透光設(shè)備及具有所述透光設(shè)備的退火設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種透光設(shè)備及具有所述透光設(shè)備的退火設(shè)備，所述透光設(shè)備包括：光可穿透的透射窗；提供于所述透射窗的邊緣上的框架；以及多個(gè)夾鉗，其用于將壓力施加到所述框架以緊密地固定所述透射窗；其中所述夾鉗包括本體、插入于所述本體中的彈性部件及經(jīng)由所述彈性部件穿過(guò)所述本體且從所述本體的下端突出的緊固件部件，且所述彈性部件將由所述緊固件部件所施加的壓力控制在所要范圍內(nèi)。
【專利說(shuō)明】透光設(shè)備及具有所述透光設(shè)備的退火設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種退火設(shè)備。尤其涉及一種透光(light penetration)設(shè)備及具有所述透光設(shè)備的退火設(shè)備，在所述透光設(shè)備中，激光束可穿透的透射窗(transmissionwindow)可固定而無(wú)破損。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜晶體管(TFT)被用作用于獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)顯示裝置中的像素中的每一者的電路，顯示裝置例如液晶顯示器(IXD)或有機(jī)電致發(fā)光(Electro Luminescence ;EL)。此薄膜晶體管包括柵極電極、主動(dòng)層(active layer)、源極電極及柵極絕緣膜。
[0003]在此薄膜晶體管中，主動(dòng)層充當(dāng)柵極電極與源極/漏極電極之間的通道。已使用非晶硅或結(jié)晶硅來(lái)形成此主動(dòng)層。然而，非晶硅在制造大屏幕液晶顯示器時(shí)具有許多限制，這是因?yàn)榉蔷Ч杈哂械偷碾娮舆w移率。因此，近來(lái)的研究注重于開(kāi)發(fā)出使用結(jié)晶硅來(lái)形成主動(dòng)層的方法。直接氣相沉積結(jié)晶硅以及氣相沉積非晶硅之后接著結(jié)晶化被用作形成結(jié)晶硅的方法。
[0004]順序橫向凝固(sequentiallateral solidification ；SLS)及準(zhǔn)分子激光退火(excimer laser annealing ；ELA)被用作使非晶娃結(jié)晶的方法。在SLS方法中，晶體可通過(guò)派生橫向生長(zhǎng)(deriving lateral growth)經(jīng)形成為大致單晶體,且電子遷移率變大。SLS方法的劣勢(shì)在于:經(jīng)福照激光束具有高能源依存性而減小工藝裕度(process margin),且工藝很大程度上受平臺(tái)(stage)的精度影響，襯底安置(seat)在所述平臺(tái)上而在整個(gè)襯底上得到非均勻結(jié)果。在ELA方法中，準(zhǔn)分子激光經(jīng)瞬間輻照，使得非晶硅被加熱到約1400°C以派生結(jié)晶及垂直生長(zhǎng)。ELA方法與SLS方法相比較具有不良的結(jié)晶性質(zhì)，但可獲得襯底上的均勻結(jié)果。因此,作為用于大量生產(chǎn)的方法而積極地研究ELA。此外，在第10-0908325號(hào)KR專利中例示了激光加工方法。
[0005]為了使用ELA方法使非晶硅結(jié)晶，從提供于腔室之外的激光輻照裝置將激光輻照于腔室內(nèi)的襯底上。即，襯底置于腔室內(nèi)，腔室在其上部部分上具有開(kāi)口，透光設(shè)備緊密地耦合到所述開(kāi)口，且從外部經(jīng)由透光設(shè)備將激光輻照于腔室內(nèi)。并且，透光設(shè)備具有提供于透射窗上的框架，且框架使用多個(gè)夾鉗(clamps)將壓力施加到多個(gè)區(qū)域以固定透射窗。
[0006]然而，因?yàn)槌Ｒ?guī)夾鉗使用螺栓(bolts)施加壓力，所以無(wú)法控制透射窗的緊固強(qiáng)度，即螺栓的夾緊強(qiáng)度。因此，透射窗可能受到損壞。即，歸因于螺栓的夾緊力，框架將過(guò)度高于擰緊強(qiáng)度的壓力施加到透射窗，從而導(dǎo)致對(duì)應(yīng)區(qū)域中的透射窗的破損。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]技術(shù)問(wèn)題
[0008]本發(fā)明的目標(biāo)為提供一種能夠防止由夾鉗造成透射窗破損的透光設(shè)備，以及一種具有所述透光設(shè)備的退火設(shè)備。
[0009]本發(fā)明的目標(biāo)為提供一種能夠通過(guò)抑制夾鉗的過(guò)度夾緊而防止透射窗破損的透光設(shè)備，以及一種具有所述透光設(shè)備的退火設(shè)備。
[0010]技術(shù)解決方案
[0011]根據(jù)一個(gè)方面，一種透光設(shè)備包括:光可穿透的透射窗(transmission windowtransparent to light);提供于所述透射窗的邊緣上的框架；以及多個(gè)夾鉗,其用于將壓力施加到所述框架以緊密地固定所述透射窗；其中所述夾鉗包括本體、插入于所述本體中的彈性部件及經(jīng)由所述彈性部件穿過(guò)所述本體且從所述本體的下端突出的緊固件部件，且所述彈性部件將由所述緊固件部件所施加的壓力控制在所要范圍內(nèi)。
[0012]所述框架包括提供于所述透射窗的下部部分中的下部框架，以及提供于所述透射窗的上部部分中的上部框架。
[0013]至少一緩沖部件進(jìn)一步提供于所述下部框架及上部框架與所述透射窗之間。
[0014]所述夾鉗進(jìn)一步包括從所述本體的上部部分的部分延伸且與所述上部框架接觸的延伸部分。
[0015]外殼經(jīng)進(jìn)一步提供以容納所述框架及所述透射窗于其中，且所述夾鉗提供于所述外殼上以插入并耦合到所述外殼上的孔中。
[0016]根據(jù)另一方面，一種退火設(shè)備包括:具有內(nèi)部空間的腔室；襯底移動(dòng)單元，其提供于所述腔室的內(nèi)部下部部分中以使襯底在所要方向上移動(dòng)；以及透光單元，其提供于所述腔室的外部上部部分中以透射從外部輻照的光，使得所述光輻照于所述襯底上；其中所述透光單元包括多個(gè)夾鉗，所述夾鉗用于將壓力施加到提供于光可穿透的透射窗的邊緣上的框架以緊密地固定所述透射窗，所述夾鉗包括本體、插入于所述本體中的彈性部件及經(jīng)由所述彈性部件穿過(guò)所述本體且從所述本體的下端突出的緊固件部件，且所述彈性部件將由所述緊固件部件所施加的壓力控制在所要范圍內(nèi)。
[0017]所述襯底移動(dòng)單元還包括:第一平臺(tái)，其配置于所述腔室中且經(jīng)配置以在一個(gè)水平方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng)；第二平臺(tái)，其提供于所述第一平臺(tái)上且經(jīng)配置以在正交于所述一個(gè)水平方向的另一水平方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng)；以及支撐板，其配置于所述第二平臺(tái)上且經(jīng)配置以將經(jīng)受熱處理的襯底安置于其頂部表面上。
[0018]水平旋轉(zhuǎn)的第三平臺(tái)及垂直移動(dòng)的第四平臺(tái)中的至少一者進(jìn)一步提供于所述第二平臺(tái)與所述支撐板之間。
[0019]有利效果
[0020]根據(jù)本發(fā)明，當(dāng)夾鉗將壓力施加到提供于透射窗上的框架以緊密地固定所述透射窗時(shí)，所述夾鉗的過(guò)度壓力可由提供于所述夾鉗中的彈性部件來(lái)抑制。即，通過(guò)提供彈性部件于所述夾鉗內(nèi)以及通過(guò)提供穿過(guò)所述彈性部件的緊固件部件，當(dāng)通過(guò)使所述緊固件部件旋轉(zhuǎn)來(lái)按壓所述夾鉗時(shí)，所述彈性部件可將彈性分給所述緊固件部件以抑制過(guò)度壓力。
[0021]根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)抑制所述夾鉗的過(guò)度壓力，可防止由所述夾鉗的所述過(guò)度壓力造成的所述透射窗的破損。結(jié)果，所述透射窗的調(diào)換周期可增加，且因此可節(jié)約成本。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1為顯示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的激光退火設(shè)備的示意圖。
[0023]圖2為顯示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的透光單元的示意性透視圖。
[0024]圖3為顯示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的透光單元的部分截面圖。[0025]圖4為顯示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的具有分離夾鉗的透光單元的分解透視圖。
[0026]圖5及圖6為說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的用于使用夾鉗緊固透光單元的方法的示意性截面圖。
[0027]附圖標(biāo)記:
[0028]100:腔室
[0029]110:腔室本體
[0030]120:腔室蓋
[0031]122:開(kāi)口
[0032]200:襯底移動(dòng)單元
[0033]210:底板
[0034]220:第一平臺(tái)
[0035]230:第二平臺(tái)
[0036]240:支撐板
[0037]300:透光單元
[0038]310:外殼
[0039]320:透射窗
[0040]330:下部框架
[0041]340:上部框架
[0042]350:夾鉗
[0043]351:本體
[0044]352:延伸部分
[0045]353:緊固件部件
[0046]354:彈性部件
[0047]360:緩沖部件
[0048]400:光源
[0049]S:襯底
【具體實(shí)施方式】
[0050]現(xiàn)在，將參考附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例。然而，本發(fā)明不限于下文描述的實(shí)施例，而是其可以體現(xiàn)為不同的配置。提供此實(shí)施例是為了充分理解本發(fā)明，并且本發(fā)明的范圍可以由所屬領(lǐng)域的一般技術(shù)人員通過(guò)參考此實(shí)施例而充分理解。在諸圖中，相似數(shù)字表示相似元件。
[0051]圖1為顯示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的激光退火設(shè)備的示意圖。并且，圖2為顯示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的透光單元的示意性透視圖，圖3為顯示透光單元的部分截面圖，且圖4為顯示具有分離夾鉗的透光單元的分解透視圖。圖5及圖6為說(shuō)明用于使用夾鉗緊固透光單元的方法的示意性截面圖。
[0052]參看圖1，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，退火設(shè)備包括:具有內(nèi)部空間的腔室100 ;襯底移動(dòng)單元200，其提供于腔室100的內(nèi)部下部部分中；透光單元300，其提供于腔室100的外部上部部分中；以及光源400，其用以輻照具有所要波長(zhǎng)的光。[0053]腔室100包括具有內(nèi)部空間的腔室本體110及可卸除地耦合到(removablycoupled to)腔室本體110的腔室蓋120。腔室本體110經(jīng)形成為上部部分為開(kāi)口的容器形狀，且腔室蓋120經(jīng)形成為覆蓋腔室本體110的上部部分的板形狀。并且，腔室本體110及腔室蓋120具有與襯底S的形狀大致相同的平面形狀，例如矩形形狀。腔室蓋120 (例如，在其中心部分中)具有按所要大小開(kāi)口的開(kāi)口 122。并且，腔室蓋120的開(kāi)口 122的周?chē)鷧^(qū)域與其它區(qū)域相比較可具有較薄的厚度。透光單元300耦合到開(kāi)口 122的上部部分。因此，如果從外部光源400輻照光，那么激光經(jīng)由透光單元300及開(kāi)口 122而輻照于腔室100內(nèi)。另外，例如O形環(huán)(Ο-ring)或襯墊(gasket)等單獨(dú)密封部件可提供于腔室本體110及腔室蓋120所耦合的界面處，以及可進(jìn)一步提供單獨(dú)固定部件以將腔室蓋120牢固地耦合到腔室本體110，但所述部件在本文中并未顯示。當(dāng)然，可使用腔室本體110與腔室蓋120 —體形成的整合腔室100。
[0054]襯底移動(dòng)單元200提供于腔室100的內(nèi)部下部部分中以安置從外部進(jìn)入的襯底
S、支撐襯底S且將襯底S的多個(gè)區(qū)域移動(dòng)到激光輻照地點(diǎn)。襯底移動(dòng)單元200包括:底板210，其與腔室100的下部表面接觸；第一平臺(tái)220，其提供于底板210上以在一個(gè)方向上移動(dòng)；第二平臺(tái)230，其提供于第一平臺(tái)220上以在正交于所述一個(gè)方向的另一方向上移動(dòng)；以及支撐板240，其提供于第二平臺(tái)230上以安置襯底S且支撐襯底S。第一平臺(tái)220可在X軸及Y軸正交于彼此的正交坐標(biāo)系上沿著X軸方向移動(dòng)。舉例來(lái)說(shuō)，例如線性電動(dòng)機(jī)等線性移動(dòng)構(gòu)件(未顯示)耦合到第一平臺(tái)220，且第一平臺(tái)220在將電力施加到線性電動(dòng)機(jī)時(shí)移動(dòng)。并且，為了導(dǎo)引第一平臺(tái)220的移動(dòng)，底板210具有在X軸方向上形成的長(zhǎng)的多個(gè)第一線性導(dǎo)引器(未顯示)，且第一平臺(tái)220置于多個(gè)第一線性導(dǎo)引器上。第二平臺(tái)230配置于第一平臺(tái)220上。舉例來(lái)說(shuō)，在Y軸方向上形成的長(zhǎng)的第二線性導(dǎo)引器(未顯示)配置于第一平臺(tái)220上，且第二平臺(tái)230置于第二線性導(dǎo)引器上。類似于第一平臺(tái)220，第二平臺(tái)230耦合到線性電動(dòng)機(jī)(未顯示)以沿著Y軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。支撐板240用以安置從外部裝載到腔室100內(nèi)部的襯底S，且支撐所述襯底S。支撐板240經(jīng)形成為(例如)具有與襯底S的形狀相同的形狀的板形狀。支撐板的大小可為與襯底S的大小相同的大小，或可小于或大于襯底S的大小。襯底S可為具有非晶娃層的玻璃襯底,所述非晶娃層形成于至少所要區(qū)域上以形成薄膜晶體管的主動(dòng)層。然而，襯底S不受限制，且可包括具有形成于至少一個(gè)區(qū)域上的待由激光處理的目標(biāo)的襯底。另外，垂直地(B卩，在Z軸方向上)移動(dòng)的第三平臺(tái)、在平行于包含X軸及Y軸的XY平面的平面上旋轉(zhuǎn)的第四平臺(tái)等等可提供于第二平臺(tái)230與支撐板240之間，但在圖1中未顯示。通過(guò)使用第一平臺(tái)220及第二平臺(tái)230以及第三平臺(tái)及第四平臺(tái)，支撐板240上的襯底S的所要區(qū)域可移動(dòng)到激光輻照地點(diǎn)。
[0055]提供透光單元300以與腔室100的上部部分中的開(kāi)口 122匹配。透光單元300透射從外部光源400輻照的激光，使得激光束輻照于腔室100內(nèi)。如圖2及圖3中所顯示，透光單元300包括外殼310、光可穿透的透射窗320、分別提供于透射窗320的下部部分及上部部分中的下部框架330及上部框架340，以及用于將壓力施加到上部框架340以緊密地固定透射窗320的夾鉗350。
[0056]如圖2中所顯示，外殼310容納框架330、340及緊密地固定于框架330、340之間的透射窗320于其中，且支撐其上的夾鉗350。S卩，外殼310具有類似于透射窗320的形狀的形狀。置放透射窗320的外殼的至少一區(qū)域?yàn)榫哂写笾抡叫涡螤畹目湛蚣埽叶鄠€(gè)夾鉗350固定于其頂部表面上。此些夾鉗350牢固地插入于形成于外殼310上的孔中。下部框架330僅耦合到外殼310，但透射窗320及上部框架340未耦合到外殼310。S卩，透射窗320及上部框架340可從外殼310卸除。下部框架330可水平地固定到外殼310的內(nèi)側(cè)，或可垂直地固定到頂端。并且，外殼310固定于腔室蓋120上，使得透射窗320與開(kāi)口 122匹配。
[0057]透射窗320透射從光源400輻照的激光。為此目的，舉例來(lái)說(shuō)，透射窗320可由具有在IOOnm?400nm波長(zhǎng)中的激光的70 %或更高的透光率的玻璃制成。并且，透射窗320具有矩形形狀(其具有在一個(gè)方向上伸長(zhǎng)的長(zhǎng)度)，這是因?yàn)榧す馔ǔＲ灾本€束(linebeams)的形式用于激光熱處理。舉例來(lái)說(shuō)，透射窗320可具有1500mm xl20mm的大小。
[0058]下部框架330及上部框架340在透射窗320的下部部分及上部部分中設(shè)置為距透射窗320的邊緣的所要寬度及對(duì)應(yīng)于透射窗320的形狀的大致矩形框架。舉例來(lái)說(shuō)，如果透射窗320具有1500mm x120mm的大小，那么下部框架330及上部框架340可具有大于或等于所述大小的直徑。下部框架330可固定到外殼310的內(nèi)側(cè)或頂端。并且，下部框架330可與外殼310 —體地形成，或可卸除地耦合到外殼310。下部框架330的頂部表面可能平坦，或可具有所要梯級(jí)(step)。即，下部框架330可具有平坦頂部表面，同時(shí)具有與透射窗320的大小相同的大小，且在此狀況下，下部框架330可配置為從透射窗320的邊緣向內(nèi)的所要寬度，或者，下部框架330可具有內(nèi)部梯級(jí)，同時(shí)具有大于透射窗320的大小的大小，且在此狀況下，下部框架330可在梯級(jí)中配置為距透射窗320的邊緣的所要寬度。下部框架340配置于對(duì)應(yīng)于透射窗320上的下部框架330的區(qū)域中。即，當(dāng)透射窗320配置于具有平坦頂部表面的下部框架330上時(shí)，上部框架340可具有與下部框架330的形狀相同的形狀。作為對(duì)比，當(dāng)透射窗320配置于形成于下部框架330上的梯級(jí)中時(shí)，上部框架340可具有對(duì)應(yīng)于下部框架330的梯級(jí)的形狀。另外，凹座(recesses)可形成于上部框架340的所要區(qū)域中，例如與夾鉗350接觸的區(qū)域。因此，通過(guò)(例如)使夾鉗350與形成于上部框架340中的凹座接觸，當(dāng)使用螺栓來(lái)夾緊夾鉗350時(shí)，可防止夾鉗350與上部框架340分開(kāi)。緩沖部件360還可提供于框架330、340與透射窗320之間。緩沖部件360可分別提供于下部框架330與透射窗320之間及上部框架340與透射窗320之間?？商峁┚彌_部件360以防止歸因于框架330、340與透射窗320之間的直接接觸而損壞透射窗320。緩沖部件360可由壓力可變形(pressure deformable)材料制成,例如彈性材料(例如，橡膠)。S卩，可在夾鉗350向下移動(dòng)之前維持球形形狀，如圖5中所顯示，且形狀可在夾鉗350向下移動(dòng)之后變形，如圖6中所顯示?；蛘?，緩沖部件360可被提供為框架330、340的形狀。一個(gè)緩沖部件360可分別提供于框架330、340與透射窗320之間，但兩個(gè)或兩個(gè)以上緩沖部件可沿著框架330、340的寬度方向被提供。
[0059]多個(gè)夾鉗350可提供于外殼310上，且此些夾鉗中的至少一些可與上部框架340接觸。此些夾鉗350通過(guò)外力將壓力施加到上部框架340，以將透射窗310緊密地固定于框架330、340之間。如圖3及圖4中所顯示，此些夾鉗350包括:本體351，其在垂直方向上從外殼310設(shè)置且具有形成于其中的通孔；延伸部分352，其在水平方向上從本體351的上部部分的部分延伸；緊固件部件353，其插入于本體351中以使得其從上方插入于外殼310中；以及彈性部件354，其被提供為將螺栓353纏繞(wrap)于本體351內(nèi)。本體351具有內(nèi)部空間以容納彈性部件354及緊固件部件353于其中，且緊固件部件353從上到下穿過(guò)形成于本體351中的通孔。舉例來(lái)說(shuō)，本體351具有圓柱形形狀。本體351中的通孔經(jīng)形成以使得下部部分的區(qū)域具有窄于其它區(qū)域的寬度。舉例來(lái)說(shuō)，從側(cè)部向內(nèi)延伸的下部表面可形成于本體351的下部部分上，或向內(nèi)突出的梯級(jí)可形成于本體351內(nèi)的所要區(qū)域中?？稍诒倔w351的下部表面或梯級(jí)上支撐彈性部件354，且在此狀況下，彈性部件354的彈性作用于緊固件部件353上以抑制緊固件部件353的壓力。另外，螺紋(threads)可形成于本體351的下部表面或梯級(jí)的內(nèi)部，使得例如螺栓等緊固件部件353在本體351的下部部分中沿著螺紋旋轉(zhuǎn)。延伸部分352提供于本體351的上部部分的一側(cè)中，在水平方向上延伸。延伸部分352與上部框架340接觸以將緊固件部件353夾緊，使得上部框架340被按壓。并且，延伸部分352可隨本體351在一個(gè)側(cè)及其它側(cè)方向上旋轉(zhuǎn)。即，當(dāng)緊固件部件353在一個(gè)方向上旋轉(zhuǎn)(例如，順時(shí)針?lè)较蛞詫?dǎo)致夾緊)時(shí)，延伸部分352與上部框架340接觸以將壓力施加到上部框架340。作為對(duì)比，當(dāng)緊固件部件353在其它方向上旋轉(zhuǎn)(例如，逆時(shí)針?lè)较蛞葬尫艎A緊)時(shí)，延伸部分352與上部框架340分離。緊固件部件353具有伸長(zhǎng)部分(其具有所要長(zhǎng)度)，且頭部部分提供于伸長(zhǎng)部分的上部部分中。頭部部分具有大于伸長(zhǎng)部分的寬度的寬度。螺紋還形成于伸長(zhǎng)部分中。并且，伸長(zhǎng)部分可經(jīng)形成以使得長(zhǎng)度從頭部部分向下到特定點(diǎn)的寬度大于長(zhǎng)度從特定點(diǎn)向下到下端的寬度。即，伸長(zhǎng)部分可具有(例如)從下方到中心點(diǎn)的第一寬度及從中心點(diǎn)到頭部部分的第二寬度。舉例來(lái)說(shuō)，螺栓可被用作緊固件部件353。通過(guò)從下端經(jīng)由本體351而突出，緊固件部件353裸露出來(lái)，且突出部分牢固地插入于形成于外殼310中的凹座中。因此，甚至當(dāng)延伸部分352與上部框架340分離(即，釋放)時(shí)，仍可防止緊固件部件353與外殼310中的凹座分開(kāi)。緊固件部件353經(jīng)形成為足以甚至在釋放緊固件部件353時(shí)防止其與外殼310中的凹座分開(kāi)的長(zhǎng)度。彈性部件354提供于本體351內(nèi)，且在本體351的下部表面或梯級(jí)上支撐彈性部件354。經(jīng)由彈性部件354而插入緊固件部件353，使得緊固件部件353的頭部部分與彈性部件354的頂端接觸。緊固件部件353的中心部分(即，第一寬度與第二寬度之間的界面)不與本體351的下部表面接觸。彈性部件354可由通過(guò)壓力壓縮且通過(guò)減壓恢復(fù)的材料(例如，彈黃)制成。
[0060]如上文所描述，在本發(fā)明中，夾鉗350經(jīng)配置以將彈性部件354插入于本體351 (本體351具有形成于其中的通孔)中，且還經(jīng)由彈性部件354插入緊固件部件353直到緊固件部件353從下方突出以插入于外殼310中的凹座中。并且，緊固件部件353在穿過(guò)本體351時(shí)旋轉(zhuǎn)以緊固于外殼310中的凹座內(nèi)，使得本體351及延伸部分352向下移動(dòng)以按壓上部框架330。此時(shí)，在通過(guò)旋轉(zhuǎn)使緊固件部件353向下移動(dòng)時(shí)，本體351中的彈性部件354將彈性分給緊固件部件353，使得可抑制緊固件部件353的移動(dòng)。結(jié)果，可抑制施加到上部框架340的過(guò)度壓力，且可防止由上部框架340造成的透射窗320的破損。如果不設(shè)置彈性部件354，那么無(wú)法控制緊固件部件353 (即，螺栓)的夾緊壓力，從而導(dǎo)致過(guò)度壓力施加到上部框架340，以造成透射窗320的破損。根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)設(shè)置彈性部件354來(lái)抑制緊固件部件353的壓力，可抑制施加到上部框架340的過(guò)度壓力，且可防止透射窗320的破損。
[0061]已參考如上文所建議的實(shí)施例描述本發(fā)明，但應(yīng)理解，實(shí)施例意欲說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)精神，而不是限制本發(fā)明。此外，所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)理解，在不脫離本發(fā)明的精神及范圍的情況下，本發(fā)明可體現(xiàn)為各種配置。
【權(quán)利要求】
1.一種透光設(shè)備，其特征在于，包括: 光可穿透的透射窗； 提供于所述透射窗的邊緣上的框架；以及 多個(gè)夾鉗，其用于將壓力施加到所述框架以緊密地固定所述透射窗， 其中所述夾鉗包括本體、插入于所述本體中的彈性部件及經(jīng)由所述彈性部件穿過(guò)所述本體且從所述本體的下端突出的緊固件部件,且 所述彈性部件將由所述緊固件部件所施加的壓力控制在所要范圍內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光設(shè)備，其特征在于，所述框架包括提供于所述透射窗的下部部分中的下部框架，以及提供于所述透射窗的上部部分中的上部框架。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透光設(shè)備，其特征在于，至少一緩沖部件進(jìn)一步提供于所述下部框架與所述透射窗之間以及所述上部框架與所述透射窗之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的透光設(shè)備，其特征在于，所述夾鉗進(jìn)一步包括從所述本體的上部部分的部分延伸且與所述上部框架接觸的延伸部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的透光設(shè)備，其特征在于，外殼經(jīng)進(jìn)一步提供以容納所述透射窗及所述框架于其中，且所述夾鉗提供于所述外殼上以插入并耦合到所述外殼上的孔中。
6.—種退火設(shè)備,包括: 具有內(nèi)部空間的腔室； 襯底移動(dòng)單元，其提供于所述腔室的內(nèi)部下部部分中以使襯底在所要方向上移動(dòng)；以及 透光單元，其提供于所述腔室的外部上部部分中以透射從外部輻照的光，使得所述光輻照于所述襯底上， 其中所述透光單元包括多個(gè)夾鉗，所述夾鉗用于將壓力施加到提供于光可穿透的透射窗的邊緣上的框架以緊密地固定所述透射窗， 所述夾鉗包括本體、插入于所述本體中的彈性部件及經(jīng)由所述彈性部件穿過(guò)所述本體且從所述本體的下端突出的緊固件部件，且 所述彈性部件將由所述緊固件部件所施加的壓力控制在所要范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的退火設(shè)備，其特征在于，所述襯底移動(dòng)單元還包括: 第一平臺(tái)，其配置于所述腔室中且經(jīng)配置以在一個(gè)水平方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng)； 第二平臺(tái)，其提供于所述第一平臺(tái)上且經(jīng)配置以在正交于所述一個(gè)水平方向的另一水平方向上往復(fù)運(yùn)動(dòng)；以及 支撐板，其配置于所述第二平臺(tái)上且經(jīng)配置以將經(jīng)受熱處理的襯底安置于其頂部表面上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的退火設(shè)備，其特征在于，水平旋轉(zhuǎn)的第三平臺(tái)及垂直移動(dòng)的第四平臺(tái)中的至少一者進(jìn)一步提供于所述第二平臺(tái)與所述支撐板之間。
【文檔編號(hào)】B23K26/08GK103801821SQ201310560178
【公開(kāi)日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2013年11月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月13日
【發(fā)明者】梁相熙, 李基雄, 權(quán)五成, 金圣進(jìn) 申請(qǐng)人:Ap系統(tǒng)股份有限公司, 三星顯示有限公司