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      晶片磨邊機(jī)的制作方法

      文檔序號:3268655閱讀:511來源:國知局
      專利名稱:晶片磨邊機(jī)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型屬于晶片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種晶片磨邊機(jī)。
      背景技術(shù)
      在晶片加工時,先要將晶棒切割成晶片,并對晶片的邊緣進(jìn)行打磨。由于缺乏專用的晶片磨邊機(jī),磨邊工作主要依靠手工完成,磨邊過程中,操作人員手拿晶片在電動沙輪上將晶片的邊緣磨圓,這種操作方式不僅工作效率低,用工量大,而且打磨出的晶片質(zhì)量差,容易損壞晶片。
      發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中缺乏專用的晶片磨邊設(shè)備,晶片磨邊工作由人工完成的問題,提供一種晶片磨邊機(jī),其技術(shù)方案是一種晶片磨邊機(jī),在機(jī)座的中部安裝有機(jī)箱,上部安裝有轉(zhuǎn)臂,轉(zhuǎn)臂的前端安裝有固定套,固定套內(nèi)安裝升降軸,升降軸內(nèi)安裝轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸的下端安裝有磨頭,固定套的上端安裝變速箱,變速箱一端安裝電機(jī),變速箱上端安裝升降軸的升降手柄,轉(zhuǎn)軸連接在變速箱的另一端下方,在變速箱內(nèi),轉(zhuǎn)軸與電機(jī)用皮帶連接,在機(jī)箱上安裝工作臺,機(jī)箱的側(cè)面安裝有工作臺橫移手輪和縱移手輪,在工作臺上安裝固定座,固定座上固定有真空座,在真空座側(cè)面安裝有抽氣管,頂端安裝晶片吸座,晶片吸座外套有晶片定位套,晶片放置在晶片吸座上,在晶片吸座外套裝有防濺箱,防濺箱上端安裝沖水管,下端安裝排水管。采用上述技術(shù)方案,將晶片放置在晶片吸座上,用晶片定位套校準(zhǔn)其位置,對真空座內(nèi)部進(jìn)行抽真空,晶片即被吸牢在晶片吸座頂端,此時可用該機(jī)的磨頭對晶片的邊緣進(jìn)行打磨。采用本技術(shù)方案后,可實(shí)現(xiàn)晶片磨邊的機(jī)械化生產(chǎn)。

      圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
      具體實(shí)施方式
      實(shí)施例一種晶片磨邊機(jī),在機(jī)座I的中部安裝有機(jī)箱4,上部安裝有轉(zhuǎn)臂18,轉(zhuǎn)臂18的前端安裝有固定套13,固定套13內(nèi)安裝升降軸12,升降軸12內(nèi)安裝轉(zhuǎn)軸11,轉(zhuǎn)軸11的下端安裝有磨頭20,固定套13的上端安裝變速箱14,變速箱14 一端安裝電機(jī)16,變速箱14上端安裝升降軸12的升降手柄15,轉(zhuǎn)軸11連接在變速箱11的另一端下方,在變速箱內(nèi),轉(zhuǎn)軸11與電機(jī)16用皮帶17連接,在機(jī)箱4上安裝工作臺5,機(jī)箱4的側(cè)面安裝有工作臺橫移手輪3和縱移手輪2,在工作臺5上安裝固定座23,固定座23上固定有真空座6,在真空座6側(cè)面安裝有抽氣管22,頂端安裝晶片吸座21,晶片吸座21外套有晶片定位套9,晶片10放置在晶片吸座21上,在晶片吸座21外套裝有防濺箱8,防濺箱8上端安裝沖水管19,下端安裝排水管7。
      權(quán)利要求1 晶片磨邊機(jī),在機(jī)座(I)的中部安裝有機(jī)箱(4),上部安裝有轉(zhuǎn)臂(18),轉(zhuǎn)臂(18)的前端安裝有固定套(13),固定套(13)內(nèi)安裝升降軸(12),升降軸(12)內(nèi)安裝轉(zhuǎn)軸(11),轉(zhuǎn)軸(11)的下端安裝有磨頭(20),固定套(13)的上端安裝變速箱(14),變速箱(14) 一端安裝電機(jī)(16),變速箱(14)上端安裝升降軸(12)的升降手柄(15),轉(zhuǎn)軸(11)連接在變速箱(11)的另一端下方,在變速箱內(nèi),轉(zhuǎn)軸(11)與電機(jī)(16 )用皮帶(17 )連接,在機(jī)箱(4 )上安裝工作臺(5),機(jī)箱(4)的側(cè)面安裝·有工作臺橫移手輪(3)和縱移手輪(2),其特征在于在工作臺(5)上安裝固定座(23),固定座(23)上固定有真空座(6),在真空座(6)側(cè)面安裝有抽氣管(22),頂端安裝晶片吸座(21),晶片吸座(21)外套有晶片定位套(9),晶片(10)放置在晶片吸座(21)上,在晶片吸座(21)外套裝有防濺箱(8),防濺箱(8)上端安裝沖水管(19),下端安裝排水管(7)。
      專利摘要晶片磨邊機(jī),在機(jī)座的中部安裝有機(jī)箱,上部安裝有轉(zhuǎn)臂,轉(zhuǎn)臂的前端安裝有固定套,固定套內(nèi)安裝升降軸,升降軸內(nèi)安裝轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸的下端安裝有磨頭,固定套的上端安裝變速箱,變速箱一端安裝電機(jī),變速箱上端安裝升降軸的升降手柄,轉(zhuǎn)軸連接在變速箱的另一端下方,在變速箱內(nèi),轉(zhuǎn)軸與電機(jī)用皮帶連接,在機(jī)箱上安裝工作臺,機(jī)箱的側(cè)面安裝有工作臺橫移手輪和縱移手輪,在工作臺上安裝固定座,固定座上固定有真空座,在真空座側(cè)面安裝有抽氣管,頂端安裝晶片吸座,晶片吸座外套有晶片定位套,晶片放置在晶片吸座上,在晶片吸座外套裝有防濺箱,防濺箱上端安裝沖水管,下端安裝排水管,采用本技術(shù)方案后,可實(shí)現(xiàn)晶片磨邊的機(jī)械化生產(chǎn)。
      文檔編號B24B9/06GK202607455SQ20122021476
      公開日2012年12月19日 申請日期2012年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月14日
      發(fā)明者吳康, 殷國祥, 胡文宏, 黃國洪, 王鴻偉 申請人:云南藍(lán)晶科技股份有限公司
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