專利名稱：可自鎖的基片擋板組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種可自鎖的基片擋板組件。
背景技術(shù)：
目前，在國內(nèi)制備鍍膜領(lǐng)域中，經(jīng)常需要用一臺設(shè)備的多基片樣品臺做多層膜，并可以用該設(shè)備的單基片樣品臺做合金膜，在機械設(shè)計上需要一套在做多層膜可以有效遮擋不工作基片的基片擋板組件，以保證不工作基片不被污染，但在做合金膜時，該基片擋板組件需要拆卸下來，避免遮擋共濺靶的輝光。目前，基片擋板組件的中間軸和下面主動軸是通過豁口銷軸的結(jié)構(gòu)實·現(xiàn)上述功能的，如圖1所示。但是，豁口和銷軸必須得存在一定的間隙，基片擋板組件慣性比較大，上述間隙會造成，長時間運轉(zhuǎn)后初始定位會跑偏。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種可自鎖的基片擋板組件。該基片擋板組件實現(xiàn)有效自鎖，解決了原來豁口和銷軸因間隙產(chǎn)生的跑偏現(xiàn)象。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案一種可自鎖的基片擋板組件，其特征在于包括大基板擋板、中間軸、主動軸及驅(qū)動機構(gòu)，其中大基板擋板和中間軸設(shè)置于真空腔體內(nèi)，所述大基板擋板設(shè)置于中間軸的上端，中間軸的下端端部為斜面I，所述主動軸的一端與驅(qū)動機構(gòu)連接，另一端為與中間軸下端端部的斜面I相對應的斜面I1、并插入真空腔體內(nèi)，所述主動軸與真空腔體下端的真空室大法蘭轉(zhuǎn)動連接，主動軸的另一端上套設(shè)有套筒，所述中間軸的下端端部的斜面I插入所述套筒內(nèi)、并與主動軸另一端的斜面II相配合；所述主動軸通過驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)、并通過摩擦傳遞帶動中間軸旋轉(zhuǎn)，中間軸和主動軸通過摩擦角實現(xiàn)自鎖。所述驅(qū)動機構(gòu)包括電機和減速器，其中減速器一端與電機連接，另一端與所述主動軸連接。所述減速器與主動軸之間設(shè)有動密封組件。所述動密封組件采用J型密封圈轉(zhuǎn)軸或磁流體。所述中間軸轉(zhuǎn)動安裝于真空腔體內(nèi)設(shè)有的支架上。本發(fā)明的優(yōu)點及有益效果是本發(fā)明把基片擋板組件的中間軸和下面主動軸通過摩擦傳遞轉(zhuǎn)動，可實現(xiàn)有效自鎖，解決了原來豁口和銷軸因間隙產(chǎn)生的跑偏現(xiàn)象。


圖1為現(xiàn)有基片擋板組件豁口銷軸的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1為大基片擋板，2為中間軸，3為真空室大法蘭，4為主動軸，5為動密封組件，6為減速器,7為電機,8為真空腔體。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步描述。如圖2所示，本發(fā)明包括大基板擋板1、中間軸2、主動軸4及驅(qū)動機構(gòu)，其中大基板擋板I和中間軸2設(shè)置于真空腔體8內(nèi)，中間軸2轉(zhuǎn)動安裝于真空腔體8內(nèi)設(shè)有的支架上，大基板擋板I設(shè)置于中間軸2的上端，中間軸2的下端端部為斜面I。主動軸4的一端與驅(qū)動機構(gòu)連接，另一端為與中間軸2下端端部的斜面I相對應的斜面I1、并插入真空腔體8內(nèi)，主動軸4與真空腔體8下端的真空室大法蘭3轉(zhuǎn)動連接，主動軸4的另一端上套設(shè)有套筒，中間軸2的下端端部的斜面I插入所述套筒內(nèi)、并與主動軸4另一端的斜面II相配
八
口 ο所述驅(qū)動機構(gòu)包括電機7、動密封組件5和減速器6，其中減速器6 —端與電機7的輸出端連接，另一端與動密封組件5連接，動密封組件5與主動軸4連接。動密封組件5采用J型密封圈轉(zhuǎn)軸或磁流體。主動軸4通過驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)、并通過摩擦傳遞帶動中間軸2旋轉(zhuǎn)，中間軸2和主動軸4通過摩擦角實現(xiàn)有效自鎖。大基片擋板I和中間軸2在做合金膜時，打開真空腔體8可整體拆卸下來，而下面的主動軸4、動密封組件5、減速器6及電機7部分不需要拆卸，避免破壞真空密封 結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種可自鎖的基片擋板組件，其特征在于包括大基板擋板(I)、中間軸(2)、主動軸(4)及驅(qū)動機構(gòu)，其中大基板擋板(I)和中間軸(2)設(shè)置于真空腔體(8)內(nèi)，所述大基板擋板(I)設(shè)置于中間軸(2)的上端，中間軸(2)的下端端部為斜面I，所述主動軸(4)的一端與驅(qū)動機構(gòu)連接，另一端為與中間軸(2)下端端部的斜面I相對應的斜面I1、并插入真空腔體(8)內(nèi)，所述主動軸(4)與真空腔體(8)下端的真空室大法蘭(3)轉(zhuǎn)動連接，主動軸(4)的另一端上套設(shè)有套筒，所述中間軸(2)的下端端部的斜面I插入所述套筒內(nèi)、并與主動軸(4)另一端的斜面II相配合；所述主動軸(4)通過驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)、并通過摩擦傳遞帶動中間軸(2)旋轉(zhuǎn)，中間軸(2)和主動軸(4)通過摩擦角實現(xiàn)自鎖。
2.按權(quán)利要求1所述的可自鎖的基片擋板組件，其特征在于所述驅(qū)動機構(gòu)包括電機(7)和減速器(6)，其中減速器(6) —端與電機(7)連接，另一端與所述主動軸⑷連接。
3.按權(quán)利要求2所述的可自鎖的基片擋板組件，其特征在于所述減速器(6)與主動軸(4)之間設(shè)有動密封組件(5)。
4.按權(quán)利要求3所述的可自鎖的基片擋板組件，其特征在于所述動密封組件(5)采用J型密封圈轉(zhuǎn)軸或磁流體。
5.按權(quán)利要求1所述的可自鎖的基片擋板組件，其特征在于所述中間軸(2)轉(zhuǎn)動安裝于真空腔體(8)內(nèi)設(shè)有的支架上。
全文摘要
本發(fā)明屬于鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種可自鎖的基片擋板組件。包括大基板擋板、中間軸、主動軸及驅(qū)動機構(gòu)，其中大基板擋板和中間軸設(shè)置于真空腔體內(nèi)，所述大基板擋板設(shè)置于中間軸的上端，中間軸的下端端部為斜面I，所述主動軸的一端與驅(qū)動機構(gòu)連接，另一端為與中間軸下端端部的斜面I相對應的斜面II、并插入真空腔體內(nèi)，所述主動軸與真空腔體下端的真空室大法蘭轉(zhuǎn)動連接，主動軸的另一端上套設(shè)有套筒，所述中間軸的下端端部的斜面I插入所述套筒內(nèi)、并與主動軸另一端的斜面II相配合；所述主動軸通過驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)、并通過摩擦傳遞帶動中間軸旋轉(zhuǎn)，中間軸和主動軸通過摩擦角實現(xiàn)自鎖。本發(fā)明把基片擋板組件的中間軸和下面主動軸通過摩擦傳遞轉(zhuǎn)動，可實現(xiàn)有效自鎖。
文檔編號C23C14/00GK103045994SQ201210590798
公開日2013年4月17日 申請日期2012年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月29日
發(fā)明者郭東民, 劉麗華, 馮彬, 孫影, 佟雷 申請人:中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司