專利名稱：一種氣相沉積爐氣路連接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及氣路對接裝置，具體地說，涉及一種氣相沉積爐氣路連接裝置。
背景技術(shù)：
在薄膜太陽能電池制造過程中，有一個工作過程是將裝滿玻璃基板的夾具預(yù)加熱至25(TC左右后，將其推入氣相沉積爐(爐內(nèi)溫度約30(TC)，對氣路的公頭、母頭完成連接，然后關(guān)閉爐門，對夾具注入工作氣體，執(zhí)行爐內(nèi)工藝過程，最后打開爐門，拆開氣路連接，人工將夾具拉出氣相沉積爐。在這個工作過程中，氣路的對接和脫離都是通過人工完成的，操作人員在高溫環(huán)境下，完成氣路的對接、脫離是一件比較困難且危險的工作。目前的技術(shù)下，機器人大多只能完成簡單的動作，要想將幾乎是處于自由狀態(tài)的氣管完成對接和分離，幾乎是不可能完成的事情。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種氣相沉積爐(PIASMA enhancedchemical vaporexposition)氣路自動對接機構(gòu)，可以在不增加機器動作的前提下，利用簡單的機械結(jié)構(gòu)，只靠推拉夾具就能同時完成氣管對接和分離的動作。解決了自動生產(chǎn)線中氣路對接和分離的難題。 為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案 提供一種氣相沉積爐氣路連接裝置，包括爐內(nèi)氣管接頭座，連接爐內(nèi)氣管接頭座
的爐內(nèi)氣管接頭，與爐內(nèi)氣管接頭相對的一端有一波紋管管口，波紋管的另一管口連接在
夾具接頭座上，夾具左右固定在該氣相沉積爐的導(dǎo)軌上，波紋管管口與爐內(nèi)氣管接頭相對
的一端與夾具氣管接頭連接在一起，該夾具氣管接頭另一端的內(nèi)孔為錐管段，爐內(nèi)氣管接頭與夾具氣管接頭連接的一端是錐形的，其形狀與夾具氣管接頭的錐管段相配合。 其中，夾具氣管接頭的外表面有一臺階，導(dǎo)軌上固定有安裝板，安裝板上連接調(diào)節(jié)
板，調(diào)節(jié)板由兩個相互對接平面組成，調(diào)節(jié)板的另一面與豎直放置的立板連接，立板上有兩
個通孔，波紋管穿過立板的下通孔，夾具氣管接頭一側(cè)穿過立板的上通孔，另一側(cè)穿過安裝
架上的通孔，夾具氣管接頭外表面的臺階安裝在立板6和安裝架4之間安裝架與立板之間連接。 利用本實用新型提供的一種氣相沉積爐氣路連接裝置，可以在不增加機器動作的前提下，僅靠推拉夾具就能同時完成氣管對接和分離的動作，夾具通過牽引連接部被推入爐內(nèi)，通過氣管接頭的錐面完成自動調(diào)整和密封，利用立板本身彈性變形消除前后移動的誤差，同時提供一定的預(yù)緊力。解決了自動生產(chǎn)線中氣路對接和分離的難題。

圖1為本實用新型氣相沉積爐氣路連接裝置剖面圖；[0009] 圖2為本實用新型氣相沉積爐氣路連接裝置立體圖；[0010]圖3為調(diào)節(jié)板的結(jié)構(gòu)示意圖5圖4為立板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為夾具氣管接頭的剖視圖；[0013]圖6為爐內(nèi)氣管接頭的結(jié)構(gòu)示意圖。[0014]圖中1、爐內(nèi)氣管接頭座；2、夾具氣管接頭3、波紋管；4、安裝架;5、爐內(nèi)氣管接頭；6、立板；7、調(diào)整板；8、安裝板；9、夾具；10、夾具接頭座；11、導(dǎo)軌
具體實施方式以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。[0022] 圖1為本實用新型的氣相沉積爐氣路氣路連接裝置剖面圖，該連接裝置包括焊接接于爐內(nèi)壁的爐內(nèi)氣管接頭座l，連接爐內(nèi)氣管接頭座的爐內(nèi)氣管接頭5，波紋管3的一端管口與夾具氣管接頭2相連，另一管口連接在夾具接頭座10上。夾具氣管接頭2的一端有錐管段，爐內(nèi)氣管接頭5與夾具氣管接頭2連接的一端是錐形的，其形狀與夾具氣管接頭2的錐管段相配合。導(dǎo)軌11上固定有安裝板8，安裝板8上連接調(diào)節(jié)板7，調(diào)節(jié)板7由兩個相互對接平面組成，調(diào)節(jié)板7的另一面與豎直放置的立板6連接，立板6上有兩個通孔，波紋管3穿過立板6的下通孔，夾具氣管接頭2的一側(cè)穿過立板6的上通孔，夾具氣管接頭2的另一側(cè)穿過安裝架4上的通孔，夾具氣管接頭2的外表面有一臺階，該臺階安裝在立板6和安裝架4之間，立板6與安裝架4之間螺釘連接，安裝架4與立板6上通孔的尺寸略大于夾具氣管接頭2外徑，。安裝時，安裝架4與立板6和夾具氣管接頭2之間存在少量間隙，這些間隙使夾具氣管接頭2和爐內(nèi)氣管接頭5對接時能有少量的自由活動量，保證兩氣管接頭錐端對接部分能良好配合保證對接效果。工作時，將裝滿玻璃基板的夾具預(yù)加熱至250°C左右后，由其他推動導(dǎo)向機構(gòu)將其推入氣相沉積爐，并實現(xiàn)夾具位置的粗定位，通過爐內(nèi)氣管接頭5的錐面與夾具氣管接頭2的錐管段自動對接，利用夾具氣管接頭的自由活動量完成自動調(diào)整和密封，利用立板6等結(jié)構(gòu)的本身彈性變形消除前后移動的誤差，同時提供一定的預(yù)緊力，從而將夾具9固定在合適的工作位置。工作氣體通過爐內(nèi)氣管接頭座l輸入到夾具氣管接頭5和波紋管3，從而對夾具9注入工作氣體，執(zhí)行爐內(nèi)工藝過程后拉開夾具，爐內(nèi)氣管接頭5與夾具氣管接頭脫離，從而完成夾具的自動分離。 雖然，上文中已經(jīng)用一般性說明及具體實施方案對本實用新型作了詳盡的描述，但在本實用新型基礎(chǔ)上，可以對之作一些修改或改進，這對本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是顯而易見的。因此，在不偏離本實用新型精神的基礎(chǔ)上所做的這些修改或改進，均屬于本實用新型要求保護的范圍。
權(quán)利要求一種氣相沉積爐氣路連接裝置，該裝置包括爐內(nèi)氣管接頭座，連接爐內(nèi)氣管接頭座的爐內(nèi)氣管接頭，所述爐內(nèi)氣管接頭的另一端連接有一波紋管管口，波紋管的另一管口連接在夾具接頭座上，夾具左右固定在該氣相沉積爐的導(dǎo)軌上，其特征在于，所述的波紋管管口與爐內(nèi)氣管接頭相對的一端與夾具氣管接頭連接在，該夾具氣管接頭另一端的內(nèi)孔為錐管段，爐內(nèi)氣管接頭與夾具氣管接頭連接的一端是錐形的，其形狀與夾具氣管接頭的錐管段相配合。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積爐氣路連接裝置，其特征在于，所述夾具氣管接頭 的外表面有一臺階，導(dǎo)軌上固定有安裝板，安裝板上連接調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板由兩個相互對 接平面組成，調(diào)節(jié)板的另一面與豎直放置的立板連接，立板上有上、下通孔，波紋管穿過立 板的下通孔，夾具氣管接頭一側(cè)穿過立板的上通孔，另一側(cè)穿過安裝架上的通孔，夾具氣管 接頭的外表面的臺階， 一端緊靠立板，另一端緊靠安裝架，安裝架與立板之間連接。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氣相沉積爐氣路連接裝置，其特征在于，所述夾具氣管接 頭的錐管段長度為15mm。
專利摘要本實用新型涉及一種氣相沉積爐氣路連接裝置，該裝置包括爐內(nèi)氣管接頭座，連接爐內(nèi)氣管接頭座的爐內(nèi)氣管接頭，與爐內(nèi)氣管接頭相對的一端有一波紋管管口，波紋管的另一管口連接在夾具接頭座上，夾具左右固定在該氣相沉積爐的導(dǎo)軌上，波紋管管口與爐內(nèi)氣管接頭相對的一端與夾具氣管接頭連接在一起，該夾具氣管接頭另一端的內(nèi)孔為錐管段，爐內(nèi)氣管接頭與夾具氣管接頭連接的一端是錐形的，其形狀與夾具氣管接頭的錐管段相配合。本實用新型氣路連接裝置可以在不增加機器動作的前提下，僅靠推拉夾具就能同時完成氣管對接和分離的動作，解決了自動生產(chǎn)線中氣路對接和分離的難題。
文檔編號C23C16/44GK201459238SQ200920110399
公開日2010年5月12日 申請日期2009年7月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月24日
發(fā)明者孟月, 鄭京松, 陳煥軍 申請人:北京清大天達光電科技有限公司