專利名稱：真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，特別是指一種用以載送一塊基板的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置。
背景技術(shù)：
當一個真空濺鍍設備在運作時，一塊基板會被載送至一個腔體中，以依序進行如加熱、鍍膜、…、加熱改質(zhì)等各項加工處理，于后再被載送出該腔體外。有關(guān)該基板的載送手段，常見是以多根轉(zhuǎn)軸分別對稱設置在一個腔體的相反二個側(cè)壁上以排成二個轉(zhuǎn)軸列，通過所述二個轉(zhuǎn)軸列分別承載該基板的相反二個側(cè)緣的方式， 來達到將該基板滾送進該腔體中，或滾送出該腔體外的作用。不過，由于所述二個轉(zhuǎn)軸列間的間距是固定不變的，所述二個轉(zhuǎn)軸列只能用來載送特定尺寸的基板，而且，所述二個轉(zhuǎn)軸列相對于該腔體的位置關(guān)系是固定的，無法進行伸縮移動，在該基板為了因應其他加工作業(yè)需求，而必須暫時脫離所述二個轉(zhuǎn)軸列并被其他載具移送至該腔體內(nèi)部的他處時，所述二個轉(zhuǎn)軸列便可能對該基板的移動造成不便，如此勢必影響到整個濺鍍工序的成本與效率。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種能相對一個腔體進行軸向位移調(diào)整，以增進作業(yè)彈性度的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置。本實用新型的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，其設置在一個容置一塊基板的腔體上，并包含一個貫穿設置在該腔體的一個腔壁上且具有一根中心軸的轉(zhuǎn)軸單元、一個設置在該腔體外且驅(qū)使該中心軸相對該腔體進行轉(zhuǎn)動的驅(qū)轉(zhuǎn)單元，以及一個設置在該腔體外且驅(qū)使該中心軸相對該腔體進行軸向位移的軸移單元，該中心軸具有一個位在該腔體中且用以承載該基板的第一端部，以及一個相反于該第一端部且位在該腔體外并能與該驅(qū)轉(zhuǎn)單元連結(jié)的第二端部。本實用新型所述的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，該軸移單元具有一個進行張合動作以夾持或松放該中心軸的第二端部的夾爪件，以及一個連結(jié)該夾爪件且驅(qū)使其帶動該中心軸進行軸向位移的動力件。本實用新型所述的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，該軸移單元還具有一個連結(jié)該夾爪件與該動力件的連接板，該動力件具有一個缸體，以及一個平行該中心軸且可伸縮動作地插伸在該缸體中的桿體，該桿體的凸出該缸體的一端連接該連接板。本實用新型所述的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，該轉(zhuǎn)軸單元的中心軸的第二端部具有一個供該軸移單元的夾爪件扣入的凹槽。本實用新型所述的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，該轉(zhuǎn)軸單元還包括一個套設并固定在該中心軸的第一端部的承載輪本實用新型的有益效果在于，通過該軸移單元驅(qū)使該中心軸相對該腔壁進行軸向位移的方式，可增進該真空設備的作業(yè)彈性度與適用性。
圖1是一側(cè)剖示意圖，說明本實用新型真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置的一個較佳實施例， 其安裝在一個腔體的一個腔壁上；圖2是取自于圖1的一局部放大圖；圖3是一俯視圖，說明該較佳實施例的一個夾爪件松放一根中心軸的一個第二端部，且該中心軸進行轉(zhuǎn)動；圖4是一俯視圖，說明該較佳實施例的該夾爪件徑向夾持該中心軸的第二端部， 以帶動該中心軸進行軸向位移；以及圖5是一側(cè)視圖，說明該較佳實施例的一個動力件驅(qū)使該夾爪件帶動該中心軸進行軸向位移。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。如圖1至圖3所示，本實用新型真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置的該較佳實施例，其貫穿設置在該真空設備的一個腔體1的一個腔壁11上，用以支承一塊平放式的基板3的一側(cè)并施予滾送作用。所以，實際在進行該基板3的載送時，必須通過多個對稱設置在該腔體1的相反二個腔壁11上的本實用新型真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，才能使該基板3的相反二側(cè)受到均衡支承，并平穩(wěn)地予以載送，圖1是顯示出相對稱的二個本實用新型分別支承該基板3的相反二側(cè)的狀態(tài)。該真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置包含一個貫穿設置在該腔體1的該腔壁11上的轉(zhuǎn)軸單元 2、一個設置在該腔壁11外的驅(qū)轉(zhuǎn)單元4，以及一個設置在該腔壁11外的軸移單元5。該轉(zhuǎn)軸單元2包括一個設置在該腔壁11上的外裝套組21、一根穿伸在該外裝套組 21中且可相對該腔壁11移動的中心軸22，以及一個承載輪23。其中，該外裝套組21是由齒輪、軸承、套筒…等構(gòu)件組成，用以使該中心軸22定位，且可將一道機動力傳遞至該中心軸22以驅(qū)使其進行轉(zhuǎn)動，因該外裝套組21的結(jié)構(gòu)為該實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者所熟知，且非本實用新型的改進技術(shù)特征，于此不予詳述。另外，該中心軸22具有一個位在該腔體1中的第一端部221，以及一個相反于該第一端部221且位在該腔體1外的第二端部222，該第一端部221與該第二端部222皆凸伸出該外裝套組21外，該承載輪23套設并固定在該第一端部221上，且可支承該基板3的該側(cè)，而該第二端部222則具有一個環(huán)圈狀的凹槽223。該驅(qū)轉(zhuǎn)單元4主要是由一個馬達41與一條傳動皮帶42組成，該傳動皮帶42可能將該馬達41所輸出的一道機動力傳遞至該轉(zhuǎn)軸單元2的外裝套組21，該外裝套組21再將該機動力傳遞至該中心軸22，該中心軸22便得以相對該腔壁11進行轉(zhuǎn)動，并帶動該承載輪 23轉(zhuǎn)動，以滾送該基板3。有關(guān)該驅(qū)轉(zhuǎn)單元4的細部結(jié)構(gòu)與動作機制，同樣是該實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者所熟知，不再詳述。該軸移單元5具有一個進行張合動作以徑向夾持或松放該中心軸22的第二端部 222的夾爪件51、一個能驅(qū)使該夾爪件51帶動該中心軸22進行軸向位移的動力件52，以及一個連結(jié)該夾爪件51與該動力件52的連接板53。其中，該夾爪件51的爪端部位可扣入該第二端部222的凹槽223中，在本實施例，該夾爪件51是一種氣動夾爪，但并不限于此；該動力件52具有一個平放式的缸體521，以及一根平行該中心軸22且可伸縮動作地插伸在該缸體521中的桿體522，該桿體522的凸出該缸體521的一端連接該連接板53，在本實施例，該動力件52是一個氣壓缸，但并不限于此。具體而言，如圖2與圖3所示，在載送該基板3時，該驅(qū)轉(zhuǎn)單元4會帶動該中心軸 22與該承載輪23同步同向轉(zhuǎn)動，以達到滾送該基板3的作用，在這個時候，必須控制該夾爪件51外張以松放該中心軸22的第二端部222，以免該夾爪件51與該中心軸22間產(chǎn)生磨擦作用，影響到該中心軸22的轉(zhuǎn)動順暢度。如圖4與圖5所示，在需停止載送該基板3，并使該承載輪23左移(是以圖中方向來說明，以下同)以脫離該基板3時，則控制該驅(qū)轉(zhuǎn)單元4 (見圖2)止動，讓該中心軸22 與該承載輪23停止轉(zhuǎn)動，另一方面，控制該夾爪件51內(nèi)夾以徑向夾持住該中心軸22的第二端部222，并控制該動力件52的桿體522朝左凸伸，以帶動該連接板53與該夾爪件51朝左移動，便得以迫使該中心軸22相對該腔體1 (見圖幻朝左軸向位移約30mm 40mm。同理地，此后，就可以控制該動力件52的桿體522朝右縮移入該缸體521中，以驅(qū)使該夾爪件 51帶動該中心軸22朝右軸向位移并復原呈圖2狀態(tài)，并讓該承載輪23得以重新支承住該基板3。因此，以分別設置在該腔體1的相反二個側(cè)壁且相對稱的二個本實用新型的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置來說，通過每一根中心軸22能相對該腔體1進行轉(zhuǎn)動或軸向位移的結(jié)構(gòu)， 所述二根中心軸22可帶動所述二個承載輪23轉(zhuǎn)動以對該基板3進行滾送，所述二根中心軸22也可帶動所述二根承載輪23相向或反向移動，當所述二個承載輪23反向移動時，是讓所述二個承載輪23的間距擴大，以能載送更大尺寸的基板3，或者讓所述二個承載輪23 同時脫離原有的基板3，相反地，當所述二個承載輪23相向移動時，則是讓所述二個承載輪 23的間距縮小，以能載送較小尺寸的基板3，或者是讓所述二個承載輪23重新支承住原有的基板3，借以，可讓該真空設備適用以對不同尺寸的基板3進行加工，也有助于提升將位在該腔體1中的基板3移動至不同加工作業(yè)處的順暢度，從而能大為增進該真空設備于作業(yè)上的彈性度與適用性，并對其成本與效率產(chǎn)生正面影響。
權(quán)利要求1.一種真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，其設置在一個容置一塊基板的腔體上，并包含一個貫穿設置在該腔體的一個腔壁上的轉(zhuǎn)軸單元，該轉(zhuǎn)軸單元具有一根中心軸；其特征在于該真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置還包含一個設置在該腔體外且驅(qū)使該中心軸相對該腔體進行轉(zhuǎn)動的驅(qū)轉(zhuǎn)單元，以及一個設置在該腔體外且驅(qū)使該中心軸相對該腔體進行軸向位移的軸移單元，該中心軸具有一個位在該腔體中且用以承載該基板的第一端部，以及一個相反于該第一端部且位在該腔體外并與該驅(qū)轉(zhuǎn)單元連結(jié)的第二端部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，其特征在于該軸移單元具有一個進行張合動作以夾持或松放該中心軸的第二端部的夾爪件，以及一個連結(jié)該夾爪件且驅(qū)使其帶動該中心軸進行軸向位移的動力件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，其特征在于該軸移單元還具有一個連結(jié)該夾爪件與該動力件的連接板，該動力件具有一個缸體，以及一個平行該中心軸且可伸縮動作地插伸在該缸體中的桿體，該桿體的凸出該缸體的一端連接該連接板。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，其特征在于該轉(zhuǎn)軸單元的中心軸的第二端部具有一個供該軸移單元的夾爪件扣入的凹槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，其特征在于該轉(zhuǎn)軸單元還包括一個套設并固定在該中心軸的第一端部的承載輪。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，其特征在于該轉(zhuǎn)軸單元還包括一個套設并固定在該中心軸的第一端部的承載輪。
專利摘要一種真空設備的轉(zhuǎn)軸裝置，其設置在一個供容置一塊基板的腔體上，并包含一個貫穿設置在該腔體的一個腔壁上且具有一根中心軸的轉(zhuǎn)軸單元、一個設置在該腔體外且驅(qū)使該中心軸相對該腔體進行轉(zhuǎn)動的驅(qū)轉(zhuǎn)單元，以及一個設置在該腔體外且驅(qū)使該中心軸相對該腔體進行軸向位移的軸移單元，該中心軸具有一個位在該腔體中且用以承載該基板的第一端部，以及一個相反于該第一端部且位在該腔體外并與該驅(qū)轉(zhuǎn)單元連結(jié)的第二端部。本實用新型主要，通過該中心軸相對該腔壁進行轉(zhuǎn)動或軸向位移的方式，可增進該真空設備的作業(yè)彈性度與適用性。
文檔編號C23C14/34GK202144513SQ201120218628
公開日2012年2月15日 申請日期2011年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月23日
發(fā)明者張延任, 謝昆山, 鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司