專利名稱：將氣體輸送至一個腔和將氣體從腔排出的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將氣體輸送至處理腔和從處理腔排出氣體的裝置，如通常用在原子層沉積(ALD)或化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)中的排輸氣體轉(zhuǎn)換系統(tǒng)。特別是，本發(fā)明涉及對降低這種系統(tǒng)中氣體交叉反應(yīng)機率系統(tǒng)的改進。
排輸氣體轉(zhuǎn)換系統(tǒng)通常用于多層薄膜的生成中。兩種常用的典型應(yīng)用為生產(chǎn)Al2O3和TiN膜。在這種應(yīng)用中，提供了兩種或更多種要沉積的氣源，還可提供一種吹洗氣源。隨后通過氣源與處理腔之間的轉(zhuǎn)換系統(tǒng)將所述氣體輸送至處理腔。任何殘留的物質(zhì)、吹洗氣體或副產(chǎn)品由泵從處理腔排出。
通常，吹洗氣體穿過所要沉積的氣源之間的反應(yīng)腔。吹洗氣體的用途就是將殘留的(未沉積的)任何物質(zhì)移走以便防止與輸送到處理腔的下一種物質(zhì)反應(yīng)。如果所述物質(zhì)可進行交叉反應(yīng)，這就會在多層薄膜中產(chǎn)生雜質(zhì)和瑕疵。
在現(xiàn)有的排輸氣體轉(zhuǎn)換系統(tǒng)中，離開處理腔的氣體進入一個通向真空泵的普通前級管道。任何殘留物質(zhì)的交叉反應(yīng)都會在前級管道中出現(xiàn)，這就會使前級管道中的顆粒產(chǎn)生堆積從而導(dǎo)致對泵性能的損害。這種對泵的性能的損害可包括處理腔中所生產(chǎn)產(chǎn)品的質(zhì)量。此外，維修和保養(yǎng)受到影響的泵時的中斷時間增加了生產(chǎn)的成本。
本發(fā)明的目的在于提供能夠顯著降低從處理腔排出物質(zhì)的交叉反應(yīng)的裝置。
根據(jù)本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明所提供的裝置包括具有腔入口和腔出口的腔；接收第一氣流的第一入口；接收第二氣流的第二入口；將第一氣流排入第一真空泵的第一出口；將第二氣流排入第二真空泵的第二出口；將第一入口連接到第一出口和將第二入口連接到第二出口的管道網(wǎng)，以便在各自入口和出口之間限定用于每一氣流的第一和第二流道，所述第一流道穿過腔入口和腔出口，所述第二流道繞過所述腔；以及通過所述管道網(wǎng)輸送氣流的裝置，以便當(dāng)一種氣流沿著其第一流道流動時，另一種氣流沿著其第二流道流動。
部分用于第一氣流的第二流道可與部分用于第二氣流的第二流道共用。用于任意氣體的第一流道可同用于相同氣體的第二流道相隔離。
所述輸送裝置可包括位于管道網(wǎng)內(nèi)的第一閥系統(tǒng)，以及控制第一閥系統(tǒng)以便使第一氣流從第一入口輸送至從第一和第二流道中選擇出的一條流道中的裝置。該控制器還可用于將第二氣流從第二入口輸送至從第一和第二流道中選擇出的一條流道。所述輸送裝置還可包括也位于所述管道網(wǎng)內(nèi)的第二閥系統(tǒng)，以及用于控制第二閥系統(tǒng)以使第一氣流從其選擇出的流道輸送至第一出口的裝置。所述控制器還可用于將第二氣流從其選擇出的流道輸送至第二出口。在所優(yōu)選的實施例中提供了一個控制第一和第二閥系統(tǒng)的單個控制器。在一個可選擇的實施例中，提供分離的控制器可用于控制各自的閥系統(tǒng)。
所述控制器可用于控制閥系統(tǒng)每一個閥的打開程度，和/或控制閥系統(tǒng)每一個閥的打開的持續(xù)時間。此外，所述控制器可在不同閥系統(tǒng)的閥打開之間設(shè)定預(yù)定時間間隔，以便保證在引入新氣體之前將管道的任意共用段內(nèi)的所有氣體排盡。
可提供接收第三氣流的第三入口，在這種情況下，所述管道網(wǎng)可將第三入口連接到第一出口上，以便在第三入口與第一出口之間限定用于第三氣流的第一流道，該流道穿過腔入口和腔出口。所述輸送裝置可用于通過所述管道網(wǎng)輸送每種氣流，從而當(dāng)?shù)谌龤饬餮仄涞谝涣鞯懒鲃訒r，第一和第二氣流沿著它們的第二流道流動。
此外，所述管道網(wǎng)可將第三入口連接到第一出口上以便在第三入口與第三出口之間限定用于第三氣流的第二流道，其繞過所述腔，所述輸送裝置用于通過管道網(wǎng)輸送每種氣流，從而當(dāng)一種氣流沿著其第一流道流動時其它氣流沿著它們的第二流道流動。
所述輸送系統(tǒng)可包括位于管道網(wǎng)內(nèi)的第三閥系統(tǒng)，以及用于控制第三閥系統(tǒng)的裝置，從而使第三氣流從第三入口輸送至從第一和第二流道中選擇出的一條流道中。
腔入口和腔出口可用于在腔的工作區(qū)提供一種均衡的流動分布。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，本發(fā)明提供將氣體輸送至一個腔并將氣體從所述腔排出的裝置，所述裝置包括
接收第一氣流的第一入口；接收第二氣流的第二入口；排出第一氣流的第一出口；排出第二氣流的第二出口；可連接到所述腔入口的第一腔口；可連接到所述腔出口的第二腔口；將第一入口連接到第一出口和將第二入口連接到第二出口的管道網(wǎng)，以便在各自入口和出口之間限定用于每一氣流的第一和第二流道，所述第一流道穿過所述腔口，所述第二流道繞過所述腔口；以及通過所述管道網(wǎng)輸送氣流的裝置，以便當(dāng)一種氣流沿著其第一流道流動時，另一種氣流沿著其第二流道流動。
根據(jù)本發(fā)明的第三方面，本發(fā)明提供一種將氣體輸送至一個腔并將氣體從所述腔排出的方法，該方法包括如下步驟將管道網(wǎng)連接到所述腔，其具有接收第一氣流的第一入口；接收第二氣流的第二入口；排出第一氣流的第一出口；排出第二氣流的第二出口；可連接到所述腔入口的第一腔口；可連接到所述腔出口的第二腔口；以及將第一入口連接到第一出口和將第二入口連接到第二出口的管道網(wǎng)，以便在各自入口和出口之間限定用于每一氣流的第一和第二流道，所述第一流道穿過所述腔口，所述第二流道繞過所述腔口；以及通過所述管道網(wǎng)輸送氣流，以便當(dāng)一種氣流沿著其第一流道流動時，另一種氣流沿著其第二流道流動。
為了說明的目的，現(xiàn)將結(jié)合附圖對本發(fā)明的一個實施例進行詳盡地描述，其中

圖1示出了一種常規(guī)的排輸氣體轉(zhuǎn)換系統(tǒng)；圖2示出了將處理和吹洗氣體輸送至一個腔的裝置；圖3更加詳盡地示出了圖2所示裝置的輸送機構(gòu)。
如圖1所示，現(xiàn)有的排輸氣體轉(zhuǎn)換系統(tǒng)包括兩個氣源A和B，每一氣源通過系列有閥管道13-18連接到處理腔11和泵12。管道13-16包括閥13’-16’，氣體A和B經(jīng)過處理腔11或者經(jīng)過管道17流到泵12，上述這些閥控制流到泵12的氣體的流動，管道17繞過處理腔11。因此，在任意時間氣體A、B中僅有一種氣體被輸送到所述腔中。
為將第一氣體A輸送至腔11，閥14’打開，第一氣體A通過管道14直接流入腔11并通過管道18排入泵12。在第一氣體A的輸送期間，閥15’和16’保持關(guān)閉，而閥13’打開。因此第二氣體B通過管道13，17和18繞過腔11流入泵12。為了將第二氣體B輸送至腔11，閥15’和16’打開，而閥13’和14’關(guān)閉。在這種結(jié)構(gòu)中，第二氣體B通過管道15被輸送至腔11并經(jīng)過管道18排入泵12。與此同時，第一氣體A通過管道16，17和18完全繞過腔11直接被輸送至泵12。
可以理解，由于通過泵附近的管道18有兩種氣體A，B被排入到一個單個泵12中，在兩種氣體供應(yīng)之間的轉(zhuǎn)換受到影響之后保留在這一區(qū)域中的任何殘留氣體之間就會有交叉反應(yīng)的機會。
圖2示出了一種向處理腔供應(yīng)氣體的一種替代的改進裝置。
從圖2可以看出，所示裝置可向處理腔4輸送三種不同的氣體1，2，3。典型地是，其中的氣體3為吹洗氣體，而其它兩種氣體1，2為要在處理器4中進行反應(yīng)的處理氣體，例如用于形成多層半導(dǎo)體產(chǎn)品或多層絕緣體。通過之間的管道網(wǎng)6，每種氣體供應(yīng)連接到處理腔4和兩個泵7，8中的一個。通過各自的入口管道21，22，23,管道網(wǎng)6在每一所需氣體1，2，3的氣源上游端處連接，所述入口管道1，2，3用于向管道網(wǎng)6分配氣體1，2，3。管道網(wǎng)6通過出口管道26，27在下游端連接到真空泵7，8，以便向其排放氣體。
在該示例中，通過入口管道21，22，23與出口管道26，27之間的管道網(wǎng)6，提供了三條主要流道。第一流道通過穿過處理腔4而形成。一條管道24位于處理腔4的上游，管道24的末端具有連接到處理腔入口4a的端口24’。第二管道25位于處理腔4的下游，管道25的末端具有連接到處理腔出口4b的另一個端口25’。該示例的第二和第三流道通過旁支管道28，29形成。這些管道為任何時間都不需在處理腔內(nèi)進行處理的氣體提供可選擇的通道。通常，管道網(wǎng)6所提供的特殊流道的數(shù)量與要輸送到管道網(wǎng)的氣體的種數(shù)(這里為三種)相適應(yīng)。
管道網(wǎng)6包括兩邊的開關(guān)閥5a和5b，用于沿著上述管道網(wǎng)6所提供的三條單獨的流道輸送每種氣體1，2，3。這些閥優(yōu)選為快速致動閥，如電磁閥，以便快速地影響三種不同氣體1，2，3從一條流道到另一條流道地轉(zhuǎn)換?？刂破?將每邊的閥5a，5b連接起來，以允許每個閥可根據(jù)在處理腔4中所要執(zhí)行的特定處理進行自動轉(zhuǎn)換?？刂破?能夠以任何特定的順序使不同的閥啟動，而且還能控制啟動的時間、任何特定閥打開的持續(xù)時間和打開的程度。定時可用于使一邊的閥5a早于另一邊的閥5b啟動，從而確保一個流道內(nèi)存在的氣體在將隨后的氣體引入網(wǎng)絡(luò)該區(qū)域中之前被排盡。
一種構(gòu)成管道網(wǎng)6的特殊結(jié)構(gòu)的閥和管道在圖3中示出，下面將結(jié)合其操作進行描述。
如圖2所示，每一入口管道21，22，23限定了進入管道網(wǎng)的入口21’，22’，23’，同樣，每一出口管道26，27限定了流出管道網(wǎng)的出口26’，27’。為了清楚起見，在圖3中僅僅示出管道。
每種氣體1，2，3開始輸入各自的入口管道21，22，23。
第一處理氣體1被提供到處理腔4中(參見圖2)，閥31，32，33，41和42打開，其余的閥關(guān)閉。這就使得第一氣體1從入口管道21，穿過閥32、管道24，并通過處理腔入口4a進入到處理腔4中。處理過程沒有用完的任何殘留氣體1通過處理腔出口4b流出處理腔4，進入管道25并由此通過閥41和出口管道26進入泵7。
與此同時，第二處理氣體2直接從入口22穿過閥33、管道28和閥42到達出口27，在此氣體2排入真空泵8。因此，氣體2完全繞過了處理腔4，從而不會與第一處理氣體1混合。第三種處理氣體(在這里為吹洗氣體3)直接從其單獨入口23，穿過閥31和管道29到達出口26(與第一處理氣體1共用)，并由此排入到真空泵7。這種共用會在任何不會反應(yīng)生成前述的沉積或生成具有特殊腐蝕性特征的副產(chǎn)品的氣體之間出現(xiàn)，這種副產(chǎn)品可與對操作甚至?xí)φ婵毡?，8的運轉(zhuǎn)造成傷害。
通常，被引入處理腔4的下一種氣體為吹洗氣體3，因此，第一轉(zhuǎn)換邊5a的閥31和32由控制器9關(guān)閉，同時，同樣是第一轉(zhuǎn)換邊5a中的閥34和35打開。以這種方式，第二處理氣體2才會不受影響并如前所述的一樣，直接從其入口22進入到出口27，而第一處理氣體1和吹洗氣體3交換流道。也即第一處理氣體1現(xiàn)在從入口21穿過閥35并繞過管道29進入出口26，由此排入真空泵7。與此同時，吹洗氣體3從入口23穿過閥34和管道24并經(jīng)過處理腔入口4a進入處理腔4。之后，吹洗氣體3通過處理腔出口4b排出處理腔4進入管道25，并通過閥41進入出口26，由此排入真空泵7。
隨后的步驟可包括將第二處理氣體2輸送到處理腔中。在這種情況下，需要將每種氣體1，2，3移入到一條新的流道中，所以兩邊5a，5b中的幾乎所有閥都必須被同時關(guān)閉。閥34，35，33，41和42由控制器9關(guān)閉，而閥31，36，37，43和44被打開，從而限定了由三條流道組成的新流道。主流道用于將第二處理氣體2輸送至處理腔4。第二處理氣體2從其入口22，穿過閥37和管道24并經(jīng)過處理腔入口4a進入處理腔4，在此，其執(zhí)行與處理腔內(nèi)產(chǎn)生的薄片相關(guān)的功能。之后，任何殘留的氣體2從處理腔4通過處理腔出口4b、穿過管道25和閥43進入出口27，由此排入真空泵8。在這種結(jié)構(gòu)中第一繞行路線將第一處理氣體從入口21并穿過閥36、管道28和閥44輸送到其單獨的出口26。第二繞行路線將第三氣體(這里為吹洗氣體3)從入口23穿過閥31和管道29輸送至出口26，當(dāng)其排入真空泵時在此與第一氣體1混合。
因此可以看出，利用轉(zhuǎn)換閥31到37和41到44的合適操作并利用控制器9，每種氣體1，2，3可具有兩條不同的流道，也即通過處理腔4的第一流道和繞過處理腔4的第二流道。這樣可使氣體分別依次輸送至處理腔4中，并可將每種反應(yīng)處理氣體1和2輸送至各自的泵7，8。由于這些處理氣體1，2在它們進入前級管道(其位于相關(guān)的出口26，27的下游)之前進入到特定的泵7，8中，所以沒有機會進行交叉反應(yīng)和隨后對泵7，8的顆粒污染。
可以理解，通過在合適的轉(zhuǎn)換邊5a，5b添加另外的管道和與之相關(guān)的閥，上面的設(shè)置可被很容易地擴展至適用于多于兩種的反應(yīng)氣體。泵的數(shù)量也可被增加到允許對混合時產(chǎn)生腐蝕性副產(chǎn)品或形成顆粒沉積的氣體進行分離，所述副產(chǎn)品或沉積將對泵的操作和性能有害。還可以理解，分離的泵僅僅在存在能夠發(fā)生交叉反應(yīng)的兩種或多種氣體時需要。不發(fā)生交叉反應(yīng)的任何兩種或多種氣體可利用上述類型裝置被安全地直接輸送到一個泵中。
通過將氣體從一條流道重新輸送或轉(zhuǎn)換到另一流道，每種氣體的輸送可保持穩(wěn)定和穩(wěn)態(tài)氣流而不是開和關(guān)的連續(xù)波動。這就減少了液流的瞬間特征。此外，通過向處理腔4設(shè)置一個入口4a和出口4b，可以看到所述系統(tǒng)本身可用于將處理腔工作區(qū)的氣流的瞬間現(xiàn)象降至最低。
通過設(shè)置平衡流道可使氣流的瞬間特征降低，也就是不同流道的長度和橫截面積可相互之間進行比較。
盡可能地降低這些瞬間特征是有益的，這樣可使薄片暴露于處理氣體的時間最短，因而增加了裝置的塵產(chǎn)能力并降低了所需的消耗。
權(quán)利要求
1.一種裝置，其包括具有腔入口和腔出口的腔；接收第一氣流的第一入口；接收第二氣流的第二入口；將第一氣流排入第一真空泵的第一出口；將第二氣流排入第二真空泵的第二出口；將第一入口連接到第一出口和將第二入口連接到第二出口的管道網(wǎng)，以便在各自入口和出口之間限定用于每一氣流的第一和第二流道，所述第一流道穿過所述腔入口和腔出口，所述第二流道繞過所述腔；以及通過所述管道網(wǎng)輸送氣流的裝置，以便當(dāng)一種氣流沿著其第一流道流動時，另一種氣流沿著其第二流道流動。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于部分用于第一氣流的第二流道與部分用于第二氣流的第二流道共用。
3.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于對于每一氣流來說，第一流道同第二流道隔離。
4.如前述任一權(quán)利要求所述的裝置，其特征在于所述輸送裝置包括位于管道網(wǎng)內(nèi)的第一閥系統(tǒng)，以及控制第一閥系統(tǒng)從而使第一氣流從第一入口輸送至從第一和第二流道中選擇出的一條流道和將第二氣流從第二入口輸送至從第一和第二流道中選擇出的一條流道的裝置。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于所述輸送裝置包括位于所述管道網(wǎng)內(nèi)的第二閥系統(tǒng)，以及用于控制第二閥系統(tǒng)以使第一氣流從其選擇出的流道輸送至第一出口和將第二氣流從其選擇出的流道輸送至第二出口的裝置。
6.如權(quán)利要求4或5所述的裝置，其特征在于所述控制裝置或每一控制裝置用于控制閥系統(tǒng)的閥的打開程度。
7.如權(quán)利要求4至6任一所述的裝置，其特征在于所述控制裝置或每一控制裝置用于控制閥系統(tǒng)每一個閥的打開的持續(xù)時間。
8.如權(quán)利要求4至7任一所述的裝置，其特征在于所述控制裝置或每個控制裝置用于在閥系統(tǒng)的閥打開之間設(shè)定預(yù)定時間間隔，以便保證在引入新氣體之前將管道的任意共用段內(nèi)的所有氣體排盡。
9.如前述任一權(quán)利要求所述的裝置，其特征在于其包括用于接收第三氣流的第三入口，并且其中所述管道網(wǎng)將第三入口連接到第一出口上，以便在第三入口與第一出口之間限定用于第三氣流的第一流道，該流道穿過腔入口和腔出口。
10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于所述輸送裝置用于通過所述管道網(wǎng)輸送所述氣流，從而當(dāng)?shù)谌龤饬餮仄涞谝涣鞯懒鲃訒r，第一和第二氣流沿著它們的第二流道流動。
11.如權(quán)利要求9或10所述的裝置，其特征在于所述管道網(wǎng)將第三入口連接到第一出口上，以便在第三入口與第一出口之間限定用于第三氣流的第二流道，該第二流道繞過所述腔，所述輸送裝置用于通過管道網(wǎng)輸送所述氣流，從而當(dāng)一種氣流沿著其第一流道流動時其它氣流沿著它們的第二流道流動。
12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于所述輸送系統(tǒng)包括位于管道網(wǎng)內(nèi)的第三閥系統(tǒng)，以及用于控制第三閥系統(tǒng)的裝置，從而使第三氣流從第三入口輸送至從第一和第二流道中選擇出的一條流道中。
13.如前述任一權(quán)利要求所述的裝置，其特征在于所述腔入口和腔出口用于在腔的工作區(qū)提供一種均衡的流動分布。
14.一種將氣體輸送至一個腔并將氣體從所述腔排出的裝置，所述裝置包括接收第一氣流的第一入口；接收第二氣流的第二入口；排出第一氣流的第一出口；排出第二氣流的第二出口；可連接到所述腔入口的第一腔口；可連接到所述腔出口的第二腔口；將第一入口連接到第一出口和將第二入口連接到第二出口的管道網(wǎng)，以便在各自入口和出口之間限定用于每一氣流的第一和第二流道，所述第一流道穿過所述腔口，所述第二流道繞過所述腔口；以及通過所述管道網(wǎng)輸送氣流的裝置，以便當(dāng)一種氣流沿著其第一流道流動時，另一種氣流沿著其第二流道流動。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于部分用于第一氣流的第二流道與部分用于第二氣流的第二流道共用。
16.如權(quán)利要求14或15所述的裝置，其特征在于對于每一氣流來說，第一流道同第二流道隔離。
17.如權(quán)利要求14-16任一所述的裝置，其特征在于所述輸送裝置包括位于管道網(wǎng)內(nèi)的第一閥系統(tǒng)，以及控制第一閥系統(tǒng)從而使第一氣流從第一入口輸送至從第一和第二流道中選擇出的一條流道和將第二氣流從第二入口輸送至從第一和第二流道中選擇出的一條流道的裝置。
18.如權(quán)利要求17所述的裝置，其特征在于所述輸送裝置包括位于所述管道網(wǎng)內(nèi)的第二閥系統(tǒng)，以及用于控制第二閥系統(tǒng)以使第一氣流從其選擇出的流道輸送至第一出口和將第二氣流從其選擇出的流道輸送至第二出口的裝置。
19.如權(quán)利要求17或18所述的裝置，其特征在于所述控制裝置或每一控制裝置用于控制閥系統(tǒng)的閥的打開程度。
20.如權(quán)利要求17至19任一所述的裝置，其特征在于所述控制裝置或每一控制裝置用于控制閥系統(tǒng)每一個閥的打開的持續(xù)時間。
21.如權(quán)利要求17至20任一所述的裝置，其特征在于所述控制裝置用于在不同閥系統(tǒng)的閥打開之間設(shè)定時間間隔，以便保證在引入新氣體之前將管道的任意共用段內(nèi)的所有氣體排盡。
22.如權(quán)利要求14至21任一所述的裝置，其特征在于其包括用于接收第三氣流的第三入口，并且其中所述管道網(wǎng)將第三入口連接到第一出口上，以便在第三入口與第一出口之間限定用于第三氣流的第一流道，該流道穿過第一和第二腔口。
23.如權(quán)利要求22所述的裝置，其特征在于所述輸送裝置用于通過所述管道網(wǎng)輸送所述氣流，從而當(dāng)?shù)谌龤饬餮仄涞谝涣鞯懒鲃訒r，第一和第二氣流沿著它們的第二流道流動。
24.如權(quán)利要求22或23所述的裝置，其特征在于所述管道網(wǎng)將第三入口連接到第一出口上，以便在第三入口與第一出口之間限定用于第三氣流的第二流道，該第二流道繞過所述腔口，所述輸送裝置用于通過管道網(wǎng)輸送所述氣流，從而當(dāng)一種氣流沿著其第一流道流動時其它氣流沿著它們的第二流道流動。
25.如權(quán)利要求24所述的裝置，其特征在于所述輸送系統(tǒng)包括位于管道網(wǎng)內(nèi)的第三閥系統(tǒng)，以及用于控制第三閥系統(tǒng)的裝置，從而使第三氣流從第三入口輸送至從第一和第二流道中選擇出的一條流道中。
26.一種將氣體輸送至一個腔并將氣體從所述腔排出的方法，該方法包括如下步驟將管道網(wǎng)連接到所述腔，其具有接收第一氣流的第一入口；接收第二氣流的第二入口；排出第一氣流的第一出口；排出第二氣流的第二出口；可連接到所述腔入口的第一腔口；可連接到所述腔出口的第二腔口；和將第一入口連接到第一出口和將第二入口連接到第二出口的管道網(wǎng)，以便在各自入口和出口之間限定用于每一氣流的第一和第二流道，所述第一流道穿過所述腔口，所述第二流道繞過所述腔口；以及通過所述管道網(wǎng)輸送氣流，以便當(dāng)一種氣流沿著其第一流道流動時，另一種氣流沿著其第二流道流動。
全文摘要
一種裝置，其包括具有腔入口和腔出口的腔；接收第一氣流的第一入口；接收第二氣流的第二入口；將第一氣流排入第一真空泵的第一出口；將第二氣流排入第二真空泵的第二出口；將第一入口連接到第一出口和將第二入口連接到第二出口的管道網(wǎng)，以便在各自入口和出口之間限定用于每一氣流的第一和第二流道，所述第一流道穿過所述腔入口和腔出口，所述第二流道繞過所述腔；以及通過所述管道網(wǎng)輸送氣流的裝置，以便當(dāng)一種氣流沿著其第一流道流動時，另一種氣流沿著其第二流道流動。
文檔編號C23C16/44GK1856593SQ200480027810
公開日2006年11月1日 申請日期2004年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月26日
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