專利名稱：調(diào)整裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種調(diào)整裝置。
技術(shù)背景 目前，在研磨工藝中，通常采用研磨墊表面調(diào)整裝置對研磨墊的表面進(jìn)行調(diào)整，使其表面保持平整，從而確保晶圓的研磨效果。但是，在使用中發(fā)現(xiàn)如下問題一方面，由于現(xiàn)有的研磨墊表面調(diào)整裝置在運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)候會(huì)造成其內(nèi)壓小外壓大，一旦“O”型密封圈密封不好，在運(yùn)行產(chǎn)品的時(shí)候很容易會(huì)把附著于研磨墊表面調(diào)整裝置殼體上的液體慢慢吸到殼體內(nèi)部。另一方面，由于研磨墊表面調(diào)整裝置在運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)候會(huì)在內(nèi)部產(chǎn)生熱量，導(dǎo)致其內(nèi)部溫度比外部高，這樣就容易在殼體內(nèi)壁上產(chǎn)生冷凝水，一段時(shí)間后，冷凝水會(huì)從殼體內(nèi)壁滴落到殼體內(nèi)部的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和執(zhí)行機(jī)構(gòu)。一旦有液體進(jìn)入研磨墊表面調(diào)整裝置的殼體內(nèi)部，會(huì)使研磨墊表面調(diào)整裝置的執(zhí)行部件即旋轉(zhuǎn)頭的軸承產(chǎn)生銹水，在運(yùn)行產(chǎn)品的時(shí)候這些銹水容易滴落到研磨墊上造成晶圓刮傷，產(chǎn)生報(bào)廢。另外，如果進(jìn)入研磨墊表面調(diào)整裝置內(nèi)部的液體滴落在驅(qū)動(dòng)部件上，會(huì)使驅(qū)動(dòng)部件短路，從而引起整個(gè)機(jī)臺跳電，造成大批量晶圓報(bào)廢。因此，如何提供一種可以防止液體進(jìn)入調(diào)整裝置內(nèi)部并可以降低調(diào)整裝置內(nèi)部溫度的調(diào)整裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種調(diào)整裝置，可以防止液體進(jìn)入調(diào)整裝置內(nèi)部并可以降低調(diào)整裝置的內(nèi)部溫度。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種調(diào)整裝置，包括殼體，所述調(diào)整裝置還包括一用于向所述殼體內(nèi)部充氣的充氣接頭，所述充氣接頭設(shè)置于所述殼體上，所述充氣接頭接一外部氣源。優(yōu)選地，在上述的調(diào)整裝置中，所述殼體的一側(cè)設(shè)有安裝底座，所述充氣接頭安裝于所述安裝底座下方。優(yōu)選地，在上述的調(diào)整裝置中，所述充氣接頭包括一內(nèi)設(shè)沉孔的接頭本體，所述接頭本體的一端設(shè)有用于與安裝底座相連的外凸的圓環(huán)板，所述接頭本體的另一端設(shè)有圓形端板，所述圓形端板上設(shè)有若干供電線穿越和供氣管穿越的通孔。優(yōu)選地，在上述的調(diào)整裝置中，所述圓環(huán)板沿周向均勻設(shè)有若干螺紋孔。優(yōu)選地，在上述的調(diào)整裝置中，所述充氣接頭包括兩個(gè)對稱設(shè)置的接頭半體，所述接頭半體分別沿其縱向設(shè)有半圓形沉孔，所述接頭半體的一端設(shè)有用于與所述安裝底座相連的外凸的半圓環(huán)板，所述接頭半體的另一端設(shè)有半圓形端板，組裝時(shí)所述半圓形端板相互接觸的表面上對應(yīng)設(shè)有若干半圓形凹槽，所述接頭半體的兩側(cè)分別設(shè)有用于相互連接的側(cè)向凸板。[0014]優(yōu) 選地，在上述的調(diào)整裝置中，所述側(cè)向凸板沿所述接頭半體的縱向設(shè)有若干螺紋孔。優(yōu)選地，在上述的調(diào)整裝置中，所述半圓環(huán)板對應(yīng)設(shè)有若干螺紋孔和一半圓形螺紋孔，組裝時(shí)對應(yīng)的半圓環(huán)板組裝成圓環(huán)板，所述半圓形螺紋孔組成的螺紋孔和其他螺紋孔在組裝成的圓環(huán)板上均勻分布。優(yōu)選地，在上述的調(diào)整裝置中，所述安裝底座安裝于機(jī)臺平面上，所述機(jī)臺平面上設(shè)置有用于安裝所述安裝底座的安裝底座孔本實(shí)用新型提供的調(diào)整裝置，設(shè)置有一個(gè)用于向所述殼體內(nèi)部充氣的充氣接頭，所述充氣接頭設(shè)置于所述殼體上，所述充氣接頭接外部氣源，通過該充氣接頭向所述調(diào)整裝置的內(nèi)部充入氣體例如是氮?dú)?N2)，氮?dú)膺M(jìn)入調(diào)整裝置內(nèi)部以后，起到兩個(gè)作用，一是使調(diào)整裝置內(nèi)部氣壓大于外部氣壓，從而，有效防止附著在調(diào)整裝置殼體外表面上的液體被慢慢吸到調(diào)整裝置的內(nèi)部；二是氮?dú)庠谡{(diào)整裝置內(nèi)部流通，可以降低調(diào)整裝置內(nèi)部溫度，從而，有效預(yù)防冷凝水的產(chǎn)生。

本實(shí)用新型的調(diào)整裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖I是本實(shí)用新型一實(shí)施例的調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的充氣接頭的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是圖2的充氣接頭的俯視圖。圖中，100-殼體、200-充氣接頭、210-接頭半體、211-半圓形沉孔、212-半圓環(huán)板、2121-螺紋孔、2122-半圓形螺紋孔、213-半圓形端板、2131-半圓形凹槽、214-側(cè)向凸板、2141-螺紋孔、300-安裝底座、301-螺紋孔、400-機(jī)臺平面。
具體實(shí)施方式
以下將對本實(shí)用新型的調(diào)整裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請參閱圖I和圖2，這種調(diào)整裝置，用于調(diào)整研磨墊的表面(未圖示)，其包括殼體100和一用于向所述殼體100內(nèi)部充氣的充氣接頭200，所述充氣接頭200設(shè)置于所述殼體100上，所述充氣接頭200接一外部氣源(未圖示)。本實(shí)施例的調(diào)整裝置中，所述殼體100的一側(cè)設(shè)有安裝底座300，所述充氣接頭200安裝于所述安裝底座300下方，所述安裝底座300安裝于機(jī)臺平面400上，所述機(jī)臺平面400上設(shè)置有用于安裝所述安裝底座300的安裝底座孔(未圖示)。所述安裝底座300的下部設(shè)有螺紋孔301。所述機(jī)臺平面400可以向所述調(diào)整裝置提供穩(wěn)固的支撐，防止調(diào)整裝置晃動(dòng)，影響調(diào)整效果。請結(jié)合參閱圖、圖2和圖3，較佳地，在本實(shí)施例的調(diào)整裝置中，所述充氣接頭200采用如下分體結(jié)構(gòu)所述充氣接頭200包括兩個(gè)對稱設(shè)置的接頭半體210，所述接頭半體210分別沿其縱向設(shè)有半圓形沉孔211，所述接頭半體210的一端設(shè)有用于與所述安裝底座300相連的外凸的半圓環(huán)板212,所述接頭半體210的另一端設(shè)有半圓形端板213,所述半圓形端板213組裝時(shí)相互接觸的表面上對應(yīng)設(shè)有若干半圓形凹槽2131，所述接頭半體210的兩側(cè)分別設(shè)有用于相互連接的側(cè)向凸板214。當(dāng)兩個(gè)所述接頭半體210組裝在一起時(shí)，上述相對應(yīng)的半圓形凹槽2131會(huì)構(gòu)成若干供電線和氣管通過的通孔。采用兩個(gè)對稱設(shè)置的接頭半體210組裝成充氣接頭200，當(dāng)將該充氣接頭200安裝到該調(diào)整裝置的安裝底座300時(shí)，不需要對該調(diào)整裝置進(jìn)行任何修改，可以實(shí)現(xiàn)直接安裝。當(dāng)然，所述充氣接頭也可以采用如下的一體成型結(jié)構(gòu)，可以參照圖2和圖3，所述充氣接頭包括一內(nèi)設(shè)沉孔的接頭本體，所述接頭本體的一端設(shè)有用于與安裝底座相連的外凸的圓環(huán)板，所述接頭本體的另一端設(shè)有圓形端板，所述圓形端板上設(shè)有若干供電線穿越和供氣管穿越的通孔，所述圓環(huán)板沿周向均勻設(shè)有若干螺紋孔。較佳地，在本實(shí)施例的調(diào)整裝置中，所述側(cè)向凸板214沿接頭半體210的縱向設(shè)有若干螺紋孔2141。通過螺栓組件和所述螺紋孔2141，可以將所述側(cè)向凸板214連接在一起，使得兩個(gè)接頭半體210組裝成一個(gè)充氣接頭200。較佳地，在本實(shí)施例的調(diào)整裝置中，所述半圓環(huán)板212對應(yīng)設(shè)有若干螺紋孔2121和一半圓形螺紋孔2122，組裝時(shí)對應(yīng)的半圓環(huán)板212組裝成圓環(huán)板，所述半圓形螺紋孔2122組成的螺紋孔和其他螺紋孔2121在所述組裝成的圓環(huán)板上均勻分布。通過螺栓組件、所述半圓形螺紋孔2122組成的螺紋孔和其他螺紋孔2121以及設(shè)于安裝底座300上的螺紋孔301，可以將實(shí)現(xiàn)將充氣接頭200安裝于所述安裝底座300下方。本實(shí)用新型提供的調(diào)整裝置，設(shè)置有一個(gè)用于向所述殼體100內(nèi)部充氣的充氣接頭200，所述充氣接頭200設(shè)置于所述殼體100上，所述充氣接頭200接外部氣源，通過該充氣接頭200可以向所述調(diào)整裝置的內(nèi)部充入氣體例如是氮?dú)?N2)，N2進(jìn)入調(diào)整裝置內(nèi)部以后，可以起到兩個(gè)作用，一是使得調(diào)整裝置內(nèi)部氣壓大于外部氣壓，從而，有效防止附著于調(diào)整裝置的殼體100外表面上的液體被慢慢吸到調(diào)整裝置的殼體100內(nèi)部，從而有效保護(hù)調(diào)整裝置的功能部件；二是N2在調(diào)整裝置內(nèi)部流通，可以降低調(diào)整裝置內(nèi)部溫度，預(yù)防冷凝水的產(chǎn)生，避免晶圓受到污染，從而提高產(chǎn)品良率。需要說明的是，所述調(diào)整裝置所具有的功能性部件與現(xiàn)有技術(shù)中的調(diào)整裝置類似，通常具有驅(qū)動(dòng)部件、傳動(dòng)部件和執(zhí)行部件等，由于不是本實(shí)用新型的發(fā)明點(diǎn)，因此，在文中對功能性部件不再進(jìn)行贅述。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種調(diào)整裝置，包括殼體，其特征在于，所述調(diào)整裝置還包括一用于向所述殼體內(nèi)部充氣的充氣接頭，所述充氣接頭設(shè)置于所述殼體上，所述充氣接頭接一外部氣源。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述殼體的一側(cè)設(shè)有安裝底座，所述充氣接頭安裝于所述安裝底座下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述充氣接頭包括一內(nèi)設(shè)沉孔的接頭本體，所述接頭本體的一端設(shè)有用于與所述安裝底座相連的外凸的圓環(huán)板，所述接頭本體的另一端設(shè)有圓形端板，所述圓形端板上設(shè)有若干供電線穿越和供氣管穿越的通孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述圓環(huán)板沿周向均勻設(shè)有若干螺紋孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述充氣接頭包括兩個(gè)對稱設(shè)置的接頭半體，所述接頭半體分別沿其縱向設(shè)有半圓形沉孔，所述接頭半體的一端設(shè)有用于與所述安裝底座相連的外凸的半圓環(huán)板，所述接頭半體的另一端設(shè)有半圓形端板，組裝時(shí)所述半圓形端板相互接觸的表面上對應(yīng)設(shè)有若干半圓形凹槽，所述接頭半體的兩側(cè)分別設(shè)有用于相互連接的側(cè)向凸板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述側(cè)向凸板沿所述接頭半體的縱向設(shè)有若干螺紋孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述半圓環(huán)板對應(yīng)設(shè)有若干螺紋孔和一半圓形螺紋孔，組裝時(shí)對應(yīng)的半圓環(huán)板組裝成圓環(huán)板，所述半圓形螺紋孔組成的螺紋孔和其他螺紋孔在組裝成的圓環(huán)板上均勻分布。
8.根據(jù)權(quán)利要求2 7中任意一項(xiàng)所述的調(diào)整裝置，其特征在于，所述安裝底座安裝于機(jī)臺平面上，所述機(jī)臺平面上設(shè)置有用于安裝所述安裝底座的安裝底座孔。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種調(diào)整裝置，包括殼體，所述調(diào)整裝置還包括一個(gè)用于向所述殼體內(nèi)部充氣的充氣接頭，所述充氣接頭設(shè)置于所述殼體上，所述充氣接頭接外部氣源。本實(shí)用新型提供的調(diào)整裝置，通過該充氣接頭向所述調(diào)整裝置的內(nèi)部充入氣體，氣體進(jìn)入調(diào)整裝置內(nèi)部以后，起到兩個(gè)作用，一是使調(diào)整裝置內(nèi)部氣壓大于外部氣壓，從而，有效防止附著在調(diào)整裝置殼體外表面上的液體被慢慢吸到調(diào)整裝置的內(nèi)部；二是氣體在調(diào)整裝置內(nèi)部流通，可以降低調(diào)整裝置內(nèi)部溫度，從而，有效預(yù)防冷凝水的產(chǎn)生。
文檔編號B24B37/34GK202357028SQ20112049947
公開日2012年8月1日 申請日期2011年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月2日
發(fā)明者胡斌 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司