專利名稱：一種工藝腔加熱保溫系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種工藝腔加熱保溫系統(tǒng)，具體地講是涉及一種在薄膜太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域低壓化學(xué)氣相沉積工藝中的工藝腔加熱保溫系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著能源的日益短缺，可再生綠色能源的開發(fā)和利用越來越受到人們的關(guān)注，尤其是對(duì)太陽能的利用，帶動(dòng)了太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)，特別是光伏電池和大面積光伏模塊器件的開發(fā)和應(yīng)用。薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發(fā)電，其生產(chǎn)過程能耗低，具備大幅度降低原材料和制造成本的潛力。因此，目前市場(chǎng)對(duì)薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長(zhǎng)，而制造薄膜太陽能電池的技術(shù)更成為近年來的研究熱點(diǎn)。近年來，以玻璃為基板材料的非晶硅薄膜太陽能電池憑借其成本低廉、工藝成熟、應(yīng)用范圍廣泛等優(yōu)勢(shì)，逐漸從各種類型的薄膜太陽能電池中脫穎而出，受到人們的關(guān)注和重視。采用有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(LPCVD)方式是生產(chǎn)玻璃基板非晶硅薄膜太陽能電池的主要方式，該工藝要求低壓真空環(huán)境和一定的加熱反應(yīng)溫度，所以反應(yīng)溫度的均勻性與保持尤為關(guān)鍵。加熱保溫系統(tǒng)中邊緣條(edge bar)的設(shè)計(jì)是為了保護(hù)加熱板邊緣不會(huì)被反應(yīng)物污染，并且對(duì)保持加熱板周邊溫度以及溫度均勻性起到了重要作用?，F(xiàn)有的加熱保溫系統(tǒng)如圖I所示，包括邊緣條101、玻璃102、加熱絲103、隔熱保溫材料104、保溫板105、加熱板106、加熱板支撐柱107、隔熱保溫材料定位銷108等。邊緣條銜接放置于加熱板外圍，高度低于加熱板表面約O. 5mm,保溫板斷頭長(zhǎng)5 10mm。在實(shí)際生產(chǎn)中，玻璃的面積與加熱板面積相當(dāng)，邊緣條的存在擴(kuò)展了加熱區(qū)域的面積；加熱板最外圍繞一圈加熱絲，若干邊緣條槽口朝下扣在加熱絲上，首尾相接繞加熱板一周，邊緣條與底部加熱絲緊密接觸，加熱效率高，可在短時(shí)間內(nèi)將邊緣溫度加至高溫。邊緣條外緣圍有一圈隔熱保溫材料，加熱臺(tái)最外圍固定有一層保溫板，保溫板上沿搭在條狀特氟龍材料上，最大限度的減少加熱板邊緣熱散失。工藝過程中所使用玻璃尺寸略大于加熱板尺寸，玻璃邊緣位于邊緣條上，這是因?yàn)樵诘蛪簹庀喑练e工藝過程中，反應(yīng)生成物會(huì)自動(dòng)沉積在物體表面，超過一定時(shí)間，造成的污染會(huì)影響工藝環(huán)境，使鍍膜效果不理想，所以需要對(duì)受到污染的零部件定期進(jìn)行維護(hù)清理。玻璃板覆蓋在加熱板上既保證了加熱板的有效加熱面積，使玻璃受熱更均勻，又避免了因受到反應(yīng)物沉積污染而不得不定期維護(hù)，節(jié)省了維護(hù)時(shí)間，而拆卸次數(shù)的下降又相對(duì)增加了加熱板的使用壽命。即邊緣條和玻璃基板可以在保證加熱效果的前提下，避免沉積反應(yīng)物直接生長(zhǎng)在加熱板上影響加熱效果，在實(shí)際維護(hù)過程中，只需定期把加熱板邊緣的邊緣條拆下維護(hù)清洗就行了，操作簡(jiǎn)單，節(jié)省時(shí)間。由于加熱板面積比較大，加熱板邊緣熱散失非?？欤吘墬l的保溫效果不是很理想，從日常測(cè)試結(jié)果，產(chǎn)品邊緣膜層總是偏薄，使整個(gè)產(chǎn)品鍍膜的一致性偏差較大，導(dǎo)致產(chǎn)品功率下降，制約了產(chǎn)能提高。同時(shí)測(cè)溫?zé)崤疾褰釉谄渲幸粋€(gè)邊緣條的端面，每次維護(hù)時(shí)需要將插在邊緣條上的測(cè)溫?zé)崤疾鹦兑淮?，大大降低了測(cè)溫?zé)崤嫉膲勖?，不能?zhǔn)確監(jiān)控邊緣條溫度，而且多次維護(hù)拔插測(cè)溫?zé)崤己?，測(cè)溫?zé)崤家矘O易損壞。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種在薄膜太陽能電池領(lǐng)域低壓化學(xué)氣相沉積工藝中的工藝腔加熱保溫系統(tǒng)，針對(duì)玻璃邊緣受熱不理想的情況進(jìn)行改進(jìn)和完善，解決了低壓化學(xué)氣相沉積工藝過程中玻璃邊緣受熱不均導(dǎo)致鍍膜一致性差，功率提升受到制約的問題，并且通過合理的溫度監(jiān)控設(shè)計(jì)，避免了測(cè)溫?zé)崤家蝾l繁拆裝導(dǎo)致測(cè)溫?zé)崤紦p壞的情況。本實(shí)用新型采用如下技術(shù)解決方案一種工藝腔加熱保溫系統(tǒng)，包括邊緣條、加熱絲、隔熱保溫材料、保溫板、加熱板、加熱板支撐柱和隔熱保溫材料定位銷等，加熱板支撐柱支撐加熱板，加熱板上放置玻璃基板，加熱板周圍放置一圈邊緣條，加熱絲嵌入邊緣條下部凹槽內(nèi)，邊緣條外緣圍有一圈隔熱保溫材料，保溫板上沿搭在條狀隔熱保溫材料上；在下部開有矩形槽的長(zhǎng)條狀邊緣條上部還設(shè)有一個(gè)橫截面為梯形的邊緣條，保溫板在垂直方向延長(zhǎng)并固定在工藝腔底部。長(zhǎng)條狀邊緣條長(zhǎng)209mm、寬14mm、高15mm,下部矩形槽6. 2 X 5. 2_。所述橫截面為梯形的邊緣條高5mm，斜面與水平面夾角為60°，斜面上開有兩個(gè)圓孔，優(yōu)選開有兩個(gè)直徑2mm的圓孔,作拆卸用。所述長(zhǎng)條狀邊緣條上表面低于加熱板表面O. 2mm,與加熱板一起作為襯底鍍膜平臺(tái)。所述邊緣條的測(cè)溫?zé)崤记队诩訜峤z下方，優(yōu)選嵌于加熱絲下方2mm處，可對(duì)邊緣條的溫度變化做出迅速直接的反饋，使邊緣條溫度始終維持在200°C附近。所述隔熱保溫材料為特氟龍隔熱保溫材料，保溫板為L(zhǎng)型保溫板。玻璃在真空室內(nèi)鍍膜之前，首先需要準(zhǔn)確放在加熱板上，對(duì)傳輸精度有一定要求。橫截面為梯形的邊緣條的斜面與水平面夾角60°，高5mm，寬3mm，保證了玻璃傳輸不到位的時(shí)候可有限校正玻璃位置，在傳輸精度出現(xiàn)錯(cuò)誤的情況下進(jìn)行微調(diào)，保證玻璃始終落在加熱臺(tái)上。另外斜面的存在還有效保證了玻璃受熱的均勻性，因玻璃厚度為3mm小于斜坡高度，所以當(dāng)玻璃放于加熱板上時(shí)，玻璃下表面和四邊邊緣都能有效受熱，使玻璃表面鍍膜厚度一致。本實(shí)用新型提供的工藝腔加熱保溫系統(tǒng)，能夠使玻璃下表面和四邊邊緣有效受熱，玻璃表面受熱均勻穩(wěn)定，并且最大限度的減少加熱板邊緣熱散失，從而保證了玻璃表面鍍膜厚度的均勻性，提高了產(chǎn)品品質(zhì)。

圖I是傳統(tǒng)的工藝腔的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例I的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。[0021]實(shí)施例I一種工藝腔加熱保溫系統(tǒng)，如圖2所示，包括邊緣條201、加熱絲203、特氟龍隔熱保溫材料204、保溫板205、加熱板206、加熱板支撐柱207和特氟龍隔熱保溫材料定位銷208等，加熱板支撐柱207支撐加熱板206，加熱板206上放置玻璃基板202，玻璃基板202周圍放置一圈邊緣條201,加熱絲203嵌入邊緣條201下部凹槽內(nèi)，邊緣條201外緣圍有一圈特氟龍隔熱保溫材料204，L型保溫板205上沿搭在條狀特氟龍隔熱保溫材料204上；在 下部開有矩形槽的長(zhǎng)條狀邊緣條201上部還設(shè)有一個(gè)橫截面為梯形的邊緣條209，L型保溫板205垂直方向延長(zhǎng)并固定在工藝腔底部。長(zhǎng)條狀邊緣條201長(zhǎng)209mm、寬14mm、高15mm，下部矩形槽6. 2X5. 2mm。橫截面為梯形的邊緣條209高5mm，斜面與水平面夾角為60°，斜面上開有兩個(gè)直徑2mm的圓孔。長(zhǎng)條狀邊緣條201上表面低于加熱板206上表面O. 2mm。邊緣條201的測(cè)溫?zé)崤记队诩訜峤z203下方2mm處。使用該工藝腔加熱保溫系統(tǒng)，產(chǎn)品鍍膜的不均勻度維持在20%以內(nèi)，可提高2 3W組件平均功率。
權(quán)利要求1.一種エ藝腔加熱保溫系統(tǒng)，包括邊緣條、加熱絲、隔熱保溫材料、保溫板、加熱板、カロ熱板支撐柱和隔熱保溫材料定位銷等，加熱板支撐柱支撐加熱板，加熱板上放置玻璃基板，加熱板周圍放置ー圈邊緣條，加熱絲嵌入邊緣條下部凹槽內(nèi)，邊緣條外緣圍有一圈隔熱保溫材料，保溫板上沿搭在條狀隔熱保溫材料上；其特征在于在下部開有矩形槽的長(zhǎng)條狀邊緣條上部還設(shè)有ー個(gè)橫截面為梯形的邊緣條，保溫板在垂直方向延長(zhǎng)并固定在エ藝腔底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的エ藝腔加熱保溫系統(tǒng)，其特征在于所述橫截面為梯形的邊緣條高5mm，斜面與水平面夾角為60°，斜面上開有兩個(gè)圓孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的エ藝腔加熱保溫系統(tǒng)，其特征在于所述斜面上開有兩個(gè)直徑2mm的圓孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的エ藝腔加熱保溫系統(tǒng)，其特征在于所述長(zhǎng)條狀邊緣條上表面低于加熱板表面O. 2mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的エ藝腔加熱保溫系統(tǒng)，其特征在于所述邊緣條的測(cè)溫?zé)崤记队诩訜峤z下方。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的エ藝腔加熱保溫系統(tǒng)，其特征在于所述測(cè)溫?zé)崤记队诩訜峤z下方2mm處。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的エ藝腔加熱保溫系統(tǒng)，其特征在于所述隔熱保溫材料為特氟龍隔熱保溫材料，保溫板為L(zhǎng)型保溫板。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種工藝腔加熱保溫系統(tǒng)。其包括邊緣條、加熱絲、隔熱保溫材料、保溫板、加熱板、加熱板支撐柱和隔熱保溫材料定位銷等，加熱板支撐柱支撐加熱板，加熱板上放置玻璃基板，加熱板周圍放置一圈邊緣條，加熱絲嵌入邊緣條下部凹槽內(nèi)，邊緣條外緣圍有一圈隔熱保溫材料，保溫板上沿搭在條狀隔熱保溫材料上；在下部開有矩形槽的長(zhǎng)條狀邊緣條上部還設(shè)有一個(gè)橫截面為梯形的邊緣條，保溫板在垂直方向延長(zhǎng)并固定在工藝腔底部。本實(shí)用新型能夠使玻璃下表面和四邊邊緣有效受熱，玻璃表面受熱均勻穩(wěn)定，并且最大限度的減少加熱板邊緣熱散失，從而保證了玻璃表面鍍膜厚度的均勻性，提高了產(chǎn)品品質(zhì)。
文檔編號(hào)C23C16/44GK202380077SQ20112053439
公開日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2011年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月19日
發(fā)明者梁敏敏, 祝令建 申請(qǐng)人:漢能科技有限公司