專利名稱：基板載具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
基板載具
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種載具，特別是涉及一種于真空濺鍍制程中用以承載一基板的基板載具基板載具。
背景技術(shù)：
圖1所示，一般真空濺鍍設(shè)備的基板載具1，是包含一框架11，以及多個(gè)可拆裝地 鎖設(shè)在該框架11的一內(nèi)框緣111的頂側(cè)與底側(cè)處的鎖擋板12。欲將待加工的一基板3載放在該基板載具1上時(shí)，先將該基板3嵌放于該框架11 所框圍出的一空間13中，再以螺絲將鎖擋板12分別鎖固在鄰近該框架11的內(nèi)框緣111的 頂側(cè)與底側(cè)的地方，以壓制住該基板3的一頂部與底部，如此便能使該基板3穩(wěn)固地嵌裝在 該基板載具1上。而于完成鍍膜加工后，需旋松螺絲以將鎖擋板12拆除，便能將該基板3 卸取下。然而，上述利用螺絲與鎖擋板12相配合，以使該基板3定位在該框架11上的設(shè) 計(jì)，于該基板3的裝載與卸載過程中，必須反復(fù)旋動(dòng)螺絲，實(shí)顯費(fèi)時(shí)、麻煩，而影響到基板3 的裝卸效率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是在提供一種能簡易便利地裝卸基板的基板載具。本實(shí)用新型的基板載具，包含一個(gè)框設(shè)在一基板的一周緣的框架、一個(gè)設(shè)在該框 架的一內(nèi)緣處的夾扣單元，及一個(gè)設(shè)在該框架的內(nèi)緣的底側(cè)處的支撐座。該夾扣單元具有 一個(gè)設(shè)在該框架的一內(nèi)緣處的軸桿、一個(gè)樞設(shè)在該軸桿上且能相對該框架傾擺的翹擺座、 一個(gè)突設(shè)在該翹擺座的一端部且能夾壓住該基板的一周側(cè)的彈壓片，及一個(gè)卷繞在該軸桿 上且能驅(qū)使該翹擺座的相反另一端部遠(yuǎn)離該框架的復(fù)位彈性件。承上所述，本實(shí)用新型提供一種基板載具，用以承載一基板，并包含一個(gè)框設(shè)在該 基板的一周緣的框架、一個(gè)設(shè)置在該框架的一內(nèi)緣處的夾扣單元，以及一個(gè)設(shè)置在該框架 的內(nèi)緣的底側(cè)處的支撐座；其中該夾扣單元具有一個(gè)固設(shè)在該框架的內(nèi)緣處的軸桿、一個(gè)樞設(shè)在該軸桿上且能相 對該框架傾擺的翹擺座、一個(gè)突伸設(shè)置在該翹擺座的一端部且能夾壓住該基板的一周側(cè)的 彈壓片，以及一個(gè)卷繞在該軸桿上且能驅(qū)使該翹擺座的相反另一端部遠(yuǎn)離該框架的復(fù)位彈 性件。所述的基板載具，其中該翹擺座具有一個(gè)樞套在該軸桿上且能于該框架上搖擺 的輪座部，以及一個(gè)固定在該輪座部上的翹板部，該彈壓片是設(shè)置在該翹板部的一端部。所述的基板載具，其中該夾扣單元還具有一個(gè)用以將該彈壓片定位在該翹擺座 的翹板部上的固定塊，以及一個(gè)用以將該固定塊、該彈壓片與該翹擺座鎖組在一起的螺絲。所述的基板載具，其中該夾扣單元的復(fù)位彈性件是一扭力彈簧，其一端是連接該 翹擺座的翹板部，另一端則是連接該框架。[0012]所述的基板載具，其中該支撐座具有一個(gè)供該基板的底部插置的凹槽。本實(shí)用新型的有益效果在于利用該夾扣單元的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，施壓于該翹擺座便能使該彈壓片松離該基板，松放該翹擺座則使該彈壓片夾壓住該基板，用以讓該基板能簡易、 迅速地裝載固定在該框架上，或從該框架卸載下來。

圖1是一剖視示意圖，說明現(xiàn)有一基板載具的結(jié)構(gòu)；圖2是一立體圖，說明本實(shí)用新型的基板載具的一較佳實(shí)施例；圖3是一立體圖，說明該較佳實(shí)施例的其中一夾扣單元的結(jié)構(gòu)；圖4是一剖視示意圖，說明該較佳實(shí)施例的夾扣單元對一基板的一頂部施壓的情 形；圖5是一剖視示意圖，說明該較佳實(shí)施例的夾扣單元松離該基板的頂部的狀況。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明如圖2與圖3所示，本實(shí)用新型的基板載具2的一較佳實(shí)施例，是用以裝載一塊基 板4，并將其直立地輸送入一真空濺鍍設(shè)備的一腔體(圖中未示)中，以進(jìn)行濺鍍加工，于后 再將該基板4移送出該腔體。該基板載具2包含一個(gè)框圍住該基板4的一周緣的方形框架21、多個(gè)間隔設(shè)置在 該框架21的一內(nèi)緣211的頂側(cè)處、左側(cè)處與右側(cè)處的夾扣單元22，以及多個(gè)設(shè)置在該框架 21的內(nèi)緣211的底側(cè)處的支撐座23，所以，該多個(gè)夾扣單元22能夠?qū)υ摶?的一頂部、 左側(cè)部與右側(cè)部產(chǎn)生定位作用，而該多個(gè)支撐座23則是用以支撐、定位該基板4的一底部； 本實(shí)施例中，夾扣單元22與支撐座23的數(shù)量皆是多個(gè)，當(dāng)然也可以皆是一個(gè)，如分別設(shè)置 在該框架21的內(nèi)緣211的頂側(cè)處與底側(cè)處。其中，每一支撐座23具有一供該基板4的底 部插置的凹槽231 (請配合見圖4)。每一夾扣單元22具有一個(gè)鎖設(shè)在該框架21的內(nèi)緣211處的軸桿221、一個(gè)樞設(shè) 在該軸桿221上且能相對該框架21傾擺的翹擺座222、二塊相間隔地突伸設(shè)置在該翹擺座 222的靠近該基板4的一端部上且能夾壓住該基板4的一周側(cè)的彈壓片223、二個(gè)卷繞在該 軸桿221上的復(fù)位彈性件224、一個(gè)用以將該二彈壓片223定位在該翹擺座222上的固定 塊225，以及二個(gè)用以將該固定塊225、該二彈壓片223與該翹擺座222鎖組在一起的螺絲 226。每一翹擺座222具有一個(gè)樞套在該軸桿221上且可搖擺地觸抵在該框架21上的 輪座部227，以及一個(gè)固定在該輪座部227上且能從動(dòng)于該輪座部227以進(jìn)行翹翹板運(yùn)動(dòng)的 翹板部228，該二彈壓片223是設(shè)置在該翹板部228的靠近該基板4的一端部229上。而該 二復(fù)位彈性件224皆是扭力彈簧，每一復(fù)位彈性件224的一端220是連接該翹板部228，另 一端220’則是抵接該框架21，用以，該二復(fù)位彈性件224能共同驅(qū)使該翹板部228的遠(yuǎn)離 該基板4的一端部229’，遠(yuǎn)離該框架21。如圖5所示，當(dāng)施壓于該翹板部228的端部229’以使其朝后擺向該框架21時(shí)，會(huì) 相對帶動(dòng)位在該翹板部228的端部229上的該二彈壓片223前擺而遠(yuǎn)離該基板4，同時(shí)使該二復(fù)位彈性件224扭曲變形而蓄積一抗形變作用力；如圖4所示，一旦松放該翹板部228，該二復(fù)位彈性件224便會(huì)釋出所蓄積的抗形變作用力，推使該翹板部228的端部229’前擺 復(fù)位，并相對帶動(dòng)該二彈壓片223后擺以順勢夾壓住該基板4。因此，欲將該基板4裝載于該基板載具2上時(shí)，先施壓于翹擺座222，使翹擺座222 的彈壓片223前擺而遠(yuǎn)離該框架21，此時(shí)便可把該基板4的底部插放入支撐座23的凹槽 231中，確使該基板4平穩(wěn)地架放在該框架21上后，緊接著松放翹擺座222，彈壓片223便能 立刻自動(dòng)朝后擺動(dòng)以夾壓住該基板4的頂部、左側(cè)部與右側(cè)部，這時(shí)候，該基板4就已穩(wěn)固 地裝載定位在該基板載具2上，以能被輸送入該腔體中進(jìn)行濺鍍加工。而于該基板4完成 濺鍍加工并被移送出該腔體后，同樣先施壓于翹擺座222以使彈壓片223前擺，讓該基板4 的頂部、左側(cè)部與右側(cè)部不再受到壓制，再將該基板4的底部抽離出支撐座23的凹槽231， 至此便完成該基板4的卸載。因此，利用夾扣單元22的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，施壓于翹擺座222便能使彈壓片223松離該 基板4，松放該翹擺座222則使彈壓片223自動(dòng)夾壓住該基板4，配合支撐座23對該基板4 的底部的穩(wěn)固支撐作用，能夠讓該基板4簡易、迅速地裝載固定在該框架21上，或從該框架 21卸載下來，所以整體能高效率地進(jìn)行基板4的裝卸，改善現(xiàn)有基板載具1是利用螺鎖手段 固定基板3，以致于在基板3的裝載與卸載上較顯費(fèi)時(shí)、麻煩的問題。歸納上述，本實(shí)用新型的基板載具2，整體能快速、高效地進(jìn)行基板4的裝卸，所以 確實(shí)能夠達(dá)到本實(shí)用新型的目的。
權(quán)利要求一種基板載具，用以承載一基板，并包含一個(gè)框設(shè)在該基板的一周緣的框架、一個(gè)設(shè)置在該框架的一內(nèi)緣處的夾扣單元，以及一個(gè)設(shè)置在該框架的內(nèi)緣的底側(cè)處的支撐座；其特征在于該夾扣單元具有一個(gè)固設(shè)在該框架的內(nèi)緣處的軸桿、一個(gè)樞設(shè)在該軸桿上且能相對該框架傾擺的翹擺座、一個(gè)突伸設(shè)置在該翹擺座的一端部且能夾壓住該基板的一周側(cè)的彈壓片，以及一個(gè)卷繞在該軸桿上且能驅(qū)使該翹擺座的相反另一端部遠(yuǎn)離該框架的復(fù)位彈性件。
2.如權(quán)利要求1所述的基板載具，其特征在于該翹擺座具有一個(gè)樞套在該軸桿上且 能于該框架上搖擺的輪座部，以及一個(gè)固定在該輪座部上的翹板部，該彈壓片是設(shè)置在該 翹板部的一端部。
3.如權(quán)利要求2所述的基板載具，其特征在于該夾扣單元還具有一個(gè)用以將該彈壓 片定位在該翹擺座的翹板部上的固定塊，以及一個(gè)用以將該固定塊、該彈壓片與該翹擺座 鎖組在一起的螺絲。
4.如權(quán)利要求3所述的基板載具，其特征在于該夾扣單元的復(fù)位彈性件是一扭力彈 簧，其一端是連接該翹擺座的翹板部，另一端則是連接該框架。
5.如權(quán)利要求1至4中任一所述的基板載具，其特征在于該支撐座具有一個(gè)供該基 板的底部插置的凹槽。
專利摘要一種基板載具，包含一個(gè)框設(shè)在一基板的一周緣的框架、一個(gè)設(shè)在該框架的一內(nèi)緣處的夾扣單元，及一個(gè)設(shè)在該框架的內(nèi)緣的底側(cè)處的支撐座。該夾扣單元具有一個(gè)設(shè)在該框架的一內(nèi)緣處的軸桿、一個(gè)樞設(shè)在該軸桿上且能相對該框架傾擺的翹擺座、一個(gè)突設(shè)在該翹擺座的一端部且能夾壓住該基板的一周側(cè)的彈壓片，及一個(gè)卷繞在該軸桿上的復(fù)位彈性件。主要是，施壓于該翹擺座便能使該彈壓片松離該基板，松放該翹擺座則使該彈壓片自動(dòng)夾壓住該基板，用以能提升基板的裝/卸載效率。
文檔編號(hào)C23C14/34GK201567369SQ200920269840
公開日2010年9月1日 申請日期2009年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月9日
發(fā)明者曾政富, 鄭博仁, 陳俊佑, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司