專利名稱：化學氣相沉積鍍膜機的鉤子的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及化學氣相沉淀鍍膜機的零件。
背景技術：
為了改善太陽能電池片的功率，采取在多晶硅表面及內(nèi)部的電子空穴對 上沉積一層很薄的氮化硅，又稱為鈍化。上述鈍化，可以通過化學氣相沉積
鍍膜機實現(xiàn)。在鍍膜機中，襯底的承載形式是不同的，德國Rath&Raw公司 的化學氣相沉積鍍膜機中，承載襯底的是具有縱橫空格的承載框(參見圖3)， 空格的四周設有鉤子，鉤子的形狀見圖2，鉤子具有主體1和兩腳2，主體的 兩豎桿1-1中部由一橫桿1-2連接，兩豎桿1-1下端各連接與主體處于同一平 面內(nèi)的鉤狀腳2，主體1和兩腳2的直徑一般是1 mm。鉤子自下而上卡在兩 空格之間的梁3上，通過兩豎桿上部纏繞固定在承載框上。每一空格中設置 一襯底4,襯底擱放在鉤子上，掛鉤腳端點與襯底接觸，掛鉤腳其余部分與 襯底有間隙。當源物質氣體自下而上流動時，遇到掛鉤腳的阻擋成扇形，影 響掛鉤腳上方的襯底部分上源物質氣體的沉積，在外觀上形成了與周圍顏色 不一致的區(qū)域，該區(qū)域的面積大于掛鉤腳在襯底上的正投影面積。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提出一種結構簡單的化學氣相沉積鍍膜機的鉤 子，使用該鉤子的上述鍍膜機可以減小襯底上與周圍顏色不一致區(qū)域的面積， 提高鍍膜質量。
為達到上述目的，本實用新型采取如下技術方案
本實用新型具有主體和兩腳，所述主體具有二豎桿和處于二豎桿頂端上 的橫桿，兩豎桿下端各設有與主體處于同一平面內(nèi)的橫平腳。 所述主體和兩腳是由單根絲相折而成的一體件。
所述兩腳的長度h相同，是L3 1.6咖，兩腳的直徑<1)是0.3 0.5咖。本實用新型的結構非常簡單，由一根金屬絲四折而成，加工特方便。由 于本實用新型所提出的鉤子是橫平的，襯底擱置在本鉤子上，襯底與鉤子之 間形成線接觸，當源物質氣體自下而上流動時，遇到掛鉤腳的阻擋，在襯底 上所形成與周圍顏色不一致的區(qū)域明顯減小，基本上相當于掛鉤腳在襯底上 的正投影面積。


為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)的具體實施例 并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中 圖1為本實用新型所提出的鉤子結構示圖； 圖2為現(xiàn)有鉤子結構示圖； 圖3為承載框的結構示圖。
具體實施方式
圖1所示的實施例具有主體1和兩腳2，所述主體1具有二豎桿1-1和 處于二豎桿1-1頂端上的橫桿1-2，兩豎桿1-1下端各設有與主體處于同一平 面內(nèi)的橫平腳2。上述主體1和兩腳2是由單根絲相折而成的一體件。主體1 和兩腳2的直徑均是0.3 0.5咖，兩腳的長度一致，均是1.3 1.6咖。本實 施例選擇直徑是0.4mm的金屬絲折成，兩腳的長度是1.5咖。
見圖3，本鉤子自上而下卡在承載框兩空格之間的梁3上，可以將鉤子焊 接在梁3上。
權利要求1、一種化學氣相沉積鍍膜機的鉤子，具有主體(1)和兩腳(2)，其特征在于所述主體(1)具有二豎桿(1-1)和處于二豎桿(1-1)頂端上的橫桿(1-2)，兩豎桿(1-1)下端各設有與主體處于同一平面內(nèi)的橫平腳(2)。
2、 根據(jù)權利要求1所述的化學氣相沉積鍍膜機的鉤子，其特征在于主體(1)和兩腳(2)是由單根絲相折而成的一體件。
3、 根據(jù)權利要求2所述的化學氣相沉積鍍膜機的鉤子，其特征在于兩 腳的長度h相同，是L3 1.6咖，兩腳(2)的直徑4)是0,3 0.5咖。
專利摘要一種化學氣相沉積鍍膜機的鉤子，具有主體和兩腳，所述主體具有二豎桿和處于二豎桿頂端上的橫桿，兩豎桿下端各設有與主體處于同一平面內(nèi)的橫平腳。本實用新型的結構非常簡單，可以僅用一根金屬絲四折而成，加工特方便。由于本實用新型所提出的鉤子是橫平的，襯底擱置在本鉤子上，襯底與鉤子之間形成線接觸，襯底上源物質氣體的沉積受到阻擋的面積明顯減小。
文檔編號C23C16/34GK201132851SQ200720194930
公開日2008年10月15日 申請日期2007年11月13日 優(yōu)先權日2007年11月13日
發(fā)明者軍 張, 汪釘崇, 王仁杰 申請人:常州天合光能有限公司