專利名稱：用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)、裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)、裝置及方法，特別是關(guān)于ー種具有氣孔的玻璃基板的堆棧結(jié)構(gòu)、裝置及方法。
背景技術(shù)：
使用于液晶顯示器(Liquid Crystal Display; LCD)或觸控面板制造的玻璃基板其厚度非常薄，因此加工容易遇到問題，例如要在玻璃基板平面鍍膜以制作薄膜晶體管(Thin Film Transistor; TFT)相對困難。在一般的鍍膜制作中，是以機(jī)械手臂將玻璃基板移入設(shè)備中，加工后再行移出，然而因?yàn)椴ＡЩ逄?，使得操作上相?dāng)不便，且易造成玻璃基板損壞，尤其大型玻璃基板問題更加嚴(yán)重。因此需要有操作簡便且容易加工的解決方式。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明之目的在于提供ー種玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，使其能解決玻璃基板在鍍膜制作中易于破裂問題。為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的一實(shí)施例提供ー種用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，包含一第一玻璃基板，具有一第一表面以及ー第二表面，該第一玻璃基板的該第一表面用于物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition; PVD)和化學(xué)氣相沉積(ChemicalVapor Deposition; CVD)的鍍膜制作的薄膜晶體管電路的制作，且該第一玻璃基板作為薄膜晶體管電路的基板；一第二玻璃基板，具有第三表面以及第四表面，用干支撐該第一玻璃基板，以便于在該第一玻璃基板的該第一表面鍍膜加工。于該第二玻璃基板的該第四表面開設(shè)至少ー貫穿至該第三表面的第一組氣孔。當(dāng)從該第一組氣孔吸氣時，該第一玻璃基板的該第二表面將與該第二玻璃基板的該第三表面吸附。當(dāng)從該第一組氣孔吹氣時，該第一玻璃基板的該第二表面將與該第二玻璃基板的該第三表面分開。本發(fā)明并提供ー種用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置，包括一機(jī)構(gòu)平臺，具有上表面以及下表面；第一組氣道，包含若干個氣道，形成于該機(jī)構(gòu)平臺的該上表面，該第一組氣道的各氣道間相互連接；第二組氣孔，包含若干個氣孔，與形成于該機(jī)構(gòu)平臺的該上表面的該第一組氣道連接，且貫穿至該機(jī)構(gòu)平臺的該下表面，使得可經(jīng)由該第二組氣孔從該第一組氣道吸氣及停止吸氣；第三組氣孔，包含若干個氣孔，與形成于該上表面的該第ニ組氣道連接，且貫穿至該下表面，使得可經(jīng)由該第三組氣孔從該第二組氣道吸氣、停止吸氣及吹氣。該第一組氣道與該第二組氣道是彼此阻隔。于使用時，依據(jù)本發(fā)明的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)是放置于該裝置上。該裝置的該機(jī)構(gòu)平臺的該第三組氣孔經(jīng)由該第二組氣道以及該第二玻璃基板的該第一組氣孔連通至該第二玻璃基板的該第三表面。本發(fā)明另提供ー種用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧方法，用于將該第一玻璃基板與該第二玻璃基板堆棧于該機(jī)構(gòu)平臺上。該方法包括將該第二玻璃基板放置于該機(jī)構(gòu)平臺上，從該第二組氣孔吸氣，使該第二玻璃基板吸附于該機(jī)構(gòu)平臺；將該第一玻璃基板堆棧于該第二玻璃基板上；以及從該第三組氣孔吸氣，經(jīng)由該第二組氣道與該第二玻璃基板的該第一組氣孔而使該第一玻璃基板吸附于該第二玻璃基板上。當(dāng)欲使該第一玻璃基板與該第ニ玻璃基板相互剝離時，從該第三組氣孔吹氣，經(jīng)由該第二組氣道與該第二玻璃基板上的該第一組氣孔，使該第一玻璃基板成氣浮狀態(tài)。


第I圖是顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的ー種用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)的剖面示意圖。第2圖是顯示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置。第3圖是顯示根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)的第二玻璃基板的上視圖。
第4圖是顯示根據(jù)本發(fā)明的玻璃堆棧結(jié)構(gòu)放置于該玻璃基板堆棧裝置的上視圖。第5圖是顯示根據(jù)本發(fā)明的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置的機(jī)構(gòu)平臺的立體圖。第6圖是顯示根據(jù)本發(fā)明另ー實(shí)施例的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置已放置了玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)的立體圖。其中5-第一表面；6_第一玻璃基板；7-第二表面；8_材料層；10-第二玻璃基板；12_第二表面；14_第四表面；16_第一組氣孔；20_載臺；22_定位擋塊；；30_機(jī)構(gòu)平臺；32_上表面；34_下表面；36_第一組氣道；38_第二組氣道；40_第二組氣孔；42_第三組氣孔。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說明。在此需注意的是，不同的圖式中，相同的元件符號表示相同或相似的元件。在此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。請參閱第I圖，第I圖顯示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的ー種用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)。該玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)包含一第一玻璃基板6與一第二玻璃基板10。該第一玻璃基板6具有一第一表面5以及ー第二表面7,該第一表面5用于實(shí)行制作薄膜晶體管電路的PVD和CVD的鍍膜制作，且該第一玻璃基板6是作為薄膜晶體管電路的基板。目前的新技術(shù)，使用于LCD的TFT制作的第一玻璃基板6的厚度小于等于O. 15mm,因此容易破裂，故難以直接在該第一玻璃基板6的該第一表面5實(shí)施PVD或CVD的鍍膜制作。于本實(shí)施例中，是提供一較厚的玻璃基板(即第二玻璃基板10)設(shè)置于該第一玻璃基板6下而與之結(jié)合，加以支撐，以便于該第一玻璃基板6的該第一表面5實(shí)施PVD或CVD的鍍膜制作。該第二玻璃基板10的厚度一般是大于等于O. 35mm,于本實(shí)施例中，設(shè)定其厚度為
O.5mm。該第二玻璃基板10具有第三表面12以及第四表面14。于第二玻璃基板10的該第四表面14開設(shè)至少ー貫穿至該第三表面12的第一組氣孔16。透過從該第一組氣孔16吸氣或吹氣，可使該第一玻璃基板6與該第二玻璃基板10相互吸附或分開。于本發(fā)明的實(shí)施例中，該第一組氣孔16包含若干個氣孔，從該第二玻璃基板10的該第四表面14貫穿至該第二玻璃基板10的該第三表面12，且以等間距平均分布于該第二玻璃基板10的第四表面14。該等第一組氣孔16的間距較佳為3飛公分。當(dāng)經(jīng)由該第一組氣孔16吸氣時，該第一玻璃基板7的該第二表面7與該第二玻璃基板10的該第三表面12之間的空氣被吸出，構(gòu)成真空狀態(tài)，因此使得該第一玻璃基板6的該第二表面7與該第二玻璃基板10的該第三表面12相互緊密吸附。當(dāng)經(jīng)由該第一組氣孔16吹氣時，空氣進(jìn)入該第一玻璃基板7的該第二表面7與該第二玻璃基板10的該第三表面12之間，因?yàn)榭諝鈮亥木壒?，使得該第一玻璃基?的該第二表面7與該第二玻璃基板10的該第三表面12相互剝離。本發(fā)明的實(shí)施例中所述的該第二玻璃基板10的材質(zhì)為玻璃，不適合機(jī)械鉆孔，可利用例如紫外線雷射的照射方式，破壞玻璃鍵結(jié)而形成該第一組氣孔16。上述的該第一玻璃基板6通常為例如680mmX 880mm的大型平板，需要均勻地使該第一玻璃基板6的該第二表面7與該第二玻璃基板10的該第三表面12相互吸附或剝離， 因此本發(fā)明又提出一種用于堆棧該第一玻璃基板6與該第二玻璃基板10的裝置。請參閱第2圖，第2圖為顯示根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置。該裝置包括一機(jī)構(gòu)平臺30。該機(jī)構(gòu)平臺30具有上表面32以及下表面34，如前所述的該第一玻璃基板6與該第二玻璃基板10是置于該機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32上。該機(jī)構(gòu)平臺30具有第一組氣道36,該第一組氣道36包含若干個氣道,形成于該機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32，且各氣道間相互連通。該機(jī)構(gòu)平臺30并具有第二組氣道38，該第ニ組氣道38包含若干個氣道，也形成于該機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32，各氣道間相互連通，但該第一組氣道36以及該第二組氣道38并未相互連通，即該第一組氣道36以及該第二組氣道38為彼此阻隔。該等氣道的排列方式將于稍后再予詳細(xì)說明。該機(jī)構(gòu)平臺30另具有第二組氣孔40與第三組氣孔42。該第二組氣孔40包含若干個氣孔，與形成于機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32的第一組氣道36連接，且貫穿至該機(jī)構(gòu)平臺30的下表面34。該第三組氣孔42包含若干個氣孔,與形成于該上表面32的該第二組氣道38連接，且貫穿至該機(jī)構(gòu)平臺30的下表面34。該第一組氣道36以及該第二組氣道38各排列為若干行。該第一組氣道36的該等行與該第二組氣道36的該等行以交替方式排列于該機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32。由于該機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32需利用例如銑床制作該第一組氣道36與該第二組氣道38，且其強(qiáng)度必須足以支撐放置于上表面32的該第一玻璃基板6以及該第二玻璃基板10，因此通常選用鋁、鐵或其合金等材料制作。如前所述，該機(jī)構(gòu)平臺30的該第二組氣孔40系與該第一組氣道36連接，該第三組氣孔42是與該第二組氣道38連接。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，可經(jīng)由該第二組氣孔40達(dá)成從該第一組氣道36吸氣及停止吸氣的作用。另外，是可經(jīng)由從該機(jī)構(gòu)平臺30的該第三組氣孔42達(dá)成往該第二組氣道38吹氣和從該第二組氣道38吸氣及停止吸氣的作用。該第二組氣孔40從該機(jī)構(gòu)平臺30的下表面34貫穿而與該機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32的該第一組氣道36相通。該第三組氣孔42從該機(jī)構(gòu)平臺30的下表面34貫穿而與該機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32的該第二組氣道38相通。該第二組氣孔40以及該第三組氣孔42各具有若干個氣孔以直線排列于該機(jī)構(gòu)平臺30的下表面34。例如，該第二組氣孔40直線排列成一行，該第三組氣孔42直線排列成另一行，兩行氣孔并列于該機(jī)構(gòu)平臺30的下表面34。而該等氣孔的間距較佳為Γ5公分之間。前述的該第一玻璃基板6以及該第二玻璃基板10依序堆棧加于該機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32。該第二玻璃基板10在下，該第一玻璃基板6在上。該第一玻璃基板6以及該第ニ玻璃基板10的結(jié)構(gòu)已說明如前，因此不再贅述。該第二玻璃基板10的第四表面14是貼附于該機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32而放置于該機(jī)構(gòu)平臺30上，該第一玻璃基板6的第二表面7是與該第二玻璃基板10的第三表面12相貼，以此方式堆棧。該第二玻璃基板10的該第一組氣孔16的若干個孔洞沿著該機(jī)構(gòu)平臺30的該第ニ組氣道38設(shè)置而對準(zhǔn)該第二組氣道38的各氣道，且較佳為等間距排列。第3圖是顯示 根據(jù)本發(fā)明的該用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)的該第二玻璃基板的上視圖，顯示該第一組氣孔16的分布。請參閱第4圖與第5圖，第4圖為顯示根據(jù)本發(fā)明的該玻璃堆棧結(jié)構(gòu)放置于用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置的上視圖，而第5圖是顯示該機(jī)構(gòu)平臺30的立體圖。由于該第一玻璃基板6以及該第二玻璃基板10為透明的玻璃材質(zhì)，因此第4圖中可看到該第一組氣道36以及該第二組氣道38各排列為若干行，該第一組氣道36的該等行與該第二組氣道38的該等行以交替方式排列于該機(jī)構(gòu)平臺的上表面，且各組的各氣道間相互連接，但該第一組氣道36以及該第二組氣道38并未相互連接，而是相互阻隔開來。該第二玻璃基板10的該第一組氣孔16的若干個氣孔是對準(zhǔn)該機(jī)構(gòu)平臺30的該第二組氣道38而沿著該第二組氣道38設(shè)置，且為等間距排列，其間距較佳為3飛公分。在操作上，可利用高壓空氣真空轉(zhuǎn)換器與節(jié)流閥控制該第二組氣孔40執(zhí)行從該第一組氣道36吸氣的動作以使該第二玻璃基板10被牢固吸附于該機(jī)構(gòu)平臺30，當(dāng)透過該第二組氣孔40作吸氣的動作時，該第一組氣道36的空氣將經(jīng)由該第二組氣孔40被吸出，該第二玻璃基板10的第四表面14將緊密地與該機(jī)構(gòu)平臺30的上表面32貼合。而當(dāng)停止透過該第二組氣孔40從該第一組氣道36吸氣時，便可將該等玻璃基板從該機(jī)構(gòu)平臺30上移開。也可利用高壓空氣真空轉(zhuǎn)換器與節(jié)流閥控制該第三組氣孔42以執(zhí)行從該第二組氣道38吸氣、停止吸氣和吹氣的動作。當(dāng)該第二組氣道38的空氣經(jīng)由該第三組氣孔42被吸出吋，該第二玻璃基板10的第三表面12將緊密的與該第一玻璃基板6的第二表面7貼合。而當(dāng)經(jīng)由該第三組氣孔42而從該第二組氣道38吹氣時，將使空氣該進(jìn)入第二組氣道38，空氣會再經(jīng)由該第一組氣孔16進(jìn)入該第一玻璃基板6的第二表面7以及該第二玻璃基板10的第三表面12之間，使兩者相互剝離。請參閱第6圖，第6圖顯示根據(jù)本發(fā)明的另ー實(shí)施例的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置，該第一玻璃基板6與該第二玻璃基板10是堆棧在該裝置上。除了上述的機(jī)構(gòu)平臺30，本實(shí)施例的裝置還包含ー載臺20，其作用為承載該機(jī)構(gòu)平臺30。該裝置并具有定位擋塊22，設(shè)置于該機(jī)構(gòu)平臺30上，其作用為定位該第一玻璃基板6以及該第二玻璃基板10。利用上述根據(jù)本發(fā)明的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置來堆棧玻璃基板的方法，是包含以下步驟
(a)將該第二玻璃基板10放置于該機(jī)構(gòu)平臺30上，從該機(jī)構(gòu)平臺30的該第二組氣孔40吸氣，使該第二玻璃基板10吸附于該機(jī)構(gòu)平臺30上；
(b)將該第一玻璃基板6堆棧于該第二玻璃基板10上；
(c)從該機(jī)構(gòu)平臺30的該第三組氣孔42吸氣，經(jīng)由該機(jī)構(gòu)平臺30的該第二組氣道38與該第二玻璃基板10的該第一組氣孔16將該第二玻璃基板10與該第一玻璃基板6之間的空氣抽走，使該第一玻璃基板6吸附于該第二玻璃基板10上。按照上述操作過程，可使該第一玻璃基板6和該第二玻璃基板10形成彼此緊密吸附的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，即便停止所有吸氣的動作并從該機(jī)構(gòu)平臺30上取下該玻璃基板 堆棧結(jié)構(gòu)，該第一玻璃基板6與該第二玻璃基板10仍然緊密貼合而難以分離。因此，當(dāng)欲將該第一玻璃基板6要移至他處加工時，例如將該第一玻璃基板6移入鍍膜腔室進(jìn)行鍍膜處理，貝1J可利用上述方法使該第一玻璃基板6與該第二玻璃基板10形成玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，從該機(jī)構(gòu)平臺30取下該玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，并將整個該玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)(即該第一玻璃基板6連同該第二玻璃基板10)直接移入腔室中進(jìn)行鍍膜制作。等完成該第一玻璃基板6的鍍膜制作后，再將該玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)取出。該第二玻璃基板10需提供足夠的剛性，因此該第二玻璃基板10的厚度需該大于第一玻璃基板6的厚度。于ー實(shí)施例中，該第一玻璃基板6的厚度為O. 05mm,而該第二玻璃基板10的厚度為O. 5_。于另ー實(shí)施例中，該第一玻璃基板6的厚度為O. 1_，而該第二玻璃基板10的厚度為O. 4mm。其他適當(dāng)?shù)暮穸纫彩强尚械?。較佳而言，該第二玻璃基板10的厚度為該第一玻璃基板6的厚度的4倍或4倍以上
當(dāng)欲分離該玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)的該第一玻璃基板6及該第二玻璃基板10吋，剝離的操作過程為
(d)將該玻璃堆棧結(jié)構(gòu)放置于該機(jī)構(gòu)平臺30上，從該機(jī)構(gòu)平臺30的該第三組氣孔42吹氣，將空氣經(jīng)由該機(jī)構(gòu)平臺30的該第二組氣道38與該第二玻璃基板10上的該第一組氣孔16送到該第一玻璃基板6與該第二玻璃基板10之間，使該第一玻璃基板6成氣浮狀態(tài)，借以從該第二玻璃基板10上剝離該第一玻璃基板6。根據(jù)上述，本發(fā)明提供之玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)、方法及裝置使超薄玻璃得以進(jìn)行各項(xiàng)制作，而不至于在制作中例如因熱變形或應(yīng)カ變形而破裂，或者在移入設(shè)備、從設(shè)備內(nèi)取出時破裂。同時本發(fā)明提供的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)也使得玻璃基板的搬運(yùn)更為方便、容易。使其能有效降低人工與材料的成本并提升良率。
權(quán)利要求
1.一種用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括 一第一玻璃基板，具有一第一表面以及ー第二表面； 一第二玻璃基板，具有一第三表面以及ー第四表面，其支撐該第一玻璃基板，其中，該第二玻璃基板的該第四表面具有至少ー貫穿至該第三表面的一第一組氣孔，以供吸氣或吹氣，當(dāng)從該第一組氣孔吸氣時，該第一玻璃基板的該第二表面與該第二玻璃基板的該第三表面相互吸附，當(dāng)從該第一組氣孔吹氣時，該第一玻璃基板的該第二表面與該第二玻璃基板的該第三表面相互剝離。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，其特征在于其中該第一組氣孔包含若干個孔洞，以等間距的方式分布于該第二玻璃基板的該第四表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，其特征在于其中第一玻璃基板的厚度小于等于O. 15mm,第二玻璃基板的厚度大于等于O. 35mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，其特征在于其中該第ニ玻璃基板的厚度為該第一玻璃基板的厚度的4倍或4倍以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，其特征在于其中該第一玻璃基板的該第一表面用于薄膜晶體管電路的制作，且該第一玻璃基板是作為電路的基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)，其特征在于其中該第ニ玻璃基板的該第一組氣孔是利用紫外線雷射破壞玻璃鍵結(jié)而形成。
7.ー種用于鍍膜制作之玻璃基板堆棧裝置，其特征在于，包括 一機(jī)構(gòu)平臺，具有一上表面以及下表面； 第一組氣道，包含若干個氣道，形成于該機(jī)構(gòu)平臺的該上表面，該第一組氣道的各氣道間相互連接； 第二組氣道，包含若干個氣道，形成于該機(jī)構(gòu)平臺的該上表面，該第二組氣道的各氣道間相互連接； 第二組氣孔，包含若干個氣孔，與形成于該機(jī)構(gòu)平臺的該上表面的該第一組氣道連接，且貫穿至該機(jī)構(gòu)平臺的該下表面，使得可經(jīng)由該第二組氣孔從該第一組氣道吸氣及停止吸氣; 第三組氣孔，包含若干個氣孔，與形成于該上表面的該第二組氣道連接，且貫穿至該下表面，使得可經(jīng)由該第三組氣孔從該第二組氣道吸氣、停止吸氣及吹氣， 其中該第一組氣道與該第二組氣道是彼此阻隔。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置，其特征在于其中該第一組氣道以及該第二組氣道各排列為若干行，且該等行的該第一組氣道以及該等行的該第ニ組氣道是以交替方式排列于該機(jī)構(gòu)平臺的該上表面。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置，其特征在于其中該機(jī)構(gòu)平臺以鋁、鐵或其合金的材料制成。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置，其特征在于其中該第ニ組氣孔以及該第三組氣孔各具有若干個氣孔直線排列于該機(jī)構(gòu)平臺的該下表面。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置，其特征在于其中該裝置于使用時是將一第一玻璃基板與一第二玻璃基板堆棧于該機(jī)構(gòu)平臺的該上表面，該第一玻璃基板是置于該第二玻璃基板上，該第一玻璃基板具有一第一表面以及ー第二表面，該第二玻璃基板具有一第三表面以及ー第四表面，該第二玻璃基板的該第四表面開設(shè)至少ー貫穿至該第三表面的第一組氣孔。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧裝置，其特征在于其中該機(jī)構(gòu)平臺的該第三組氣孔經(jīng)由該第二組氣道以及該第二玻璃基板的該第一組氣孔連通至該第二玻璃基板的該第三表面。
13.—種用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧方法,用于將ー第一玻璃基板與一第二玻璃基板堆棧于一機(jī)構(gòu)平臺上，該第二玻璃基板具有貫穿該第二玻璃基板的第一組氣孔，該機(jī)構(gòu)平臺具有第二組氣孔、第三組氣孔、第一組氣道以及第ニ組氣道，該第一組氣道形成于該機(jī)構(gòu)平臺的該上表面且各氣道間相互連接，該第二組氣道形成于該機(jī)構(gòu)平臺的該上表面且各氣道間相互連接，該第二組氣孔與形成于該機(jī)構(gòu)平臺的該上表面的該第一組氣道連接且貫穿至該機(jī)構(gòu)平臺的下表面，該第三組氣孔與形成于該上表面的該第二組氣道連接且貫穿至該機(jī)構(gòu)平臺的下表面，該第一組氣道與該第二組氣道是彼此阻隔，其特征在干，該方法包括 將該第二玻璃基板放置于該機(jī)構(gòu)平臺上，從該第二組氣孔吸氣，使該第二玻璃基板吸附于該機(jī)構(gòu)平臺； 將第一玻璃基板堆棧于該第二玻璃基板上；以及 從該第三組氣孔吸氣，經(jīng)由該第二組氣道與該第二玻璃基板的該第一組氣孔而使該第一玻璃基板吸附于該第二玻璃基板上。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的用于鍍膜制作的玻璃基板堆棧方法，其特征在于當(dāng)用于使該第一玻璃基板與該第二玻璃基板相互剝離時，包含步驟 從該第三組氣孔吹氣，經(jīng)由該第二組氣道與該第二玻璃基板上的該第一組氣孔，使該第一玻璃基板成氣浮狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)、裝置及方法，尤適于TFT-LCD面板的玻璃基板鍍膜制作。該玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)包含一第一玻璃基板以及一第二玻璃基板。該第一玻璃基板系是置于該第二玻璃基板上，且該第二玻璃基板具有氣孔。透過該組氣孔吸氣和吹氣，可使該第一玻璃基板與該第二玻璃基板相互吸附和分開。本發(fā)明還提供一種用于堆棧上述玻璃基板堆棧結(jié)構(gòu)的方法與裝置。
文檔編號C23C14/48GK102677015SQ20121017839
公開日2012年9月19日 申請日期2012年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月1日
發(fā)明者林子斌, 郭哲成, 陳永堅(jiān), 黃彥余 申請人:中華映管股份有限公司, 福建華映顯示科技有限公司