專利名稱：非鐵基表面硅化鈦涂層裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種硅化鈦的涂層裝置。
目前，在非鐵基表面硅化鈦的涂層是采用硅烷和四氯化鈦作為氣源的化學氣相沉積(CVD)方法，化學氣相沉積薄膜生長通常都是在高頻加熱爐、離子束加熱爐及光加熱爐中進行。高頻加熱爐要用石墨基座作為發(fā)熱體，離子束加熱爐和光加熱爐可以直接對基體加熱。上述三種加熱方法很難在非鐵基表面進行硅化鈦涂層，同時它們引起的氣體氣相分解要破壞硅化鈦涂層的質(zhì)量，再則其加熱功率也難達到要求。
本實用新型的目的是提供一種容易在非鐵基表面進行硅化鈦涂層的抑制氣相分解的用電阻加熱的裝置。
本實用新型的目的是通過下述方案實現(xiàn)的設置一個頂端固定連接成一體的布置在圓形固定支承架上的雙層石英玻璃鐘罩，內(nèi)罩有一個通氮氣的進氣管和一個通氣源氣的喇叭口位于當中向下的進氣管，外罩有3～6個均勻分布的出氣管，內(nèi)罩下邊沿短于外罩下邊沿；在雙層石英玻璃鐘罩的外罩與固定架支承架之間設置密封圈，在固定支承架中間依次布置圓形的電爐、基座、轉軸從下面通過固定支承架、電爐的中心孔與基座固定連接，在電爐與密封圈之間的固定支承架下面布置水冷卻管，在電爐下面的轉軸上設置水冷卻套。
在固定支承架中間設置布置電爐和基座的凹穴。在電爐和基座之間布置一層石英片。
本實用新型能抑制氣相分解，有利于在非鐵基表面進行硅化鈦涂層，硅烷與四氯化鈦在450℃左右反應能生成高質(zhì)量的硅化鈦涂層，基座的轉動使生長的硅化鈦涂層均勻。
以下結合附圖對本實用新型作進一步說明。


圖1是本實用新型的剖視結構示意圖。
參照
圖1，一個頂端固定連接成一體的圖形雙層石英玻璃鐘罩1，內(nèi)罩有一個進氣管2和一個進氣管3，進氣管3有一個喇叭口位于當中向下，且高于內(nèi)罩的下邊沿，外罩有4個均勻分布的出氣管4，位于其上半截由內(nèi)罩與外罩之間通出，內(nèi)罩的下邊沿短于外罩的下邊沿。一個圓形支承架8中間有圓形凹穴。雙層石英玻璃鐘罩1的外罩下邊沿正好布置在固定支承架8的邊沿內(nèi)側，在它們之間布置橡膠密封圈7使其密封。在固定支承架8中間的凹穴內(nèi)依次布置圓形的電爐10、石英片6、基座5，固定支承架8、電爐10、石英片6有中心孔，石英片6起絕緣作用。一個由電機帶動的轉軸12從下面通過固定支承架8、電爐10、石英片6的中心孔與基座5固定連接，此時基座5與固定支承架8的凹穴相平，與雙層石英玻璃鐘罩1的內(nèi)罩下沿相對。在電爐10與橡膠密封圈7之間的固定支承架8下面布置水冷卻管9。在靠電爐10下面的轉軸12上設置水冷卻套11。
操作過程1．打開雙層石英玻璃鐘罩1，清洗基座5和雙層石英玻璃鐘罩1；2．經(jīng)處理后，將非鐵基襯底整齊地放在基座5上，再蓋好雙層石英玻璃鐘罩；3．經(jīng)進氣管2通高純氮氣使雙層石英玻璃鐘罩1內(nèi)處于正壓狀態(tài)，5分鐘后開通水冷卻管9和水冷卻套11的冷卻水，以防加熱時橡膠密封圈7和電機受熱影響，再對電爐10通電加熱，同時開動電機使轉軸12帶動基座5轉動；4．在非鐵基襯底加熱到450℃時，由進氣管3通入硅烷和四氯化鈦的混合氣體，再關閉進氣管2的氮氣，混合氣體經(jīng)過450℃的非鐵基襯底后，經(jīng)分解-化合，在非鐵基襯底上生成硅化鈦，經(jīng)過20分鐘后，再通入氮氣，同時關閉混合氣體；5．繼續(xù)加熱1小時后關電爐10的電源，讓非鐵基襯底自然冷卻到60℃以下；6．關掉電機、冷卻水和氮氣，打開雙層石英玻璃鐘罩1取出制品。
權利要求1．一種非鐵基表面硅化鈦涂層裝置，其特征在于內(nèi)罩有一個通氮氣的進氣管[2]和一個通氣源氣的喇叭口位于當中向下的進氣管[3]的，外罩有3～6個均勻分布的出氣管[4]的，內(nèi)罩下邊沿短于外罩下邊沿的頂端固連成一體的雙層石英玻璃鐘罩[1]，布置在圓形固定支承架[8]上，在雙層石英玻璃鐘罩[1]的外罩與固定支承架[8]之間設置密封圈[7]，在固定支承架[8]中間依次布置圓形的電爐[10]、基座[5]，轉軸[12]從下面通過固定支承架[8]、電爐[10]的中心孔與基座[5]固連，在電爐[10]與密封圈[7]之間的固定支承架[8]下面布置水冷卻管[9]，在電爐[10]下面的轉軸[12]上設置水冷卻套[11]。
2．根據(jù)權利要求1所述的非鐵基表面硅化鈦涂層裝置，其特征在于在固定支承架[8]中間設置布置電爐[10]、基座[5]的凹穴。
3．根據(jù)權利要求1或2所述的非鐵基表面硅化鈦涂層裝置，其特征在于在電爐[10]和基座[5]之間布置一層石英片[6]。
專利摘要非鐵基表面硅化鈦涂層裝置,頂端成一體的在固定支承架上的雙層石英玻璃鐘罩,內(nèi)罩有氮氣的進氣管和氣源氣的喇叭口在當中向下的進氣管,外罩有3～6個均布的出氣管,內(nèi)罩下邊沿短于外罩下邊沿;在固定支承架中間依次是圓形的電爐、基座,轉軸從下面通過固定支承架、電爐的中心孔與基座固連,在電爐與密封圈間的固定支承架下有水冷卻管,電爐下面的轉軸上有水冷卻套。本裝置能抑制氣相分解,在非鐵基表面進行均勻的高質(zhì)量的硅化鈦涂層。
文檔編號C23C16/42GK2437694SQ00247388
公開日2001年7月4日 申請日期2000年9月11日 優(yōu)先權日2000年9月11日
發(fā)明者楊云 申請人:浙江大學