專(zhuān)利名稱(chēng)：一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鍍膜濺射裝置，尤其涉及到驅(qū)動(dòng)頭殼體與驅(qū)動(dòng)頭聚甲醛基座相接處采用雙道靜密封，驅(qū)動(dòng)頭聚甲醛基座與驅(qū)動(dòng)軸相接處采用動(dòng)密封，驅(qū)動(dòng)頭聚甲醛基座與輸入軸頭連接處采用雙道動(dòng)密封方式進(jìn)行密封的真空磁控濺射鍍膜用旋轉(zhuǎn)陰極裝置的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
真空磁控濺射鍍膜是當(dāng)今鍍膜工藝中鍍膜質(zhì)量最好，應(yīng)用范圍最廣的鍍膜工藝， 在該鍍膜工藝中，對(duì)鍍膜設(shè)備的選擇比較重要，而在鍍膜設(shè)備中，磁控濺射陰極尤為重要， 目前普遍采用的是平面濺射陰極，由于平面濺射陰極只濺射固定的靶材區(qū)域，一定時(shí)間后會(huì)形成跑道狀濺射區(qū)域，會(huì)影響后期鍍膜的均勻性和穩(wěn)定性，而比較先進(jìn)的濺射靶材能旋轉(zhuǎn)的濺射陰極由于現(xiàn)有技術(shù)不是太成熟，容易產(chǎn)生漏氣、漏水和陰極短路等現(xiàn)象，嚴(yán)重影響鍍膜的質(zhì)量和設(shè)備的維護(hù)周期，降低了靶材的利用率，公告號(hào)為CN1865485A和CN^23740Y 的中國(guó)專(zhuān)利介紹了一種表面金屬鍍膜設(shè)備用靶極系統(tǒng)，在上述兩個(gè)專(zhuān)利中，其傳動(dòng)裝置采用傳動(dòng)鏈輪，鏈輪設(shè)置在設(shè)備內(nèi)，其維修不方便，同時(shí)，傳動(dòng)效率不高，影響鍍膜的質(zhì)量。另外，由于在上述專(zhuān)利形成的設(shè)備中，沒(méi)有考慮到設(shè)備的密封性，從而造成漏氣、漏水和陰極短路等現(xiàn)象，加快了設(shè)備損耗，影響鍍膜的效果和生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種濺射陰極可以旋轉(zhuǎn)、密封性好的真空磁控濺射鍍膜用旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是提供一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其包括聚甲醛基座、驅(qū)動(dòng)頭殼體、驅(qū)動(dòng)軸、驅(qū)動(dòng)齒輪、從動(dòng)齒輪、軸套、輸入軸頭、磁芯軸、冷卻水管接口、電刷接線(xiàn)柱、靶材、前端蓋、后端蓋、油杯，其中，所述驅(qū)動(dòng)齒輪設(shè)置在驅(qū)動(dòng)軸下端，所述驅(qū)動(dòng)齒輪為錐齒輪，從動(dòng)齒輪為錐形齒輪，驅(qū)動(dòng)齒輪與從動(dòng)齒輪通過(guò)錐齒輪傳動(dòng)方式進(jìn)行傳動(dòng)。本發(fā)明的一種優(yōu)先方案是，所述聚甲醛基座與驅(qū)動(dòng)頭殼體相接處采用靜密封結(jié)構(gòu)密封，驅(qū)動(dòng)軸與聚甲醛基座相接處采用動(dòng)密封結(jié)構(gòu)密封，電刷接線(xiàn)柱與聚甲醛基座相接處采用靜密封結(jié)構(gòu)密封，軸套與前端蓋或后端蓋相接處采用雙道動(dòng)密封結(jié)構(gòu)密封，驅(qū)動(dòng)頭殼體與前端蓋或后端蓋接合處采用靜密封結(jié)構(gòu)密封。其中，所述靜密封為在兩個(gè)相連接物體結(jié)合處設(shè)置有至少一個(gè)以上的0形密封圈，所述動(dòng)密封為在兩個(gè)相連接物體結(jié)合處設(shè)置有至少一對(duì)以上的骨架密封圈。本發(fā)明的另一種優(yōu)先方案是，所述軸套的前后兩端均設(shè)有滾動(dòng)軸承，其中，所述滾動(dòng)軸承同時(shí)位于軸套上的雙道動(dòng)密封內(nèi)側(cè)。本發(fā)明的另一種優(yōu)先方案是，所述從動(dòng)齒輪通過(guò)螺栓與軸套連接固定，軸套內(nèi)置有輸入軸頭，其中，所述軸套與輸入軸頭連接處的尾端還設(shè)有張緊套傳動(dòng)裝置，所述輸入軸頭與磁芯軸相接處還設(shè)置有磁芯連接件，當(dāng)從動(dòng)齒輪運(yùn)動(dòng)時(shí)，依次通過(guò)軸套，輸入軸頭，慈芯軸連接件帶動(dòng)磁芯軸運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明的另一種優(yōu)先方案是，其中，磁芯軸尾端還設(shè)有磁芯固定軸，磁芯固定軸與所述后端蓋連接處還設(shè)有絕緣墊。本發(fā)明的另一種優(yōu)先方案是，所述冷卻水管接口下端連接有冷卻水通道，所述輸入軸頭內(nèi)還設(shè)置有一冷卻水管，所述冷卻水管內(nèi)腔與冷卻水通道相通，其中，冷卻水通道尾端口設(shè)置在磁芯連接件下端。本發(fā)明的另一種優(yōu)先方案是，，所述軸套內(nèi)腔尾端還設(shè)置有至少一個(gè)以上的冷卻水回流通道，所述冷卻水管接口、冷卻水通道、冷卻水回流通道、冷卻水管組成冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。本發(fā)明的另一種優(yōu)先方案是，，所述聚甲醛基座頂端還設(shè)置有一個(gè)油杯，所述油杯下端接有潤(rùn)滑油通道，所述潤(rùn)滑油通道穿過(guò)前端蓋，尾端至前端蓋與軸套的相接處的中間位置。本發(fā)明的另一種優(yōu)先方案是，所述靶材置于磁芯軸上端，并于磁芯連接件外圓周頂端相連，靶材外端還設(shè)置有一個(gè)屏蔽罩，所述屏蔽罩尾端固定在前端蓋上。本發(fā)明的技術(shù)效果是提供一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，由于其采用錐形齒輪傳動(dòng)方式進(jìn)行傳動(dòng)，可以提高轉(zhuǎn)速，從而提高鍍膜的效率，延長(zhǎng)旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的壽命。另外，其兩個(gè)零部件結(jié)合處采用靜密封或動(dòng)密封結(jié)構(gòu)密封，可以獲得良好的密封效果，防止漏氣、漏水和陰極短路等現(xiàn)象，減少了維修成本，延長(zhǎng)了旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的壽命。


圖1是本發(fā)明驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的剖面示意圖；圖2是本發(fā)明驅(qū)動(dòng)頭的剖面示意圖；圖3是本發(fā)明的冷卻水回流通道處局部放大示意圖；圖4是本發(fā)明的冷卻水通道局部放大示意圖；圖5是本發(fā)明的接線(xiàn)柱管密封結(jié)構(gòu)局部放大示意圖；圖6是本發(fā)明的動(dòng)密封結(jié)構(gòu)局部放大示意圖；圖7是本發(fā)明的聚甲醛基座頂端的示意圖。1-聚甲醛基座，2-驅(qū)動(dòng)頭殼體，3-驅(qū)動(dòng)軸，4-軸套，5-冷卻水管接口，6_電刷接線(xiàn)柱，7-靜密封，8-動(dòng)密封，9-靶材，10-前端蓋，11-后端蓋，12-屏蔽罩，13-絕緣墊，14-滾動(dòng)軸承，30-驅(qū)動(dòng)齒輪，31-從動(dòng)齒輪，32-張緊套傳動(dòng)裝置，33-驅(qū)動(dòng)軸孔，40-輸入軸頭， 41-磁芯軸，42-磁芯固定軸，43-磁芯連接部件，50-冷卻水管通道，51-冷卻水管，52-冷卻水回流通道，53-冷卻水管通道，60-接線(xiàn)柱管，61-電刷裝置，63-接線(xiàn)柱管孔，70-0型密封圈，80-骨架密封圈，100-油杯，101-潤(rùn)滑油通道，102-潤(rùn)滑油通道孔。
具體實(shí)施例方式為了更清楚的說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的描述。參照?qǐng)D1、圖2所示，圖7所示，旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)頂端的驅(qū)動(dòng)頭聚甲醛基座1設(shè)置有四個(gè)基孔，其中，上述四個(gè)基孔分為驅(qū)動(dòng)軸孔33、接線(xiàn)柱管孔63、冷卻水管通道53，潤(rùn)滑油通道孔102，驅(qū)動(dòng)軸孔33內(nèi)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)軸3，驅(qū)動(dòng)軸3下端連接有驅(qū)動(dòng)齒輪30，驅(qū)動(dòng)齒輪30為錐齒輪，驅(qū)動(dòng)齒輪30通過(guò)錐齒輪傳動(dòng)方式帶動(dòng)從動(dòng)齒輪31，從動(dòng)齒輪31通過(guò)螺栓與軸套4固定，在軸套4上內(nèi)腔中還設(shè)置有輸入軸頭40，輸入軸頭40前端連接有磁芯連接件43，磁芯連接件43前端與磁芯軸41相連，磁芯軸41后端還與磁芯固定軸42相連，當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸3運(yùn)動(dòng)時(shí)，依次帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)齒輪30，從動(dòng)齒輪31，軸套4，輸入軸頭40，磁芯連接件42，磁芯軸41運(yùn)動(dòng)。參照?qǐng)D1、圖7所示，聚甲醛基座1為圓柱形，在其外圓周上設(shè)置有包圍其的驅(qū)動(dòng)頭殼體2，所述驅(qū)動(dòng)頭殼體2與聚甲醛基座1相接處采用靜密封7結(jié)構(gòu)密封，在驅(qū)動(dòng)頭殼體 2的下端前后分別設(shè)置有前端蓋10、后端蓋11，驅(qū)動(dòng)頭殼體2與前端蓋10或后端蓋11相接處設(shè)置有靜密封7，其中，所述前端蓋10、后端蓋11、聚甲醛基座1組成一個(gè)密閉的腔體， 并把軸套4封閉在該腔體內(nèi)，在軸套4與前、后端蓋(10，11)相接處還設(shè)置有一對(duì)滾動(dòng)軸承 14，在所述滾動(dòng)軸承14的兩側(cè)外端采用多道動(dòng)密封8結(jié)構(gòu)密封，使軸套4內(nèi)形成真空。參照?qǐng)D1、圖2、圖4所示，在聚甲醛基座1上設(shè)置的冷卻水管通道50上端設(shè)有冷卻水管接口 5，其中，冷卻水管通道50尾端直達(dá)磁芯連接件43的下端，并與磁芯軸41的內(nèi)腔相通，通過(guò)冷卻水管通道50的冷卻水依次經(jīng)過(guò)軸套4，輸入軸頭40、冷卻水管51、磁芯軸 41、冷卻水回流通道52回到冷卻水管接口 5，組成一個(gè)冷卻循環(huán)系統(tǒng)。參照?qǐng)D1，圖6所示，驅(qū)動(dòng)軸3與聚甲醛基座1相接處上下兩端分別設(shè)置有一對(duì)滾動(dòng)軸承14，在所述滾動(dòng)軸承14的上端采用動(dòng)密封8結(jié)構(gòu)進(jìn)行密封。參照?qǐng)D1，圖5所示，導(dǎo)電接線(xiàn)柱管60上端設(shè)置有電刷接線(xiàn)柱6，下端設(shè)置有電刷裝置61，其中，電刷裝置61可與軸套4相觸，當(dāng)有電流通過(guò)電刷接線(xiàn)柱6時(shí)，電流依次經(jīng)過(guò)導(dǎo)電接線(xiàn)柱管60，電刷裝置61，軸套4、輸入軸頭40，最后傳送到磁芯軸41上，導(dǎo)電接線(xiàn)柱管60與聚甲醛基座1相接處采用靜密封7結(jié)構(gòu)密封。本發(fā)明的一種優(yōu)先具體實(shí)施方式
是，參照?qǐng)D1，在軸套4與輸入軸頭40的連接尾端還設(shè)置有張緊套傳動(dòng)裝置32，其中，張緊套傳動(dòng)裝置32為彈性元件。本發(fā)明的一種優(yōu)先具體實(shí)施方式
是，參照?qǐng)D2，在磁芯固定軸42的后端與后端蓋 11相接處還設(shè)置有絕緣墊13，絕緣墊13的作用為防止驅(qū)動(dòng)頭殼體2和前、后端蓋(10、11) 帶電。參照?qǐng)D1所示，在磁芯軸41的外圓周上端設(shè)置有靶材9，靶材9的上端設(shè)置有屏蔽罩12，屏蔽罩一端位于靶材上端，另一端通過(guò)螺栓固定在前端蓋10上。參照?qǐng)D1所示，磁芯連接件43與磁芯軸41連接處采用靜密封7結(jié)構(gòu)密封。本發(fā)明的一種優(yōu)先具體實(shí)施方式
是，參照?qǐng)D2、圖3所示，在所述潤(rùn)滑油通道101上設(shè)置有油杯100，油杯100內(nèi)上置有潤(rùn)滑油，其中，所述潤(rùn)滑油通道101尾端設(shè)在前端蓋10 上部中間位置處，其為在滾動(dòng)軸承14、軸套4、輸入軸頭40、磁芯軸41間起潤(rùn)滑作用。本發(fā)明的一種優(yōu)先具體實(shí)施方式
是，參照?qǐng)D4，圖5、圖6所示，所述靜密封7為在兩個(gè)連接物體處設(shè)置有至少一道以上的0型密封圈70。本發(fā)明的一種優(yōu)先具體實(shí)施方式
是，參照?qǐng)D3，圖6所示，所述動(dòng)密封8為在兩個(gè)連接物體處設(shè)置有至少一道以上的骨架密封圈80，其中，兩個(gè)相鄰的骨架密封圈80可相向放置，也可相對(duì)放置。
本發(fā)明保護(hù)的是一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，只要是本領(lǐng)域技術(shù)人員了解本發(fā)明的實(shí)施例，而不經(jīng)過(guò)創(chuàng)造性的勞動(dòng)，僅是同等技術(shù)的替換，都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，包括聚甲醛基座(1)、驅(qū)動(dòng)頭殼體 (2)、驅(qū)動(dòng)軸(3)、驅(qū)動(dòng)齒輪(30)、從動(dòng)齒輪(31)、軸套(4)、輸入軸頭(40)、磁芯軸(41)、冷卻水管接口(5)、電刷接線(xiàn)柱(6)、電刷裝置(60)、靶材(9)、前端蓋(10)、后端蓋(11)、油杯 (100)，其中，所述驅(qū)動(dòng)齒輪(30)設(shè)置在驅(qū)動(dòng)軸C3)下端，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)齒輪(30) 為錐齒輪，所述從動(dòng)齒輪(31)為錐形齒輪，所述驅(qū)動(dòng)齒輪(30)與從動(dòng)齒輪(31)通過(guò)錐齒輪傳動(dòng)方式進(jìn)行傳動(dòng)，所述聚甲醛基座(1)與驅(qū)動(dòng)頭殼體( 相接處采用靜密封(7)結(jié)構(gòu)密封，所述聚甲醛基座(1)與驅(qū)動(dòng)軸C3)相接處采用動(dòng)密封(8)結(jié)構(gòu)密封，所述聚甲醛基座 ⑴與電刷接線(xiàn)柱(6)相接處采用靜密封(7)結(jié)構(gòu)密封，所述軸套⑷與前端蓋(10)或后端蓋(11)相接處采用雙道動(dòng)密封( 結(jié)構(gòu)密封，所述驅(qū)動(dòng)頭殼體( 與前端蓋(10)或后端蓋(11)接合處采用靜密封(7)結(jié)構(gòu)密封。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述靜密封(7)為在兩個(gè)相連接物體結(jié)合處設(shè)置有至少一個(gè)以上的0形密封圈(70)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述動(dòng)密封(8)為在兩個(gè)相連接物體結(jié)合處設(shè)置有至少一對(duì)以上的骨架密封圈(80)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述軸套(4)的前后兩端均設(shè)有滾動(dòng)軸承(14)，其中，所述滾動(dòng)軸承(14)同時(shí)位于軸套(4)上的雙道動(dòng)密封內(nèi)側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述從動(dòng)齒輪(31)通過(guò)螺栓與軸套 (4)連接固定，所述軸套內(nèi)置有輸入軸頭(40)，所述輸入軸頭00)與磁芯軸Gl)相接處設(shè)置有磁芯軸連接件(43)，當(dāng)從動(dòng)齒輪運(yùn)動(dòng)時(shí)，依次通過(guò)軸套0)，輸入軸頭(40)，磁芯軸連接件(43)，帶動(dòng)磁芯軸運(yùn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述磁芯軸尾端還設(shè)有磁芯固定軸(42)，所述磁芯固定軸0 與后端蓋(11)連接處還設(shè)有絕緣墊(13)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述軸套(4)與輸入軸頭GO) 連接處的尾端設(shè)有張緊套傳動(dòng)裝置(34)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻水管接口(5)下端連接有冷卻水通道(50)，所述輸入軸頭00)內(nèi)腔還設(shè)置有一冷卻水管(51)，所述冷卻水管(51)內(nèi)腔與冷卻水通道(50)相通，所述軸套(4)內(nèi)腔尾端還設(shè)置有至少一個(gè)以上的冷卻水回流通道(53)，所述冷卻水管接口(5)、冷卻水通道(50)、冷卻水回流通道(53)、冷卻水管(51)組成冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。
9.根據(jù)權(quán)利1所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述聚甲醛基座(1)基座頂端還設(shè)置有一個(gè)油杯(100)，所述油杯(100)下端接有潤(rùn)滑油通道(101)，所述潤(rùn)滑油通道(101)穿過(guò)前端蓋(10)，至前端蓋(10)與軸套的相接處中間位置。
10.根據(jù)權(quán)利1所述的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，其特征在于，所述電刷接線(xiàn)柱(6)下端設(shè)置有接線(xiàn)柱管(60)，所述接線(xiàn)柱管(60)底端設(shè)置有電刷裝置(61)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)端頭，其包括聚甲醛基座(1)、驅(qū)動(dòng)頭殼體(2)、驅(qū)動(dòng)軸(3)、驅(qū)動(dòng)齒輪(30)、從動(dòng)齒輪(31)、軸套(4)、輸入軸頭(40)、磁芯軸(41)、冷卻水管接口(5)、電刷接線(xiàn)柱(6)、電刷裝置(60)、靶材(9)、前端蓋(10)、后端蓋(11)，其中，驅(qū)動(dòng)齒輪(30)為錐齒輪，設(shè)置在驅(qū)動(dòng)軸(3)下端，從動(dòng)齒輪(31)也為錐形齒輪，兩者通過(guò)錐齒輪傳動(dòng)方式進(jìn)行傳動(dòng)，聚甲醛基座(1)與驅(qū)動(dòng)頭殼體(2)，電刷接線(xiàn)柱(6)相接處采用靜密封(7)結(jié)構(gòu)密封，與驅(qū)動(dòng)軸(3)相接處采用動(dòng)密封(8)結(jié)構(gòu)密封，另外，軸套(4)與前、后端蓋(10、11)相接處采用雙道動(dòng)密封(8)結(jié)構(gòu)密封，本發(fā)明的技術(shù)效果是鍍膜效率高，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)壽命長(zhǎng)。
文檔編號(hào)C23C14/35GK102296273SQ20101020894
公開(kāi)日2011年12月28日 申請(qǐng)日期2010年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月24日
發(fā)明者李惠, 魏慶瑄 申請(qǐng)人:上海子創(chuàng)鍍膜技術(shù)有限公司