要求，達到了預(yù)期加工效果，表面粗糙度用樣板檢測可達到3nm，再經(jīng)過拋光可以進一步提高表面粗糙度。
[0022]【具體實施方式】二:結(jié)合圖1具體說明本實施方式，本實施方式是對【具體實施方式】一所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架作進一步說明，本實施方式中，它還包括N個一號減重槽5，在圓柱體上車削N個凹槽，形成N個一號減重槽5。
[0023]【具體實施方式】三:本實施方式是對【具體實施方式】二所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架作進一步說明，本實施方式中，一號減重槽5為四個，四個一號減重槽5在圓柱體上對稱分布。
[0024]【具體實施方式】四:本實施方式是對【具體實施方式】一所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架作進一步說明，本實施方式中，極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架的材質(zhì)為45 #不銹鋼材料。
[0025]【具體實施方式】五:本實施方式是對【具體實施方式】一所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架作進一步說明，本實施方式中，α的值為45°。
[0026]【具體實施方式】六:本實施方式是對【具體實施方式】五所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架作進一步說明，本實施方式中，一號螺絲孔3和二號螺絲孔4的尺寸均為Μ5。
[0027]【具體實施方式】七:本實施方式是對【具體實施方式】一所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架作進一步說明，本實施方式中，刀座I與長方體為一體件。
[0028]【具體實施方式】八:本實施方式是對【具體實施方式】一所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架作進一步說明，本實施方式中，將刀座I的一個角車削掉，車削角度為45°，形成缺口 6。
[0029]缺口 6保證了刀座有足夠的自重，同時又避免了裝卸不便。
[0030]【具體實施方式】九:本實施方式是利用【具體實施方式】一所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架進行加工的方法，該方法包括以下步驟:
[0031]第一步、首先將金鋼石車床原有的可調(diào)刀架拆下；
[0032]因為可調(diào)刀架鋼性差，且對安裝新刀架進刀有障礙，所以將金鋼石車床原有的可調(diào)刀架拆下。
[0033]第二步、將研制的刀架安裝到金鋼石車床的溜板上，確保刀體與主軸平行，便于準(zhǔn)確裝刀；
[0034]第三步、將金鋼石刀具裝到刀架上，用薄銅皮調(diào)整刀具高度，與主軸軸餞高度一致；
[0035]第四步、用金鋼石車床自身的刀具探測器探測刀具在機床坐標(biāo)系中的位置，給出初始刀具零位置；
[0036]第五步、初始加工(也可稱粗加工):切削深度0.04mm-0.05mm，每分鐘進給速度為15mm，主軸轉(zhuǎn)速為每分鐘400轉(zhuǎn)-500轉(zhuǎn)；
[0037]第六步、半精加工，共加工兩次，切削深度分別為8微米和5微米，每分鐘進給速度為15mm，主軸轉(zhuǎn)速為每分鐘400-500轉(zhuǎn)；
[0038]第七步、精加工，切削深度為2微米，進給速度為每分鐘2mm，主軸轉(zhuǎn)速為每分鐘400-500 轉(zhuǎn)；
[0039]第八步、觀查表面質(zhì)量，如尚有不足，再重復(fù)精加工一遍；
[0040]第九步、加工時注意冷卻油不能間斷，且給油量加大，確保精車質(zhì)量；
[0041]第十步、采用同樣加工程序和參數(shù)加工測試樣板，經(jīng)PGl 1240輪廓儀測表面粗糙度為 0.0055nm。
【主權(quán)項】
1.極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架，其特征在于，它包括刀座(I)、深斜孔(2)、一號螺絲孔(3)、二號螺絲孔(4)。 刀架分成兩部分，一部分為刀座(I)，另一部分為一個長方體；所述刀座(I)是一個圓柱體，在圓柱體的側(cè)壁上開一個通孔，形成深斜孔(2)，該深斜孔(2)的軸線與圓柱體的軸線相交，二者的夾角為α，α #90° ;圓柱體的一個端面固定在長方體的一個側(cè)面上，在長方體的上表面加工出兩個鏡像對稱的凹槽，所述兩個凹槽在X方向上均延伸至與所述側(cè)面相對的側(cè)面，兩個凹槽分別沿Y方向和-Y方向延伸至長方體的另外兩個側(cè)面，在兩個凹槽的底面上各向下加工一個螺紋通孔，分別形成一號螺絲孔(3)和二號螺絲孔(4)，所述X方向與圓柱體的軸線方向平行，由圓柱體向長方體為正，Z方向為與長方體上表面垂直的方向。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架，其特征在于，它還包括N個一號減重槽(5)，在圓柱體上車削N個凹槽，形成N個一號減重槽(5)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架，其特征在于，所述一號減重槽(5)為四個，四個一號減重槽(5)在圓柱體上對稱分布。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架，其特征在于，所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架的材質(zhì)為45 #不銹鋼材料。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架，其特征在于，α的值為 45。?6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架，其特征在于，所述一號螺絲孔(3)和二號螺絲孔(4)的尺寸均為Μ5。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架，其特征在于，刀座(I)與長方體為一體件。
【專利摘要】極紫外光刻光源收集鏡車削加工刀架，屬于極紫外光刻光源收集鏡的刀架加工技術(shù)領(lǐng)域。它為了解決加工中由于車刀顫抖，使鏡片表面出現(xiàn)波紋，表面粗糙度達不到要求的問題。本發(fā)明所述的刀架分成兩部分，一部分為刀座，另一部分為一個長方體，刀座是一個圓柱體，在圓柱體的側(cè)壁上開一個通孔，形成深斜孔，圓柱體與長方體為一體件，在長方體的上表面加工出兩個鏡像對稱的凹槽，在兩個凹槽的底面上各向下加工一個螺紋通孔，分別形成一號螺絲孔和二號螺絲孔。本刀座在加工中可保證車刀前進的平穩(wěn)和加工表面的光滑。適用于作為極紫外光刻光源收集鏡車削加工的刀架。
【IPC分類】B23B21/00
【公開號】CN104923808
【申請?zhí)枴緾N201510363157
【發(fā)明人】王騏, 徐強, 趙永蓬
【申請人】哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年6月26日