專(zhuān)利名稱(chēng)：真空設(shè)備的感測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空設(shè)備的感測(cè)裝置，特別是指一種用以檢測(cè)所移送入的一塊基板是否位在加工位置的真空設(shè)備的感測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
一般的真空濺鍍?cè)O(shè)備在運(yùn)作時(shí)，是將一基板水平式地移載入一真空腔體內(nèi)，同時(shí)會(huì)通過(guò)一設(shè)置在該真空腔體內(nèi)的檢測(cè)裝置，來(lái)測(cè)知該基板是否位在一鍍膜加工位置，例如， 在該基板移至該鍍膜加工位置時(shí)，其會(huì)擋阻在該檢測(cè)裝置的一發(fā)射器與一接收器間，造成該發(fā)射器所發(fā)射出的紅外線(xiàn)因受到該基板阻擋，而無(wú)法傳遞至該接收器，這時(shí)候，高電壓便會(huì)施加在陰、陽(yáng)電極間以驅(qū)動(dòng)輝光放電效應(yīng)，將該真空腔體中的放電氣體(如氬氣)高溫離子化成等離子體，等離子體中的離子會(huì)轟擊靶材，使得靶材材料的原子或分子濺飛出，并沉積、附著于該基板表面上以形成薄膜。而在完成上述的鍍膜加工后，該基板會(huì)繼續(xù)移動(dòng)，以移出該鍍膜加工位置并進(jìn)入下一工序，隨著該基板移出該發(fā)射器與該接收器間，該發(fā)射器所發(fā)射出的紅外線(xiàn)便能毫無(wú)阻礙地傳遞至該接收器，這時(shí)候，便得以立刻停止高電壓的施加與所驅(qū)動(dòng)的輝光放電作用。然而，由于上述該檢測(cè)裝置的發(fā)射器與接收器皆是設(shè)置在該真空腔體中，不但會(huì)受到充斥在該真空腔體中的游離氣體或靶材分子所污染，且存有不耐高溫而容易故障、毀壞的虞慮，由于難以長(zhǎng)期維持良好的檢測(cè)效率，相對(duì)必須增加定期予以清理、檢修等作業(yè)的頻率，造成維護(hù)成本高。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種維護(hù)成本較低的真空設(shè)備的感測(cè)裝置。本實(shí)用新型的真空設(shè)備的感測(cè)裝置，其設(shè)置在該真空設(shè)備的一個(gè)腔體上，該腔體容置一塊基板，并具有一個(gè)第一腔壁，以及一個(gè)相反于該第一腔壁的第二腔壁；該真空設(shè)備的感測(cè)裝置包含一個(gè)設(shè)置在該第一腔壁的一個(gè)外壁面上的接收器，以及一個(gè)設(shè)置在該第二腔壁的一個(gè)外壁面上的發(fā)射器；該發(fā)射器發(fā)出至少一束直線(xiàn)前進(jìn)至該接收器，或以?shī)A角小于90度的方式入射該基板的一個(gè)板面且因而受阻無(wú)法直進(jìn)至該接收器的光線(xiàn)。本實(shí)用新型所述的真空設(shè)備的感測(cè)裝置，該光線(xiàn)與該基板的該板面的夾角是介于 3° 4°間。本實(shí)用新型所述的真空設(shè)備的感測(cè)裝置，該腔體的第二腔壁具有一個(gè)入射開(kāi)孔， 該發(fā)射器具有一個(gè)設(shè)置在該腔體的第二腔壁且環(huán)繞該入射開(kāi)孔的固定環(huán)座、一個(gè)貼抵該入射開(kāi)孔的一端且嵌置在該固定環(huán)座中的入射窗玻璃、一個(gè)設(shè)置在該固定環(huán)座的遠(yuǎn)離該腔體的一個(gè)端面且與該入射窗玻璃相間隔的定位座，以及至少一個(gè)設(shè)置在該定位座上的發(fā)射件，該固定環(huán)座、該入射窗玻璃與該定位座相配合界定出一個(gè)入射空間，該發(fā)射件能發(fā)射出該光線(xiàn)，該光線(xiàn)能依序穿透經(jīng)該入射空間、該入射窗玻璃、該入射開(kāi)孔而進(jìn)入到該腔體內(nèi)。本實(shí)用新型所述的真空設(shè)備的感測(cè)裝置，該腔體的第一腔壁具有一個(gè)出射開(kāi)孔，
3該接收器具有一個(gè)設(shè)置在該腔體的第一腔壁且環(huán)繞該出射開(kāi)孔的定位環(huán)座、一個(gè)貼抵該出射開(kāi)孔的一端且嵌置在該定位環(huán)座中的出射窗玻璃、一個(gè)設(shè)置在該定位環(huán)座的遠(yuǎn)離該腔體的一個(gè)端面且與該出射窗玻璃相間隔的固定座，以及至少一個(gè)設(shè)置在該固定座上的接收件，該定位環(huán)座、該出射窗玻璃與該固定座相配合界定出一個(gè)出射空間，進(jìn)入該腔體中的該光線(xiàn)依序穿透經(jīng)該出射開(kāi)孔、該出射窗玻璃、該出射空間以抵達(dá)該接收件。本實(shí)用新型的有益效果在于，利用該接收器與該發(fā)射器分別設(shè)置在該腔體的第一腔壁的外壁面、第二腔壁的外壁面上，配合上該接收器、該基板與該發(fā)射器間所構(gòu)成的特殊相對(duì)位置關(guān)系，從而讓整體的維護(hù)成本低，且能長(zhǎng)期維持精確的感測(cè)效率。

圖1是一側(cè)剖示意圖，說(shuō)明本實(shí)用新型真空設(shè)備的感測(cè)裝置的一個(gè)較佳實(shí)施例， 在一塊基板尚未移至一個(gè)加工位置時(shí)的動(dòng)作狀態(tài)；圖2是一側(cè)視圖，說(shuō)明該較佳實(shí)施例的一個(gè)接收器的外部結(jié)構(gòu)；圖3是取自于圖1的一局部放大圖，說(shuō)明該較佳實(shí)施例的該接收器的細(xì)部構(gòu)造；圖4是取自于圖1的一局部放大圖，說(shuō)明該較佳實(shí)施例的一個(gè)發(fā)射器的細(xì)部構(gòu)造；圖5是一側(cè)剖示意圖，說(shuō)明該較佳實(shí)施例在該基板移至該加工位置時(shí)的動(dòng)作狀態(tài)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。如圖1與圖2所示，本實(shí)用新型真空設(shè)備的感測(cè)裝置的一個(gè)較佳實(shí)施例，其設(shè)置在該真空設(shè)備的一個(gè)呈扁四方體狀的腔體1上，用來(lái)檢測(cè)一塊平放地移送入該腔體1內(nèi)的基板3是否位在一個(gè)加工位置，以能控制鍍膜加工工序的啟動(dòng)與結(jié)束時(shí)機(jī)。當(dāng)然，該真空設(shè)備的感測(cè)裝置也可以用來(lái)控制其他工序(如鍍膜前的預(yù)熱、鍍膜后的加熱表面改質(zhì)…等)的作業(yè)時(shí)機(jī)，所以其適用性并不受本實(shí)施例所限制。其中，該腔體1具有一個(gè)對(duì)應(yīng)該基板3的平行其移送方向的一側(cè)的第一腔壁11， 以及一個(gè)對(duì)應(yīng)該基板3的平行其移送方向的相反另一側(cè)且面對(duì)該第一腔壁11的第二腔壁 12 ；該第一腔壁11具有一個(gè)出射開(kāi)孔13，該第二腔壁12具有一個(gè)入射開(kāi)孔14，特別是，該出射開(kāi)孔13的高度是相對(duì)低于該基板3，而該入射開(kāi)孔14的高度是相對(duì)高于該基板3。該真空設(shè)備的感測(cè)裝置包含一個(gè)設(shè)置在該腔體1的第一腔壁11的一個(gè)外壁面上且位在該出射開(kāi)孔13處的接收器2，以及一個(gè)設(shè)置在該腔體1的第二腔壁12的一個(gè)外壁面上且位在該入射開(kāi)孔14處的發(fā)射器4。所以，該發(fā)射器4與該接收器2的設(shè)置高度也會(huì)不同，該發(fā)射器4的設(shè)置高度是相對(duì)高于該基板3，而該接收器2的設(shè)置高度是相對(duì)低于該基板3。如圖2與圖3所示，該接收器2具有一個(gè)鎖固設(shè)置在該腔體1的第一腔壁11上且環(huán)繞該出射開(kāi)孔13的定位環(huán)座21、一個(gè)貼抵該出射開(kāi)孔13的一端且嵌置在該定位環(huán)座21 中的出射窗玻璃22、一個(gè)鎖固設(shè)置在該定位環(huán)座21的遠(yuǎn)離該腔體1的一個(gè)端面且與該出射窗玻璃22相間隔的固定座23，以及二個(gè)等高地間隔設(shè)置在該固定座23上的接收件24。其中，該定位環(huán)座21、該出射窗玻璃22與該固定座23相配合界定出一個(gè)出射空間25 ；特別是，所述二個(gè)接收件M是呈現(xiàn)左下右上的傾斜態(tài)樣，每一個(gè)接收件M的上揚(yáng)且朝向右的一個(gè)接收端是位在該出射空間25中，另外，所述接收件M的數(shù)量也可以是一個(gè)、三個(gè)…。如圖4所示，該發(fā)射器4的結(jié)構(gòu)基本上是與該接收器2的結(jié)構(gòu)相同，該發(fā)射器4具有一個(gè)鎖固設(shè)置在該腔體1的第二腔壁12且環(huán)繞該入射開(kāi)孔14的固定環(huán)座41、一個(gè)貼抵該入射開(kāi)孔14的一端且嵌置在該固定環(huán)座41中的入射窗玻璃42、一個(gè)鎖固設(shè)置在該固定環(huán)座41的遠(yuǎn)離該腔體1的一個(gè)端面且與該入射窗玻璃42相間隔的定位座43，以及二個(gè)等高地間隔設(shè)置在該定位座43上的發(fā)射件44(圖中只顯示出其中一個(gè))。其中，該固定環(huán)座 41、該入射窗玻璃42與該定位座43相配合界定出一個(gè)入射空間45 ；特別是，所述二個(gè)發(fā)射件44是呈現(xiàn)左下右上的傾斜態(tài)樣，每一個(gè)發(fā)射件44的下垂且朝向左的一個(gè)發(fā)射端是位在該入射空間45中，另外，所述發(fā)射件44的數(shù)量也可以是一個(gè)、三個(gè)…。本實(shí)用新型主要是，如圖1、圖3與圖4所示，當(dāng)該基板3 (以假想線(xiàn)表示)尚未移送至該加工位置或已遠(yuǎn)離該加工位置時(shí)，該發(fā)射器4的所述二個(gè)發(fā)射件44所分別朝左下方斜射出的一束光線(xiàn)(本實(shí)施例為紅外線(xiàn)，其行進(jìn)方向與行程如實(shí)線(xiàn)箭頭所示)，會(huì)依序穿透經(jīng)該入射空間45、該入射窗玻璃42、該入射開(kāi)孔14而進(jìn)入到該腔體1內(nèi)部，并繼續(xù)直線(xiàn)前進(jìn)，最后依序穿透經(jīng)該出射開(kāi)孔13、該出射窗玻璃22、該出射空間25而分別抵達(dá)所述二個(gè)接收件M以被接收。相反地，如圖5所示，當(dāng)該基板3已移送至該加工位置，并橫隔在該發(fā)射器4與該接收器2間時(shí)，所述二個(gè)發(fā)射件44所發(fā)射出的二束光線(xiàn)(其行進(jìn)方向與行程如實(shí)線(xiàn)箭頭所示)會(huì)以?shī)A角θ小于90度的方式，入射該基板3的面向上的一個(gè)板面，由于所述二束光線(xiàn)會(huì)被該基板3所阻擋，所以無(wú)法繼續(xù)直進(jìn)至所述二個(gè)接收器2。其中，所述夾角θ指的是所述光線(xiàn)與該基板3的該板面的夾角，在本實(shí)施例，所述夾角θ是介于3° 4°間，其中又以3. 12°為佳。更具體而論，當(dāng)該基板3移至該加工位置時(shí)，從該發(fā)射器4斜向下發(fā)射出的光線(xiàn)， 便會(huì)受到該基板3阻隔而無(wú)法繼續(xù)直進(jìn)至該接收器2，一旦該接收器2未接收到光線(xiàn)，鍍膜加工作業(yè)便會(huì)啟動(dòng)，以在該基板3的該板面上沉積成形出薄膜；而當(dāng)鍍膜加工作業(yè)完成后， 該基板3便會(huì)繼續(xù)移動(dòng)往下一個(gè)工序，只要該基板3移開(kāi)該加工位置，從該發(fā)射器4發(fā)射出的光線(xiàn)便能順暢無(wú)阻地直線(xiàn)前進(jìn)至該接收器2，從而使鍍膜加工作業(yè)隨即停止。所以，利用該接收器2與該發(fā)射器4是分別設(shè)置在該腔體1的第一腔壁11的外壁面、第二腔壁12的外壁面的方式，配合上該接收器2、該基板3 (位在該加工位置時(shí))與該發(fā)射器4三者所構(gòu)成獨(dú)特的相對(duì)位置關(guān)系，使得該發(fā)射器4與該接收器2能夠免于高溫刺激與積塵污染，以長(zhǎng)時(shí)間維持精確的感測(cè)效率，并減少清理、維修的頻率，有效降低維護(hù)成本， 改善一般真空設(shè)備的檢測(cè)裝置是設(shè)置在腔體1中所造成維修成本較高的問(wèn)題。另要說(shuō)明的是，在上述的實(shí)施例中，該發(fā)射器4與該接收器2是相對(duì)該基板3呈右上左下關(guān)系(以圖1的方向來(lái)說(shuō)明，以下同)，當(dāng)然，該發(fā)射器4與該接收器2的設(shè)置位置也可以是相對(duì)該基板3呈左下右上、左上右下、右下左上等態(tài)樣。
權(quán)利要求1.一種真空設(shè)備的感測(cè)裝置，其設(shè)置在該真空設(shè)備的一個(gè)腔體上，該腔體容置一塊基板，并具有一個(gè)第一腔壁，以及一個(gè)相反于該第一腔壁的第二腔壁，該真空設(shè)備的感測(cè)裝置包含一個(gè)接收器，以及一個(gè)發(fā)射器；其特征在于該接收器是設(shè)置在該第一腔壁的一個(gè)外壁面上，該發(fā)射器是設(shè)置在該第二腔壁的一個(gè)外壁面上，且發(fā)出至少一束直線(xiàn)前進(jìn)至該接收器，或以?shī)A角小于90度的方式入射該基板的一個(gè)板面且因而受阻無(wú)法直進(jìn)至該接收器的光線(xiàn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的感測(cè)裝置，其特征在于該光線(xiàn)與該基板的該板面的夾角是介于3° 4°間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空設(shè)備的感測(cè)裝置，其特征在于該腔體的第二腔壁具有一個(gè)入射開(kāi)孔，該發(fā)射器具有一個(gè)設(shè)置在該腔體的第二腔壁且環(huán)繞該入射開(kāi)孔的固定環(huán)座、一個(gè)貼抵該入射開(kāi)孔的一端且嵌置在該固定環(huán)座中的入射窗玻璃、一個(gè)設(shè)置在該固定環(huán)座的遠(yuǎn)離該腔體的一個(gè)端面且與該入射窗玻璃相間隔的定位座，以及至少一個(gè)設(shè)置在該定位座上的發(fā)射件，該固定環(huán)座、該入射窗玻璃與該定位座相配合界定出一個(gè)入射空間， 該發(fā)射件發(fā)射出該光線(xiàn)，該光線(xiàn)依序穿透經(jīng)該入射空間、該入射窗玻璃、該入射開(kāi)孔而進(jìn)入到該腔體內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空設(shè)備的感測(cè)裝置，其特征在于該腔體的第一腔壁具有一個(gè)出射開(kāi)孔，該接收器具有一個(gè)設(shè)置在該腔體的第一腔壁且環(huán)繞該出射開(kāi)孔的定位環(huán)座、一個(gè)貼抵該出射開(kāi)孔的一端且嵌置在該定位環(huán)座中的出射窗玻璃、一個(gè)設(shè)置在該定位環(huán)座的遠(yuǎn)離該腔體的一個(gè)端面且與該出射窗玻璃相間隔的固定座，以及至少一個(gè)設(shè)置在該固定座上的接收件，該定位環(huán)座、該出射窗玻璃與該固定座相配合界定出一個(gè)出射空間，進(jìn)入該腔體中的該光線(xiàn)依序穿透經(jīng)該出射開(kāi)孔、該出射窗玻璃、該出射空間以抵達(dá)該接收件。
專(zhuān)利摘要一種真空設(shè)備的感測(cè)裝置，包含一個(gè)設(shè)置在一個(gè)腔體的一個(gè)第一腔壁的一個(gè)外壁面上的接收器，以及一個(gè)設(shè)置在該腔體的一個(gè)第二腔壁的一個(gè)外壁面上的發(fā)射器；該發(fā)射器能發(fā)出至少一束能直線(xiàn)前進(jìn)至該接收器，或以?shī)A角小于90度的方式入射該基板的一個(gè)板面且因而受阻無(wú)法直進(jìn)至該接收器的光線(xiàn)。本實(shí)用新型主要是利用該接收器與該發(fā)射器分別設(shè)置在該第一腔壁的外壁面與該第二腔壁的外壁面上，配合該接收器、該基板與該發(fā)射器間所構(gòu)成的特殊相對(duì)位置關(guān)系，讓整體的維護(hù)成本低，且能長(zhǎng)期維持精確的感測(cè)效率。
文檔編號(hào)C23C14/54GK202126508SQ20112021861
公開(kāi)日2012年1月25日 申請(qǐng)日期2011年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月23日
發(fā)明者張延任, 謝昆山, 鄭博仁, 黃泳釗 申請(qǐng)人:北儒精密股份有限公司