一種激光硅片切割夾具的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種激光硅片切割夾具，包括底座、支撐桿、支撐面、硅片吸桿和吸氣管，所述底座面和所述支撐面平行，且通過所述支撐桿連接，所述支撐面為圓環(huán)形；所述底座上設(shè)置若干根平行于所述支撐桿的硅片吸桿，所述硅片吸桿頂端面設(shè)有吸盤；所述底座面上設(shè)有吸氣管，所述底座側(cè)面還設(shè)有吸氣接口，所述吸氣管和所述吸氣接口通過底座內(nèi)部連通。本實用新型通過吸附功能的硅片吸桿將硅片牢牢吸附在夾具支撐面上，同時設(shè)置吸氣管在切割過程中吹氣保證了切割邊緣的完整性，結(jié)構(gòu)簡單、操作方便而且極具實用性。
【專利說明】一種激光硅片切割夾具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種激光硅片切割夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]激光拼焊和激光切割技術(shù)是目前在工業(yè)制造和生產(chǎn)中被廣泛應(yīng)用的新技術(shù)，可以將不同表面處理、不同種類或不同厚度的金屬板自由組合成為一個毛坯件，對于減輕重量、提高工件質(zhì)量、提高安全性、減少加工工序、降低成本、提高生產(chǎn)效率和減少材料消耗等多方面都有十分重要的意義。由于激光光束直徑很小，在拼焊或切割過程中對兩塊待處理金屬板的裝配間隙有非常嚴(yán)格的要求，由于熱應(yīng)力的存在，為保證焊接過程中拼焊間隙不發(fā)生變化，對夾具的夾緊力要求通常很高。而且在傳統(tǒng)的硅片切割過程中，夾具是先把硅片用膠水粘在夾具上，切割完成后又把硅片放在硫酸里清洗膠水，其操作工藝非常麻煩，也造成了環(huán)境污染。
實用新型內(nèi)容
[0003]為了解決上述問題，本實用新型提供了一種激光硅片切割夾具，通過吸附功能的硅片吸桿將硅片牢牢吸附在夾具支撐面上，同時設(shè)置吸氣管在切割過程中吹氣保證了切割邊緣的完整性。
[0004]本實用新型具體是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:
[0005]一種激光硅片切割夾具，包括底座、支撐桿、支撐面、硅片吸桿和吸氣管，所述底座面和所述支撐面平行，且通過所述支撐桿連接，所述支撐面為圓環(huán)形；所述底座上設(shè)置若干根平行于所述支撐桿的硅片吸桿，所述硅片吸桿頂端面設(shè)有吸盤；所述底座面上設(shè)有吸氣管，所述底座側(cè)面還設(shè)有吸氣接口，所述吸氣管和所述吸氣接口通過底座內(nèi)部連通。
[0006]優(yōu)選地，所述硅片吸桿頂端與所述支撐面平行；
[0007]優(yōu)選地，所述硅片吸桿側(cè)面設(shè)有至少兩個凹陷狀的手持孔；
[0008]優(yōu)選地，所述底座上設(shè)有夾具固定孔。
[0009]本實用新型產(chǎn)生的有益效果為:在保證吸附硅片的同時，還能確保切割硅片過程中整個切割邊緣的完整性，同時結(jié)構(gòu)簡單、操作方便，極具實用性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0011]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】[0012]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0013]如圖1所示為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，一種激光硅片切割夾具，包括底座1、支撐桿3、支撐面2、硅片吸桿4和吸氣管6，所述底座面I和所述支撐面3平行，且通過所述支撐桿3連接，所述支撐面2為圓環(huán)形；所述底座I上設(shè)置若干根平行于所述支撐桿3的硅片吸桿4，所述硅片吸桿4頂端面設(shè)有吸盤5 ;所述底座I面上設(shè)有吸氣管6，所述底座I側(cè)面還設(shè)有吸氣接口 7，所述吸氣管6和所述吸氣接口 7通過底座I內(nèi)部連通。
[0014]作為本實用新型的優(yōu)選實施例，所述硅片吸桿4頂端與所述支撐面2平行，所述硅片吸桿4側(cè)面設(shè)有至少兩個凹陷狀的手持孔9，所述底座I上設(shè)有夾具固定孔8。本實用新型通過在硅片吸桿4頂端設(shè)置吸盤5將待切割的硅片吸附在支撐面2上，在切割硅片的過程中，通過連通的吸氣接口 7和吸氣管6進行吹氣，保證硅片切割掉的瞬間崩邊現(xiàn)象的發(fā)生。同時在硅片吸桿4側(cè)面設(shè)有至少兩個凹陷狀的手持孔9，在硅片吸桿4發(fā)生損壞或者修改更換時方便拿下。
[0015]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種激光硅片切割夾具，其特征在于，包括底座、支撐桿、支撐面、硅片吸桿和吸氣管，所述底座面和所述支撐面平行，且通過所述支撐桿連接，所述支撐面為圓環(huán)形；所述底座上設(shè)置若干根平行于所述支撐桿的硅片吸桿，所述硅片吸桿頂端面設(shè)有吸盤；所述底座面上設(shè)有吸氣管，所述底座側(cè)面還設(shè)有吸氣接口，所述吸氣管和所述吸氣接口通過底座內(nèi)部連通。
2.如權(quán)利要求1所述的一種激光硅片切割夾具，其特征在于，所述硅片吸桿頂端與所述支撐面平行。
3.如權(quán)利要求1所述的一種激光硅片切割夾具，其特征在于，所述硅片吸桿側(cè)面設(shè)有至少兩個凹陷狀的手持孔。
4.如權(quán)利要求1所述的一種激光硅片切割夾具，其特征在于，所述底座上設(shè)有夾具固定孑U
【文檔編號】B23K37/04GK203401254SQ201320441408
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年7月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月23日
【發(fā)明者】廖衛(wèi)寧, 李必剛, 陳燎原 申請人:武漢瑞豐光電技術(shù)有限公司