專利名稱：一種oled掩膜板及其應(yīng)用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光器件的蒸鍍工藝，主要涉及0LED器件在蒸鍍過(guò)程中用到的 掩膜板及其應(yīng)用方法。
背景技術(shù)：
有機(jī)電致發(fā)光(OrganicLightEmittingDiode，0LED)具備自發(fā)光、反應(yīng)時(shí)間快、視 角廣、成本低、制造工藝簡(jiǎn)單、分辨率佳及高亮度等多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)，被認(rèn)為是下一代的平面顯示 器新興應(yīng)用技術(shù)。在0LED技術(shù)中，真空蒸鍍中的掩膜板技術(shù)是一項(xiàng)非常重要和關(guān)鍵的技 術(shù)，該技術(shù)的等級(jí)直接影響0LED產(chǎn)品的質(zhì)量和制造成本。通常的紅綠藍(lán)三色因蒸鍍材料不 同及不同材料在基板上的附著位置不同，紅綠藍(lán)三色材料的蒸鍍需在三個(gè)蒸鍍腔內(nèi)進(jìn)行， 同時(shí)需要三種不同的掩膜板。這些因素造成設(shè)備蒸鍍腔增多，掩膜板增多，設(shè)備加工時(shí)間因 多次對(duì)位而增加，導(dǎo)致生產(chǎn)效率下降。如何能用一種掩膜板，在一個(gè)蒸鍍腔內(nèi)完成紅綠藍(lán)三 色的蒸鍍，是本現(xiàn)有技術(shù)中存在的關(guān)鍵問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的第一個(gè)目的是減少設(shè)備中蒸鍍腔的數(shù)量，降低設(shè)備制造成本；第二個(gè)目 的是將紅綠藍(lán)三種掩膜板減少成為一種，降低了掩膜板的需求數(shù)量，降低成本；第三個(gè)目的 是通過(guò)降低掩膜板和基板的對(duì)位次數(shù)，節(jié)約加工時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。本發(fā)明克服了上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種0LED掩膜板，所述掩膜板上橫向設(shè) 置有奇數(shù)列槽組；所述槽組由縱向排列的槽組成；掩膜板上槽組之間的距離為兩個(gè)槽寬； 掩膜板橫向邊緣距離最近的槽組之間的距離為一個(gè)槽寬?；谒?LED掩膜板的應(yīng)用方法，
(1)同一蒸鍍腔內(nèi)，將綠色蒸鍍材料、紅色蒸鍍材料和蘭色蒸鍍材料分別設(shè)置在不同的 蒸鍍單元內(nèi)，關(guān)閉綠色蒸鍍材料、紅色蒸鍍材料和蘭色蒸鍍材料的蒸鍍單元擋板；
(2)將掩膜板與基板進(jìn)行對(duì)位；
(3)打開(kāi)綠色蒸鍍單元擋板，進(jìn)行綠色蒸鍍材料的蒸鍍；
(4)向右橫向移動(dòng)掩膜板一個(gè)槽寬的位置，關(guān)閉綠色蒸鍍單元擋板，打開(kāi)紅色蒸鍍單元 擋板，進(jìn)行紅色蒸鍍材料的蒸鍍；
(5)再向右橫向移動(dòng)掩膜板一個(gè)槽寬的位置，關(guān)閉紅色蒸鍍單元擋板，打開(kāi)蘭色蒸鍍單 元擋板，進(jìn)行蘭色蒸鍍材料的蒸鍍。本發(fā)明使設(shè)備結(jié)構(gòu)大大簡(jiǎn)化，掩膜板數(shù)量減少，同時(shí)，生產(chǎn)效率有了很大提高。


圖1為本發(fā)明的掩膜板結(jié)構(gòu)示意圖； 其中1為掩膜板；2為槽組。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)描述
參見(jiàn)圖1、2、3，一種OLED掩膜板，所述掩膜板上橫向設(shè)置有奇數(shù)列槽組；所述槽組由縱 向排列的槽組成；掩膜板上槽組之間的距離為兩個(gè)槽寬；掩膜板橫向邊緣距離最近的槽組 之間的距離為一個(gè)槽寬?；谒鯫LED掩膜板的應(yīng)用方法，
(1)同一蒸鍍腔內(nèi)，將綠色蒸鍍材料、紅色蒸鍍材料和蘭色蒸鍍材料分別設(shè)置在不同的 蒸鍍單元內(nèi)，關(guān)閉綠色蒸鍍材料、紅色蒸鍍材料和蘭色蒸鍍材料的蒸鍍單元擋板；
(2)將掩膜板與基板進(jìn)行對(duì)位；
(3)打開(kāi)綠色蒸鍍單元擋板，進(jìn)行綠色蒸鍍材料的蒸鍍；
(4)向右橫向移動(dòng)掩膜板一個(gè)槽寬的位置，關(guān)閉綠色蒸鍍單元擋板，打開(kāi)紅色蒸鍍單元 擋板，進(jìn)行紅色蒸鍍材料的蒸鍍；
(5)再向右橫向移動(dòng)掩膜板一個(gè)槽寬的位置，關(guān)閉紅色蒸鍍單元擋板，打開(kāi)蘭色蒸鍍單 元擋板，進(jìn)行蘭色蒸鍍材料的蒸鍍。三色蒸鍍掩膜板的開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)和制造。根據(jù)顯示器三色的排列關(guān)系，選擇排列位置 在中間的顏色(綠色)作為掩膜板設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)，開(kāi)發(fā)該顏色用的蒸鍍掩膜板。根據(jù)像素三色排列關(guān)系，確定兩色單元(紅色、蘭色)和中間單元色(綠色)的相對(duì) 位置，此位置關(guān)系作為掩膜板和基板對(duì)位時(shí)的調(diào)整距離。在蒸鍍過(guò)程中，首先對(duì)綠色蒸鍍材料進(jìn)行蒸鍍?；搴脱谀ぐ灏凑粘Ｒ?guī)方法進(jìn)行 對(duì)位，對(duì)位完后進(jìn)行蒸鍍。在同一蒸鍍腔內(nèi)，將三種不同的蒸鍍材料分別設(shè)置在不同的蒸鍍 單元內(nèi)，以便分時(shí)工作。在綠色蒸鍍完后，利用確定的位置關(guān)系，通過(guò)對(duì)位伺服電機(jī)移動(dòng)掩膜板到紅色對(duì) 位位置，進(jìn)行紅色蒸鍍材料的蒸鍍，此時(shí)綠色和蘭色蒸鍍單元擋板處在關(guān)閉狀態(tài)，同樣的道 理，實(shí)現(xiàn)蘭色材料的蒸鍍。以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明所作的進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，不能認(rèn)定 本發(fā)明的具體實(shí)施方式
僅限于此，對(duì)于本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫 離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡(jiǎn)單的推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視為屬于本發(fā)明由所 提交的權(quán)利要求書確定專利保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
一種OLED掩膜板，其特征在于所述掩膜板上橫向設(shè)置有奇數(shù)列槽組；所述槽組由縱向排列的槽組成；掩膜板上槽組之間的距離為兩個(gè)槽寬；掩膜板橫向邊緣距離最近的槽組之間的距離為一個(gè)槽寬。
2.基于權(quán)利要求1所述0LED掩膜板的應(yīng)用方法，其特征在于(1)同一蒸鍍腔內(nèi)，將綠色蒸鍍材料、紅色蒸鍍材料和蘭色蒸鍍材料分別設(shè)置在不同的 蒸鍍單元內(nèi)，關(guān)閉綠色蒸鍍材料、紅色蒸鍍材料和蘭色蒸鍍材料的蒸鍍單元擋板；(2)將掩膜板與基板進(jìn)行對(duì)位；(3)打開(kāi)綠色蒸鍍單元擋板，進(jìn)行綠色蒸鍍材料的蒸鍍；(4)向右橫向移動(dòng)掩膜板一個(gè)槽寬的位置，關(guān)閉綠色蒸鍍單元擋板，打開(kāi)紅色蒸鍍單元 擋板，進(jìn)行紅色蒸鍍材料的蒸鍍；(5)再向右橫向移動(dòng)掩膜板一個(gè)槽寬的位置，關(guān)閉紅色蒸鍍單元擋板，打開(kāi)蘭色蒸鍍單 元擋板，進(jìn)行蘭色蒸鍍材料的蒸鍍。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種OLED掩膜板及其應(yīng)用方法，所述掩膜板上橫向設(shè)置有奇數(shù)列槽組；所述槽組由縱向排列的槽組成；掩膜板上槽組之間的距離為兩個(gè)槽寬；掩膜板橫向邊緣距離最近的槽組之間的距離為一個(gè)槽寬。首先對(duì)綠色蒸鍍材料進(jìn)行蒸鍍。基板和掩膜板按照常規(guī)方法進(jìn)行對(duì)位，對(duì)位完后進(jìn)行蒸鍍。在同一蒸鍍腔內(nèi)，將三種不同的蒸鍍材料分別設(shè)置在不同的蒸鍍單元內(nèi)，以便分時(shí)工作。在綠色蒸鍍完后，利用確定的位置關(guān)系，通過(guò)對(duì)位伺服電機(jī)移動(dòng)掩膜板到紅色對(duì)位位置，進(jìn)行紅色蒸鍍材料的蒸鍍，此時(shí)綠色和藍(lán)色蒸鍍單元擋板處在關(guān)閉狀態(tài)。同樣的道理，實(shí)現(xiàn)藍(lán)色材料的蒸鍍。本發(fā)明使設(shè)備結(jié)構(gòu)大大簡(jiǎn)化，掩膜板數(shù)量減少，同時(shí)，生產(chǎn)效率有了很大提高。
文檔編號(hào)C23C14/24GK101831607SQ201010154259
公開(kāi)日2010年9月15日 申請(qǐng)日期2010年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月26日
發(fā)明者韋清民 申請(qǐng)人:彩虹顯示器件股份有限公司