專利名稱：多功能磁控濺射連續(xù)鍍膜機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種多功能磁控賊射連續(xù)ltM機，具體涉及一種主要用 于類似太陽能熱發(fā)電系統(tǒng)的集熱管金屬內(nèi)管表面鄉(xiāng)莫的MM機，屬于磁控濺 射li^設(shè)備技術(shù)。
背景技術(shù)：
諸如由本申請人申請的申請?zhí)枮?00910030111.6槽式太陽能熱發(fā)電系統(tǒng)
集熱管的金屬內(nèi)管表面，鍍布有#^目三氧化二鋁鍍層(業(yè)內(nèi)稱之為金屬陶瓷 層)。所述金屬陶資私艮，是由若干層納米級厚度的鉬膜層，和三氧化二鋁膜 層相互交錯鍍布復(fù)合所構(gòu)成。通過相鄰鉬膜層和三氧化二鋁膜層界面的相互 滲透，構(gòu)成所述#4目三氧化二鋁金屬陶資鍍層，用以有效提高太陽能吸收率 和降低紅外M射率，實5M在于金屬內(nèi)管內(nèi)的工質(zhì)導(dǎo)熱油溫度&U > 350°C 的目的。
已有的石茲控賊射働莫沖幾，由于結(jié)構(gòu)性不足，而不能支持類似于上述金屬 內(nèi)管表面4^的連續(xù)MM生產(chǎn)。因此，提供一種能夠支持類似于上述金屬內(nèi) 管表面g的連續(xù)MM設(shè)備，便成為業(yè)內(nèi)的期盼。 發(fā)明內(nèi)容
本實用新型旨在提供一種結(jié)構(gòu)合理，生產(chǎn)效率高，能夠鍍布一層、二層
和二層以上不同物質(zhì)皿的多層復(fù)^na層的多功能磁控'賊射連續(xù)4M機，以 滿足業(yè)內(nèi)生產(chǎn)集熱管尤其是生產(chǎn)太陽能熱發(fā)電系統(tǒng)所用集熱管的裝備需求。
本實用新型實現(xiàn)其目的的技術(shù)構(gòu)想主要有以下四個方面 一是提供一種
多室、多耙的箱體結(jié)構(gòu)，為滿足一層、二層和若干層不同物質(zhì)膜層的^I4是
供支持;二是提供一種可在箱體內(nèi)前后往復(fù)運動的工件^r屬管承載車的結(jié)構(gòu)， 以滿足至少各有一層不同物質(zhì)M^復(fù)^&布的要求；同時對需要由若干層不 同物質(zhì)皿相互交4m布構(gòu)成多層復(fù)M層，提供支持；三是在相鄰働莫室、 處理室之間，提供一種能夠適時開閉的密封門結(jié)構(gòu)，為不同作用的鍍膜室和 處理室所l呆持的工藝條件，提供支持；四^i是供一種電氣4空制裝置，為連續(xù) 高效生產(chǎn)提供支持。通過由以上所述四個主要結(jié)構(gòu)組合的本實用新型，既能 鍍布一層鍍膜的鍍層；又能鍍布二種不同物質(zhì)的鍍膜的復(fù)M層；也能鍍布 二種以上不同物質(zhì)的,_14目互交錯的多層復(fù)合結(jié)構(gòu)的鍍層，從而實現(xiàn)本實 用新型的目的。
基于上述技術(shù)構(gòu)想，本實用新型實現(xiàn)其目的的技術(shù)方案是一種多功能石茲控濺射連續(xù)働莫機，包括箱體，工件承載車，工件7 義載車 的供電裝置，賊射耙，抽真空和通氣裝置，電氣控制裝置和總控制器，其創(chuàng)
新點在于
a、 所述箱體，由在前過渡真空處理室，第一MM室，第二MI莫室和在后 過渡真空處理室依次串聯(lián)組成一整體，且所述各室依次相互貫通；在前過渡 真空處理室的入口處和在后過渡真空處理室的出口處，及其所述各室相鄰接 處，均設(shè)有由開閉啟動機構(gòu)驅(qū)動開閉的密閉門；
b、 所述工件承載車，可在所述箱體內(nèi)前后往復(fù)運動，它包括車架，設(shè)在 車架底部由包括第一電機在內(nèi)的傳動裝置傳動的具有4個行走輪和2根行走 輪軸的行走機構(gòu)，分別與車架左、右兩側(cè)連接的工件安放架，與工件安放架 連接的且沿工件安放架上下布置的若干個由工件承插構(gòu)件和工件定位構(gòu)件對 稱布置組成且可分別與工件兩端裝接的工件裝接副，和由第二電機通過工件 承插構(gòu)件的傳動件驅(qū)動工件裝接副旋轉(zhuǎn)的傳動裝置；
c、 所述工件承載車的供電裝置，包括與總控制器電連接，且與箱體底部 連接的第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌；所述第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌，分別與工件承載車 的行走機構(gòu)兩側(cè)的行走輪相對應(yīng)布置；所述行走機構(gòu)的4個行走輪，分別通 過絕緣軸套，與與車架固定連接的行走輪軸轉(zhuǎn)動連接，處于車架兩側(cè)的2個行 走輪中的1個行走輪，分別與2個電刷構(gòu)件電連接，電刷構(gòu)件分別通過倒順 控制開關(guān)和控制開關(guān)，與第一電初j和第二電才幾電連4妄；
d、 所述'減射耙，是至少2組每組2個賊射靶；所述至少2組每組2個濺 射靶，同樣設(shè)在第""^莫室和第二皿室內(nèi)；每1組的2個'踐射扭，分別對 稱布置在第 一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌的外側(cè)部位，且分開布置并與箱體底壁連接； 濺射耙的工作用電，由總控制器提供；也即是濺射靶與總控制器電連接；
e、 所述抽真空和通氣裝置的第一真空泵，與在前過渡真空處理室管路連 接，第二真空泵與第一IM室管路連接；第三真空泵與第二劍莫室管路連接， 第四真空泵與在后過渡真空處理室管路連接；第一通氣管與第一働莫室管路 連接，第二通氣管與第二 室管路連接，第三通氣管與在后過渡真空處理 室管路連接，第四通氣管與在前過渡真空處理室管路連接；
j、所述電氣控制裝置，包括設(shè)在工件承載車上的工件承載車運動電控裝 置，和密閉門開閉啟動電控裝置；所述工件承載車運動電控裝置所包括的PLC 可編程序控制器，分別控制第一電機的倒順控制開關(guān)和第二電機的控制開關(guān)； 所述密閉門開閉啟動電控裝置所包括的2個用來開門的第一傳感器，分別設(shè) 在所述在前過渡真空處理室，第一働莫室、第二働莫室和在后過渡真空處理 室兩端的頂部，并與所述密封門保持一定距離，且分別與固設(shè)在工件承載車 前后兩端的啟動件相對應(yīng)布置；用來關(guān)門的第二傳感器，設(shè)在用來固裝開閉啟動機構(gòu)的機架上，且與設(shè)在所述密閉門頂部的啟動件相對應(yīng)布置；所述第 一傳感器和第二傳感器，分別通過總控制器，控制與其對應(yīng)的密閉門開閉啟 動沖幾構(gòu)的驅(qū)動開關(guān)。
由以上所給出的技術(shù)方案，結(jié)合本實用新型技術(shù)構(gòu)想所描述的內(nèi)容可以 明了，本實用新型實現(xiàn)了其所要實現(xiàn)的目的。
考慮到第一働莫室和第二働莫室，兩者的工作環(huán)境和工藝條件都有顯著 的不同，為了避免可能發(fā)生的相互干涉，本實用新型主張，還包括中間過渡 室；所述中間過渡室，設(shè)在第一IM室與第二働莫室之間，且與第一働莫室 和第二 室相連接貫通；所述供電裝置的第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)斬從中間過渡 室內(nèi)穿過；中間過渡室的一端通過所述密閉門與第一働莫室連4妾，中間過渡 室的另一端，通過具有開閉啟動機構(gòu)的密閉門，與第二,室連接；第五真 空泵與中間過渡室管路連接。由于中間過渡室的存在，通iW中間過渡室工 藝務(wù)f牛的適時調(diào)處，可以有效避免所述第一働莫室與第二MM兩者工作的相 互干涉。
為了能夠有效提高工件金屬管在工件承載車上的裝夾效率，以進(jìn)一步提 高生產(chǎn)工效，本實用新型主張，所述工件承載車的工件裝接副的工件承插構(gòu) 件，包括第一圓錐臺，和一端與第一圓錐臺M接且與工件安放架動連接的 第一轉(zhuǎn)軸，而所述傳動件與第一轉(zhuǎn)軸的另一端固定連接；所述工件定位構(gòu)件， 包括第二圓錐臺，和一端與第二圓錐臺動連接且與工件安放架螺紋連接的絲
桿，絲桿的另一端，固裝有手4侖。所iiil一4支術(shù)方案，所給出的是工件臥式 快速裝夾的結(jié)構(gòu)形式。當(dāng)然并不局限于此。例如采用類似于日光燈管與其兩 端管座，所采用的彈性裝夾結(jié)構(gòu)，同樣也是可以的。
本實用新型主張，所述工件承載車的驅(qū)動工件裝接副旋轉(zhuǎn)的傳動裝置是 鏈傳動裝置，其所包括的第二電機，安裝在工件承載車上，在第二電機的輸 出軸端設(shè)有主動鏈輪；所述與工件承載車的工件承插構(gòu)件固裝的所述傳動件 是從動鏈輪，環(huán)狀鏈條與主動鏈輪和從動鏈輪相嚙合裝接。這是本實用新型 優(yōu)選的一種驅(qū)動工件裝接副旋轉(zhuǎn)的傳動裝置。但不局限于此。例如采用齒輪 傳動結(jié)構(gòu)，或采用傳動帶傳動結(jié)構(gòu)等等，都是可以的。
本實用新型主張，所述工件承載車的行走機構(gòu)的傳動裝置是#輪傳動 裝置；其所包括的第一電機，安裝在工件承載車上，在第一電機輸出軸端固 裝的主動傘齒輪，與固裝在2根行走輪軸中1根行走輪軸上的從動#輪相 嚙合。但不局限于此。例如采用傳動帶傳動或鏈條傳動等等，都是可以的。
本實用新型主張，所述密閉門的開閉啟動積4勾，是氣動上下開閉枳4勾， 所述氣動上下開閉枳4勾，包括與箱體頂面連接的氣動組件，所述密閉門是密 閉閘門；氣動組件的活塞桿，與所述密閉閘門連才妻，所述密閉閘門設(shè)在箱體兩側(cè)沿高度方向所設(shè)的滑槽內(nèi)，且呈密封滑動配合；氣動組件通過所述電磁 閥驅(qū)動開關(guān)與氣源管路連接。但不局限于此。例如采用螺桿螺母副電傳動， 或者采用液壓傳動等等，都是可以的。
為了避免由于多輩巴在同一働萸室內(nèi)共存，而有可能產(chǎn)生不同'踐射的相互 千涉，本實用新型主張，還包括賊射耙封閉裝置，所述封閉裝置包括可抱合 的左封閉罩和右封閉罩，與賊射耙安裝座連接的直立桿，和與箱體連接的左、 右氣動組件；所述左封閉罩和右封閉罩與直立桿相鉸接，左、右氣釭組件的 活塞桿分別與左封閉罩和右封閉罩活動連才妻；與所述左、右氣動組件管^各連 接的電磁閥，接受總控制器控制。這一技術(shù)方案是本實用新型優(yōu)選的氣動濺 射耙封閉裝置。但并不局限于此。例如采用一y干式電驅(qū)動裝置等等，也是可 以的。
出于工作安全的考慮，本實用新型主張，所述工件承載車的供電裝置的 工作電流，是低壓直流電；所述第一電機和第二電機，均^^f氐壓直流減速電 機。當(dāng)然并不局限于此。例如在具有絕對絕緣和防泄漏措施的條泮下，采用 通常工業(yè)電壓的交流電，也不是不可以的。
本實用新型主張，所述用來開門的第一傳感器，和用來關(guān)門的第二傳感 器，均為行程開關(guān)或者^i妄近開關(guān)。這是本實用新型,人實際工作需要出發(fā)， 為了方便保養(yǎng)和降低制備成本所優(yōu)選的。當(dāng)然采用其它傳感器例如磁感應(yīng)霍 爾元件和紅外光電開關(guān)等等，也是很好的。若采用霍爾元件或紅外光電開關(guān)； 則最好將其對應(yīng)布置在第 一導(dǎo)軌或第二導(dǎo)軌與行走輪之間。
上述技術(shù)方案得以實施后，本實用新型所具有的結(jié)構(gòu)合理，連續(xù)生產(chǎn)工 效高，能夠鍍布一層鍍層二層不同物質(zhì)働莫的復(fù)M層和二層以上不同物 質(zhì)鵬的多層復(fù)^^等特點，是顯而易見的。

圖1是本實用新型一種具體實施方式
的主視示意圖； 圖2是圖1的俯視圖； 圖3是圖2的A-A剖視圖4是圖1的B向去掉箱體1局部頂板后的示意圖；圖中所示10為工 件^r屬管；
圖5是如同圖2所示第一働莫室1-2的C-C剖視圖，同時也是第二 室1-3的D-D剖視圖6是如同圖1所示第^4M室1-2和第二4M室1-3局部去除箱體1 頂+反后的俯;現(xiàn)示意圖7是圖5的E部放大圖；圖中所示8為密封件，l-15是與箱體l連接 的滑槽座；由圖7可見箱體1的用來與密閉閘門配裝的滑槽1-11的頂部是密封的；
圖8是圖5的F部放大圖；圖中所示8為密封件，l-15是與箱體l連接 的滑槽座；由圖8可見所述密閉閘門的底部是密封的；
圖9是圖5的G-G剖視圖；圖中所示8為密封件，l-15是與箱體l連接 的滑槽座；由圖9可見，所述滑槽l-ll的兩側(cè)是密封的；
圖IO是如同圖1所示工件承載車2的主i見圖；圖中所示10為工件金屬
管；
圖11是如同圖10所示工件裝4妻副2-4的結(jié)構(gòu)示意圖12是圖IO的左一見圖13是圖IO的右視圖14是密閉門關(guān)閉狀態(tài)參考圖15是圖14的H部放大圖；圖中所示9為設(shè)在第一導(dǎo)軌3-l和第二導(dǎo) 軌3-2底部的絕緣件；8為與密閉閘門連接的密封件； 圖16是密閉門開啟狀態(tài)參考圖17是如同圖13所示工件承載車2的行走^4勾2-2的傳動裝置及其供 電裝置3的示意圖18是如同圖6所示'賊射耙封閉裝置6的結(jié)構(gòu)示意圖(開啟狀態(tài))；
圖19是圖18的I-I剖視圖(關(guān)閉狀態(tài))；
圖20是電氣控制關(guān)系示意圖。
具體實施方式

以下對照附圖，通過具體實施方式
的描述，對本實用新型作進(jìn)一步說明。
具體實施方式
之一，請參讀附圖1 20。
一種多功能磁控'踐射連續(xù)鍍膜機，包括箱體l，工件承載車2，工件承載 車的供電裝置3，'減射耙4，抽真空和通氣裝置5，電氣控制裝置6和總控制 器7;而其所包括的
所述箱體l,由在前過渡真空處理室1-1,第^"^l莫室1-2,第二 室 1-3和在后過渡真空處理室l-4依次串聯(lián)組成一整體，且所述各室依次相互貫 通；在前過渡真空處理室1-1的入口處和在后過渡真空處理室1-4的出口處， 及其所述各室相鄰接處，均設(shè)有由開閉啟動機構(gòu)l-10驅(qū)動開閉的且能夠避免 漏氣的密閉門l-5、 1-6、 1-7、 1-8、 1-9 (請見附圖1、 2);
所述工件承載車2，可在所述箱體l內(nèi)前后往復(fù)運動，它包括車架2-l， 設(shè)在車架2-1底部由包括第一電機2-2-2在內(nèi)的傳動裝置傳動的具有4個行走 輪2-2-1和2根行走輪軸2-2-4的行走機構(gòu)2-2,分別與車架左、右兩側(cè)連才妄 的工件安放架2-3,與工件安》文架2-3連接的且沿工件安放架2-3上下布置的 若干個由工件承插構(gòu)件2-4-1和工件定位構(gòu)件2-4-2對稱布置組成且可分別與工件兩端裝接的工件裝接副2-4,和由第二電機2-5-1通過工件承插構(gòu)件2-4-1 的傳動件2-4-1-3驅(qū)動工件裝4妾副2-4旋轉(zhuǎn)的傳動裝置2-5 (如附圖10 13所 示)；
所述工件承載車的供電裝置3,包括與總控制器6電連"^妄，且與箱體1 底部絕緣連接的第一導(dǎo)軌3-l和第二導(dǎo)軌3-2 (在具有隔離變壓器的條件下， 箱體1底部與所述導(dǎo)軌3-1, 3-2之間，可不設(shè)絕緣件)；所述第一導(dǎo)軌3-l 和第二導(dǎo)軌3-2,分別與工件7R載車2的行走機構(gòu)2-2兩側(cè)的行走輪2-2-1相 對應(yīng)布置；所述行走機構(gòu)2-2的4個行走輪2-2-1 ，分別通過絕緣軸套2-6, 與與車架2-1固定連接的行走輪軸2-2-4轉(zhuǎn)動連接，處于車架2-1兩側(cè)的2個 行走輪2-2-1中的l個行走輪2-2-1'，分別與2個電刷構(gòu)件3-3電連接，電刷 構(gòu)件3-3分別通過倒順控制開關(guān)J,， J2和控制開關(guān)J3，與第一電機2-2-2和第 二電機2-5-l電連接(如附圖2、 4、 17和20所示)；
所述賊射靶4，是2組每組2個濺射把；所述2組每組2個臧射靶4,同 樣設(shè)在第一慰莫室1-2和第二劍莫室1-3內(nèi)；每1組的2個賊射耙4,分別對 稱布置在第一導(dǎo)軌3-l和第二導(dǎo)軌3-2的外側(cè)接近箱體1內(nèi)壁的部位，且分 開布置并與箱體i底壁絕緣連接(在具有隔離變壓器的條件下，箱體1底壁 與所述賊耙4之間，可不設(shè)絕緣件)；與賊射靶4連接的供電導(dǎo)線，通過密封 絕緣穿過箱體1的箱壁，與總控制器6電連4矣(如附圖6和19所示)；
所述抽真空和通氣裝置7的第一真空泵7-l，與在前過渡真空處理室1-1 管路連接，第4空泵7-2與第,菱室l-2管路連接；第三真空泵7-3與第 二4M室1-3管路連接,第四真空泵7-4與在后過渡真空處理室l-4管路連接； 第一通氣管7-6與第一 室1-2管路連接，第二通氣管7-7與第二 室 l-3管路連接，第三通氣管7-8與在后過渡真空處理室l-4管路連接，第四通 氣管7-9與在前過渡真空處理室1-1管路連接；所述第一真空泵7-1、第4 空泵7-2、第三真空泵7-3和第四真空泵7-4,均由總控制器6供電(如附圖 1、 2所示)，也就是說，所述4個真空泵分別與總控制器6電連接；
所述電氣控制裝置5,包括i殳在工件 lc載車2上的工件承載車運動電控 裝置5-1,和密閉門開閉啟動電控裝置5-2;所述工件岸義載車運動電控裝置5-1 所包括的PLC可編程序控制器5-1-1,分別控制第一電才幾2-2-2的倒順控制開 關(guān)J,、 A和第二電機2-5-1的控制開關(guān)Jg;所述密閉門開閉啟動電控裝置5-2 所包括的具有繼電器互鎖裝置的2個用來開門的第一傳感器5-2-1，分別i殳在 所#前過渡真空處理室1-1,第一働莫室1-2、第二働莫室1-3和在后過渡 真空處理室1-4兩端的頂部，并與所述密閉門l-5、 1-6、 1-7、 1-8、 1-9保持 一定距離，且分別與錯位固設(shè)在工件承載車2前后兩端的啟動件5-2-2相對 應(yīng)布置；用來關(guān)門的第二傳感器5-2-1'，設(shè)在用來固裝開閉啟動機構(gòu)1-10的才幾架上，且與設(shè)在所述密閉門頂部的啟動件5-2-2'相對應(yīng)布置；所述第一 傳感器5-2-1和第二傳感器5-2-1',分別通過總控制器6，控制與其對應(yīng)的 密閉門開閉啟動才;i4勾1-10的驅(qū)動開關(guān)l-10-3。
所述工件承載車2的工件裝接副2-4的工件承插構(gòu)件2-4-1 ，包括第一橡 塑彈性圓錐臺2-4-1-1，和一端與第一彈性圓錐臺2-4-1-1 j爭連4妻且與工件安 放架2-3動連接的第一轉(zhuǎn)軸2-4-1-2,而所述傳動件2-4-1-3與第一轉(zhuǎn)軸2-4-1-2 的另一端固定連接；所述工件定位構(gòu)件2-4-2,包括第二橡塑彈性圓錐臺 2-4-2-1，和一端與第二圓錐臺2-4-2-1動連接且與工件安放架2-3螺紋連接的 絲#干2-4-2-2,絲4干2-4-2-2的另一端，固裝有手4侖2-4-2國3 (3口附圖11所示)。
所述工件承載車2的驅(qū)動工件裝接副2-4旋轉(zhuǎn)的傳動裝置2-5是鏈傳動 裝置，其所包括的第二電機2-5-1，安裝在工件承載車2上，在第二電機2-5-l 的輸出軸端設(shè)有主動鏈輪2-5-2;所述與工件承載車2的工件^c插構(gòu)件2-4-1 固裝的所述傳動件2-4-1-3是從動鏈輪，環(huán)狀鏈條2-5-3與主動鏈輪2-5-2和 從動鏈輪2-4-1-3相嚙合裝接(如附圖13所示)。
所述工件承載車2的行走機構(gòu)2-2的傳動裝置是傘齒輪傳動裝置，其所 包括的第一電機2-2-2，安裝在工件承載車2上，在第一電機2-2-2輸出軸端 固裝的主動傘齒輪2-2-3兩側(cè)，與固絲2根行走輪軸2-2-4中1根行走輪軸 2-2-4'上的從動傘齒輪2-2-5相嚙合(如附圖17所示)。
所述密閉門1-5、 1-6、 1-7、 1-8、 1-9的開閉啟動機構(gòu)1-10是氣動上下開 閉機構(gòu)，所述氣動上下開閉才幾構(gòu)1-10,包4舌與箱體1頂面連4姿的2個氣動組 件1-10-1,所述密閉門1-5、 1-6、 1-7、 1-8、 1-9、 l-13是密閉閘門;2個氣 動組件1-10-1的活塞桿1-10-1-1,分別與所述密閉閘門兩側(cè)連4妄，所述密閉 閘門設(shè)在箱體l兩側(cè)沿高度方向所設(shè)的滑槽l-ll內(nèi)，且呈密封滑動配合；氣 動組件1-10-1通過電》茲閥驅(qū)動開關(guān)1-10-3與氣源管^各連4妾(如附圖3所示)。
還包括賊射輩巴封閉裝置9,所述封閉裝置9包括可抱合的左封閉罩9-1 和右封閉罩9-2,與賊射把安裝座9-3連接的直立桿9-4,和與箱體1連接的 左、右氣動組件9-5、 9-6;所述左封閉罩9-l和右封閉罩9-2與直立桿9-4相 鉸接，左、右氣缸組件9-5、 9-6的活塞桿分別與左封閉罩9-l和右封閉罩9-2 分別所設(shè)的耳攀9-1-1, 9-2-1的弧形槽活動連接；與所述左、右氣動組件9-5、 9-6管路連接的電磁閥控制導(dǎo)線，通過絕緣密封穿過箱體1的箱壁，與總控 制器6電連接(如附圖18、 19所示)。
所述工件承載車的供電裝置3的工作電流，是電壓48V的直流電；所述 第一電機2-2-2和第二電機2-5-1，均是低壓直流減速電機。所述用來開門的 第一傳感器5-2-1，和用來關(guān)門的第二傳感器5-2-1',均為行程開關(guān)或者是 接近開關(guān)。
具體實施方式
之二，如附圖1 ~ 20所示。
一種多功能磁控賊射連續(xù)働莫機，除了還包括中間過渡室1-12;所述中 間過渡室1-12，設(shè)在第一働莫室l-2與第二働莫室l-3之間，且與第一, 室1-2和第二働莫室1-3相連接貫通；所述供電裝置3的第一導(dǎo)軌3-1和第二 導(dǎo)軌3-2從中間過渡室1-12內(nèi)穿過；中間過渡室1-12的一端通過所述密閉門
1- 7與第一働莫室1-2連接，中間過渡室1-12的另一端，通過具有開閉啟動 機構(gòu)1-10的密閉門1-13，與第二| 室1-3連接；與總控制器6電連接的第 五真空泵7-5與中間過渡室l-12管路連接"卜，其它均如同具體實施方式
之
本實用新型的工作過程簡要描述是在工件7^載車1兩側(cè)通過工件裝4妄 副2-4,安裝好工件金屬管10后，將工件承載車2推置在第一導(dǎo)軌3-1和第 二導(dǎo)軌3-2上，并且布置在在前過渡真空處理室1-1內(nèi)；通過總控器6給所 述導(dǎo)軌供36V低壓直流電，給賊射靶4供高壓直流電；然后通過密閉門開閉 啟動電控制裝置5-2，關(guān)閉密閉門1-5、 1-6、 1-7、 1-8， 1-9，再才艮據(jù)工藝^f牛 步驟，通過總控制器6，分別啟動第一真空泵7-l，第二真空泵7-2，第三真 空泵7-3和第四真空泵7-4,并分別給第一MM室1-2、第二皿室1-3和在 后過渡真空處理室1-4通入所需氣體；使所述各室真空度達(dá)到工藝要求。與 此同時，工件承載車2通過其電控裝置5-1,由工件傳動裝置2-5的第二電;f幾
2- 5-1,驅(qū)動工件旋轉(zhuǎn)，而工件承載車2，在其PLC可編程序控制器5-1-1控 制的第一電機2-2-2的驅(qū)動下，緩慢向前運動；當(dāng)設(shè)在工件承載車2上的啟 動件5-2-2,與第一傳感器朽艱開關(guān)5-2-1相抵時，所述^^呈開關(guān)5-2-2驅(qū)動 驅(qū)動開關(guān)三通電石茲閥1-10-3，氣動開閉初4勾1-10的氣動組件1-10-1工作，密 閉門1-6上行開啟，工件承載車2 i^7v第一MM 1-2內(nèi)。而設(shè)在箱體1頂上 的行程開關(guān)5-2-2'。驅(qū)動驅(qū)動開關(guān)三通電磁閥1-10-3，密閉門1-6下行關(guān) 閉，工件在第一鍍膜室1-2內(nèi)，接受第一種賊射耙4的'減射而沉積在工件金 屬管表面構(gòu)成第一種鍍膜。此時，工件承載車2仍在PLC控制器5-1-1的控 制下，繼續(xù)向前運動，并完成第一層働莫的鍍布；然后如在前所說的那樣， 密閉門1-7開啟，工件承載車2進(jìn)入第二^l莫室1-3內(nèi)后，密閉門1-7關(guān)閉， 在第二劍莫室1-3內(nèi)的工件，接受第^ft'踐射耙的賊射而沉積在金屬管表面 所存在的第一種 的表面構(gòu)成第二層 。然后，工件承載小車2的第一 電機2-2-2,在PLC控制器5-1-1的控制下倒轉(zhuǎn)，通過以上所述密閉門1-7 的開啟返回到第一働莫1-2內(nèi)，密閉門l-7關(guān)閉，工件再接受第一種賊射耙 4的'踐射而沉積在第二種働莫上，如此反復(fù)通過若干層第一種,和第二種 ,的交4緣布構(gòu)成多層復(fù)^1^。當(dāng)位于第二 室1-3內(nèi)的工件承載車 2,在完成最終鍍層后，通過如以上所述過程開閉密閉門1-8,工件承載車2在PLC控制器5-1-1的控制下，ii/v在后過度真空處理室1-4,待工件通過 真空處理后，再通過如以上所述過程，開閉密封門1-9,工件承載車2則從 在后過渡真空處理室1-4內(nèi)行出箱體1，即完成了工件表面多層働莫交錯復(fù) ^t^的鍍布過程。
當(dāng)在本實用新型具有中間過度室l-12^f牛下，其工作過程，僅是工件承 載車2，在第一 室1-2和第二働莫室1-3之間的往返過程中，在其PLC 控制器5-1-1的控制下，通過中間過渡室1-12而已。其它過程如同在前描述 的那樣。
本實用新型的應(yīng)用范圍，不受本說明書描述的限制。例如在略加更改工 件承載車2的結(jié)構(gòu)形式后，可用于平板式集熱板的劍莫等等。
本實用新型初樣實施槽式太陽能熱發(fā)電系統(tǒng)集熱管的內(nèi)管働莫的試用效 果是非常好的。
權(quán)利要求1、一種多功能磁控濺射連續(xù)鍍膜機，包括箱體(1)，工件承載車(2)，工件承載車的供電裝置(3)，濺射靶(4)，抽真空和通氣裝置(7)，電氣控制裝置(5)和總控制器(6)，其特征在于a、所述箱體(1)，由在前過渡真空處理室(1-1)，第一鍍膜室(1-2)，第二鍍膜室(1-3)和在后過渡真空處理室(1-4)依次串聯(lián)組成一整體，且所述各室依次相互貫通；在前過渡真空處理室(1-1)的入口處和在后過渡真空處理室(1-4)的出口處，及其所述各室相鄰接處，均設(shè)有由開閉啟動機構(gòu)(1-10)驅(qū)動開閉的密閉門(1-5、1-6、1-7、1-8、1-9)；b、所述工件承載車(2)，可在所述箱體(1)內(nèi)前后往復(fù)運動，它包括車架(2-1)，設(shè)在車架(2-1)底部由包括第一電機(2-2-2)在內(nèi)的傳動裝置傳動的具有4個行走輪(2-2-1)和2根行走輪軸(2-2-4)的行走機構(gòu)(2-2)，分別與車架左、右兩側(cè)連接的工件安放架(2-3)，與工件安放架(2-3)連接的且沿工件安放架(2-3)上下布置的若干個由工件承插構(gòu)件(2-4-1)和工件定位構(gòu)件(2-4-2)對稱布置組成且可分別與工件兩端裝接的工件裝接副(2-4)，和由第二電機(2-5-1)通過工件承插構(gòu)件(2-4-1)的傳動件(2-4-1-3)驅(qū)動工件裝接副(2-4)旋轉(zhuǎn)的傳動裝置(2-5)；c、所述工件承載車的供電裝置(3)，包括與總控制器(6)電連接，且與箱體(1)底部連接的第一導(dǎo)軌(3-1)和第二導(dǎo)軌(3-2)；所述第一導(dǎo)軌(3-1)和第二導(dǎo)軌(3-2)，分別與工件承載車(2)的行走機構(gòu)(2-2)兩側(cè)的行走輪(2-2-1)相對應(yīng)布置；所述行走機構(gòu)(2-2)的4個行走輪(2-2-1)，分別通過絕緣軸套(2-6)，與與車架(2-1)固定連接的行走輪軸(2-2-4)轉(zhuǎn)動連接，處于車架(2-1)兩側(cè)的2個行走輪(2-2-1)中的1個行走輪(2-2-1′)，分別與2個電刷構(gòu)件(3-3)電連接，電刷構(gòu)件(3-3)分別通過倒順控制開關(guān)(J1，J2)和控制開關(guān)(J3)，與第一電機(2-2-2)和第二電機(2-5-1)電連接；d、所述濺射靶(4)，是至少2組每組2個濺射靶；所述至少2組每組2個濺射靶(4)，同樣設(shè)在第一鍍膜室(1-2)和第二鍍膜室(1-3)內(nèi)；每1組的2個濺射靶(4)，分別對稱布置在第一導(dǎo)軌(3-1)和第二導(dǎo)軌(3-2)的外側(cè)部位，且分開布置并與箱體(1)底壁連接；濺射靶(4)的工作用電，由總控制器(6)提供；e、所述抽真空和通氣裝置(7)的第一真空泵(7-1)，與在前過渡真空處理室(1-1)管路連接，第二真空泵(7-2)與第一鍍膜室(1-2)管路連接；第三真空泵(7-3)與第二鍍膜室(1-3)管路連接，第四真空泵(7-4)與在后過渡真空處理室(1-4)管路連接；第一通氣管(7-6)與第一鍍膜室(1-2)管路連接，第二通氣管(7-7)與第二鍍膜室(1-3)管路連接，第三通氣管(7-8)與在后過渡真空處理室(1-4)管路連接，第四通氣管(7-9)與在前過渡真空處理室(1-1)管路連接；j、所述電氣控制裝置(5)，包括設(shè)在工件承載車(2)上的工件承載車運動電控裝置(5-1)，和密閉門開閉啟動電控裝置(5-2)；所述工件承載車運動電控裝置(5-1)所包括的PLC可編程序控制器(5-1-1)，分別控制第一電機(2-2-2)的倒順控制開關(guān)(J1、J2)和第二電機(2-5-1)的控制開關(guān)(J3)；所述密閉門開閉啟動電控裝置(5-2)所包括的2個用來開門的第一傳感器(5-2-1)，分別設(shè)在所述前過渡真空處理室(1-1)、第一鍍膜室(1-2)、第二鍍膜室(1-3)和在后過渡真氣處理室(1-4)兩端的頂部，并與所述密閉門(1-5、1-6、1-7、1-8、1-9)保持一定距離，且分別與固設(shè)在工件承載車(2)前后兩端的啟動件(5-2-2)相對應(yīng)布置，用來關(guān)門的第二傳感器(5-2-1′)，設(shè)在用來固裝開閉啟動機構(gòu)(1-10)的機架上，且與設(shè)在所述密閉門頂部的啟動件(5-2-2′)相對應(yīng)布置；所述第一傳感器(5-2-1)和第二傳感器(5-2-1′)，分別通過總控制器(6)，控制與其對應(yīng)的密閉門開閉啟動機構(gòu)(1-10)的驅(qū)動開關(guān)(1-10-3)。
2、 才艮據(jù)權(quán)利要求l所述的多功能磁控賊射連續(xù)4tM機，其特征在于，還包括中間過渡室(1-12);所述中間過渡室(1-12), i殳在第一働莫室(1-2) 與第二MM室(1-3)之間，且與第^M室(1-2)和第二働莫室(1-3)相 連接貫通；所述供電裝置(3 )的第一導(dǎo)軌(3-1)和第二導(dǎo)4九(3-2)從中間 過渡室(1-12)內(nèi)穿過；中間過渡室(1-12)的一端通過所述密閉門(1-7) 與第一I4M室(1-2)連接，中間過渡室(1-12)的另一端，通過具有開閉啟 動才M勾(1-10)的密閉門(1-13)，與第二 室(1-3)連接；第五真空泵(7-5) 與中間過渡室(1-12)管路連接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能磁控賊射連續(xù)MM機，其特征在于，所 述工件承載車(2)的工件裝接副(2-4)的工件承插構(gòu)件(2-4-1),包括第一 圓錐臺(2-4-l-l ),和一端與第一圓錐臺(2-4-l-l )靜連接且與工件安放架(2-3) 動連接的第一轉(zhuǎn)軸(2-4-1-2 )，而所述傳動件(2-4-1-3 )與第一轉(zhuǎn)軸(2-4-1-2 ) 的另一端固定連接；所述工件定位構(gòu)件(2-4-2),包括第二圓錐臺(2-4-2-1), 和一端與第二圓錐臺(2-4-2-1)動連接且與工件安放架(2-3)螺紋連接的絲 4干(2國4-2畫2),絲才干(2-4-2-2)的另 一端，固裝有手秀侖(2-4-2國3 )。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的多功能磁控賊射連續(xù)働莫機，其特征在于，所 述工件承載車(2)的驅(qū)動工件裝接副(2-4)旋轉(zhuǎn)的傳動裝置(2-5 )是鏈傳 動裝置，其所包括的第二電機(2-5-1),安裝在工件承載車(2)上，在第二電機(2-5-1)的輸出軸端設(shè)有主動鏈輪(2-5-2);所述與工件承載車(2)的 工件承插構(gòu)件(2-4-1)固裝的所述傳動件(2-4-1-3)是從動鏈輪，環(huán)狀鏈條 (2畫5-3)與主動鏈輪(2-5-2)和/人動鏈4侖(2-4-1-3)相嚙合裝接。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的多功能磁控濺射連續(xù)働莫機，其特征在于，所 述工件承載車(2)的行走才il4勾(2-2)的傳動裝置是傘齒4侖傳動裝置；其所 包括的第一電機(2-2-2)，安裝在工件承載車(2)上，在第一電機(2-2-2) 輸出軸端固裝的主動傘齒輪(2-2-3)，與固裝在2根行走輪軸(2-2-4)中1 根行走輪軸(2-2-4')上的從動傘齒輪(2-2國5)相嚙合。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多功能磁控賊射連續(xù)鄉(xiāng)莫機,其特征在于， 所述密閉門(1-5、 1-6、 1-7、 1-8、 1-9、 1-13)的開閉啟動機構(gòu)(1-10),是 氣動上下開閉機構(gòu)，所述氣動上下開閉積4勾(1-10),包括與箱體(l)頂面 連接的氣動組件(1-10-1 )，所述密閉門(1-5、 1-6、 1-7、 1-8、 1-9、 1-13) 是密閉閘門;氣動組件(1-10-1)的活塞桿(1-10-1-1),與所述密閉閘門連 接，所述密閉閘門設(shè)在箱體(1)兩側(cè)沿高度方向所設(shè)的滑槽(1-11)內(nèi)，且 呈密封滑動配合；氣動組件(1-10-1)通過電磁閥驅(qū)動開關(guān)(1-10-3 )與氣源 管路連接。
7、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的多功能磁控賊射連續(xù)働莫機，其特征在于，還 包括賊射耙封閉裝置(9),所述封閉裝置(9)包括可抱合的左封閉罩(9-1) 和右封閉罩(9-2),與'減射耙安裝座(9-3)連4妄的直立桿(9-4)，和與箱體(1)連接的左、右氣動組件(9-5、 9-6);所述左封閉罩(9-1)和右封閉罩 (9-2)與直立桿(9-4)相鉸接，左、右氣缸組件(9-5、 9-6)的活塞桿分別與左封閉罩(9-1)和右封閉罩(9-2)活動連接；與所述左、右氣動組件(9-5、9-6)管路連接的電磁閥接受總控制器(6)控制。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能磁控濺射連續(xù)l^莫機，其特征在于，所 述工件承載車的供電裝置(3)的工作電流，是低壓直流電；所述第一電機(2-2-2)和第二電機(2-5-1)，均是^U^直流減速電機。
9、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的多功能磁控賊射連續(xù)働莫機，其特征在于，所 述用來開門的第一傳感器(5-2-1)，和用來關(guān)門的第二傳感器(5-2-1')，均 為^^呈開關(guān)或者是4妄近開關(guān)。
專利摘要本實用新型所公開的是一種多功能磁控濺射連續(xù)鍍膜機，包括箱體，工件承載車，工件承載車供電裝置，濺射靶，抽真空和通氣裝置，電氣控制裝置和總控制器，以其箱體具有依次相互連接貫通的在前過渡真空處理室，第一鍍膜室，第二鍍膜室和在后過渡真空處理室；工件承載車設(shè)在所述箱體內(nèi)且由PLC控制器控制，而可前后往復(fù)運動；濺射靶是至少2組每組2個濺射靶，且同樣布置在第一鍍膜室和第二鍍膜室內(nèi)為主要特征。具有結(jié)構(gòu)合理，生產(chǎn)工效高，能夠鍍布一層、二層和二層以上的多層復(fù)合鍍層的特點，是一種特別適合生產(chǎn)槽式太陽能熱發(fā)電系統(tǒng)集熱管內(nèi)管的一種鍍膜設(shè)備。
文檔編號C23C14/56GK201424503SQ20092003895
公開日2010年3月17日 申請日期2009年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月30日
發(fā)明者夏建業(yè), 郭廷瑋 申請人:常州博士新能源科技有限公司