專利名稱：一種vfd雙面真空鍍膜設(shè)備的擋板機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種VFD雙面真空鍍膜設(shè)備的擋板機(jī)構(gòu)。
(二)
背景技術(shù)：
在VFD真空鍍膜生產(chǎn)線的總體設(shè)計(jì)中，考慮到成木問題，大多采 用了對靶雙面鍍膜的設(shè)備結(jié)構(gòu)，即釆用四塊磁控濺射陰極靶，左右兩 兩相對，可同時(shí)對兩側(cè)裝載的玻璃基片進(jìn)行鍍膜，設(shè)備的生產(chǎn)效率提 高-—倍。同時(shí)在對耙之間要加入活動(dòng)擋板(對開擋板)，來解決雙面鍍 膜時(shí)陰極靶材料相互沉積污染問題。但是，由于真空系統(tǒng)熱傳導(dǎo)能力 差、橡膠件動(dòng)密封易泄漏的特殊性，以及磁控濺射高溫丁.藝的具休耍 求，使得-般的擋板機(jī)構(gòu)極易產(chǎn)生傳動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)密封泄漏，無法長時(shí)間 保證夷空鍍膜生產(chǎn)線正常的生產(chǎn)和運(yùn)行。
(三) 發(fā)明內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有VFD雙面真空鍍膜設(shè)備的擋板機(jī)構(gòu)易產(chǎn)生傳動(dòng)系統(tǒng) 動(dòng)密封泄漏的不足，本實(shí)用新型提供--種可達(dá)到無泄露效果的VFD雙而 真空鍍膜設(shè)備的擋板機(jī)構(gòu)。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題的技術(shù)方案是: 一種VFD雙面真空鍍 膜設(shè)備的擋板機(jī)構(gòu)，包括第一擋板和第二擋板，所述第一擋板的上端 安裝在第一上波紋管上，所述第一擋板的下端安裝在第一下波紋管上， 所述的第一上波紋管與所述的第-下波紋管對稱；所述第二擋板的上 端安裝在第二上波紋管上，所述第二擋板的下端安裝在第二 f波紋管 上，所述的第二上波紋管與所述的第二下波紋管對稱；所述第一上波
紋管的頭部設(shè)有第一上密封頭，所述的第一密封上頭與所述的第一上
波紋管圍成第一上密閉腔，所述的第一 .lr.密封頭具有第一上壓縮氣休
進(jìn)氣管，所述的第一上壓縮氣體進(jìn)氣管與所述的第一上密閉腔連通；
所述第一下波紋管的頭部設(shè)有第一下密封頭，所述的第一密封下頭與 所述的第一下波紋管圍成第一下密閉腔，所述的第一下密封頭具有第
，F(xiàn)壓縮氣休進(jìn)氣管，所述的第一下壓縮氣體進(jìn)氣管與所述的笫—T
密閉腔連通；所述第二上波紋管的尾部設(shè)有第二上密封頭，所述的第
二上密封頭與所述的第二上波紋管圍成第二上密閉腔，所述的第二上 密封頭具冇第二上壓縮氣體進(jìn)氣管，所述的第二上壓縮氣休進(jìn)氣管與
所述的第二上密閉腔連通；所述第二下波紋管的尾部設(shè)有第二下密封 頭，所述的第二下密封頭與所述的第二下波紋管圍成第二下密閉腔， 所述的第二下密封頭具有第二下壓縮氣體進(jìn)氣管，所述的第二 —卜'壓縮 氣體進(jìn)氣管與所述的第二下密閉腔連通；還包括第--拉簧、第二拉簧、 第三拉簧、第四拉簧，所述第一拉簧的前端和后端均連接在第一上波 紋管上，所述第二拉簧的前端和后端均連接在第一下波紋管上，所述 第三拉簧的前端和后端均連接在第二上波紋管上，所述第四拉簧的甜 端和后端均連接在第二下波紋管上。
進(jìn)一步，所述的第一拉簧位于所述的第一上密閉腔內(nèi)，所述的第 二拉簧位于所述的第一下密閉腔內(nèi)，所述的第三拉簧位亍所述的第二 上密閉腔內(nèi)，所述的第四拉簧位于所述的第二下密閉腔內(nèi)。
進(jìn)一步，所述的第一上壓縮氣體進(jìn)氣管通過第一上密封接頭與所 述的第一上密封頭連接，所述的第一下壓縮氣體進(jìn)氣管通過第一下密 封接頭與所述的第--下密封頭連接；所述的第二上壓縮氣體進(jìn)氣管通過第二上密封接頭與所述的第二上密封頭連接，所述的第二下壓縮氣 體進(jìn)氣管通過第二下密封接頭與所述的第二下密封頭連接。
使用時(shí)，將壓縮氣體充入第一上密閉腔，使壓縮氣體的壓力大于 第一拉簧對第一上波紋管的作用力，因波紋管具有伸縮能力，此時(shí)第
一上波紋管伸長；將壓縮氣體通過第一下密閉腔、第二上密閉腔、第
二下密閉腔，基于同樣的原理，將壓縮氣體通入第一下密閉腔、第二
上密閉腔、第二下密閉腔，第一下波紋管、第二上波紋管、第二下波
紋管也伸長，第一上波紋管、第一下波紋管、第二上波紋管、第二下
波紋管伸長后使得第一擋板和第二擋板分開。將壓縮氣體從第一上密
閉腔中放出，在第一拉簧的作用力下第一上波紋管縮短；基于同樣的
原理，將壓縮氣體從第--下密閉腔、第二上密閉腔、第二下密閉腔中
放出，第一下波紋管、第二上波紋管、第二下波紋管也縮短，第一上
波紋管、第一下波紋管、第二上波紋管、第二下波紋管縮短后第一擋
板和第二擋板又對合關(guān)閉。
本實(shí)用新型的有益效果在于由于波紋管具有伸縮能力，因此無需
膠圈作為滑動(dòng)密封，故跟機(jī)構(gòu)可達(dá)到無泄露效果。


圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2是本實(shí)用新型的局部放大圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本實(shí)用新型作進(jìn)一歩詳細(xì)說明。 參照圖l, 一種VFD雙面真空鍍膜設(shè)備的擋板機(jī)構(gòu)，包括第一擋
板1和第二擋板2，所述第一擋板1的上端安裝在第一上波紋管3上，
所述第一擋板1的下端安裝在第一 卜—波紋管4上，所述的第一上波紋 管3與所述的第--下波紋管4對稱。所述第二擋板2的上端安裝在第 二上波紋管5」 '，所述第二擋板2的下端安裝在第二下波紋管6上， 所述的第二上波紋管5與所述的第二下波紋管6對稱。
所述第一上波紋管3的頭部設(shè)有第--上密封頭7，所述的第一密 封上頭7與所述的第一上波紋管3圍成第一上密閉腔9，所述的第一 上密封頭7具有第一上壓縮氣體進(jìn)氣管8，所述的第一上壓縮氣體進(jìn) 氣管8與所述的第一上密閉腔9連通，本實(shí)施例中，所述的第一上壓 縮氣體進(jìn)氣管8通過第一上密封接頭10與所述的第一上密封頭7連 接。
所述第-下波紋管的頭部設(shè)有第-下密封頭，所述的第一密封下 頭與所述的第一下波紋管圍成第一下密閉腔，所述的第一下密封頭具 有第一下壓縮氣體進(jìn)氣管，所述的第一下壓縮氣體進(jìn)氣管與所述的第 一下密閉腔連通，本實(shí)施例中，所述的第一下壓縮氣體進(jìn)氣管通過第 一下密封接頭與所述的第一下密封頭連接。
所述第二上波紋管的尾部設(shè)有第二上密封頭ll，所述的第二上密 封頭11與所述的第二上波紋管5圍成第二上密閉腔12，所述的第二 上密封頭11具有第二上壓縮氣體進(jìn)氣管13，所述的第二上壓縮氣體 進(jìn)氣管13與所述的第二上密閉腔12連通，本實(shí)施例中，所述的第二 上壓縮氣體進(jìn)氣管13通過第二上密封接頭14與所述的第二上密封頭 ll連接。
所述第二下波紋管的尾部設(shè)有第二下密封頭，所述的第二卜'密封 頭與所述的第二下波紋管圍成第二下密閉腔，所述的第二下密封頭具 有第二下壓縮氣體進(jìn)氣管，所述的第二下壓縮氣體進(jìn)氣管與所述的第 二下密閉腔連通，本實(shí)施例中，所述的第二下壓縮氣體進(jìn)氣管通過第 二下密封接頭與所述的第二下密封頭連接。
還包括第一拉簧15、第二拉簧16、第三拉簧17、第四拉簧18， 所述第一拉簧15的前端和后端均連接在第一上波紋管3上，所述第二 拉簧16的前端和后端均連接在第一下波紋管4上，所述第三拉簧17 的前端和后端均連接在第二上波紋管5上，所述第四拉簧18的前端和 后端均連接在第二下波紋管6上。本實(shí)施例中，所述的第一拉簧15 位于所述的第一上密閉腔9內(nèi)，所述的第二拉簧16位于所述的第一下 密閉腔內(nèi)，所述的第三拉簧17位于所述的第二上密閉腔12內(nèi)，所述 的第四拉簧18位于所述的第二下密閉腔內(nèi)。
本實(shí)用新型使用時(shí)的工作過程如前所述，由于波紋管具有伸縮能 力，因此無需膠圈作為滑動(dòng)密封，故跟機(jī)構(gòu)可達(dá)到無泄露效果。
權(quán)利要求1. 一種VFD雙面真空鍍膜設(shè)備的擋板機(jī)構(gòu)，包括第一擋板和第二擋板，其特征在于所述第一擋板的上端安裝在第一上波紋管上，所述第一擋板的下端安裝在第一下波紋管上，所述的第一上波紋管與所述的第一下波紋管對稱；所述第二擋板的上端安裝在第二上波紋管上，所述第二擋板的下端安裝在第二下波紋管上，所述的第二上波紋管與所述的第二下波紋管對稱；所述第一上波紋管的頭部設(shè)有第一上密封頭，所述的第一密封上頭與所述的第一上波紋管圍成第一上密閉腔，所述的第一上密封頭具有第一上壓縮氣體進(jìn)氣管，所述的第一上壓縮氣體進(jìn)氣管與所述的第一上密閉腔連通；所述第一下波紋管的頭部設(shè)有第一下密封頭，所述的第一密封下頭與所述的第一下波紋管圍成第一下密閉腔，所述的第一下密封頭具有第一下壓縮氣體進(jìn)氣管，所述的第一下壓縮氣體進(jìn)氣管與所述的第一下密閉腔連通；所述第二上波紋管的尾部設(shè)有第二上密封頭，所述的第二上密封頭與所述的第二上波紋管圍成第二上密閉腔，所述的第二上密封頭具有第二上壓縮氣體進(jìn)氣管，所述的第二上壓縮氣體進(jìn)氣管與所述的第二上密閉腔連通；所述第二下波紋管的尾部設(shè)有第二下密封頭，所述的第二下密封頭與所述的第二下波紋管圍成第二下密閉腔，所述的第二下密封頭具有第二下壓縮氣體進(jìn)氣管，所述的第二下壓縮氣體進(jìn)氣管與所述的第二下密閉腔連通；還包括第一拉簧、第二拉簧、第三拉簧、第四拉簧，所述第一拉簧的前端和后端均連接在第一上波紋管上，所述第二拉簧的前端和后端均連接在第一下波紋管上，所述第三拉簧的前端和后端均連接在第二上波紋管上，所述第四拉簧的前端和后端均連接在第二下波紋管上。
2. 如權(quán)利要求1所述的VFD雙面真空鍍膜設(shè)備的擋板機(jī)構(gòu)，其特 征在于所述的第一拉簧位于所述的第 -上密閉腔內(nèi)，所述的第二拔 簧位于所述的第一下密閉腔內(nèi)，所述的第三拉簧位于所述的第二卜.密 閉腔內(nèi)，所述的第四拉簧位于所述的第二下密閉腔內(nèi)。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的VFD雙面真空鍍膜設(shè)各的擋板機(jī)構(gòu)， 其特征在于所述的第一上壓縮氣體進(jìn)氣管通過第一上密封接頭與所 述的第一 t:密封頭連接，所述的第一下壓縮氣體進(jìn)氣管通過笫一下密 封接頭與所述的第一下密封頭連接；所述的第二上沐:縮氣體進(jìn)氣管通 過第二.匕密封接頭與所述的第二上密封頭連接，所述的第二下〗五縮氣 體進(jìn)氣管通過第二下密封接頭與所述的第二下密封頭連接。
專利摘要一種VFD雙面真空鍍膜設(shè)備的擋板機(jī)構(gòu)，包括第一擋板和第二擋板，所述第一擋板的上端和下端均安裝在波紋管上，所述第二擋板的上端和下端均安裝在波紋管上，波紋管具有密閉腔，密閉腔內(nèi)設(shè)有拉簧，并且密閉腔與壓縮氣體進(jìn)氣管連通。由于波紋管具有伸縮能力，因此無需膠圈作為滑動(dòng)密封，故跟機(jī)構(gòu)可達(dá)到無泄露效果。
文檔編號(hào)C23C14/35GK201209164SQ20082008806
公開日2009年3月18日 申請日期2008年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月5日
發(fā)明者王正品, 章浙根, 董學(xué)軍 申請人:寧波華聯(lián)電子科技有限公司