一種高精度晶圓背刻對中系統(tǒng)的校正方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明是為了利用玻璃片由于透光特性，捕捉到激光的刻劃圖案，用于相機圖案的校正，直觀的觀測補償?shù)男Ч??？梢酝ㄟ^以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：1)利用全屏幕的尺寸，以晶圓的晶格為基礎(chǔ)，輔助“十字”線薄膜定位和對中相機同步補償激光圖像，可以得到相機與激光的系統(tǒng)偏差；2)校正玻璃版，有五個“十字”窗，寬度2mm，長度10mm，定面貼黑色即時貼；3)“十字”薄膜：可視化檢查，用于目測系統(tǒng)校正的結(jié)果；4)該對中系統(tǒng)的校正方法，其特征是利用玻璃片的透光原理來成像激光圖案，借此設(shè)定對位相機的零位補償。該發(fā)明具有成本低，使用便捷，精度高，可直接彌補相機和激光安裝缺陷，提高應(yīng)用精度。
【專利說明】一種高精度晶圓背刻對中系統(tǒng)的校正方法及裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及激光背刻技術(shù)的校正方法和裝置，尤其是涉及一種基于CXD影像技術(shù)定位檢測方法的校正，用于高精度相機和激光分裝物體兩邊的校正方法和裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]激光作為一種新工業(yè)加工技術(shù)，在計算機控制下可以在各種材料表面標(biāo)刻圖案和文字，本專利組合工業(yè)相機的捕捉產(chǎn)品的圖案，利用激光在玻璃片圖案，輔助以低光源給檢測圖像的相機，校正相機參數(shù)位置，為激光背刻圖案提供高精度的定位。
[0003]由于相機和激光分布產(chǎn)品的兩側(cè)，通常技術(shù)無法檢測相機與激光的零位基準(zhǔn)的校正，包括在后續(xù)的生產(chǎn)中，激光的漂移，或相機捕捉圖像的計算誤差，等諸多因素造成激光刻劃的偏離，均無法得到檢測和及時的校正。
[0004]激光刻劃標(biāo)志可以控制在線寬十幾個微米之內(nèi)，其重復(fù)性達(dá)到幾個微米，并可在電腦控制下，接受外部軟件指令，調(diào)整標(biāo)刻圖案的位置和角度。
[0005]CXD工業(yè)相機可以捕捉微米級分辨率的圖像，并計算出圖像間的微米級的位置偏差，為高精度的應(yīng)用奠定了理論和硬件基礎(chǔ)。
[0006]C⑶相機安裝在晶圓的正面圖像，而激光則安裝在晶圓背面，由于機加工誤差和安裝誤差，相機和激光的零位基準(zhǔn)不可能合一。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的就是為了利用玻璃片由于透光特性，捕捉到激光的刻劃圖案，用于相機圖案的校正。同時利用電腦屏幕的尺寸，直觀的觀測補償?shù)男Ч?br> [0008]本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
1，利用全屏幕的尺寸，以晶圓的晶格為基礎(chǔ)，輔助“十字”線薄膜定位和對中相機同步補償激光圖像，利用激光在校正玻璃版刻畫背刻“十字”，自動校正系統(tǒng)偏差，同時，可以目測相機電腦屏幕，檢查兩個“十字”的重合情況。多次檢查和測量兩“十字”的偏差，可以得到相機與激光的系統(tǒng)偏差。
[0009]2，校正玻璃版；有五個“十字”窗，寬度2毫米，“十字”長度10毫米，定面貼黑色即時貼，中間開窗標(biāo)示涂黑位置。手工在底面45度涂滿單層黑色。
[0010]3，“十字”薄膜:可視化檢查，用于目測系統(tǒng)校正的結(jié)果。
[0011]4，一種基于玻璃片與激光及電腦和對位相機組合的背刻對中系統(tǒng)的校正方法，其特征是利用玻璃片的透光原理來成像激光圖案，借此設(shè)定對位相機的零位補償。
[0012]該發(fā)明具有以下特點:
1，成本低，使用便捷，精度高，可直接彌補相機和激光安裝缺陷，提高應(yīng)用精度。
[0013]2，可多次反復(fù)使用，對于補償結(jié)果可以直觀的了解。
[0014]

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為本發(fā)明的高精度晶圓背刻的校正測量方法結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]

【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和具體實施對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0018]實施如圖一所示，高精度晶圓背刻對中系統(tǒng)的校正測量方法結(jié)構(gòu)示意圖，該結(jié)構(gòu)包括:1，激光；2，激光保護板和低光；3，五位對中臺；4，校正玻璃板，手工在底面45度涂滿單層黑色；5 “十字”薄膜-可視化檢查，用于目測系統(tǒng)校正的結(jié)果；6，相機保護板機構(gòu)；7,對位相機和電腦準(zhǔn)備過程中，五位對中臺打開待晶圓；相機保護板關(guān)閉相機；激光保護板關(guān)閉。
[0019]〈上晶圓〉按鈕:ROBOT送晶圓到翹曲檢查臺，通過后取晶圓到對中臺。對中臺壓下。激光保護板打開，相機保護板打開，相機取像。給出溝槽計算結(jié)果線條。
[0020]1.“十字”薄膜定位溝槽或圖像線條。
[0021]2.〈送校正參數(shù)〉按鈕:相機送數(shù)據(jù)給激光，刻畫并保存。
[0022]3.<上玻璃板 > 按鈕:對中臺打開，ROBOT取晶圓回料盒。激光保護板關(guān)閉，相機保護板關(guān)閉。ROBOT在玻璃板位置取玻璃板上對中臺。
[0023]4.〈刻玻璃板〉按鈕:激光保護板打開，激光刻同組圖案在玻璃板。激光保護板關(guān)閉，開底光，相機保護板開啟，相機檢查校正圖案，將偏差值加入計算。
[0024]5.移動五位對中臺，循環(huán)2IT4#步驟，使用第二個標(biāo)刻位，檢測校正結(jié)果。
【權(quán)利要求】
1.一種高精度晶圓背刻對中系統(tǒng)的校正方法及裝置，本發(fā)明的特征利用玻璃片由于透光特性，捕捉到激光的刻劃圖案，利用對位相機組合的背刻對中系統(tǒng)的校正方法。
2.其特征是利用玻璃片的透光原理來成像激光圖案，可設(shè)定對位相機的零位補償，用于激光圖案的校正。
3.同時利用電腦屏幕的尺寸，直觀的觀測補償?shù)男Ч?br> 4.本發(fā)明的可以通過以下步驟來實現(xiàn): 利用全屏幕的尺寸，以晶圓的晶格為基礎(chǔ)，輔助“十字”線薄膜定位和對中相機同步補償激光圖像 利用激光在校正玻璃版刻畫背刻“十字”，C⑶相機捕捉圖像，計算圖像偏差值，通過電腦輸送數(shù)據(jù)給激光控制軟件，自動校正激光圖像與相機安裝的系統(tǒng)偏差。
5.多次激光標(biāo)刻和相機檢查和測量兩“十字”的偏差，可以校正和得到相機與激光的系統(tǒng)偏差。
6.校正玻璃版；正面貼黑色即時貼，中間開窗標(biāo)示涂黑位置。
7.手工在底面45度涂滿單層黑色。
8.“十字”薄膜:可視化檢查，用于目測系統(tǒng)校正的結(jié)果。
9.目測相機電腦屏幕，檢查兩個“十字”的重合情況。
【文檔編號】B23K26/362GK104259655SQ201410401263
【公開日】2015年1月7日 申請日期:2014年8月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月12日
【發(fā)明者】盧冬青 申請人:上海功源自動化技術(shù)有限公司