專利名稱：導電性烴類流體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及導電性烴類流體。
背景技術(shù)：
制造商們越來越多地使用特異的金屬和陶瓷來形成復雜的部件，具體來說，形成電子部件。在此方面，銥、鎂、鈷和鉬之類的金屬可用來形成部件，例如磁性存儲裝置的讀-寫頭。這些部件經(jīng)常使用例如精研、研磨、拋光和清潔的工藝形成。這些工藝通常使用流體從部件的表面轉(zhuǎn)移熱量和切屑。但是，常規(guī)的加工流體是水基的，會導致金屬和陶瓷形成的部件表面發(fā)生腐蝕和不希望出現(xiàn)的氧化。為了防止腐蝕和氧化，制造商轉(zhuǎn)而使用烴基流體制劑。但是，常規(guī)的烴基制劑具有低電導率，可能會導致正在形成的制品上累積靜電。在此制品上的靜電累積會導致部件損壞，或者使部件具有差的表面和性能質(zhì)量。通常，人們將損壞的和性能差的部件拋棄，這導致生產(chǎn)成本升高。因此，人們需要改進的加工流體(processing fluid)和形成部件的方法。

發(fā)明內(nèi)容
在一個具體的實施方式中，本發(fā)明涉及一種加工流體，其包含具有8-16個碳的平均鏈長的脂族烴類組分，以及約0. 0001-50. 0重量％的路易斯活性組分。在另一個示例性的實施方式中，本發(fā)明涉及一種精研流體，其包含至少約50. 0重量％的非極性烴類組分和不大于約1.0重量％的水。所述精研流體(lapping fluid)的電導率(conductivity)至少約為 10nS/m。在另一個示例性的實施方式中，本發(fā)明涉及一種精研流體，其比重約為0. 7-0. 9， 電導率至少約為10nS/m。本發(fā)明還涉及一種形成制品的方法。該方法包括使加工工具的加工表面與制品的表面上的一定區(qū)域接觸，當所述制品的表面與所述加工工具的加工表面相接觸的時候，向所述區(qū)域提供加工流體。所述加工流體的比重約為0.7-0. 9，電導率至少約為lOnS/m。該方法還包括對所述加工處理之后的制品的表面進行清潔。另外，本發(fā)明涉及一種加工流體，其包含至少約50. 0重量％的脂族烴類組分，約 1. 0-25. 0重量％的二醇醚組分，約0. 005-5. 0重量％的離子聚合物組分，以及約0. 1-5. 0重量％的羧酸官能組分。優(yōu)選實施方式
在一個具體的實施方式中，提供了一種加工流體，其包含烴類組分和路易斯活性組分。所述加工流體的示例性實施方式可包含一種以上的路易斯活性組分，具體來說，所述加工流體可包含至少一種路易斯酸和至少一種路易斯堿。另外，所述加工流體可以包含極性組分，例如二醇醚組分。所述加工流體還可包含磨粒。加工流體的特殊實施方式可用作精研流體或清潔流體。在一個示例性的實施方式中，所述加工流體包含烴類組分，在一個例子中，所述烴類組分是極性烴類組分，例如二醇組分。或者，所述烴類組分是非極性烴類組分，例如脂族烴類組分。所述脂族烴類組分可包含至少8個碳原子。例如，所述脂族烴類組分可包含8-16 個碳原子，例如10-14個碳原子或者10-12個碳原子。在一個例子中，所述脂族烴類組分是平均包含8-16個碳、例如平均包含10-14個碳或平均包含10-12個碳的脂族烴類的混合物?；蛘咚鲋鍩N類組分主要由鏈長為8-16個碳、例如10-14個碳或10-12個碳的單獨的脂族烴類組成。所述脂族烴類組分可以是直鏈烴類組分。通常所述脂族烴類組分是直鏈或支鏈的分子，不含路易斯活性官能團。在一個示例性的實施方式中，以所述加工流體的總重量為基準計，所述加工流體包含至少約50. 0重量％的脂族烴類組分。例如，所述加工流體可以包含約50. 0-99. 5重量％的脂族烴類組分，例如約65. 0-95.0重量％。所述加工流體的特殊實施方式包含約 80. 0-90. 0重量％的脂族烴類組分。路易斯活性組分的示例性實施方式包括路易斯酸和路易斯堿，具體來說包括具有路易斯活性官能團(例如能夠作為路易斯酸的官能團或者能夠作為路易斯堿的官能團)的有機組分。一般來說，路易斯活性官能團被設計成能夠接受電子對(即路易斯酸)或供給電子對(即路易斯堿)。路易斯活性組分可以是例如布倫斯臺德-洛里酸或堿或者阿倫尼烏斯酸或堿。例如，路易斯活性組分可以是布倫斯臺德-洛里活性組分，例如布倫斯臺德-洛里酸或布倫斯臺德-洛里堿。具體來說，布倫斯臺德-洛里酸可以是例如有機羧酸，布倫斯臺德-洛里堿可以是例如具有胺官能團的有機組分。在一個示例性的實施方式中，所述路易斯活性組分是具有路易斯活性官能團的有機組分。所述有機組分可具有選自以下的官能團羧酸，胺，咪唑，咪唑啉，磷酸類基團(phosphate)，膦酸類基團(phosphonate)，硫酸類基團(sulfate)，磺酸類基團 (sulfonate)，烯烴，以及它們相關(guān)的鹽。路易斯活性組分的一個特殊的實施方式包括離子官能團，例如羧酸，胺，磷酸類基團，膦酸類基團，硫酸類基團或磺酸類基團官能團。在一個具體的實施方式中，所述路易斯活性組分在25°C的PKa或pKb (取決于所述路易斯活性組分是路易斯酸或路易斯堿)分別不大于14.0。例如，路易斯酸組分在25°C的 PKa可以至少約為0. 0且不大于14. 0，例如不大于12. 0，不大于11. 0，或者不大于10. 0。當所述路易斯酸組分是布倫斯臺德-洛里酸的時候，PKa是酸解離常數(shù)Ka的負對數(shù)，(即pKa =-logKa)。相反，醇和亞甲基之類的官能團不是路易斯酸官能團，這是因為它們的pKa值大于14. 0。在另一個實施例中，路易斯堿組分在25°C的pKb可至少約為0. 0且不大于14. 0， 例如不大于12.0，不大于11.0，或者不大于10.0。當路易斯堿組分是布倫斯臺德-洛里堿的時候，解離常數(shù)可以例如根據(jù)以下反應得自共軛酸B+H20<->BH++0H_。pKb由例如公式pKb =PK水-pKa計算，其中在25°C下pK水=14.0。相反，酰胺、醚和酮之類的官能團并不被看作是路易斯堿官能組分，這是因為它們的PKb值大于14. 0。但是，包含這些官能團的組分如果還包含至少一種路易斯活性官能團(例如羧酸、胺、咪唑、咪唑啉、磷酸類基團、膦酸類基團、硫酸類基團、磺酸類基團或其相關(guān)的鹽)，會被看作路易斯活性組分。在另一個例子中，所述路易斯活性組分可以是包含一種以上路易斯活性官能團的有機組分。一種示例性的路易斯活性組分可以是包含羧酸官能團的有機組分，具體來說，可以是包含至少六個碳的羧酸官能有機組分，例如辛酸、9-十八烷酸、苯甲酸或聚丙烯酸。包含胺基官能團的示例性有機組分可以是1-氨基己烷，N-己基己胺，1-氨基-2-丙醇，二乙醇胺，三乙醇胺，或者聚乙烯基胺。示例性的咪唑啉官能有機組分可以是1-羥基乙基-2-辛基咪唑啉，示例性的咪唑啉組分可以是2-甲基咪唑。示例性的磷酸類基團和膦酸類基團組分包括烷基磷酸酯，磷酸二癸酯，癸基膦酸癸基酯，1-羥基亞乙基-1，1- 二膦酸(HEDP)，氨基三(亞甲基膦酸)(ATMP)，N- (2-羥基乙基)-N, N- 二(亞甲基膦酸)(HEMPA)，或者2-膦?；⊥?1，2，4-三羧酸(PBTC)。磷酸類基團和膦酸類基團官能有機組分的具體實施方式
可包含至少六個碳。具體來說，所述路易斯活性組分可包括含有至少六個碳以及烷基磷酸酯官能團的分子。包含磺酸類基團官能團的有機組分可包含至少六個碳，例如為十二烷基苯磺酸，甲苯磺酸，二壬基萘磺酸，或者磺化的聚丙烯酸。在一個示例性的實施方式中，所述路易斯活性組分是包含一種或多種路易斯活性官能團的聚合物，例如離子聚合物，或者包含具有能夠輸送電子電荷的重復碳-碳雙鍵的主鏈的聚合物。在一個例子中，離子聚合物包含以下的官能團，例如包含氮的路易斯活性官能團，包含氧的路易斯活性官能團，或者包含硫的路易斯活性官能團。路易斯活性聚合物的具體實施方式
可以是包含含氧、氮、硫或其組合的路易斯活性官能團的單體的聚合物、聚合物摻混物，或者共聚物?；蛘?，可以對所述聚合物進行改性或處理，以形成路易斯活性位點。 在一個示例性的實施方式中，所述聚合物是聚丙烯酸、聚烯烴、聚乙烯基胺或者磺化的聚丙烯酸。路易斯活性聚合物的一個具體的實施方式可以參見購自英國切塞的奧克太性能化學公司(Octel Performance Chemicals, Chesire, UK)的 Octastat 產(chǎn)品，例如 Octastat 2000，Octastat 3000 或 Octastat 4065。所述有機組分的另一個示例性實施方式可以是包含至少一種路易斯活性官能團的組分，例如辛酸，9-十八烷酸，苯甲酸，聚丙烯酸，聚丁二炔，2-氨基十六烷酸，1-氨基己烷，N-己基己胺，1-氨基-2-丙醇，聚乙烯基胺，三乙醇胺，1-羥基乙基-2-辛基咪唑啉， 2-甲基咪唑，膦酸二癸酯，癸基膦酸癸酯，癸基苯磺酸，甲苯磺酸，二壬基萘磺酸，磺化的聚丙烯酸，甘油單油酸酯，或者它們的鹽。在一個示例性的實施方式中，所述加工流體包含至少一種路易斯酸和至少一種路易斯堿。例如，所述加工流體可以包含具有羧酸官能團的有機組分以及包含胺官能團的有機組分。在另一個示例性的實施方式中，所述加工流體可包含聚合物的摻混物，其中一種聚合物包含路易斯酸官能團，另一種聚合物包含路易斯堿官能團。在另一個例子中，所述加工流體可以包含具有路易斯堿官能團的聚合物以及包含路易斯酸官能團的有機組分。在一個具體的實施方式中，所述加工流體可以包含路易斯酸組分和路易斯堿組分形成的有機鹽。另外，示例性的加工流體可以包含阿倫尼烏斯酸和阿倫尼烏斯堿或者可包含布倫斯臺德-洛里酸和布倫斯臺德-洛里堿。以所述加工流體的總重量為基準計，所述路易斯活性組分可占所述加工流體的大約0. 0001-50. 0重量％。例如，所述加工流體可以包含約0. 005-10. 0重量％的路易斯活性組分，例如約0. 01-5. 0重量％的路易斯活性組分。所述加工流體還可包含極性有機組分。具體的極性組分提高了路易斯活性有機組分的混溶性，可以提高加工流體混合物的穩(wěn)定性和均一性。所述極性組分的一個示例性實施方式包括酰胺、醇、醚或二烷基硫醚官能團。例如，所述極性組分可以是包含醇官能團或醚官能團且具有至少六個碳的有機組分。在另一個例子中，所述極性組分是包含至少六個碳的有機二醇醚組分。示例性的極性組分可以是2-乙基-1-己醇，2- 丁氧基乙醇，1- 丁氧基-2-丙醇，2-癸基巰基乙醇，壬基苯酚-2，2-二甲基丙二醇醚，十八烯醇四甘醇醚，二丙二醇單丁基醚，乙二醇單己基醚，大豆酰胺，乙氧基化的辛基苯酚，或者乙氧基化的壬基苯酚。 在一個特殊的實施方式中，所述極性有機組分在25°C的pKa或pKb值大于14. 0。在一個示例性的實施方式中，以所述加工流體的總重量為基準計，所述加工流體包含約0. 1-50. 0重量％的極性組分。例如，所述加工流體可包含約1. 0-25. 0重量％的極性組分，例如約1. 0-15. 0重量％的極性組分，或者約1. 0-8. 0重量％的極性組分。所述加工流體的具體實施方式
可用于固定式研磨工藝中。或者所述加工流體可設計用于自由式研磨工藝，因此可包含磨粒。例如，以加工流體為基準計，所述加工流體可包含約0. 05-5. 0重量％的磨粒。在一個例子中，所述加工流體可以包含約0. 1-1. 0重量％的磨粒。在一個示例性的實施方式中，所述磨粒的平均粒度約為10-500nm，例如約50-200nm， 或者約50-100nm。一種示例性的磨粒可以是金剛石顆?；蛲糠蟮慕饎偸w粒，例如涂敷了無定形碳的金剛石顆粒。另一種示例性的磨粒包括陶瓷，例如碳化物、氮化物或氧化物陶瓷。示例性的碳化物陶瓷包括碳化硅或碳化硼。一種示例性的氮化物包括氮化硅、氮化硼， 一種示例性的氧化物包括氧化鋁、二氧化硅、氧化鈰或氧化鋯。在一些實施方式中，所述磨粒(例如金剛石顆粒)減小了電導率。因此，所述磨粒的量會影響含有特定量路易斯活性組分的流體的電導率。所述加工流體是基于烴類的，通常水含量不大于約10. 0重量％。例如，所述加工流體中的水含量可不大于約5. 5重量％，例如不大于約1. 0重量％。加工流體的示例性實施方式中水含量約小于1.0重量％，例如不大于約0.5重量％。在特定的實施方式中，所述加工流體除了由于加工流體或其組分通過吸潮而吸收的水分以外，不含添加的水。在一個示例性的實施方式中，所述加工流體包含至少約50重量％的脂族烴類組分，約1. 0-25. 0重量％的極性組分(例如二醇醚)，約0. 005-5. 0重量％的離子聚合物組分，以及約0. 1-5. 0重量％的羧酸官能組分。所述示例性的加工流體可以包含不大于約1. 0 重量％的水。另外，示例性的加工流體可包含0. 1重量％至約5. 0重量％的磨粒。在另一個示例性的實施方式中，所述加工流體包含約65-95重量％的脂族烴類， 約1. 0-15. 0重量％的極性組分(例如二醇醚)，約0. 05-5. 0重量％的羧酸官能單體，約 0. 05-5. 0重量％的脂肪酸酰胺，以及約0. 05-5. 0重量％的咪唑啉。示例性的加工流體可包含不大于約10. 0重量％的水，例如不大于約5. 5重量％的水。在另一個示例性的實施方式中，所述加工流體包含約50-99. 9重量％的乙二醇， 約0. 01-5. 0重量％的羧酸官能組分，約0. 01-5. 0重量％的三唑組分，約0. 01-10. 0重量％ 的胺官能組分，以及約0. 1-5. 0重量％的極性組分。所述加工流體通常具有靜電耗散性質(zhì)。在一個示例性的實施方式中，所述加工流體的電導率至少約為10pS/m，例如至少約100pS/m或至少約1. OpS/m。在一個特殊的實施方式中，所述加工流體的電導率至少約為lOnS/m。例如，所述加工流體的電導率可至少約為 50nS/m，例如至少約為100nS/m。另外，所述加工流體可具有能用于精研、切削、拋光或清潔之類的工藝的加工流體的性質(zhì)，例如粘性、表面張力、潤滑性和比重。在一個示例性的實施方式中，所述加工流體的坎農(nóng)(Cannon)粘度約為0. 5_5cp。例如，所述加工流體的坎農(nóng)粘度可約為1. 0-1. 6cp。在另一個示例性的實施方式中，所述加工流體的表面張力約為10-35. Odyne/cm。例如，所述加工流體的表面張力可約為20. 0-25. Odyne/cm。通常所述加工流體的比重約為0. 7-0. 9。例如，所述加工流體的比重可約為0. 75-0. 77。所述流體可用于例如機械加工制造制品的方法中。例如，所述流體可用于機械加工工藝，例如用于研磨工藝、精研工藝或拋光工藝，或者可用于清潔工藝。在一個例子中，所述機械加工工藝包括拋光。在一個具體的例子中，所述機械加工工藝包括精研。在一個示例性的實施方式中，所述方法包括使得加工工具的加工表面與制品表面的一部分區(qū)域相接觸。例如，加工工具可以對將要形成制造部件(例如電子部件)的制品的表面上的一定區(qū)域施加壓力。在一個具體的例子中，所述加工工具是精研工具。在加工工具與所述制品的表面接觸、或者與制品表面緊密相鄰的時候，向所述區(qū)域提供所述加工流體。在一個示例性的實施方式中，所述加工流體的比重約為0. 7-0. 9，電導率至少約為 lOnS/m。在固定式研磨工藝中，加工工具可包括固定的研磨表面。在自由式研磨工藝中，所述加工流體可包含磨粒，例如金剛石顆粒。所述方法還可包括對所述加工的制品的表面進行清潔。例如，可以用不含磨粒的第二流體或加工流體除去殘留的切屑、碎屑和磨粒。所揭示的具有電導性的流體的具體實施方式
可有效地用來防止在加工過程中在部件內(nèi)累積靜電。另外，所揭示的流體的具體實施方式
具有用于例如精研和研磨的工藝中的流體所需的物理性質(zhì)，例如粘度和比重，以便在這些工藝中提供改進的去除速率。因此， 使用所述加工流體的具體實施方式
的工藝制得的部件表現(xiàn)出提高的表面性質(zhì)、減少的腐蝕、提高的電學性能穩(wěn)定性、以及所需的電學響應。
實施例為示例性的加工流體組合物提供了預期的電導率數(shù)值。這些電導率數(shù)值可以例如在標準的條件(即25°C )下，使用電導計(例如Emcee EleCtr0niCS1152型電導計或 0riOnl62A型電導計)進行測定。在一些例子中，將加工流體電導率與缺少路易斯活性組分的組合物相比較。實施例I在一個例子中，制備了包含以下組分的加工流體89. 95重量％的非極性脂族烴類組分，9.0重量％的二丙二醇單丁基醚(二醇醚DPMB)，0.05重量^WOctastat 4065，以及1. 0重量％的9-十八烷酸。所述示例性的加工流體在20°C下的比重為0. 767，在20°C下的表面張力為23. 3dyne/cm，在25°C下的坎農(nóng)粘度為1. 38cP。所述加工流體中的水含量不
大于0.05重量％。所述示例性的加工流體的電導率為118nS/m士 16nS/m。相反地，包含90. 0重量％ 非極性脂族烴類和10. 0重量％二醇醚DPMB的組合物的電導率小于電導計的靈敏度。
實施例2在另一個例子中，制備了包含以下組分的加工流體75. 9重量％的非極性脂族烴類組分，12. 2重量％的乙二醇單己基醚(乙二醇EH)，2. 6重量％的辛酸，0. 5重量％的大豆酰胺，3. 8重量％的1-羥基乙基-2-辛基咪唑啉和5. 0重量％的水。所述示例性的加工流體的電導率為2. 44X 106nS/m。相反，包含86. 2重量％的脂族烴類和13. 8重量％的二醇醚EH的組合物的電導率小于電導計的靈敏度。實施例3在另一個例子中，制備了包含以下組分的加工流體96. 7重量％的乙二醇，0. 1重量％的苯甲酸，0. 1重量％的苯并三唑，3. 0重量％的三乙醇胺，以及0. 1重量％的乙氧基化的辛基苯酚。所述示例性的加工流體的電導率為3. 616X 103μ S/m。實施例4在另一個實施例中，制備了包含99. 201重量％的實施例1的加工流體以及0. 799 重量％的0. 12微米的熱處理過的金剛石顆粒的加工流體。在制備過程中，對所述混合物進行超聲處理，混合30分鐘。所述示例性的加工流體在20°C的比重為0. 767，在20°C的表面張力為23. 3dyne/cm，在25°C的坎農(nóng)粘度為1. 38cP。該示例性的加工流體的水含量不大于 0. 1 重量％，電導率為 60nS/m士 10nS/m。實施例5在另一個實施例中，制備了包含99. 085重量％的實施例1的加工流體以及0. 915 重量％的0. 05微米的熱處理過的金剛石顆粒的加工流體。在制備過程中，對所述混合物進行30分鐘的超聲處理和混合。所述示例性的加工流體在20°C的比重為0. 767，在20°C的表面張力為23. 3dyne/cm，在25°C下的坎農(nóng)粘度為1. 38cP。所述示例性的加工流體的水含量不大于0. 1重量％，電導率為65nS/m士 10nS/m。盡管已經(jīng)在具體實施方式
中說明和描述了本發(fā)明，但是本發(fā)明并不限于此，因為可以在不背離本發(fā)明范圍的前提下進行各種改良和替代。例如，可以提供另外的或等效的替代形式，可以使用另外的或等效的制造步驟。因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以僅通過日常性的試驗即可得到本發(fā)明的進一步的改良和等效形式，所有這些改良和等效形式都包括在以下權(quán)利要求限定的本發(fā)明范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于機械加工的加工流體，所述加工流體包含至少50重量％的平均鏈長為 8-16個碳的脂族烴類，以及約0. 005-10. 0重量％的路易斯活性組分，以及不超過1. 0重量％的水，所述路易斯酸活性組分包括路易斯酸和路易斯堿，所述加工流體具有至少IOnS/ m的電導率和在25°C約0. 5-5cp的坎農(nóng)粘度。
2.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述加工流體在20°C的比重是 0. 7-0. 9。
3.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述路易斯酸和路易斯堿分別是具有羧酸官能團的有機組分和具有胺官能團的有機組分。
4.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述路易斯酸和路易斯堿是聚合物的混合物，所述聚合物分別是一種具有路易斯酸官能團的聚合物和另一種具有路易斯堿官能團的聚合物。
5.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述路易斯酸和路易斯堿分別是包括路易斯酸官能團的有機組分和具有路易斯堿官能團的聚合物。
6.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述路易斯酸和路易斯堿分別是由路易斯酸組分和路易斯堿組分形成的有機鹽。
7.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述脂族烴類約占所述加工流體的 50. 0-99. 95 重量 ％。
8.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述路易斯活性組分約占所述加工流體的0. 01-5. 0重量％。
9.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述路易斯活性組分包含選自以下的官能團羧酸，胺，咪唑，咪唑啉，磷酸類基團，膦酸類基團，硫酸類基團，磺酸類基團，聚烯烴和它們的鹽。
10.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述加工流體包括不超過約0.5重量％的水。
11.如權(quán)利要求10所述的加工流體，其特征在于，所述加工流體不包括添加的水。
12.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述加工流體還包含磨粒。
13.如權(quán)利要求12所述的加工流體，其特征在于，所述磨粒約占所述加工流體的 0. 01-5. 0 重量 ％。
14.如權(quán)利要求7所述的加工流體，其特征在于，所述磨粒包括金剛石顆粒。
15.如權(quán)利要求14所述的加工流體，其特征在于，所述金剛石顆粒包括涂敷的金剛石顆粒。
16.如權(quán)利要求12所述的加工流體，其特征在于，所述磨粒的平均粒度約為5-200納米。
17.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述電導率至少約為50nS/m。
18.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述加工流體在20°C具有 10-35. Odynes/cm 的表面張力。
19.如權(quán)利要求1所述的加工流體，其特征在于，所述加工流體還包含約0.1-50. 0重量％的極性有機組分。
20.一種加工流體，所述加工流體包含至少約50重量％的脂族烴類組分，0. 005-5. 0重量％離子聚合物組分和0. 1-5. 0重量％羧酸官能組分，所述加工流體具有至少lOnS/m的電導率、在200C 10-35. Odynes/cm的表面張力、在20°C 0. 7-0. 9的比重和在25°C約0. 5_5cp 的坎農(nóng)粘度。
21.如權(quán)利要求20所述的加工流體，其特征在于，所述加工流體包括不超過1.O重量％ 的水。
22.如權(quán)利要求20所述的加工流體，其特征在于，所述加工流體還包括磨粒。
23.—種對制品進行機械加工的方法，所述方法包括 使得加工工具的加工表面與制品表面上的區(qū)域接觸；在所述制品的表面與所述加工工具的加工表面接觸的同時，向所述區(qū)域提供加工流體，所述加工流體包括至少50重量％的脂肪烴類和不超過1. 0重量％的水，所述加工流體的比重在20°C為0. 7-0. 9，電導率至少為10nS/m ； 對所述加工過的制品的表面進行清潔。
24.如權(quán)利要求23所述的方法，其特征在于，所述加工工具是固定的研磨工具。
25.如權(quán)利要求23所述的方法，其特征在于，所述加工流體包括自由磨粒。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種加工流體，其包含平均鏈長為8-16個碳的脂族烴組分，以及約0.0001-50.0重量％的路易斯活性組分。
文檔編號B24B37/00GK102295888SQ201110128639
公開日2011年12月28日 申請日期2006年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月9日
發(fā)明者D·E·沃德, J·A·舍洛克 申請人:圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司