用于提供順序的功率脈沖的方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于提供用于PVD霧化陰極的功率脈沖的方法，PVD霧化陰極包括功率吸收部件和部分陰極，其中在發(fā)生器的功率建立間隔期間在功率吸收部件上降低功率并且接著在部分陰極上降低功率，其中如此切換，使得不必中斷從提供功率的發(fā)生器提取功率。
【專利說明】用于提供順序的功率脈沖的方法

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于產生功率脈沖的方法。

【背景技術】
[0002]這種功率脈沖例如在HIPMS技術的領域中是必需的。HIPMS代表高功率脈沖磁控管濺射。在此，涉及一種真空涂層方法，其中借助非常高的放電電流由陰極濺射材料，由此保證了被濺射的材料被完全正離子化。同時，如果將負電壓施加到到要涂層的襯底，則這會導致:通過霧化形成的正離子朝向襯底被加速并且因此引起構建密的層。在此使用例如40kW和更大的功率。然而，僅在短功率脈沖的背景下可由陰極霧化材料，因為電極在較長的功率作用情況下可能會被過熱損傷。可由陰極利用高功率霧化的持續(xù)時間因此必須受限，這導致最大所允許的脈沖持續(xù)時間。
[0003]要實現(xiàn)的方案在于，將整個陰極劃分成部分陰極并且將功率相繼依次施加到部分陰極上。這個概念指的是，多個彼此絕緣的陰極(在此稱作部分陰極)設置在涂層設備中，使得局部受限地會出現(xiàn)高放電電流。該方案的可能的實現(xiàn)方案在德國專利申請DE102011018363中予以描述。
[0004]在作用于部分陰極的功率脈沖期間，由該陰極利用高放電電流密度來濺射。同時，該部分陰極或其他部分陰極可以在將功率脈沖重新作用于其上之前冷卻。
[0005]然而，本發(fā)明人已確定:脈沖持續(xù)時間本身對借助磁控管濺射構建的層的層特性有大的影響。因此通常需要發(fā)生器，其能夠不僅輸出短的而且持續(xù)相對長的高功率脈沖。
[0006]發(fā)生器通常在恒定電流的情況下可靠地提供恒定電壓。在英語中，其稱作“powersupply”，這一樣翻譯為如功率供給。如上面所描述的那樣產生高功率的短功率脈沖的情況變得要求高。在要輸出例如40kW的功率的功率供給接通時利用市售的大小等級為大約700 μ s的電壓源如在此那樣。如果需要具有較短脈沖持續(xù)時間的功率脈沖，則可供使用的時間已在完全的功率建立之前結束。這種脈沖的功率分布相應不受控地是動態(tài)的并且基于此建立的濺射方法導致會劣質產生的并且在其特性方面次優(yōu)的層。


【發(fā)明內容】

[0007]利用根據(jù)本發(fā)明的本方法因此要說明一種以簡單方式實現(xiàn)具有限定的分布的功率脈沖的可能性，其中功率脈沖的持續(xù)時間要以簡單方式能夠通過寬的間隔上縮放。
[0008]根據(jù)本發(fā)明，該任務通過如下方式來解決:與第一部分陰極所屬的功率脈沖間隔與屬于第二部分陰極的功率脈沖曲線如此在時間上略微重疊，使得在將功率從第一部分陰極重導向到第二部分陰極上時提供功率的發(fā)生器不必關斷而是從發(fā)生器的功率提取不中斷地進行并且因此不必發(fā)生重新的功率建立。在兩個功率脈沖間隔的重疊的時間期間，等離子體只在第一部分陰極處燃燒，因為關于此方面的阻抗明顯低于尚未被點燃的第二部分陰極的阻抗。在第一部分陰極在第一功率脈沖間隔結束時與發(fā)生器分離的情況下，等離子體才在第二部分陰極上被點燃，然而這快到使得出現(xiàn)從發(fā)生器基本上連續(xù)的功率提取。若存在第三部分陰極，則確保:與第三部分陰極所屬的功率脈沖間隔與屬于第二部分陰極的功率脈沖間隔(優(yōu)選略微)重疊，使得在將功率從第二部分陰極重導向到第三部分陰極時不會再出現(xiàn)功率提取的中斷。略微重疊在此指的是在x*0.0 Ims范圍中的重疊，其中0.5 < X< 10。一般而言，確保的是，第η部分陰極所屬的功率脈沖間隔與屬于第(η-1)部分陰極的功率脈沖間隔(優(yōu)選略微)充電，由此在將功率從第(η-1)部分陰極重導向到第η部分陰極時避免從發(fā)生器的功率提取中斷。只有在功率曾被重導向到最后的部分陰極上并且該最后的部分陰極所屬的功率脈沖曾被輸出時，即當功率脈沖循環(huán)(以下也稱作組)完全結束時，才中斷從發(fā)生器的功率提取。接著的功率停頓為此在第一部分陰極在相應的間隔中重新施加以與其所屬的功率脈沖之前被用于冷卻部分陰極。
[0009]然而，這樣的方法過程導致，至少在第一部分陰極上輸出的功率脈沖在發(fā)生器的功率建立的時間范圍中并且相應的功率脈沖具有相應的不期望的分布。根據(jù)本發(fā)明的一種優(yōu)選的實施形式，因此在將功率施加到第一部分陰極之前在至少大約功率建立間隔中將功率施加給所謂的虛擬陰極。在此，主要涉及功率吸收器而不涉及針對該應用所使用的陰極。于是確保的是:第一部分陰極所屬的功率脈沖間隔略微與功率建立間隔重疊，由此在從虛擬陰極重導向到第一部分陰極上時避免從發(fā)生器的功率提取中斷并且在第一功率脈沖間隔的范圍中基本上已存在全功率可用。上面提及的虛擬陰極例如可以利用帶有歐姆電阻的電流回路來實現(xiàn)，在該電阻上降落有相應的電壓并且功率因此被轉化成熱。
[0010]如前面提及的那樣，功率建立間隔可以完全在圍繞700 μ S的大小量級中。在該間隔中由發(fā)生器向虛擬陰極輸出的功率對涂覆工藝無益，也就是說損失掉并且為損耗。這在功率脈沖循環(huán)即組間隔大于功率建立間隔并且因此功率損耗僅占小百分比時才無問題。當然這在功率脈沖間隔變小到使得功率建立間隔與群間隔相比變得絕對重要時而有問題。在這樣的情況下，出現(xiàn)顯著的且由此不可接受的功率損耗。
[0011]這可以利用本發(fā)明的另一優(yōu)選的實施形式來避免。也就是說，本發(fā)明已認識到，恰好在短功率脈沖間隔的情況下還甚至不需要對部分陰極進行冷卻。在此情況下，接著第一功率脈沖循環(huán)之后是第二功率脈沖循環(huán)。在此確保:第二功率脈沖循環(huán)(即第二組)的第一功率脈沖間隔與第一組的第一功率脈沖循環(huán)的最后的功率脈沖間隔略微重疊，使得可以將功率從最后的部分陰極重定向到第一部分陰極，而實現(xiàn)從發(fā)生器進行功率提取無中斷。以此方式，對于第二組而言避免功率建立間隔并且避免隨功率導出到虛擬陰極上而出現(xiàn)的功率損耗?？赡艿氖?，以相應的方式將許多組并排排列，直至由于在部分陰極中出現(xiàn)的熱生成而必須或應發(fā)生功率輸送的實際中斷。在這樣的組隊列中，在該隊列開頭處僅僅需要一次在功率建立間隔期間將功率引導到虛擬陰極上。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]現(xiàn)在詳細且根據(jù)附圖示意性借助派射工藝(Sputtertechnologie)來闡述本發(fā)明。
[0013]圖1示意性示出了這種組隊列，
[0014]圖2示出了根據(jù)一種實施形式的結構，由此功率供給單元3包括發(fā)生器gl至g6，其配置為主從單元并且經由開關SI至S6可以與部分陰極ql至q6連接，
[0015]圖3示出了根據(jù)圖2的結構，其中主從單元是分離的，使得每個部分陰極能夠由發(fā)生器直接饋電。
[0016]在隨后的示例中使用如下縮寫:
[0017]Pavg平均濺射功率
[0018]Pmax最大濺射功率(脈沖功率)
[0019]tpn 脈沖長度
[0020]tdn 脈沖延遲
[0021]N 組數(shù)目(N = 0...，500)
[0022]η 通道編號
[0023](=部分陰極的數(shù)目，η= O,...,6, η = O對應于虛擬陰極)
[0024]fr 重復頻率
[0025]tr 重復持續(xù)時間=1/fr
[0026]為了避免陰極過熱，示例性假設:在功率隊列內施加到部分陰極上的總時間必須小于10ms:
[0027](tpn_tdn)*N < 100ms = Tmax

【具體實施方式】
[0028]1.第一示例:
[0029]在第一示例的范圍中，對虛擬陰極施加功率持續(xù)0.5ms,即損耗間隔tpO為0.5ms,并且由此一定包括大約0.25ms的功率建立間隔。除了虛擬陰極之外，使用6個部分陰極。在組中將功率施加到部分陰極上的功率脈沖間隔固定在tpl-6 = 0.2ms上并且功率脈沖間隔的重疊固定在tdl-6 = 0.02ms?？偣步洑v10個功率循環(huán)，即10個組與損耗間隔一起形成隊列。由此，總隊列間隔持續(xù) 10*6*(0.2ms-0.02ms) +0.5ms = 10.8ms+0.5ms = 11.3ms。
[0030]由此，0.5ms的損耗間隔針對用于涂層目的的功率輸出的10.8ms的時間。因此與虛擬陰極上的功率損耗相比，使用多于20倍的針對涂層目的功率。
[0031]現(xiàn)在如果在功率脈沖間隔期間在部分陰極上有40kW并且在每個部分陰極上預給定5kW的平均濺射功率，總隊列間隔要以69.4Hz的頻率重復，因為適于:
[0032](tpn-tdn)*N*Pmax*fr = 0.18ms*10*40kW*69.4Hz = 5kW。
[0033]在虛擬陰極上對應最大0.5ms*40kW*69.4Hz = 1.39kff的平均功率損耗。69.4Hz的重復頻率對應于14.4ms的重復持續(xù)時間。在11.3ms的總隊列間隔的持續(xù)時間的情況下，這意味著:在隊列之間要插入3.1ms的停頓。
[0034]2.第二示例:
[0035]在第二示例的范圍中，功率脈沖間隔減小到0.07ms并且組的數(shù)目提高到100。其他參數(shù)被包含。由此，總隊列間隔持續(xù)100*6* (0.07ms-0.02ms) +0.5ms = 30ms+0.5ms =
30.5ms o
[0036]由此，0.5ms的損耗間隔針對用于涂層目的的功率輸出的30ms的時間。因此與虛擬陰極上的功率損耗相比，使用多于60倍的針對涂層目的功率。
[0037]現(xiàn)在如果在功率脈沖間隔期間在部分陰極上有40kW并且在每個部分陰極上預給定5kW的平均濺射功率，總隊列間隔要以25Hz的頻率重復，因為適于:
[0038](tpn-tdn)*N*Pmax*fr = 0.05ms*100*40kW*25Hz = 5kW。
[0039]其對應在虛擬陰極上的最大0.5ms*40kW*25Hz = 0.5kff的平均功率損耗。25Hz的重復頻率對應于40ms的重復持續(xù)時間。在30.5ms的總隊列間隔的持續(xù)時間的情況下這意味著:9.5ms的停頓要插入在兩個隊列之間。
[0040]3.示例:
[0041]在第三示例的范圍中，功率脈沖間隔減小到0.05ms并且組的數(shù)目提高到1000。其他參數(shù)被包含。由此，總隊列間隔持續(xù)1000*6*(0.05ms-0.02ms)+0.5ms = 180ms+0.5ms =180.5ms o
[0042]由此，0.5ms的損耗間隔針對用于涂層目的的功率輸出的180ms的時間。因此與虛擬陰極上的功率損耗相比，使用多于360倍的針對涂層目的功率。
[0043]現(xiàn)在如果在功率脈沖間隔期間在部分陰極上有60kW并且在每個部分電極上預給定大約5kW的平均濺射功率，總隊列間隔要以2.7Hz的頻率重復，因為適于:
[0044](tpn-tdn)*N*Pmax*fr = 0.03ms*1000*60kW*2.7Hz = 4.86kff
[0045]其對應在虛擬陰極上的最大0.5ms*60kW*2.7Hz = 8Ikff的平均功率損耗。2.7Hz的重復頻率對應于360ms的重復持續(xù)時間。在180.5ms的總隊列間隔的持續(xù)時間的情況下這意味著:179.5ms的停頓要插入在兩個隊列之間。
[0046]4.示例:
[0047]在第四示例的范圍中，保留0.05ms的功率脈沖間隔和1000個的組數(shù)目，同樣其他參數(shù)。由此，總隊列間隔持續(xù) 1000*6*(0.05ms-0.02ms)+0.5ms = 180ms+0.5ms = 180.5ms。
[0048]由此，0.5ms的損耗間隔針對用于涂層目的的功率輸出的180ms的時間。因此與虛擬陰極上的功率損耗相比，使用多于360倍的針對涂層目的功率。
[0049]現(xiàn)在如果在功率脈沖間隔期間在部分陰極上存在不再是如示例3中的60kW而是存在僅僅33kW并且在每個部分陰極上預給定大約5kW的平均濺射功率，則總隊列間隔要以5.05Hz的頻率重復，因為適于:
[0050](tpn-tdn) *N
[0051]*Pmax*fr = 0.03ms*1000*33kW*5.05Hz = 5kff
[0052]其對應在虛擬陰極上的最大0.5ms*33kW*5.05Hz = 83W的平均功率損耗。5.05Hz的重復頻率對應于198ms的重復持續(xù)時間。在180.5ms的總隊列間隔的持續(xù)時間的情況下這意味著:僅僅17.5ms的停頓要插入在兩個隊列之間。
[0053]如上面簡述的示例所示，根據(jù)本發(fā)明的方法允許簡單地縮放脈沖持續(xù)時間、脈沖高度、脈沖重復頻率以及在損耗功率近似小到消失時的脈沖分布的精確限定。能以關鍵字概括可縮放的脈沖特征的所有量在濺射時并且尤其在HIPMS技術的范圍中對在此形成的層的特性有直接影響。盡管本發(fā)明的說明書為提供濺射技術范圍的功率脈沖，但其完全可在此有利地使用在必須在脈沖范疇內施加比較高的功率到負載上的地方。
[0054]圖1示出了對應于這些例子的情況，不僅作為統(tǒng)一的隊列而且也分裂成損耗間隔
(O)并且部分陰極(1-6)上的功率脈沖間隔。在此，水平軸為時間軸，而豎直軸對應于由發(fā)生器輸出的功率。然而，在該圖中僅示出了 3個組。
[0055]如上面所描述的那樣，通過引入虛擬電極實現(xiàn)可對每個部分陰極施加精確限定的功率脈沖分布，因為該虛擬陰極可以處理在功率建立間隔期間所輸出的功率。如本發(fā)明人已發(fā)現(xiàn)的那樣，若在濺射期間出現(xiàn)所謂的電弧放電，則該虛擬陰極才是非常有用的。即如果借助檢測裝置識別出這樣的電弧放電也即閃光，則通常將發(fā)生器關斷，這意味著:在隊列內不再有由發(fā)生器產生的未中斷的功率輸出。相應地，借助虛擬陰極可以實現(xiàn)將功率轉向到該陰極上并且發(fā)生器可以不受干擾和無中斷地輸出其功率。
[0056]還應注意的是，提供連續(xù)的功率脈沖的根據(jù)本發(fā)明的方法允許使用簡單的發(fā)生器。這樣，發(fā)生器例如可以是功率供給單元，其配置為主從單元。主從配置可理解為兩個或更多個發(fā)生器的輸出端的并聯(lián)連接，其中要設定的功率在發(fā)生器中之一上(主機)上選擇，而其他發(fā)生器以電子方式連接，使得其在其設定方面跟隨主機。這尤其也還具有如下優(yōu)點:當例如要從HIPMS濺射切換到常規(guī)濺射上時，主從配置可以被觸發(fā)并且部分陰極分別可以屬于主機或從機。
[0057]優(yōu)選地，部分陰極包括在靶標之后分別可運動的磁體系統(tǒng)，其用于使相應的軌跡漫游經過相應的部分靶標。如果該設備以HIPMS模式運行，則在部分靶標之后優(yōu)選旋轉的磁體系統(tǒng)根據(jù)本發(fā)明以如下頻率運動，該頻率優(yōu)選與濺射源的反復的功率脈沖的頻率未形成定量(rat1nnales)比例。由此確保了均勻地將材料從祀標表面剝離掉。
[0058]描述了一種用于提供具有可放縮的功率脈沖間隔的功率脈沖來驅動PVD霧化陰極的方法，PVD霧化陰極包括第一部分陰極和第二部分陰極，其中對于部分陰極預設最大平均功率施加，并且其中功率脈沖間隔的持續(xù)時間被預設并且該方法包括如下步驟:
[0059]a)提供發(fā)生器，其具有優(yōu)選至少在功率建立間隔接通之后和結束之后預設的恒定功率輸出
[0060]b)接通發(fā)生器
[0061]c)將第一部分陰極連接到發(fā)生器，使得第一部分陰極施加以發(fā)生器的功率
[0062]d)在預設的對應于第一部分陰極的第一功率脈沖間隔結束之后將發(fā)生器與第一部分陰極分尚
[0063]e)將第二部分陰極連接到發(fā)生器，使得第二部分陰極施加以發(fā)生器的功率
[0064]f)在預設的對應于第二部分陰極的第二功率脈沖間隔結束之后將發(fā)生器與第二部分陰極分尚
[0065]其中第一功率脈沖間隔在時間上在第二功率脈沖間隔之前開始并且第一功率脈沖間隔在時間上在第二功率脈沖間隔之前結束，其中步驟d)和e)實施為，第一功率脈沖間隔和第二功率脈沖間隔在時間上重疊并且所有功率脈沖間隔一起形成第一組，使得發(fā)生器的功率輸出連續(xù)無中斷地從第一功率脈沖間隔的開頭到第二功率脈沖間隔的結束保持存在并且不會出現(xiàn)第二功率建立間隔。
[0066]第一功率脈沖間隔和第二功率脈沖間隔在時間上的重疊優(yōu)選并不應大于功率脈沖間隔的X %，或如果第一功率脈沖間隔與第二功率脈沖間隔在持續(xù)時間上不同，則不大于功率脈沖間隔的X%，為更短的持續(xù)時間，其中X小于等于20，優(yōu)選X小于等于10。
[0067]PVD霧化陰極可以包括至少一個另外的部分陰極，優(yōu)選多個另外的部分陰極，其中所述另外的部分陰極根據(jù)步驟e)和f)連接到發(fā)生器上并且與其分離，其中按順序的另一部分陰極所屬的相應功率脈沖間隔分別與對應于緊隨先前按順序的部分陰極的功率脈沖間隔在時間上重疊，并且第一功率脈沖間隔、第二功率脈沖間隔和該功率脈沖間隔或其他功率脈沖間隔一起形成時間上不中斷的第一組，使得發(fā)生器的功率輸出在通過第一組形成的組間隔期間連續(xù)無中斷地保持存在并且不會出現(xiàn)第二功率建立間隔。
[0068]接著第一組可以是第二組，在其內根據(jù)第一組對第一部分陰極、第二部分陰極和必要時其他部分陰極在重疊的功率脈沖間隔內施加以功率脈沖，其中第二組可接于第二組之后，使得第二組的第一功率脈沖間隔與第一組的最后的功率脈沖間隔重疊，使得發(fā)生器的功率輸出從第一組的第一功率間隔開始至第二組的最后的功率間隔結束連續(xù)無中斷地保持并且不會發(fā)生第二功率建立間隔。
[0069]根據(jù)針對組I和組2表述的條件，N個組可以彼此緊接著，其中N為大于I的整數(shù)。
[0070]但組的數(shù)目N應優(yōu)選最大僅選擇得大到使得對于每個部分陰極適用n，與其所屬的功率脈沖間隔tpn之和減去對于所有組I至N的相應的重疊tdn不超過10ms的最大時間。
[0071]在損耗間隔期間，由發(fā)生器輸出的功率可向并不用于例如涂覆的負載輸出，其中損耗間隔至少包括功率建立間隔并且損耗間隔與第一組的第一功率脈沖間隔重疊并且損耗間隔與這些組一起形成不中斷的隊列。
[0072]上面概述的方法可以多次重復并且分別在最后組的最后的功率脈沖間隔之后可以關斷發(fā)生器一個停頓并且該停頓可以選擇得長到使得向部分陰極輸出的在時間上平均的功率在考慮該停頓的情況下對應于預設的值。
[0073]利用上面所描述的方法可以執(zhí)行HIPMS方法，其中發(fā)生器的預設功率在至少20kff的情況下優(yōu)選為至少40kW并且特別優(yōu)選為60kW。
[0074]在HIPMS方法中，參數(shù)可優(yōu)選選擇為使得向部分陰極輸出的在時間上平均的功率在1kW之下并且優(yōu)選為5kW，其中偶爾并且在陰極上局部占主導的放電電流密度優(yōu)選大于 0.2A/cm2。
[0075]描述了一種用于提供具有可放縮的功率脈沖間隔的功率脈沖來驅動PVD霧化陰極的方法，其中PVD霧化陰極包括功率吸收部件和第一部分陰極，其中對于部分陰極而言預設最大平均功率施加，并且其中功率脈沖間隔的持續(xù)時間被預設并且該方法包括如下步驟:
[0076]a)提供發(fā)生器，其具有優(yōu)選至少在功率建立間隔接通之后和結束之后預設的恒定功率輸出
[0077]b)接通發(fā)生器
[0078]c)將功率吸收部件連接到發(fā)生器，使得功率吸收部件在功率建立間隔期間施加以發(fā)生器的功率
[0079]d)在功率建立間隔結束之后將發(fā)生器與功率吸收部件分離。
[0080]e)將第一部分陰極連接到發(fā)生器，使得第一部分陰極施加以發(fā)生器的功率
[0081]f)在預設的對應于第一部分陰極的第一功率脈沖間隔結束之后將發(fā)生器與第一部分陰極分尚
[0082]該方法的特征在于，步驟d)和e)被實施，使得在將第一部分陰極連接到發(fā)生器上時不會出現(xiàn)第二功率建立間隔，其中這優(yōu)選通過如下方式來實現(xiàn):功率建立間隔和第一功率脈沖間隔在時間上重疊并且發(fā)生器的功率輸出不必中斷。
[0083]在該說明書中，更頻繁地使用措辭“虛擬陰極”。這并不必然是起作用的陰極而是與功率吸收部件相同地理解。對于功率吸收部件而言典型的是，其不用作要涂覆的或要處理的襯底的材料提供方。
[0084]在該說明書中，措辭“部分陰極”應理解為，多個電絕緣的陰極形成陰極系統(tǒng)并且該陰極稱作該系統(tǒng)的部分并且因此稱作部分陰極。
[0085]此外，該方法可以包括如下步驟:
[0086]g)將第二部分陰極連接到發(fā)生器，使得第二部分陰極施加以發(fā)生器的功率
[0087]h)在預設的對應于第二部分陰極的第一功率脈沖間隔結束之后將發(fā)生器與第二部分陰極分尚
[0088]其中步驟f)和g)實施為，由發(fā)生器連續(xù)無中斷地從功率建立間隔開始直至第二功率脈沖間隔結束保持進行功率輸出并且不會出現(xiàn)第二功率建立間隔，其中這優(yōu)選通過如下方式實現(xiàn):第一功率脈沖間隔和第二功率脈沖間隔在時間上重疊，其中第一功率脈沖間隔在時間上在第二功率脈沖間隔之前開始，并且第一功率脈沖間隔在時間上在第二功率脈沖間隔之前結束。
[0089]η個其他部分陰極可以根據(jù)步驟f)、g)和h)按順序地相繼連接到發(fā)生器，并且被發(fā)生器關斷，其中優(yōu)選第1-1功率脈沖間隔與第η功率脈沖間隔在時間上重疊。
[0090]可以設置用于檢測電弧放電的裝置，并且在檢測電弧放電時功率吸收部件連接到發(fā)生器上并且當前所連接的部分陰極與發(fā)生器分離，使得發(fā)生器的功率輸出未被中斷。
[0091]電弧放電在本說明書中通常理解為電擊穿，其會導致電壓突然衰竭和/或電流升聞。
【權利要求】
1.一種用于提供具有可放縮的功率脈沖間隔的功率脈沖來驅動PVD霧化陰極的方法，其中PVD霧化陰極包括功率吸收部件和第一陰極，其中對于陰極預設最大平均功率施加，并且其中預設功率脈沖間隔的持續(xù)時間，并且所述方法包括如下步驟: a)提供發(fā)生器，其具有優(yōu)選至少在功率建立間隔接通之后和結束之后預設的恒定功率輸出 b)接通發(fā)生器 c)將功率吸收部件連接到發(fā)生器，使得功率吸收部件在功率建立間隔期間施加以發(fā)生器的功率 d)在功率建立間隔結束之后將發(fā)生器與功率吸收部件分離 e)將第一部分陰極連接到發(fā)生器，使得第一陰極施加以發(fā)生器的功率 f)在預設的對應于第一部分陰極的第一功率脈沖間隔結束之后將發(fā)生器與第一陰極分離 其特征在于，步驟d)和e)如此實施，使得在將第一陰極連接到發(fā)生器上時不會出現(xiàn)第二功率建立間隔，其中這優(yōu)選通過如下方式來實現(xiàn):功率建立間隔和第一功率脈沖間隔在時間上重疊并且發(fā)生器的功率輸出不必中斷。
2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，第一陰極是部分陰極并且所述方法還包括如下步驟: g)將第二部分陰極連接到發(fā)生器，使得第二部分陰極施加以發(fā)生器的功率 h)在預設的對應于第二部分陰極的第一功率脈沖間隔結束之后將發(fā)生器與第二部分陰極分離 其中步驟f)和g)如此實施，使得發(fā)生器的功率輸出連續(xù)無中斷地從功率建立間隔的開頭到第二功率脈沖間隔的結束保持存在并且不會出現(xiàn)第二功率建立間隔，其中這優(yōu)選通過如下方式來實現(xiàn):第一功率脈沖間隔和第二功率脈沖間隔在時間上重疊，其中第一功率脈沖間隔在時間上在第二功率脈沖間隔之前開始，并且第一功率脈沖間隔在時間上在第二功率脈沖間隔之前結束。
3.根據(jù)權利要求2所述的方法，其特征在于，η個其他部分陰極根據(jù)步驟f)、g)和h)按順序地相繼連接到發(fā)生器，并且由發(fā)生器關斷，其中優(yōu)選第n-Ι功率脈沖間隔與第η功率脈沖間隔在時間上重疊。
4.根據(jù)上述權利要求之一所述的方法，其特征在于，設置用于檢測電弧放電的裝置，并且在檢測電弧放電時功率吸收部件連接到發(fā)生器上并且當前所連接的部分陰極與發(fā)生器分離，使得發(fā)生器的功率輸出未被中斷。
【文檔編號】C23C14/34GK104246967SQ201280065357
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2012年10月8日 優(yōu)先權日:2011年10月28日
【發(fā)明者】S·克拉斯尼策爾, D·倫迪, M·萊希塔勒 申請人:歐瑞康貿易股份公司(特呂巴赫)