專利名稱：管靶材組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種管靶材組件。
背景技術(shù)：
基于物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition ；PVD)原理的濺射鍍膜工藝，其 是半導(dǎo)體芯片、液晶顯示設(shè)備(Liquid Crystal Display ;IXD)、以及太陽能電池等產(chǎn)品制 造過程中的重要工藝之一。其中，制造太陽能電池的過程中所使用的濺射靶材主要為管靶 材，生產(chǎn)中較為常用的管靶材為純鋁及鋁合金濺射管靶材。目前，在濺射鍍膜工藝中，用于濺射鍍膜的管靶材是通過例如焊接等連接方式與 連接接頭連接到一起，再通過所述連接接頭連接到濺射設(shè)備上。這種情況下，當(dāng)管靶材耗盡 后，與所述管靶材連接在一起的用于與濺射設(shè)備相連的連接接頭會隨著管靶材一起報廢， 這樣造成了資源的浪費。另一方面，目前濺射鍍膜工藝中，由管靶材和連接接頭構(gòu)成的管靶材組件，其所處 的工作環(huán)境比較惡劣，例如，管靶材組件處于強(qiáng)電場、磁場中并被各種高速粒子轟擊，濺射 過程中管靶材組件的溫度較高等，這種工作環(huán)境對管靶材組件的連接強(qiáng)度要求較高。其原 因在于，若管靶材組件的連接強(qiáng)度不合適，則可能出現(xiàn)管靶材組件的結(jié)合部開裂、管靶材從 連接接頭上脫落等情況。此外，還可能會出現(xiàn)管靶材組件發(fā)生變形、管靶材偏離規(guī)定位置等 情況，特別是鋁或鋁合金管靶材靶材，因金屬鋁較軟，在濺射鍍膜過程中極易發(fā)生變形。這 些情況會導(dǎo)致濺射鍍膜過程不穩(wěn)定，成膜質(zhì)量下降，嚴(yán)重時還會導(dǎo)致濺射設(shè)備受損，使生產(chǎn) 無法正常進(jìn)行，最終破壞整個生產(chǎn)的穩(wěn)定性、連續(xù)性等。綜上所述，在濺射鍍膜工藝中，選擇一種既能夠使管靶材與連接接頭可靠地結(jié)合 在一起，又能夠重復(fù)利用連接接頭的連接方式來實現(xiàn)管靶材與連接接頭的連接，是十分必 要的。

實用新型內(nèi)容本實用新型是為了解決濺射鍍膜過程中，鋁或鋁合金管靶材的連接接頭無法循環(huán) 利用造成浪費，以及鋁或鋁合金管靶材的連接強(qiáng)度要求較高工藝難度大的問題而進(jìn)行的。為解決上述問題，本實用新型提供一種管靶材組件，包括鋁或鋁合金管靶材，兩端具有螺紋；帶螺紋的連接接頭，與所述鋁或鋁合金管靶材通過螺紋進(jìn)行連接。可選地，所述管靶材組件還包括密封圈。 可選地，所述管靶材組件中，所述密封圈材質(zhì)為耐高溫的橡膠或樹脂?？蛇x地，所述管靶材組件中，所述密封圈具有金屬骨架?？蛇x地，所述管靶材組件中，所述連接接頭材料選自鋁基合金或鐵基合金。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點通過螺紋進(jìn)行連接組成的管靶材組 件，就可以實現(xiàn)其中的連接接頭的循環(huán)再利用，即可以降低成本，又可以節(jié)約資源，而且螺紋連接的操作非常簡單、方便，可操作性強(qiáng)。另外，螺紋連接的連接比較牢固，不會出現(xiàn)管靶 材移位、脫落等情況，可以確保生產(chǎn)的安全性、持續(xù)性等。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中管靶材組件的剖面示意圖；圖2為本實用新型管靶材組件一實施方式中管靶材的剖面示意圖；圖3為本實用新型管靶材組件一實施方式中連接接頭的剖面示意圖；圖4為本實用新型管靶材組件一實施方式的剖面示意圖。
具體實施方式
圖1為現(xiàn)有技術(shù)中管靶材組件的剖面示意圖，其中，11為鋁或鋁合金管靶材，12為 連接接頭。參照圖1，現(xiàn)有技術(shù)中鋁或鋁合金管靶材組件連接方式為焊接方式，而且大多采 用電子束焊接。當(dāng)鋁或鋁合金管靶材使用完畢后，用于連接鋁或鋁合金管靶材的連接接頭 要一起報廢，這樣容易造成連接接頭的浪費，而且使生產(chǎn)成本變高。本實用新型一實施方式提供一種管靶材組件，包括兩端具有螺紋的鋁或鋁合金 管靶材；帶螺紋的連接接頭，與所述鋁或鋁合金管靶材通過螺紋進(jìn)行連接。此外，所述管靶 材組件還包括密封圈；所述密封圈材質(zhì)可以為耐高溫的橡膠或樹脂，且所述密封圈可以具 有金屬骨架。另外，所述連接接頭材料選自鋁基合金或鐵基合金。由于鋁管靶材與鋁合金管靶材的性能相似，因此，在本實用新型一實施方式中，以 鋁管靶材為例對本實用新型的技術(shù)方案進(jìn)行說明。下面，結(jié)合附圖，對本實用新型一實施方式進(jìn)行詳細(xì)地說明。在本實施方式中，所 述管靶材、連接接頭均為圓管形，圖2、圖3及圖4均為經(jīng)所述管靶材、連接接頭的中心軸線 的截面圖，為了能夠清楚地進(jìn)行說明，圖中對所述管靶材、連接接頭等進(jìn)行了標(biāo)注。參照圖2、圖3及圖4，在本實施方式中，管靶材組件包括管靶材21、連接接頭22 以及密封圈23。其中，管靶材21的兩端設(shè)有內(nèi)螺紋，材質(zhì)為純鋁，其兩端用于開設(shè)螺紋的孔的直 徑相同且所開設(shè)的螺紋也完全相同。此外，管靶材21還具有用于防止密封圈的密封槽a。本實施方式中，管靶材21的兩端開設(shè)有內(nèi)螺紋，但是，這并不構(gòu)成對本實用新型 的限制，在實際應(yīng)用中，也可以在管靶材的兩端開設(shè)外螺紋。而且，根據(jù)具體條件的不同，也 可以一端開設(shè)內(nèi)螺紋、另一端開設(shè)外螺紋。另外，管靶材兩端的螺紋尺寸，例如螺紋孔的直徑、所開設(shè)螺紋的節(jié)距等也可以不 相同。但是，為了提高批量生產(chǎn)的生產(chǎn)效率、便于庫存管理、生產(chǎn)調(diào)度等生產(chǎn)管理，在不影響 管靶材組件的連接、使用的情況下，優(yōu)選在管靶材的兩端開設(shè)尺寸、形狀相同的螺紋，尤為 優(yōu)選在管靶材的兩端開設(shè)形式也相同的螺紋，即兩端均開設(shè)外螺紋或內(nèi)螺紋。連接接頭22，材質(zhì)為鋁合金，其設(shè)有與管靶材21相配合的外螺紋。連接接頭22通 過螺紋與所述管靶材21進(jìn)行連接。此外，連接接頭22還具有用于防止密封圈的密封槽b。 所述密封槽b與管靶材21的密封槽a相對應(yīng)，當(dāng)管靶材21與連接接頭22組成管靶材組件， 密封槽b與密封槽a組成封閉的密封槽以供放置所述密封圈23。本實施方式中管靶材21的兩端開設(shè)有內(nèi)螺紋，因而連接接頭22開設(shè)有與其相對應(yīng)的內(nèi)螺紋。如上所述，本實施方式中管靶材21的螺紋形式不構(gòu)成對本實用新型的限制， 相應(yīng)地，連接接頭22的螺紋形式也不構(gòu)成對本實用新型的限制，只要能夠與管靶材21相配 合并穩(wěn)固地連接在一起即可。此外，在本實施方式中，所述連接接頭22的材質(zhì)為鋁合金，但是，在實際應(yīng)用中， 所述連接接頭還可以選用其他材料，例如鐵基合金、樹脂等。由于所述連接接頭在管靶材組 件的使用過程中起連接、固定的作用，而且要循環(huán)再利用，因而優(yōu)選使用金屬材料，尤為優(yōu) 選使用鋁基合金、鐵基合金。密封圈23，呈與所述密封槽a/密封槽b相對應(yīng)的圓形，材質(zhì)為耐高溫的橡膠，當(dāng)管 靶材21與連接接頭22組成管靶材組件時，其位于在由管靶材21的密封槽a及連接接頭22 的密封槽b組成的封閉密封槽中，用于密封所述管靶材21與連接接頭22的螺紋連接部。由于管靶材組件的工作環(huán)境較為惡劣，特別是濺射鍍膜時管靶材組件所處的環(huán)境 溫度較高，因而在本實施方式中，所述密封圈23的材質(zhì)為耐高溫的橡膠，但是，這并不構(gòu)成 對本實用新型的限制，在實際應(yīng)用中，所述密封圈的材質(zhì)也可以為其他物質(zhì)，例如可以為樹 脂、金屬等。由于橡膠、樹脂密封圈的成本略低于金屬密封圈，從成本的角度考慮，所述密封 圈的材質(zhì)優(yōu)選為橡膠或樹脂。為了保持密封圈密封性能的穩(wěn)定以確保靶材組件的穩(wěn)定性， 尤為優(yōu)選能夠耐高溫的橡膠或樹脂。特別地，本實施方式中的密封圈還可以具有金屬骨架。具有金屬骨架的密封圈彈 性更好，不易發(fā)生變形，因而能夠更好的密封管靶材組件。綜上所述，根據(jù)本實用新型，可以通過螺紋來連接管靶材與連接接頭組成管靶材 組件，操作簡單，可以提高生產(chǎn)效率。而且，本實用新型的管靶材組件中，所述通過螺紋連接 的連接接頭可以循環(huán)利用，因而可以降低生產(chǎn)成本，節(jié)約資源，保持生產(chǎn)的可持續(xù)發(fā)展。另 外，螺紋連接的結(jié)構(gòu)比較牢固，不會出現(xiàn)管靶材移位、脫落等影響生產(chǎn)的不良情況，可以確 保生產(chǎn)的安全性、持續(xù)性等。特比地，可以在所述管靶材組件的螺紋連接部設(shè)置密封圈以充 分確保管靶材組件的密封性。雖然本實用新型己以較佳實施例披露如上，但本實用新型并非限定于此。任何本 領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本實用 新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種管靶材組件，其特征在于，包括鋁或鋁合金管靶材，兩端具有螺紋；帶螺紋的連接接頭，與所述鋁或鋁合金管靶材通過螺紋進(jìn)行連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管靶材組件，其特征在于，所述管靶材組件還包括密封圈。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的管靶材組件，其特征在于，所述密封圈材質(zhì)為耐高溫的橡膠 或樹脂。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的管靶材組件，其特征在于，所述密封圈具有金屬骨架。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一權(quán)利要求所述的管靶材組件，其特征在于，所述連接接頭 材料選自鋁基合金或鐵基合金。
專利摘要本實用新型提供一種管靶材組件，其包括兩端具有螺紋的鋁或鋁合金管靶材；帶螺紋的連接接頭，與所述鋁或鋁合金管靶材通過螺紋進(jìn)行連接。此外，所述管靶材組件還包括密封圈；所述密封圈材質(zhì)可以為耐高溫的橡膠或樹脂，且所述密封圈可以具有金屬骨架。另外，所述連接接頭材料選自鋁基合金或鐵基合金。本實用新型通過螺紋連接構(gòu)成管靶材組件，可以循環(huán)再利用所述連接接頭，降低成本，節(jié)約資源，解決了以往連接接頭無法循環(huán)利用造成資源浪費的問題。而且，本實用新型操作簡單，并能使所述管靶材與所述連接接頭牢固地連接在一起。
文檔編號C23C14/34GK201722424SQ201020118658
公開日2011年1月26日 申請日期2010年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月9日
發(fā)明者劉慶, 姚力軍, 汪濤, 潘杰, 王學(xué)澤 申請人:寧波江豐電子材料有限公司