步驟S20以后的處 理。下面，詳細說明在圖3中說明的激光加工裝置100的動作順序。 首先，對由控制部21進行的偏差量計算處理(加工臺10上的工件 8A、 8B的位置偏差量的計算處理)進行說明。圖9是表示偏差量計算處理的詳細順序的流程圖。工件位置檢 測照相機7A、7B拍攝加工臺10上的工件8A、8B的圖像(步驟S210), 將拍攝到的圖像傳送給位置檢測部23。位置檢測部23根據(jù)工件位置 檢測照相機7A、 7B拍攝到的工件8A、 8B的圖像，檢測工件8A、 8B相對于加工臺10的位置(工件位置)(步驟S220)。位置檢測 部23將檢測到的工件8A、 8B相對于加工臺10的位置信息輸入控制部21?？刂撇?1的偏差量計算部33，使用從位置檢測部23送來的工 件8A、 8B的位置信息，計算工件8A、 8B在加工臺10上的位置偏 差量(步驟S230)，將計算結果傳送給偏差量判斷部34。下面，對于激光加工裝置100對工件8A、 8B進行單個處理時 的處理順序(步驟S80)進行說明。圖10是表示單個處理工件時的 處理順序的流程圖。激光加工裝置100的偏差量判斷部34，在判斷為以工件8A、 8B 的加工順序，單個地加工工件8A、 8B的情況下，指令單獨加工處理 部32進行工件8A、 8B的單獨加工處理(單個加工處理)。單獨加工處理部32的單獨加工處理指令部44，首先生成用于單 獨地加工處理工件8A的控制指令信息，單獨位置校正處理部43生 成工件8A的位置校正量(進行單獨處理時的工作臺位置校正量)和 電控反射鏡4A、 5A的校正量。這里的工作臺控制部25,在工件8A的加工圖案51A不處于能 通過電控反射鏡4A、 5A的調(diào)整成為可以加工的范圍的情況下，生成 工作臺位置校正量。單獨位置校正處理部43計算出的工作臺位置校 正量和電控反射鏡4A、 5A的校正量、單獨加工處理指令部44生成 的控制指令信息，輸入給工作臺控制部25、反射鏡控制部26。在工件8A的加工圖案51A不處于通過電控反射鏡4A、5A的調(diào) 整可以加工的范圍內(nèi)的情況下，利用工作臺控制部25進行工作臺位 置校正(加工臺10的位置調(diào)整)，以使得加工圖案51A處于可以通 過電控反射鏡4A、 5A的調(diào)整進行加工的范圍(步驟S310)。另外， 反射鏡控制部26調(diào)整電控反射鏡4A，以使得光束照射出工件8A的 加工圖案51A。激光加工裝置100的控制部21，使用加工程序存儲部22的加工 程序，控制工作臺控制部25、反射鏡控制部26、激光束照射控制部 27，進行工件8A的單獨加工處理(步驟S320)。然后，單獨加工處理部32的單獨加工處理指令部44,首先生成 用于地單獨加工處理工件8B的控制指令信息，單獨位置校正處理部43生成工件8B的位置校正量(進行單獨處理時的工作臺位置校正量) 和電控反射鏡4B、 5B的校正量。這里的工作臺控制部25，在工件8B的加工圖案51B不處于可 以通過電控反射鏡4B、 5B的調(diào)整進行加工的范圍內(nèi)的情況下，生成 工作臺位置校正量。單獨位置校正處理部43計算出的工作臺位置校 正量和電控反射鏡4B、 5B的校正量、單獨加工處理指令部44生成 的控制指令信息，輸入給工作臺控制部25、反射鏡控制部26。在工件8B的加工圖案51B不處于可以通過電控反射鏡4B、 5B 的調(diào)整進行加工的范圍內(nèi)的情況下，利用工作臺控制部25進行工作 臺位置校正(加工臺10的位置調(diào)整)，以使得加工圖案51B處于通 過電控反射鏡4B、 5B的調(diào)整可以加工的范圍(步驟S330)。另外， 反射鏡控制部26調(diào)整電控反射鏡4B，以使得光束照射出工件8B的 加工圖案51B。激光加工裝置100的控制部21，使用加工程序存儲部22的加工 程序，控制工作臺控制部25、反射鏡控制部26、激光束照射控制部 27，進行工件8B的單獨加工處理(步驟S340)。此外，這里先進行工件8A的單獨處理，然后進行工件8B的單 獨處理，但也可以先進行工件8B的單獨處理，然后進行工件8A的 單獨處理。下面，對于激光加工裝置100進行工件8A、 8B向加工臺10的 重新放置處理時的處理順序(步驟S100)進行說明。圖11及圖12 是表示進行工件向加工臺的重新放置處理時的處理順序的流程圖。在這里，對于工件8A、 8B這二者向加工臺IO重新放置時的處 理順序、工件8A、 8B中的任意一個向加工臺10重新放置時的處理 順序進行說明。并且，在這里，對于向加工臺IO重新放置作為工件 8A、 8B中任意一個的工件8A時的處理順序進行說明。圖11是向加 工臺10重新放置工件8A、 8B這兩者時的處理順序，圖12是向加工 臺10重新放置工件8A時的處理順序。首先，對于工件8A、 8B (2個工件)這兩者向加工臺10的重 新放置時的處理順序(圖11)進行說明。在工件8A、 8B這兩者向加工臺IO重新放置的情況下，激光加工裝置100的偏差量判斷部34，指令工件搬入裝置9進行工件8A、8B向加工臺IO的重新放置處理。 由此，工件搬入裝置9提起加工臺10上的工件8A、 8B，返回到工 件定位裝置12 (步驟S410)。由工件定位裝置12進行位置校正而重新定位，以使得工件8A、 8B無相對于加工臺10的偏差量。此時，工件定位裝置12使用偏差 量計算部33計算出的工件8A、 8B在加工臺IO上的位置偏差量，定 位工件8A、 8B。也就是說，工件定位裝置12以規(guī)定的校正值(第1 定位校正值)校正工件8A、 8B的定位位置而進行定位，以使得在再 次將工件8A、 8B放置(搬入)在加工臺10上時，工件8A、 8B的 加工圖案51A、 51B落入加工范圍52A、 52B內(nèi)(步驟S420)。工件 搬入裝置9提起由工件定位裝置12定位后的工件8A、 8B，搬入(重 新放置)加工臺10上(步驟S430)。下面，對于工件8A (1個工件)向加工臺10的重新放置時的處 理順序(圖12)進行說明。在工件8A向加工臺IO重新放置的情況 下，激光加工裝置100的偏差量判斷部34對工件搬入裝置9指令進 行工件8A向加工臺10的重新放置處理。由此，工件搬入裝置9提 起加工臺10上的工件8A (步驟S510)。偏差量判斷部34計算加工臺IO的位置校正量，以使得提起的 工件8A與加工臺10上的工件8B的偏差量，都處于可使用f9透鏡 進行加工的范圍內(nèi)。偏差量判斷部34將位置校正量的計算結果傳送 給工作臺控制部25。工作臺控制部25根據(jù)來自偏差量判斷部34的位置校正量，移 動加工臺IO的位置。這里的工作臺控制部25，使加工臺IO的位置 移動，以使得提起的工件8A與加工臺IO上的工件8B的偏差量，都 在使用fe透鏡進行加工的范圍內(nèi)(步驟S520)。然后，工件搬入裝 置9將提起的工件8A搬入(重新放置)加工臺10上(步驟S530)。并且，在這里，對于向加工臺IO重新放置作為工件8A、 8B中 任意一個的工件8A時的處理順序進行了說明，但也可以只重新放置 工件8B。下面，對于激光加工裝置100進行下一批工件向加工臺10的放置處理時的處理順序(步驟S130)進行說明。圖13及圖14是表示下一批工件向加工臺的放置處理時的處理順序的流程圖。在這里，對于向加工臺10同時放置2個下一批工件時的處理順 序、和向加工臺10單個地放置下一批工件時的處理順序進行說明。 圖13是向加工臺10同時放置2個下一批工件時的處理順序，圖14 是向加工臺IO單個地放置下一批工件時的處理順序。首先，對于向加工臺10同時放置作為下一批工件的2個工件時 的處理順序(圖13)進行說明。在向加工臺IO同時放置作為下一批 工件的2個工件的情況下，、激光加工裝置100的偏差量判斷部34指 令工件定位裝置12、工件搬出裝置11、工件搬入裝置9，向加工臺 10同時放置作為下一批工件的2個工件。由此，工件搬出裝置ll提 起加工臺10上的工件8A、 8B，將工件8A、 8B搬出激光加工機構1 之外(步驟S610)。然后，工件定位裝置12進行下一批工件(2個)的定位。此時， 工件定位裝置12利用將前一批工件(工件8A、 8B)放置在加工臺 10上的情況下，無位置偏差的位置校正值，進行下一批工件的位置 校正而進行定位。這里的工件定位裝置12使用偏差量計算部33計算 出的工件8A、 8B在加工臺10上的位置偏差量，進行工件8A、 8B 的定位。也就是說，工件定位裝置12在再次將工件8A、 8B放置到 (搬入)加工臺IO上的情況下，以使工件8A、 8B的加工圖案51A、 51B落入加工范圍52A、52B內(nèi)的位置校正值(第2定位位置校正值)， 進行下一批工件的定位(步驟S620)。工件搬入裝置9提起由工件 定位裝置12定位后的下一批工件(2個)，搬入加工臺10上(步驟 S630)。下面，對于向加工臺IO單個地放置下一批工件時的處理順序(圖 14)進行說明。在向加工臺IO單個地放置下一批工件的情況下，激 光加工裝置100的偏差量判斷部34指令工件定位裝置12、工件搬出 裝置11、工件搬入裝置9，使其向加工臺IO單個地放置下一批工件。 由此，工件搬出裝置11提起加工臺10上的工件8A、 8B，將工件8A、8B搬出激光加工機構1之外(步驟S710)。然后，工件定位裝置12進行下一批工件(第1個及第2個)的 定位。此時，工件定位裝置12通過與前一批工件(工件8A、 8B) 同樣的位置校正，進行下一批工件的定位。工件搬入裝置9提起由工 件定位裝置12定位后的下一批工件(第1個)，搬入加工臺IO上(步 驟S720)。偏差量判斷部34計算加工臺10的位置校正量，以使得在將前 一批工件(工件8A、 8B)放置在加工臺10上的情況下，前一批工 件間的偏差量處于可由fe透鏡進行加工的范圍內(nèi)。偏差量判斷部34 將位置校正量的計算結果傳送給工作臺控制部25。工作臺控制部25根據(jù)來自偏差量判斷部34的位置校正量，使 加工臺10的位置移動。這里的工作臺控制部25使加工臺10的位置 移動，以使得第1個工件以及之后的第2個工件處于可由fe透鏡進 行加工的范圍內(nèi)(步驟S730)。然后，工件搬入裝置9提起由工件 定位裝置12定位后的下一批工件(第2個)，搬入加工臺10上(步 驟S740)。此外，在本實施方式中，對于激光加工裝置100加工2個工件 的情況進行了說明，但激光加工裝置100也可以加工大于或等于3 個工件。該情況下，如果工件間的偏差位置的差小于或等于規(guī)定值， 則也使加工臺IO移動，進行大于或等于3個工件的同時加工。另外， 根據(jù)預先設定的條件，進行單個的加工、再加工處理、下一批工件加 工處理等。另外，在本實施方式中，對于根據(jù)工件的偏差位置，用各種方 法對工件進行激光加工的情況進行了說明，但也可以是其它加工裝置 根據(jù)工件的偏差位置，用各種方法加工工件。根據(jù)上述實施方式，基于計算出的位置偏差值，從預先設定的 多種加工方法中選擇與位置偏差值對應的工件加工方法，使用選擇出 的加工方法進行工件的激光加工，因此能夠高精度、快速地激光加工 工件。另外，在加工臺10上的工件8A、 8B的任意一個都處于可以經(jīng)由fe透鏡進行激光加工的區(qū)域之外(激光加工范圍之外)，且加工 臺10上的各個工件8A、 8B間的位置偏差量(位置偏差值)的差小 于規(guī)定值的情況下(通過工作臺位置校正，工件8A、 8B都處于加工 范圍內(nèi)的情況下)，因為設定加工臺10的位置校正量，以使得加工 臺10上的工件8A、 8B處于可以經(jīng)由各自對應的fe透鏡，同時進行 激光加工的區(qū)域內(nèi)，并將激光束同時照射到加工臺IO上的所有工件 8A、 8B上，進行加工臺10上的工件8A、 8B的同時加工，所以在位 置偏差量的差小于規(guī)定值的情況下，能夠高精度且快速地對多個工件 進行激光加工。由此，在要加工多個工件的情況下，即使多個工件的 偏差量未落入規(guī)定的偏差量之內(nèi)，也能夠同時加工多個工件，快速進 行加工。另外，對于激光加工裝置100，因為預先設定在通過加工臺10 的位置校正而工件8A、 8B不處于同時加工范圍內(nèi)的情況下(工件 8A、 8B間的位置偏差量的差大于規(guī)定值的情況)選擇的各種加工方 法(單個地加工處理、重新放置處理、下一批工件的加工處理等)， 所以即使在通過加工臺IO進行的位置校正，而工件8A、 8B仍不處 于同時加工范圍內(nèi)的情況下，也能夠高精度且快速地加工工件。另外，在偏差量判斷部34判斷工件8A、 8B的位置偏差量的差 大于規(guī)定值的情況下，因為利用單獨加工處理部32分別校正工作臺 位置而對各工件8A、 8B進行激光加工，所以即使在工件8A、 8B有 很大的位置偏差的情況下，也不會出現(xiàn)未被加工的工件，能夠快速地 進行激光加工。另外，在工件8A、 8B間的位置偏差量大于規(guī)定值的情況下， 工件搬入裝置9使工件8A、 8B返回工件定位裝置12，由工件定位 裝置12校正工件8A、 8B的位置而進行定位，以使得再次搬入的工 件8A、 8B進入可以經(jīng)由fe透鏡進行同時激光加工的區(qū)域內(nèi)，因此， 能夠減少定位不良的工件，同時可以快速進行激光加工。另外，在工件8A、 8B間的位置偏差量大于規(guī)定值的情況下， 因為在將1個工件8A提起的同時，使得工件8A被提起的期間內(nèi)， 使加工臺IO移動并在加工臺10移動后再將工件8A重新載置于加工臺10上，以使得工件8A、 8B進入可以經(jīng)由f0透鏡進行同時激光加工的區(qū)域內(nèi)，所以能夠減少定位不良的工件，同時可以快速地進行激 光加工。另外，在工件8A、 8B間的位置偏差量大于規(guī)定值的情況下， 因為工件搬出裝置11將工件8A、 8B搬出，由工件定位裝置12進行下一批工件的定位，以使得下次搬入的工件進入可以經(jīng)由fe透鏡同時進行激光加工的區(qū)域內(nèi)，所以能夠減少定位不良的工件，同時可以 快速地進行激光加工。另外，在工件8A、 8B間的位置偏差量大于規(guī)定值的情況下， 因為工件搬出裝置11將工件8A、 8B搬出，在將下次搬入的第l個 工件搬入加工臺IO上之后，使加工臺IO移動并在移動后將第2個工 件搬入加工臺10上，以使得搬入的工件(第1個及第2個)進入可 以經(jīng)由fB透鏡同時進行激光加工的區(qū)域內(nèi)，所以能夠減少定位不良 的工件，同時可以快速地進行激光加工。因此，即使在工件8A、 8B間的位置偏差量大于規(guī)定值的情況 下，激光加工裝置100也能夠進行2個激光加工，與只能加工l個的 情況相比，能夠高效地進行加工處理。工業(yè)實用性如上所述，本發(fā)明涉及的激光加工裝置適用于加工臺上的多個 工件的激光加工。
權利要求
1. 一種激光加工裝置，其從多個激光照射軸，經(jīng)由與各激光照射軸對應的fθ透鏡，同時照射多個激光束，同時對載置于1個加工臺上的多個工件進行激光加工，其特征在于，具有偏差值計算部，其對于每個工件，檢測前述各工件相對于前述加工臺的位置偏差，計算每個工件相對于前述加工臺的位置偏差值；加工方法選擇部，其根據(jù)前述偏差值計算部計算出的位置偏差值，從預先設定的多種加工方法中選擇與前述位置偏差值對應的工件的加工方法；校正值設定部，其根據(jù)前述加工方法選擇部選擇出的加工方法，設定對前述各工件的位置偏差進行校正的前述加工臺的移動量的校正值；以及加工控制部，其在利用由前述加工方法選擇部選擇出的加工方法，使用由前述校正值設定部設定的校正值，加工前述加工臺上的多個工件時，進行加工控制，前述加工方法選擇部，在前述加工臺上的某個工件處于可以經(jīng)由前述fθ透鏡進行激光加工的區(qū)域之外、且前述加工臺上的各工件間的位置偏差值的差小于規(guī)定值的情況下，從前述多種加工方法中選擇同時加工方法，該同時加工方法是向前述加工臺上的所有工件同時照射前述激光束，對前述加工臺上的所有工件進行同時加工，前述校正值設定部，在前述加工方法選擇部選擇了前述同時加工方法的情況下，設定前述校正值，以使得前述加工臺上的所有工件，進入可以經(jīng)由與各工件對應的fθ透鏡同時進行激光加工的區(qū)域內(nèi)。
2. 如權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，還具有加工方法設定部，其預先設定在前述各工件間的位置偏 差值的差大于規(guī)定值的情況下，使前述加工方法選擇部選擇的加工方 法，前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇由前述加工方法設定部設定的加工方法。
3. 如權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于 規(guī)定值的情況下，選擇單獨加工方法，該單獨加工方法是在前述各工 件的每次激光加工時，使前述加工臺移動，對每個前述工件進行單獨 加工，前述校正值設定部，對每個前述各工件設定前述校正值，以使 得通過前述各工件的每次激光加工時的前述加工臺的移動，前述各工 件進入可以經(jīng)由與前述各工件對應的fe透鏡進行激光加工的區(qū)域內(nèi)。
4. 如權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于， 前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇下述加工方法使前述加工臺上的所有工件，返回配置在外部并在搬入前述工件時進行工件定位的定位裝置，在使 該定位裝置進行前述所有工件的定位之后，將定位后的前述所有工件 再次搬入前述加工臺，前述校正值設定部，對前述定位裝置設定校正前述各工件的定 位位置的第1定位校正值，以使得再次搬入到前述加工臺上的所有工件，進入可以經(jīng)由與各工件對應的fe透鏡同時進行激光加工的區(qū)域內(nèi)。
5. 如權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于， 前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇下述加工方法將載置于前述加工臺上的規(guī)定工件從前述加工臺上提起，同時在前述規(guī)定的工件被提起期間，使前 述加工臺移動，在前述加工臺移動后，將前述規(guī)定工件再次載置到前述加工臺上。前述校正值設定部設定前述校正值，以使得通過前述加工臺的移動，載置于前述加工臺上的所有工件進入可以經(jīng)由與各工件對應的fe透鏡同時進行激光加工的區(qū)域內(nèi)。
6. 如權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于， 前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇下述加工方法使配置在外部并用于搬出前述 工件的搬出裝置將前述加工臺上的所有工件搬出，同時由配置在外部 并在搬入前述工件時進行定位的定位裝置，進行下一批搬入的各工件 的定位，將定位后的各工件搬入前述加工臺，前述校正值設定部，對前述定位裝置設定校正前述各工件的定 位位置的第2定位校正值，以使得搬入到前述加工臺上的下一批的所 有工件，進入可以經(jīng)由與各工件對應的f9透鏡同時進行激光加工的 區(qū)域內(nèi)。
7. 如權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，前述加工方法選擇部，在前述各工件間的位置偏差值的差大于規(guī)定值的情況下，選擇下述加工方法由配置在外部并用于搬出前述 工件的搬出裝置將前述加工臺上的所有工件搬出，同時使配置在外部 并在前述工件搬入時進行定位的定位裝置，進行下一批搬入的各工件 的定位，將定位后的工件中的規(guī)定的工件搬入前述加工臺，使前述加 工臺移動，在前述加工臺移動后，將定位后的工件中的其余工件搬入 前述加工臺，前述校正值設定部設定前述校正值，以使得搬入前述加工臺上的所有工件，進入可以經(jīng)由與各工件對應的fe透鏡同時進行激光加工的區(qū)域。
全文摘要
一種激光加工裝置，其經(jīng)由多個fθ透鏡同時照射多個激光束，對載置于1個加工臺上的多個工件進行激光加工，具有偏差量計算部，其計算每個工件的位置偏差值，根據(jù)工件的加工方法，設定校正工件的位置偏差的加工臺移動量校正值；偏差量判斷部，其從預先設定的多種加工方法中選擇與位置偏差值對應的加工方法；以及控制部，其使用與工件加工方法對應的校正值，對多個工件進行加工控制，其中，在某個工件處于fθ透鏡的加工區(qū)域之外、且各工件間的位置偏差值的差小于規(guī)定值的情況下，偏差量計算部設定校正值，以使得所有的工件進入fθ透鏡的加工區(qū)域內(nèi)，偏差量判斷部選擇同時向所有的工件照射激光束，進行所有工件的同時加工的同時加工方法。
文檔編號B23K26/08GK101253018SQ20068000218
公開日2008年8月27日 申請日期2006年9月28日 優(yōu)先權日2006年9月28日
發(fā)明者杉村好司, 管原雅之, 金田充弘 申請人:三菱電機株式會社