專利名稱：具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是一種具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備，其特別是關(guān)于一種可將濺 鍍陰極設(shè)置于能進(jìn)行開閉的半圓形門板上，以便濺鍍靶材裝卸濺鍍設(shè)備。
背景技術(shù)：
真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當(dāng)廣泛的一項重要技術(shù)，近年來已 經(jīng)逐漸取代噴導(dǎo)電漆或電解電鍍等方式，大量地應(yīng)用在光電、通信、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)， 成為相當(dāng)重要的表面處理技術(shù)。
一般而言，真空濺鍍設(shè)備可依照其濺鍍靶材的設(shè)置方式而區(qū)分為立式濺鍍設(shè)備
及臥式濺鍍設(shè)備，其中，現(xiàn)有技術(shù)的立式濺鍍設(shè)備的濺鍍靶材是設(shè)置于該濺鍍設(shè)備 的腔體中央位置，當(dāng)該濺鍍靶材需要更換時，作業(yè)人員需要利用機(jī)具從該腔體的上 方將濺鍍陰極吊取出來，再進(jìn)一步將濺鍍靶材予以更換，更換完畢后，仍必須再使 用機(jī)具的輔助將濺鍍陰極置回該腔體中央，然而，濺鍍陰極的吊取過程相當(dāng)不便， 倘若濺鍍陰極是以置放于該濺鍍設(shè)備的門板內(nèi)側(cè)的方式取代設(shè)置于腔體內(nèi)部中央的 方式，則其需要更換時，僅需打開門板更換即可，如此將可省卻更換過程的不便。
再者，目前現(xiàn)有技術(shù)濺鍍設(shè)備的門板是為一長方體的構(gòu)造，是由六片金屬板體 所構(gòu)成，其具有相當(dāng)?shù)闹亓坎⑶覒?yīng)力是集中于該門板的角落，造成門板開合支點承
受較大的重力負(fù)擔(dān)，此外，由于該門板的長方體構(gòu)造具有一定的厚度，于門板開啟 時，由于門板邊會抵頂?shù)介T板的開合支點位置，將使得該門板的開合角度受到限制 而造成作業(yè)不便。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的創(chuàng)作人，鑒于現(xiàn)有技術(shù)立式濺鍍設(shè)備的濺鍍靶材更換不易以及其 門板結(jié)構(gòu)造成作業(yè)不便的缺失，所以投注心力研發(fā)出本實用新型的濺鍍設(shè)備，以期 解決上述問題。
本實用新型的主要目的在于提供一種具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備，其特別 是關(guān)于一種可將濺鍍陰極設(shè)置于能進(jìn)行開閉的半圓形門板上，以便濺鍍靶材裝設(shè)、 卸除濺鍍設(shè)備。
為達(dá)到上述目的，本實用新型是采取以下的技術(shù)手段予以達(dá)成，其中本實用新 型的立式濺鍍設(shè)備包括有-
一濺鍍腔體，其內(nèi)部設(shè)有治具設(shè)置部且至少一側(cè)之一邊設(shè)有門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部， 相對于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部之一邊則設(shè)有擋止部；半圓形門板，系樞設(shè)于該濺鍍腔體之門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部，其面對該濺鍍腔體之一側(cè)具有一開口且內(nèi)部具有濺鍍陰極設(shè)置 部；門板閉鎖單元，系設(shè)置于該半圓形門板對應(yīng)于該擋止部的位置；該半圓形門板 具有樞設(shè)于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部的轉(zhuǎn)軸與門板連接部；該門板閉鎖單元是包括一壓制 塊、 一固接于該壓制塊的轉(zhuǎn)軸以及一固接于該轉(zhuǎn)軸異于該壓制塊的一端的控制桿； 該壓制塊是為一具有水平切面及圓弧面的半圓形塊體，并且其圓弧面具有一傾斜部； 該擋止部是為具有一長邊及一短邊的L型塊體，其短邊是對應(yīng)于該傾斜部。
通過上述的結(jié)構(gòu)，可將濺鍍陰極設(shè)置于該半圓形門板的內(nèi)部，當(dāng)濺鍍靶材需要 更換時，僅需開啟該半圓形門板并自該半圓形門板的開口取出該濺鍍陰極，接著進(jìn) 行濺鍍靶材的更換即可，再者，該門板是為半圓形的構(gòu)造，在結(jié)構(gòu)上僅需要三片金 屬板體即可構(gòu)成，相較于現(xiàn)有技術(shù)立式濺鍍設(shè)備的門板，不僅門板本身重量減輕， 亦可降低裝置成本，此外，采用半圓形的構(gòu)造，不僅其應(yīng)力較為分散，更可加大門 板開合的角度，以利該濺鍍陰極的取放以及濺鍍靶材的更換。

圖1是本實用新型的關(guān)閉狀態(tài)俯視圖。 圖2是本實用新型的開啟狀態(tài)俯視圖。 圖3是本實用新型的門板閉鎖單元的局部放大圖。 圖4是本實用新型門板閉鎖單元于開啟狀態(tài)的示意圖。 圖5是本實用新型的門板閉鎖單元于關(guān)閉狀態(tài)的示意圖。主要組件符號說明
(I) 具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備
(II) 濺鍍腔體 (111)治具設(shè)置部 (112)門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部 (113)擋止部
(12) 門板 (121)轉(zhuǎn)軸 (122)門板連接部(123)開口 (124)濺鍍陰極設(shè)置部 (125)延伸部
(13) 門板閉鎖單元 (131)壓制塊 (1311)水平切面(1312)圓弧面 (1313)傾斜部 (132)轉(zhuǎn)軸 (133)控制桿
具體實施方式
如圖1及圖2所示，本實用新型具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備(1 )包括有 一濺鍍腔體(11)，該濺鍍腔體(11)內(nèi)部的中央位置是設(shè)有一治具設(shè)置部(1
41 1 )，該濺鍍腔體(11)相對的二側(cè)的對應(yīng)邊上各設(shè)有二門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部(1 1
2 )，而相對于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部(112)的一邊則設(shè)有一擋止部(113); 二 半圓形門板(12)，是分別以轉(zhuǎn)軸(121)以及門板連接部(122)樞設(shè)于該 二門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部(112)，其面對該濺鍍腔體(11)的一側(cè)具有一開口 ( 1 2
3 )且內(nèi)部凹設(shè)的容置空間各設(shè)有三濺鍍陰極設(shè)置部(12 4); 二門板閉鎖單元 (13)，是分別設(shè)置于該二半圓形門板(12)上對應(yīng)于該擋止部(1 1 3 )的位置。
其中，該半圓形門板(12)的二相對邊均設(shè)有延伸部(125)，該門板連接 部(1 2 2 )是固接于該延伸部(12 5)以連接該半圓形門板(12)與該濺鍍 腔體(1 1 );該門板閉鎖單元(13)則設(shè)置于另一延伸部(125)上以搭配該 擋止部(113)將該半圓形門板(12)予以閉鎖。
請參考圖1、圖3及圖4，該設(shè)置于濺鍍腔體(11)上的擋止部(1 1 3 )于 俯視之下是呈一L型塊體，該L型塊體具有一長邊及一短邊，該門板閉鎖單元(1 3 )是包括一壓制塊(13 1)、 一固接于該壓制塊(131)的轉(zhuǎn)軸(1 3 2 )以 及一固接于該轉(zhuǎn)軸(13 2)異于該壓制塊(131)的一端的控制桿(133)， 其中，該壓制塊(13 1)是為一具有水平切面(13 11)及圓弧面(13 12) 的半圓形塊體，并且其圓弧面(13 12)具有一傾斜部(1313)。
請再參考圖1至圖5，該具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備(1 )是將裝載待濺鍍 工件的治具設(shè)置于該濺鍍腔體(11)中央的治具設(shè)置部(111)，濺鍍陰極則設(shè)
置于該半圓形門板(12)的濺鍍陰極設(shè)置部(1 2 4)中，本實用新型具有半圓 形門板的立式濺鍍設(shè)備(1 )是采取二側(cè)開門的方式，因此二側(cè)的半圓形門板(1 2)均裝設(shè)有濺鍍陰極，以提升待鍍工件的鍍膜均勻度，此外，由于該半圓門板(l 2)二側(cè)的圓弧形結(jié)構(gòu)使其在開合的過程中不會抵頂?shù)介T板開合支點位置，因而可 加大其開合角度。
使用本實用新型具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備(1 )進(jìn)行真空濺鈹制程時， 若濺鍍靶材用罄需要更換，僅需要操控該門板閉鎖單元(13)的控制桿(133) 使該轉(zhuǎn)軸(13 2)轉(zhuǎn)動，以帶動該壓制塊(131)旋轉(zhuǎn)，當(dāng)該壓制塊(131) 旋轉(zhuǎn)至該水平切面(13 11)面對于該擋止部(1 1 3 )時，即可開啟該半圓形 門板(12)，并且直接從該半圓形門板(12)上拆卸濺鍍陰極并將濺鍍陰極經(jīng)由 該開口 (12 3)取出，繼而進(jìn)行濺鍍靶材的更換，接著，作業(yè)人員僅需將濺鍍陰 極經(jīng)由該開口 (12 3)再度裝設(shè)于該半圓形門板(12)的濺鍍陰極設(shè)置部(1 2 4)中即可完成濺鍍靶材的更換。之后，再將該半圓形門板(12)關(guān)閉，此時該門板閉鎖單元(13)的壓制 ±央(1 3 1 )是以其水平切面(13 11)面對于該擋止部(113)，使該半圓形 門板(12)得以關(guān)閉，之后，作業(yè)人員可操控該控制桿(133)使該轉(zhuǎn)軸(1 3 2 )轉(zhuǎn)動并帶動該壓制塊(13 1)旋轉(zhuǎn)使其圓弧面(13 12)的傾斜部(1 3 13)進(jìn)入該擋止部(113)，隨著該傾斜部(1313)抵靠與其對應(yīng)的該擋 止部(1 1 3 )的短邊，即可使該半圓形門板(12)達(dá)到密閉的效果。
通過上述結(jié)構(gòu)，本實用新型提供一種具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備，相較于 現(xiàn)有技術(shù)的立式濺鍍設(shè)備必須使用機(jī)具將濺鍍陰極吊取出來之后才能更換濺鍍靶材 的不便，本實用新型可直接在門板上拆卸、裝設(shè)濺鍍陰極以便濺鍍靶材的更換；此 外，該門板采用半圓形的構(gòu)造，不僅其應(yīng)力較為分散，更可加大該門板開合的角度， 以利該濺鍍陰極的取放以及濺鍍靶材的更換。
權(quán)利要求1、一種具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備，其特征在于該結(jié)構(gòu)包括有一濺鍍腔體，其內(nèi)部設(shè)有治具設(shè)置部且至少一側(cè)的一邊設(shè)有門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部，相對于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部的一邊則設(shè)有擋止部；半圓形門板，是樞設(shè)于該濺鍍腔體的門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部，其面對該濺鍍腔體的一側(cè)具有一開口且內(nèi)部具有濺鍍陰極設(shè)置部；門板閉鎖單元，是設(shè)置于該半圓形門板上對應(yīng)于該擋止部的位置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備，其特征在于，該半圓形 門板具有樞設(shè)于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部的轉(zhuǎn)軸與門板連接部。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備，其特征在于，該門板閉 鎖單元是包括一壓制塊、 一固接于該壓制塊的轉(zhuǎn)軸以及一固接于該轉(zhuǎn)軸異于該壓制 塊的一端的控制桿。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備，其特征在于，該壓制塊是為一具有水平切面及圓弧面的半圓形塊體，并且其圓弧面具有一傾斜部。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備，其特征在于，該擋止部 是為具有一長邊及一短邊的L型塊體，其短邊是對應(yīng)于該傾斜部。
專利摘要本實用新型是一種具有半圓形門板的立式濺鍍設(shè)備，包括有濺鍍腔體，其內(nèi)部設(shè)有治具設(shè)置部且于至少一側(cè)設(shè)有門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部及擋止部；半圓形門板，是樞設(shè)于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部，其面對該濺鍍腔體的一側(cè)具有一開口且內(nèi)部具有濺鍍陰極設(shè)置部；門板閉鎖單元，是設(shè)置于該半圓形門板上對應(yīng)于該擋止部的位置；通過上述的結(jié)構(gòu)，濺鍍陰極可直接裝、卸于該門板，也可加大門板開合角度，以便于濺鍍靶材的更換。
文檔編號C23C14/34GK201321489SQ20082013675
公開日2009年10月7日 申請日期2008年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月18日
發(fā)明者姚朝禎 申請人:鈺衡科技股份有限公司