發(fā)明領(lǐng)域

本發(fā)明一般地涉及散熱板及其制造方法。更具體地，本發(fā)明涉及一種用于電子部件安裝基板的散熱板及其制造方法。

現(xiàn)有技術(shù)說明

由于要求用于電子部件安裝基板的散熱板高效地對電子部件(如半導(dǎo)體元件)產(chǎn)生的熱量進(jìn)行散熱，因此要求其具備良好的導(dǎo)熱率。

作為這樣的散熱板，廣泛使用具有良好的導(dǎo)熱率的銅或銅合金散熱板。這樣的散熱板通常通過漸進(jìn)沖模(progressive die)的方法對銅或銅合金帶材進(jìn)行壓制成型來制造，然后根據(jù)需要進(jìn)行處理，如鍍鎳(例如參考日本專利公開2007-220702)。

當(dāng)這樣的用于電子部件安裝基板的散熱板通過焊接被結(jié)合至電子部件安裝基板時，比電子部件安裝基板更大程度地收縮彎曲。因此，在焊接接合之前預(yù)先使散熱板在相反方向上彎曲(使具有相反的翹曲)(例如參考日本專利公開2007-88045)。

如果用順序沖模的方法通過壓制成型來制造散熱板，則散熱板的相反的翹曲可通過用矯平機(jī)的形狀校正和/或壓制成型中的一系列塑性變形來得到。但是，具有不低于250W/m·K的高導(dǎo)熱率的散熱板較軟(其維氏硬度Hv不高于135)。如果通過用矯平機(jī)的形狀校正和/或壓制成型中的一系列塑性變形來得到這樣的軟散熱板的相反的翹曲，則當(dāng)作為散熱板材料的帶材逐漸供給(間歇供給)時，會引起殘余應(yīng)力的變化，因此難以穩(wěn)定地使帶材彎曲。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明的目的是消除上述問題，并提供一種當(dāng)板發(fā)生彎曲時翹曲變化小的散熱板及其制造方法。

為了實(shí)現(xiàn)上述和其它目的，發(fā)明人認(rèn)真研究并發(fā)現(xiàn)，如果通過包括以下步驟的方法制造來散熱板，則可以制造在板發(fā)生彎曲時翹曲變化小的散熱板：對退火材料進(jìn)行精冷軋，使精冷軋之后的維氏硬度HV和精冷軋之前的維氏硬度HV的比例不低于1.2；使通過精冷軋獲得的帶材通過矯平機(jī)的輥之間的間隙，以校正帶材的形狀；以及通過進(jìn)料器將校正后的帶材逐漸給至漸進(jìn)模，對加工校正后的帶材逐步?jīng)_壓作業(yè)，制造散熱板；其中校正后的帶材由于其自重在矯平機(jī)和進(jìn)料器之間彎曲，假設(shè)L0是矯平機(jī)的最后一個送出側(cè)的輥與進(jìn)料器的第一個入口側(cè)的輥之間的距離，且L1是矯平機(jī)的最后一個送出側(cè)的輥和進(jìn)料器的第一入口側(cè)的輥之間的帶材長度，則偏轉(zhuǎn)的最小值(L1-L0)為0.5至2.0m。因此，本發(fā)明的發(fā)明人完成了本發(fā)明。

根據(jù)本發(fā)明，提供一種制造散熱板的方法，該方法包括以下步驟：對退火材料進(jìn)行精冷軋，使精冷軋之后的維氏硬度HV和精冷軋之前的維氏硬度HV的比例不低于1.2；使通過精冷軋獲得的帶材通過矯平機(jī)的輥之間的間隙，以校正帶材的形狀；以及通過進(jìn)料器將校正后的帶材逐漸給至漸進(jìn)模，對校正后的帶材逐步?jīng)_壓作業(yè)，制造散熱板；其中校正后的帶材由于其自重在矯平機(jī)和進(jìn)料器之間彎曲，假設(shè)L0是矯平機(jī)的最后一個送出側(cè)的輥與進(jìn)料器的第一個入口側(cè)的輥之間的距離，且L1是矯平機(jī)的最后一個送出側(cè)的輥和進(jìn)料器的第一入口側(cè)的輥之間的帶材長度，則偏轉(zhuǎn)的最小值(L1-L0)為0.5至2.0m。

在該制造散熱板的方法中，偏轉(zhuǎn)(Ll-L0)的最小值優(yōu)選0.7～1.2m。帶材優(yōu)選具有2～5mm的厚度。退火材料優(yōu)選由銅或銅合金形成。銅合金優(yōu)選含有其它元素，其總量為1重量％以下，余量為銅和不可避免的雜質(zhì)。其它元素優(yōu)選為選自Zn、Fe、Ni、Sn、P、Mg、Zr、Co、Cr、Si、Ti和Ag的至少一種元素。散熱板可在沖壓作業(yè)后發(fā)生彎曲。散熱板可在沖壓作業(yè)后進(jìn)行鍍覆。

根據(jù)本發(fā)明，提供一種散熱板，其厚度為2～5mm，且在其兩側(cè)具有表面層部分，表面層部分比散熱板的中心部分軟，因而散熱板的厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)和厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)的比(Hs/Hc)不大于0.95。

散熱板優(yōu)選由銅或銅合金形成。銅合金優(yōu)選含有其它元素，其總量為1重量％以下，余量為銅和不可避免的雜質(zhì)。其它元素優(yōu)選為選自Zn、Fe、Ni、Sn、P、Mg、Zr、Co、Cr、Si、Ti和Ag的至少一種元素。散熱板優(yōu)選具有不低于280W/m·K的導(dǎo)熱率。

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種當(dāng)板發(fā)生彎曲時翹曲變化小的散熱板及其制造方法。

附圖的簡要說明

本發(fā)明可通過下面給出的詳細(xì)描述和本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的附圖來更充分地理解。然而，附圖并不意圖將本發(fā)明限制于特定實(shí)施方式，而是僅用于解釋和理解。

在附圖中：

圖1是示意性地表示用于制造通過本發(fā)明的散熱板的制造方法而得的散熱板的制造裝置的示意圖；

圖2A是各實(shí)施例和比較例中制作的散熱板的俯視圖；

圖2B是各實(shí)施例和比較例中制作的散熱板的側(cè)視圖；

圖2C是用于說明在各實(shí)施例和比較例中制造的散熱板的翹曲量的示意圖。

優(yōu)選實(shí)施方式的說明

現(xiàn)在參照附圖，以下詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的制造散熱板的方法的優(yōu)選實(shí)施方式。

根據(jù)本發(fā)明的制造散熱板(或熱輻射板)的方法的優(yōu)選實(shí)施方式中，使通過對退火材料進(jìn)行精冷軋得到的帶材卷繞為線圈形狀，以制備線圈原料。如圖1所示，使通過使用開卷機(jī)10將線圈原料解繞而得的帶材12通過矯平機(jī)14的輥之間的間隙，以校正其形狀。然后，通過進(jìn)料器16將帶材12逐漸供給(間歇供給)至壓機(jī)的漸進(jìn)模18，以逐步進(jìn)行沖壓作業(yè)來制造如圖2A和2B所示的基本為矩形平面的散熱板20。

退火材料通常通過澆鑄、熱軋、冷軋、退火等步驟進(jìn)行制造。退火材料優(yōu)選由銅或銅合金形成。退火材料優(yōu)選具有不超過280W/m·K的導(dǎo)熱率。退火材料的表面的維氏硬度HV優(yōu)選105以下，更優(yōu)選100以下。這種退火材料可通過將銅或銅合金的材料在退火爐中加熱5～10小時得到，當(dāng)退火材料由銅形成時，爐溫為350～500℃，當(dāng)退火材料由銅合金形成時，爐溫為450～600℃。當(dāng)退火材料由銅合金形成時，銅合金優(yōu)選含有其它元素，其總量為1重量％以下，余量為銅和不可避免的雜質(zhì)。其它元素優(yōu)選為選自Zn、Fe、Ni、Sn、P、Mg、Zr、Co、Cr、Si、Ti和Ag的至少一種元素。

將退火材料精冷軋后，將其切割，得到帶材。進(jìn)行精冷軋使得精冷軋后的維氏硬度HV和精冷軋前的維氏硬度HV的比不低于1.2(優(yōu)選1.3～1.7)。另外，精冷軋的壓下率優(yōu)選40％以下，更優(yōu)選30％以下。在進(jìn)行精冷軋之后的切割之前，可進(jìn)行脫油脂、酸洗、拋光、低溫煅燒等。

由此得到的帶材12的表面優(yōu)選具有135以下的維氏硬度HV。帶材12優(yōu)選具有2～5mm的厚度和50～250mm的寬度。

矯平機(jī)14具有多個輥(示出的優(yōu)選實(shí)施方式為15個輥)。這些輥以交錯配置的方式進(jìn)行布置，以使截面與其縱向方向垂直。帶材12被設(shè)計為穿過矯平機(jī)14的上輥和下輥之間的間隙，以進(jìn)行矯平(校正形狀，如特殊彎曲)。上輥和下輥之間的間隙優(yōu)選調(diào)整為向著送出側(cè)逐漸增加，使得送出側(cè)的輥的間隙和入口側(cè)的輥的間隙的比為1.03～1.50。間隙優(yōu)選調(diào)整為輥之間的最大間隙為等于或小于帶材12的厚度的0.95倍。

進(jìn)料器16具有多個輥，被設(shè)計為將從矯平機(jī)14逐漸供給的帶材12逐漸供給至漸進(jìn)模18。

假設(shè)L0是矯平機(jī)14的最后一個送出側(cè)的(下)輥與供給器16的第一個入口側(cè)的(下)輥之間的距離，Ll是這些輥之間的帶材12的長度(沒有被支撐在輥上的帶材12的部分的長度)，允許帶材12由于其自重而在矯平機(jī)14和進(jìn)料器16之間彎曲，則偏轉(zhuǎn)的最小值(L1-L0)為0.5～2.0m(優(yōu)選0.6～1.5m，更優(yōu)選0.7～1.5m)。L0優(yōu)選3m以上。此外，當(dāng)通過進(jìn)料器16來將帶材12逐漸供給(間歇供給)至漸進(jìn)模18時，由于帶材12的偏轉(zhuǎn)量發(fā)生變化，允許帶材12由于其自重而彎曲，使得偏轉(zhuǎn)的最小值在上述范圍內(nèi)。

如果利用帶材12的偏轉(zhuǎn)的一部分的自重作為張力對帶材12進(jìn)行矯平，則當(dāng)帶材12被逐漸供給(間歇供給)至壓機(jī)的漸進(jìn)模18以進(jìn)行逐步進(jìn)行沖壓作業(yè)時，張力不發(fā)生松弛，因此能夠保持穩(wěn)定的內(nèi)部應(yīng)力狀態(tài)。此外，可在通過矯平機(jī)14進(jìn)行矯平和通過漸進(jìn)模18進(jìn)行沖壓作業(yè)的過程中，使帶材12(散熱板20)彎曲。

從進(jìn)料器16逐漸供給(間歇供給)至壓機(jī)的漸進(jìn)模18的帶材12通過逐步?jīng)_壓作業(yè)，被沖壓成散熱板20的形狀。在沖壓作業(yè)后，可對散熱板20的表面鍍覆鎳。

通過上述散熱板的制造方法的優(yōu)選實(shí)施方式，可制造一種散熱板，其厚度為2～5mm，且在其兩側(cè)具有表面層部分，表面層部分比散熱板的中心部分軟，因而散熱板的厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)和厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)的比(Hs/Hc)不大于0.95。

散熱板優(yōu)選由銅或銅合金形成，優(yōu)選具有不低于280W/m·K的導(dǎo)熱率。當(dāng)散熱板由銅合金形成時，優(yōu)選含有其它元素，其總量為1重量％以下，余量為銅和不可避免的雜質(zhì)。其它元素優(yōu)選為選自Zn、Fe、Ni、Sn、P、Mg、Zr、Co、Cr、Si、Ti和Ag的至少一種元素。

通過上述制造散熱板的方法的優(yōu)選實(shí)施方式制造的散熱板即使在板發(fā)生彎曲時翹曲變化也小，且其翹曲的標(biāo)準(zhǔn)差為5μm的低值。

認(rèn)為翹曲的變化小的原因在于，如果散熱板兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟，則彈簧偏轉(zhuǎn)極限僅在其表面附近變差，可在板的變形過程中施以最高應(yīng)力來增加表面附近的塑性變形。如果整個散熱板軟化，則其強(qiáng)度不足。因此，當(dāng)使這樣的軟散熱板具有相反的翹曲時，其翹曲的變化不僅增加，而且在通過焊接將散熱板與電子部件安裝基板結(jié)合時，還存在相反的翹曲不足的情況。

此外，由于散熱板的翹曲在沖壓作業(yè)后馬上緩慢恢復(fù)，因此優(yōu)選在沖壓作業(yè)后約300小時進(jìn)行翹曲量的測定，以減小測定值的變化。

以下詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的散熱板及其制造方法的實(shí)施例。

實(shí)施例1

在對含有99.6重量％的Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝391W/m·K，維氏硬度HV＝71)進(jìn)行精軋壓下率為14％的精冷軋并用含有氫氧化鉀和表面活性劑的堿性脫脂溶液脫油脂后，將其切割，制備厚度3mm、寬度140mm的卷狀軋制帶材12(維氏硬度HV＝108，HV(a)/HV(b)＝1.52，為精冷軋之前的維氏硬度HV(a)和精冷軋之后的維氏硬度HV(b)的比)。此外，在表面施加5kgf的負(fù)荷，通過維氏硬度計測量維氏硬度HV。

然后，使用圖1(在該實(shí)施例中，矯平機(jī)14的上輥和下輥的總數(shù)為15，且每個輥的直徑為約30mm)所示的裝置。矯平機(jī)14的輥之間的間隙在入口側(cè)設(shè)為0.70×厚度(＝2.1mm)，在送出側(cè)設(shè)為0.85×厚度(＝2.55mm)。矯平機(jī)14的最后一個送出側(cè)的輥和進(jìn)料器16的第一個入口側(cè)的輥之間的距離L0設(shè)為5m。帶材12由于其自重而在矯平機(jī)14和進(jìn)料器16之間彎曲時，偏轉(zhuǎn)的最小值(Ll-L0)(最小偏轉(zhuǎn))，即L0和矯平機(jī)14的最后一個送出側(cè)的輥和進(jìn)料器16的第一個入口側(cè)的輥之間的帶材12的長度Ll的差距為0.9m，帶材12以圖2A和2B所示的基本上為矩形的平面形狀的狀態(tài)被逐漸供給至漸進(jìn)模18待沖壓，通過逐步?jīng)_壓作業(yè)(沖裁為120mm×60mm的大致矩形平面形狀)，然后，沖壓后的帶材通過彎曲工具被依次彎曲為圖2C所示的形狀。此后，彎曲的帶材被鍍鎳，在其上形成厚度5μm的鍍鎳膜以得到103個散熱板20。此外，通過調(diào)整彎曲工具的推進(jìn)量來進(jìn)行彎曲，散熱板的翹曲量約為290μm(散熱板長度方向的曲率半徑R為約5216mm)。鍍鎳如下進(jìn)行。將通過沖壓作業(yè)而沖壓彎曲的板浸漬在堿性電解質(zhì)脫油脂溶液中電解脫油脂之后，在硫酸中進(jìn)行浸漬酸洗。然后，將其置于氨基磺酸浴中以對其進(jìn)行電沉積鍍鎳，之后將其在不高于90℃的溫度下熱洗不超過15分鐘，并干燥。

使用這樣獲得的三個散熱板，以與其軋制方向(軋制帶材的軋制方向)平行的方式并在與其軋制表面垂直的截面上切割三個散熱板中的每個散熱板。對截面進(jìn)行拋光，然后精電解拋光以制造三個試驗(yàn)片。對每個試驗(yàn)片施加200gf的負(fù)荷，用微型維氏硬度計測定其維氏硬度(HV0.2)。此外，在試驗(yàn)片的兩側(cè)的厚度方向的1/12位置的2點(diǎn)(總計4點(diǎn))測定維氏硬度(假定試驗(yàn)片的厚度(鍍層除外)為t，在試驗(yàn)片的一個表面層的t/12位置和11t/12位置各2個點(diǎn)處)，將在各測定位置測定的3個試驗(yàn)片的維氏硬度(HV0.2)的測定值的平均值作為Hs。另外，測定試驗(yàn)片的厚度方向上的1/2位置處的4個點(diǎn)的維氏硬度(距試驗(yàn)片表面層的1/2位置)，將在各測定位置測定的3個試驗(yàn)片的維氏硬度(HV0.2)的測定值的平均值作為Hc。其結(jié)果是，試驗(yàn)片的厚度方向上的1/12位置處的平均硬度Hs(HV0.2)為94，試驗(yàn)片的厚度方向上的1/2位置處的平均硬度Hc(HV0.2)為110。其比(Hs/Hc)為0.85，因此試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。

然后，準(zhǔn)備100個由此獲得的散熱板，在散熱板的凸面用千分表測定中心部分(壓下切口部分之外)的標(biāo)距長度為110mm處的上升高度的最大值，作為翹曲W(在散熱板的凸面上的中心部分中具有110mm的長度的部分中的高度之間的差的最大值)。翹曲的測量在沖壓作業(yè)后約300小時進(jìn)行。其結(jié)果是，翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為3.55μm。

實(shí)施例2

除了將作為其它元素含有0.02重量％的Zn、0.08重量％的Fe、0.01重量％的Ni、0.01重量％Sn、和0.02重量％的P(其它元素的總量＝0.14重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝355W/m·K，維氏硬度HV＝75)以21％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度3mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝112.5，HV(a)/HV(b)＝1.50)，且不進(jìn)行鍍鎳以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為104，Hc為115，Hs/Hc為0.90，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為3.02μm。

實(shí)施例3

除了將作為其它元素含有0.11重量％的Fe和0.03重量％的P(其它元素的總量＝0.14重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝354W/m·K，維氏硬度HV＝76)以21％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度3mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝113，HV(a)/HV(b)＝1.49)，且最小偏轉(zhuǎn)為1.5m以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為106，Hc為116，Hs/Hc為0.91，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為2.10μm。

實(shí)施例4

除了將作為其它元素含有0.13重量％的Sn、0.11重量％的Zn和0.02重量％的Ag(其它元素的總量＝0.26重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝340W/m·K，維氏硬度HV＝72)以29％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度3mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝116.6，HV(a)/HV(b)＝1.62)，且最小偏轉(zhuǎn)為1.3m，且不進(jìn)行鍍鎳以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為112，Hc為118，Hs/Hc為0.95，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為3.97μm。

實(shí)施例5

除了將作為其它元素含有0.60重量％的Fe、0.20重量％的P、0.05重量％的Mg和0.01重量％的Co(其它元素的總量＝0.86重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝312W/m·K，維氏硬度HV＝85)以22％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度3mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝116，HV(a)/HV(b)＝1.36)，且距離L0為3m，最小偏轉(zhuǎn)為0.6m以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為111，Hc為121，Hs/Hc為0.92，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為3.98μm。

實(shí)施例6

除了將作為其它元素含有0.10重量％的Fe、0.55重量％的Cr、0.06重量％的Ti和0.03重％的Si(其它元素的總量＝0.74重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝310W/m·K，維氏硬度HV＝96)以25％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度3mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝127，HV(a)/HV(b)＝1.32)，且最小偏轉(zhuǎn)為1.0m，且不進(jìn)行鍍鎳以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為121，Hc為130，Hs/Hc為0.93，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為3.30μm。

實(shí)施例7

除了將作為其它元素含有0.20重量％的Fe、0.14重量％的Ni、0.08重量％的Sn和0.06重量％的P(其它元素的總量＝0.48重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝302W/m·K，維氏硬度HV＝78)以25％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度3mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝120，HV(a)/HV(b)＝1.54)，且最小偏轉(zhuǎn)為1.0m以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為110，Hc為117，Hs/Hc為0.94，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為3.24μm。

實(shí)施例8

除了將作為其它元素含有0.11重量％的Fe和0.03重量％的P(其它元素的總量＝0.14重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝354W/m·K，維氏硬度HV＝73)以25％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度2mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝117，HV(a)/HV(b)＝1.60)，且距離L0為4m、最小偏轉(zhuǎn)為1.0m以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為106，Hc為115，Hs/Hc為0.92，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為3.66μm。

實(shí)施例9

除了將作為其它元素含有0.11重量％的Fe和0.03重量％的P(其它元素的總量＝0.11重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝354W/m·K，維氏硬度HV＝77)以14％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度4mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝112.4，HV(a)/HV(b)＝1.46)，且距離L0為5.5m、最小偏轉(zhuǎn)為0.9m以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為99，Hc為113，Hs/Hc為0.88，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為3.06μm。

實(shí)施例10

除了將作為其它元素含有0.11重量％的Fe和0.03重量％的P(其它元素的總量＝0.14重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝354W/m·K，維氏硬度HV＝80)以9％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度5mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝106，HV(a)/HV(b)＝1.33)，且距離L0為6m、最小偏轉(zhuǎn)為0.9m以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為102，Hc為115，Hs/Hc為0.89，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為3.96μm。

比較例1

除了距離L0為0.5m且最小偏轉(zhuǎn)為0m以外，以與實(shí)施例1相同的方法制造散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為114，Hc為112，Hs/Hc為1.02，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分稍硬。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為9.89μm。

比較例2

除了距離L0為0.5m且最小偏轉(zhuǎn)為0m以外，以與實(shí)施例2相同的方法制造散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為119，Hc為116，Hs/Hc為1.03，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分稍硬。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為9.78μm。

比較例3

除了距離L0為1m且最小偏轉(zhuǎn)為0.2m以外，以與實(shí)施例3相同的方法制造散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為113，Hc為115，Hs/Hc為0.98，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分稍軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為8.54μm。

比較例4

除了距離L0為2m且最小偏轉(zhuǎn)為0.3m以外，以與實(shí)施例5相同的方法制造散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為120，Hc為121，Hs/Hc為0.99，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分稍軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為6.86μm。

比較例5

除了距離L0為5m，最小偏轉(zhuǎn)為2.5m且不進(jìn)行鍍鎳以外，試圖用與實(shí)施例8相同的方法制造散熱板。然而，由于模具中的定位銷的摩擦很大，因此不可能制造任何散熱板。

比較例6

除了將作為其它元素含有0.02重量％的Zn、0.08重％的Fe、0.01重量％的Ni、0.01重量％Sn、和0.02重量％的P(其它元素的總量＝0.14重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝355W/m·K，維氏硬度HV＝108)以21％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度3mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝127，HV(a)/HV(b)＝1.18)以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為126，Hc為128，Hs/Hc為0.98，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為8.80μm。

比較例7

除了將作為其它元素含有0.11重量％的Fe和0.03重量％的P(其它元素的總量＝0.14重量％)，余量為Cu的退火材料(導(dǎo)熱率＝354W/m·K，維氏硬度HV＝76)以6％的精軋壓下率進(jìn)行精冷軋以制造厚度3mm寬度140mm的卷狀軋制帶材(維氏硬度HV＝90.4，HV(a)/HV(b)＝1.19)以外，用與實(shí)施例1相同的方法得到散熱板。

對這樣得到的散熱板通過與實(shí)施例1相同的方法測定試驗(yàn)片在厚度方向的1/12位置上的平均硬度Hs(HV0.2)，試驗(yàn)片在厚度方向的1/2位置上的平均硬度Hc(HV0.2)，其比(Hs/Hc)和翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差。其結(jié)果是，Hs為89，Hc為91，Hs/Hc為0.98，且試驗(yàn)片兩側(cè)的表面層部分比其中心部分軟。翹曲的標(biāo)準(zhǔn)偏差為6.77μm。

這些實(shí)施例和比較例中的散熱板的制造條件和特性示于表1～3。

表1

表2

表3

雖然已經(jīng)根據(jù)優(yōu)選的實(shí)施方式公開了本發(fā)明以便于更好地理解本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解，在不脫離本發(fā)明的原理的情況下，本發(fā)明可以以各種方式實(shí)施。因此，應(yīng)理解為本發(fā)明包括所有可能的實(shí)施方式和對所述實(shí)施方式的修改，這些實(shí)施方式和修改可在不偏離如所附權(quán)利要求所詳述的本發(fā)明的原理的情況下實(shí)施。