專利名稱：一種pecvd射頻電極接頭的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及電極接頭技術領域，特別涉及一種PECVD射頻電極接頭。
背景技術：
在半導體工業(yè)制造中，生產(chǎn)芯片、處理器等半導體器件、薄膜太陽能電池、液晶等平板顯示器過程中，都要用到射頻電源。射頻電源是產(chǎn)生等離子體的配套電源，主要由射頻功率源和阻抗匹配器組成，廣泛應用于濺射鍍膜，PECVD (化學氣相沉積)，反應離子刻蝕等 設備中。化學氣相沉積(PECVD)制備Si基薄膜太陽電池過程中采用射頻電源提供高頻電信號產(chǎn)生等離子體，反應后生成非晶硅薄膜。射頻電源經(jīng)匹配器后與設備通過接頭連接，射頻電極接頭必須有良好接觸，以減少功率反射，同時電極接頭外套筒須接地。常用電極接頭連接方式如圖I和圖2所示，I為壓桿，2為壓塊，3為接地金屬套，4為金屬連接桿，5為絕緣層，其中壓桿I和接地金屬套3由一種金屬材料制成，壓塊2和金屬連接桿4由另一種金屬材料制成，絕緣層5由絕緣材料制成。目前設備中采用的是以壓桿I擠壓壓塊2，從而達到電極接頭(插口和接口接地端)接地良好的目的。上述方式接頭在實際應用過程中常有連接不好(壓桿磨損或壓塊變形)以至射頻電極無法正常工作，影響到產(chǎn)品質量及產(chǎn)能；同時由于接頭接連操作步驟多還影響到生產(chǎn)效率提高。因此，如何提供一種PECVD射頻電極接頭，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性，成為本領域技術人員亟待解決的重要技術問題。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型提供了一種PECVD射頻電極接頭，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案一種PECVD射頻電極接頭，包括電極接口，所述電極接口包括具有插槽結構的電極接口本體，所述電極接口本體的內(nèi)壁嵌設有定位滾珠，所述電極接口本體的外壁上套設有電極接口滑動座，所述電極接口滑動座上開設有用于同所述定位滾珠配合的第一凹槽，且所述電極接口滑動座的一側通過彈簧連接于所述電極接口本體，所述彈簧能夠提供沿軸向遠離所述插槽的槽底方向的回復力；電極插口，包括具有用于同所述插槽結構配合的插頭結構的電極插口本體，所述電極插口本體還具有用于同所述電極接口滑動座與所述彈簧相對一側相抵的底座結構，且所述插頭結構的外壁上開設有用于同所述定位滾珠配合的第二凹槽。優(yōu)選的，所述第一凹槽和所述第二凹槽均為半球形凹槽。優(yōu)選的，所述半球形凹槽的邊緣部分倒有圓角。優(yōu)選的，所述定位滾珠具體為金屬滾珠。[0014]優(yōu)選的，所述定位滾珠具體為定位鋼珠。優(yōu)選的，所述電極接口本體上設置有用于防止所述電極接口滑動座脫離的卡簧。優(yōu)選的，所述電極接口本體的所述插槽結構內(nèi)和所述電極插口本體的所述插頭結構上分別設置有用于傳遞高頻電信號的電極接口連接部和電極插口連接槽。優(yōu)選的，所述電極插口連接槽內(nèi)設置有彈性件。優(yōu)選的，所述彈性件具體為三片金屬彈片。優(yōu)選的，所述插槽結構的內(nèi)壁和所述插頭結構的外壁上的相應部分分別具有相互配合的錐形面。從上述的技術方案可以看出，本實用新型提供的PECVD射頻電極接頭，通過在電 極接口內(nèi)壁嵌設有定位滾珠，在使用時只需要移動電極接口滑動座，待電極插口的接頭結構插入到電極接口的插槽結構中，利用彈簧的回復力，促使電極接口滑動座往回滑動直至被電極插口的底座結構抵住，同時壓迫定位滾珠進入到電極插口外壁上的第二凹槽中并與之夾緊，從而實現(xiàn)對電極接口和電極插口的定位，完成PECVD射頻電極接頭的連接；該裝置在固定電極接頭的同時保證電極接口與電極插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性及Si基薄膜太陽電池生產(chǎn)效率。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為現(xiàn)有技術中常用的電極接頭的正視簡圖；圖2為圖I的側視簡圖；圖3為本實用新型實施例提供的PECVD射頻電極接頭的爆炸結構示意圖。其中，圖I和圖2中，I為壓桿，2為壓塊，3為接地金屬套，4為金屬連接桿，5為絕
緣層；圖3中，11為電極接口本體，12為電極接口滑動座，13為電極接口連接部，14為定位滾珠，15為卡簧，16為彈簧，17為接口絕緣層，18為金屬彈片，19為電極插口本體，20為
插口絕緣層。
具體實施方式
本實用新型公開了一種PECVD射頻電極接頭，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性。下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖3，圖3為本實用新型實施例提供的PECVD射頻電極接頭的爆炸結構示意圖。[0030]本實用新型實施例提供的PECVD射頻電極接頭，其核心改進點在于，包括電極接口，電極接口包括具有插槽結構的電極接口本體11，電極接口本體11的內(nèi)壁嵌設有定位滾珠14，其上設置有相應的通孔，電極接口本體11的外壁上套設有電極接口滑動座12，電極接口滑動座12上開設有用于同定位滾珠14配合的第一凹槽，且電極接口滑動座12的一側通過彈簧16連接于電極接口本體1，彈簧16能夠提供沿軸向遠離插槽的槽底方向的回復力；電極插口，包括具有用于同插槽結構配合的插頭結構的電極插口本體19，電極插口本體19還具有用于同電極接口滑動座12與彈簧16相對一側相抵的底座結構，且插頭結構的外壁上開設有用于同定位滾珠14配合的第二凹槽。上述的電極接口和電極插口分別用于同需要連接的不同部件相連，其連接方式具 體可以采用套接或者螺紋連接?，F(xiàn)舉實例并結合圖3對本實用新型實施例提供的PECVD射頻電極接頭的結構及各部分功能做詳細描述。撥動電極接口滑動座12，電極接口滑動座12將從初始狀態(tài)開始壓縮彈簧16，同時沿水平方向向左側移動；當電極接口滑動座12移動到一定位置時，定位滾珠14部分將進入電極接口滑動座12的第一凹槽中，接著將電極插口沿水平方向緩慢移動到電極接口中，定位滾珠14將沿電極插口本體19的外輪廓滾動，當電極插口無法移動時松開電極接口滑動座12，彈簧16恢復到初始狀態(tài)，定位滾珠14將在電極接口滑動座12的擠壓下進入到電極插口本體19外輪廓的第二凹槽中并與之夾緊。從上述的技術方案可以看出，本實用新型實施例提供的PECVD射頻電極接頭，通過在電極接口內(nèi)壁嵌設有定位滾珠14，在使用時只需要移動電極接口滑動座12，待電極插口的接頭結構插入到電極接口的插槽結構中，利用彈簧16的回復力，促使電極接口滑動座12往回滑動直至被電極插口的底座結構抵住，同時壓迫定位滾珠14進入到電極插口外壁上的第二凹槽中并與之夾緊，從而實現(xiàn)對電極接口和電極插口的定位，完成PECVD射頻電極接頭的連接；該裝置在固定電極接頭的同時保證電極接口與電極插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性及Si基薄膜太陽電池生產(chǎn)效率。作為優(yōu)選，第一凹槽和第二凹槽均為半球形凹槽，用于同定位滾珠14的球形結構相配合，能夠達到更加良好的定位效果。當然，還可以根據(jù)實際使用情況選用其他結構比如方形的凹槽，對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的，在此不再贅述。為了進一步方便定位滾珠14在電極插口本體19外輪廓的滾動，上述半球形凹槽的邊緣部分倒有圓角，方便了使用時的插接，同時減少了零部件之間的摩擦，進而延長了整個裝置的使用壽命。作為優(yōu)選，本實用新型實施例提供的PECVD射頻電極接頭，定位滾珠14具體為金屬滾珠，具有較高的強度，保證了接頭連接的可靠性。進一步的，所述定位滾珠14具體為定位鋼珠。當然，本領域技術人員可以根據(jù)實際情況對定位滾珠14的具體材料進行相應的調整，在此不再贅述。如圖3所示，電極接口本體11上設置有用于防止電極接口滑動座12脫離的卡簧15，在這里卡簧15具體為環(huán)設在電極接口本體11外壁上的限位結構，電極接口滑動座12與卡簧15相對的一側開設有同卡簧15限位結構相配合的凹槽，能夠避免電極接口滑動座12被彈簧16推離接口，保證了整個裝置的穩(wěn)定性和可靠性。本實用新型實施例提供的PECVD射頻電極接頭，電極接口本體11的插槽結構內(nèi)和電極插口本體19的插頭結構上分別設置有用于傳遞高頻電信號的電極接口連接部13和電極插口連接槽，進一步提高了該電極接頭連接的穩(wěn)定性。電極接口本體11、電極接口滑動座12、為電極接口連接部13、電極插口本體19和電極插口連接槽均為由金屬材料制成，為了保護了電極接口內(nèi)部用于傳遞高頻電信號的元件，在電極接口和電極插口內(nèi)還分別設置有接口絕緣層17和插口絕緣層20，在本實施例中，接口絕緣層17具體由陶瓷材料制成，插口絕緣層20具體由塑料材料制成。為了進一步優(yōu)化上述的技術方案，電極插口連接槽內(nèi)設置有彈性件，以保證與接口本體插頭接觸良好。作為優(yōu)選，彈性件具體為三片金屬彈片18，均勻分布在電極插口連接槽內(nèi)。當然，在此只是給出了一個優(yōu)選的實施例，彈性件的具體形式及使用的數(shù)量并不僅僅局限于此，對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的，在此不再贅述。插槽結構的內(nèi)壁和插頭結構的外壁上的相應部分分別具有相互配合的錐形面，用于在插接時起到引導作用，同時保證了連接后的穩(wěn)定性。綜上所述，本實用新型實施例提供的PECVD射頻電極接頭，采用與氣路和水路連接常用的快接頭相結合的方式來實現(xiàn)PECVD射頻電極接頭連接，該裝置在固定電極接頭的同時保證接口與插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性及Si基薄膜太陽電池生產(chǎn)效率。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業(yè)技術人員能夠實現(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權利要求1.一種PECVD射頻電極接頭，其特征在于，包括 電極接口，所述電極接口包括具有插槽結構的電極接口本體(11)，所述電極接口本體(11)的內(nèi)壁嵌設有定位滾珠(14)，所述電極接口本體(11)的外壁上套設有電極接口滑動座(12)，所述電極接口滑動座(12)上開設有用于同所述定位滾珠(14)配合的第一凹槽，且所述電極接口滑動座(12)的一側通過彈簧(16)連接于所述電極接口本體(1)，所述彈簧(16)能夠提供沿軸向遠離所述插槽的槽底方向的回復力； 電極插口，包括具有用于同所述插槽結構配合的插頭結構的電極插口本體(19)，所述電極插口本體(19)還具有用于同所述電極接口滑動座(12)與所述彈簧(16)相對一側相抵的底座結構，且所述插頭結構的外壁上開設有用于同所述定位滾珠(14)配合的第二凹槽。
2.根據(jù)權利要求I所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述第一凹槽和所述第二凹槽均為半球形凹槽。
3.根據(jù)權利要求2所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述半球形凹槽的邊緣部分倒有圓角。
4.根據(jù)權利要求I所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述定位滾珠(14)具體為金屬滾珠。
5.根據(jù)權利要求4所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述定位滾珠(14)具體為定位鋼珠。
6.根據(jù)權利要求I所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述電極接口本體(11)上設置有用于防止所述電極接口滑動座(12 )脫離的卡簧(15 )。
7.根據(jù)權利要求I所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述電極接口本體(11)的所述插槽結構內(nèi)和所述電極插口本體(19)的所述插頭結構上分別設置有用于傳遞高頻電信號的電極接口連接部(13)和電極插口連接槽。
8.根據(jù)權利要求7所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述電極插口連接槽內(nèi)設置有彈性件。
9.根據(jù)權利要求8所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述彈性件具體為三片金屬彈片(18)。
10.根據(jù)權利要求1-9的任意一項所述的PECVD射頻電極接頭，其特征在于，所述插槽結構的內(nèi)壁和所述插頭結構的外壁上的相應部分分別具有相互配合的錐形面。
專利摘要本實用新型公開了一種PECVD射頻電極接頭，通過在電極接口內(nèi)壁嵌設有定位滾珠，在使用時只需要移動電極接口滑動座，待電極插口的接頭結構插入到電極接口的插槽結構中，利用彈簧的回復力，促使電極接口滑動座往回滑動直至被電極插口的底座結構抵住，同時壓迫定位滾珠進入到電極插口外壁上的第二凹槽中并與之夾緊，從而實現(xiàn)對電極接口和電極插口的定位，完成PECVD射頻電極接頭的連接；該裝置在固定電極接頭的同時保證電極接口與電極插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩(wěn)定性及Si基薄膜太陽電池生產(chǎn)效率。
文檔編號C23C16/505GK202786425SQ20122038401
公開日2013年3月13日 申請日期2012年8月3日 優(yōu)先權日2012年8月3日
發(fā)明者呂勇, 劉俊峰, 陳健健, 魏雪林, 李先林, 孟龍 申請人:海南漢能光伏有限公司