具有弧形載盤的旋轉(zhuǎn)定位裝置、自動取放系統(tǒng)及其操作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括一固定座、一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、一第一驅(qū)動模塊、一載盤以及一第二驅(qū)動模塊。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)設(shè)置于固定座上。第一驅(qū)動模塊設(shè)置于固定座上，并且耦接旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，以驅(qū)動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著一第一轉(zhuǎn)軸相對于固定座旋轉(zhuǎn)。載盤具有多個容置槽，位于該載盤的一圓弧面上，且載盤經(jīng)由一第二轉(zhuǎn)軸樞接于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。所述第二轉(zhuǎn)軸通過圓弧面的曲率中心并且垂直于第一轉(zhuǎn)軸，且曲率中心位于第一轉(zhuǎn)軸上。第二驅(qū)動模塊配置于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上，并且耦接載盤，以驅(qū)動載盤繞著第二轉(zhuǎn)軸相對于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)。應(yīng)用此旋轉(zhuǎn)定位裝置的自動取放系統(tǒng)及其操作方法也被提出。
【專利說明】具有弧形載盤的旋轉(zhuǎn)定位裝置、自動取放系統(tǒng)及其操作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具有弧形載盤的旋轉(zhuǎn)定位裝置、應(yīng)用此旋轉(zhuǎn)定位裝置的自動取放系統(tǒng)及其操作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著集成電路的半導(dǎo)體元件的積集度日益增加，工藝的準確度及生產(chǎn)效率相對重要。在半導(dǎo)體工藝中發(fā)生些微的錯誤，便可能導(dǎo)致工藝失敗，造成元件(例如半導(dǎo)體或發(fā)光二極管晶圓)的毀損，因而耗費大量成本。
[0003]以熱蒸鍍法為例，其是利用電阻或電子束將坩鍋內(nèi)的鍍膜材料(如金屬Cu)加熱并使其蒸發(fā)，而達成薄膜沉積的目的。此種方法是透過加熱將化合物蒸發(fā)而附著于晶圓或試樣表面。
[0004]在鍍膜成本考慮下，蒸鍍機臺所使用的載盤多為圓弧型。目前產(chǎn)業(yè)界是利用人工來做晶圓取放，需要額外花費人事訓(xùn)練成本，而且隨著晶圓尺寸變大(如發(fā)光二極管晶圓增加到4英寸至6英寸以上)以及晶圓薄化的趨勢，此人工取放方式不僅耗時，也有晶圓損傷的風(fēng)險。若以機械手臂進行晶圓自動取放，機械手臂需要具有多自由度的靈活運動能力，以達到弧面定位的需求，如此增加了機械手臂設(shè)計困難度與設(shè)置成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本申請?zhí)峁┮环N旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括一固定座、一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、一第一驅(qū)動模塊、一載盤以及一第二驅(qū)動模塊。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)設(shè)置于固定座上。第一驅(qū)動模塊設(shè)置于固定座上，并且耦接旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，以驅(qū)動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著一第一轉(zhuǎn)軸相對于固定座旋轉(zhuǎn)。載盤具有多個容置槽，位于該載盤的一圓弧面上，且載盤經(jīng)由一第二轉(zhuǎn)軸樞接于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。所述第二轉(zhuǎn)軸通過圓弧面的曲率中心并且垂直于第一轉(zhuǎn)軸，且曲率中心位于第一轉(zhuǎn)軸上。第二驅(qū)動模塊配置于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上，并且耦接載盤，以驅(qū)動載盤繞著第二轉(zhuǎn)軸相對于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)。
[0006]本申請?zhí)峁┮环N自動取放系統(tǒng)，包括前述的旋轉(zhuǎn)定位裝置、一取放裝置、多個定位組件以及一致動元件。旋轉(zhuǎn)定位裝置適于將載盤的各容置槽依序移動至一相同位置。取放裝置在各容置槽依序移動至所述相同位置時夾取或放置在容置槽內(nèi)的元件。各定位組件設(shè)置在相應(yīng)的容置槽旁，用以夾持放置在容置槽內(nèi)的元件。致動元件設(shè)置于固定座上，用以在各容置槽移動至所述相同位置時，解鎖定位組件對元件的夾持。
[0007]基于前述旋轉(zhuǎn)定位裝置，可以實現(xiàn)下述操作方法，包括:通過所述第一驅(qū)動模塊來驅(qū)動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著第一轉(zhuǎn)軸相對于固定座旋轉(zhuǎn)，以及，通過第二驅(qū)動模塊來驅(qū)動載盤繞著第二轉(zhuǎn)軸相對于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使得載盤上的所述多個容置槽依序移動到一相同位置。
[0008]基于前述旋轉(zhuǎn)定位裝置，可以實現(xiàn)下述另一種操作方法，包括:步驟1、通過所述第二驅(qū)動模塊來驅(qū)動載盤繞著第二轉(zhuǎn)軸相對于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)一第一旋轉(zhuǎn)角，所述第一旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)于同一圓形軌跡上的兩容置槽間距；步驟2、重復(fù)步驟1，使同一圓形軌跡上的所有容置槽依序移動到一相同位置；步驟3、通過所述第一驅(qū)動模塊來驅(qū)動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著第一轉(zhuǎn)軸相對于固定座旋轉(zhuǎn)一第二旋轉(zhuǎn)角，所述第二旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)于兩圓形軌跡的間距，使另一圓形軌跡上的其中一個容置槽移動到所述相同位置；以及，步驟4、重復(fù)步驟I到步驟2。
[0009]基于上述，本申請的旋轉(zhuǎn)定位裝置透過兩個軸向的旋轉(zhuǎn)來帶動載盤移動，使載盤上任一個容置槽在特定時間點上與工作臺面維持固定的位置關(guān)系。另外，當旋轉(zhuǎn)定位裝置應(yīng)用于自動取放系統(tǒng)，可依序使載盤的容置槽移動至一相同位置以達到弧面定位。如此自動取放系統(tǒng)的取放裝置可以僅采用兩方向的運動以帶動夾爪移動至所述的相同位置，而不需要設(shè)計復(fù)雜的運動方式。此外，各定位組件可固定相應(yīng)的容置槽中的元件，避免元件在載盤轉(zhuǎn)動時產(chǎn)生偏移。致動元件可在各容置槽移動至所述相同位置時，解鎖定位組件對元件的夾持，使自動取放系統(tǒng)的運作過程更為便利。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是依照本申請的一實施例的一種旋轉(zhuǎn)定位裝置。
[0011]圖2為圖1的旋轉(zhuǎn)定位裝置的剖面示意圖；
[0012]圖3為圖1的載盤的作動示意圖；
[0013]圖4是依照本申請的一實施例的一種晶圓載盤的正視圖；
[0014]圖5A~5F是依照本申請的一實施例的旋轉(zhuǎn)定位方法；
[0015]圖6是依照本申 請的一實施例的一種旋轉(zhuǎn)定位裝置及自動取放系統(tǒng)；
[0016]圖7是圖6的B部分的放大圖；
[0017]圖8是圖6的載盤的容置槽承載晶圓時的不意圖；
[0018]圖9是圖8的容置槽在另一視角的示意圖。
[0019]【附圖標記說明】
[0020]10:晶圓
[0021]10a、132a:側(cè)邊
[0022]50:自動取放系統(tǒng)
[0023]100、200:旋轉(zhuǎn)定位裝置
[0024]110:固定座
[0025]112、114:固定支架
[0026]120、220:旋轉(zhuǎn)機構(gòu)
[0027]122:旋轉(zhuǎn)托架
[0028]122a、122b:旋轉(zhuǎn)托架的兩端
[0029]124:軸桿
[0030]130:載盤
[0031]132:容置槽
[0032]140:第一驅(qū)動模塊
[0033]150:第二驅(qū)動模塊
[0034]142、152:伺服馬達
[0035]172、174、D3、D4:方向
[0036]180:取放構(gòu)件[0037]222:旋轉(zhuǎn)托架
[0038]224:弧形導(dǎo)引軌道
[0039]224a:導(dǎo)引弧面
[0040]226:傳動件
[0041]300:取放裝置
[0042]320:第一傳輸機構(gòu)
[0043]340:第二傳輸機構(gòu)
[0044]360:夾爪
[0045]400:定位組件
[0046]420:卡鉤
[0047]422:延伸部
[0048]440:彈性件
[0049]500:致動元件
[0050]Xl:第一轉(zhuǎn)軸
[0051]X2:第二轉(zhuǎn)軸
[0052]C、Cl:曲率中心
[0053]S:圓弧面
[0054]0、O:旋轉(zhuǎn)角
[0055]D1、D2:載盤位置
[0056]P:載盤的旋轉(zhuǎn)中心
[0057]A:放置晶圓的平面
[0058]Rl、R2:放置晶圓的平面的位置
[0059]H、Hl:工作臺面
[0060]Kl-1 ~Kl-6、K2-1 ~K2-12、K3-1 ~K3-18:容置槽
[0061]a 1、a 2、a 3、M、P 2、@ 3:旋轉(zhuǎn)角度值
【具體實施方式】
[0062]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合具體實施例，并參照附圖，對本發(fā)明作進一步的詳細說明。
[0063]本申請所提出的旋轉(zhuǎn)定位裝置及其操作方法可適用于各種需要弧面定位的半導(dǎo)體或發(fā)光二極管工藝，例如半導(dǎo)體或發(fā)光二極管晶圓的蒸鍍，以將載盤上的晶圓移動至相同的取放位置，達成弧面定位的效果。
[0064]圖1是依照本申請的一實施例的一種旋轉(zhuǎn)定位裝置。圖2為圖1的旋轉(zhuǎn)定位裝置的剖面示意圖。如圖1與圖2所示，所述旋轉(zhuǎn)定位裝置100包括固定座110、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)120、載盤130、第一驅(qū)動模塊140以及第二驅(qū)動模塊150。所述固定座110例如是工藝機臺的底座、傳輸設(shè)備的機架等可提供穩(wěn)固支撐的部件。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)120設(shè)置在固定座110上。第一驅(qū)動模塊140設(shè)置于固定座110上，并且耦接旋轉(zhuǎn)機構(gòu)120，以驅(qū)動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)120繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl相對于固定座110旋轉(zhuǎn)。
[0065]詳細而言，本實施例的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)120包括一旋轉(zhuǎn)托架122以及一軸桿124。旋轉(zhuǎn)托架122承載載盤130與第二驅(qū)動模塊150，且旋轉(zhuǎn)托架122經(jīng)由軸桿124樞接于固定座110上，其中軸桿124重合于第一轉(zhuǎn)軸XI。此外，本實施例的固定座110包括相互平行的兩固定支架112、114，分別立于旋轉(zhuǎn)托架122的相對兩側(cè)。旋轉(zhuǎn)托架122的兩端122a與122b通過軸桿124耦接于固定支架112、114上，以通過軸桿124提高旋轉(zhuǎn)托架122的旋轉(zhuǎn)剛性與定位精度。旋轉(zhuǎn)托架122例如是如圖2所示的U形或是圓弧形等其他可能的形狀。第一驅(qū)動模塊140例如包括伺服馬達142，而軸桿124的一端耦接到伺服馬達142，以通過伺服馬達142來驅(qū)動軸桿124轉(zhuǎn)動，進而帶動旋轉(zhuǎn)托架122繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl旋轉(zhuǎn)。[0066]本實施例的載盤130經(jīng)由第二轉(zhuǎn)軸X2樞接于旋轉(zhuǎn)托架122上方，而第二驅(qū)動模塊150配置于旋轉(zhuǎn)托架122下方，并且耦接載盤130。第二驅(qū)動模塊150可包括伺服馬達152，以通過伺服馬達152驅(qū)動載盤130繞著第二轉(zhuǎn)軸X2相對于旋轉(zhuǎn)托架122旋轉(zhuǎn)。
[0067]如圖1，取放構(gòu)件180設(shè)置于載盤130的一側(cè)，可沿方向172、174進行兩個軸向的直線運動，用以夾取載盤130上的元件或?qū)⒃胖糜谳d盤130。取放構(gòu)件180可為夾爪、吸盤或其他類似構(gòu)件。
[0068]圖3為載盤130的作動示意圖。如圖1-3所示，載盤130具有多個容置槽132，且載盤130例如是圓弧形，使得容置槽132位于一圓弧面S上。亦即，容置槽132的中心點會位于圓弧面S上。當然，在其他實施例中，載盤130本身也可能并非圓弧形，例如僅在局部區(qū)域提供一圓弧形承載面的方形載盤，或是其他可使容置槽沿圓弧面分布的各種形態(tài)的載盤。
[0069]在本實施例中，以晶圓載盤為例，當晶圓被放置于容置槽132中時，晶圓會平行于通過所述容置槽132中心點的與該圓弧面S互切的平面。第二轉(zhuǎn)軸X2通過圓弧面S的曲率中心C，并且垂直于第一轉(zhuǎn)軸Xl (垂直圖紙表面的方向)。此外，曲率中心C會位于第一轉(zhuǎn)軸Xl上。
[0070]如此，本實施例通過第一驅(qū)動模塊140來驅(qū)動旋轉(zhuǎn)托架122繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl公轉(zhuǎn)(revolution),并且通過第二驅(qū)動模塊150來驅(qū)動載盤130繞著第二轉(zhuǎn)軸X2自轉(zhuǎn)(!otation)，可架構(gòu)出一球坐標系統(tǒng)下的旋轉(zhuǎn)定位模式。舉例而言，以圓弧面S的曲率中心C作為球坐標系統(tǒng)(r，θ，Φ)的原點，則當旋轉(zhuǎn)托架122繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl公轉(zhuǎn)時，可改變載盤130的容置槽132的Θ坐標(天頂角)，如圖3所示，由Dl位置移動到D2位置；而當載盤130繞著第二轉(zhuǎn)軸X2自轉(zhuǎn)時，可改變?nèi)葜貌?32的Φ坐標(方位角)。換言之，位于圓弧面S上的每個容置槽132都可以通過前述調(diào)整Θ坐標以及Φ坐標的方式，而被移動到圓弧面S上的特定位置，以供取放構(gòu)件180進行取放動作。
[0071]下文以蒸鍍工藝中的晶圓載盤的定位為例，來說明應(yīng)用前述旋轉(zhuǎn)定位裝置100來達成弧面定位的操作方法。
[0072]圖4是依照本申請的一實施例的一種晶圓載盤的正視圖。本實施例以晶圓承載容量為60片的載盤130為例，具有60個可供放置晶圓的容置槽132。在此，載盤130上的容置槽132設(shè)計會伴隨晶圓的取放方式有所不同，例如前置式的晶圓載盤或背置式的晶圓載盤。第二轉(zhuǎn)軸X2通過載盤130的旋轉(zhuǎn)中心P，且容置槽132沿著以旋轉(zhuǎn)中心P為圓心的至少一圓形軌跡排列。例如，本實施例的60個容置槽132系沿著以載盤130的旋轉(zhuǎn)中心P為圓心的4個同心圓軌跡Cl~C4排列,其中由內(nèi)而外,最內(nèi)圈(第一圈)可放置6片晶圓，第二圈為12片，第三圈為18片，第四圈為24片。[0073]如圖3所示，由于載盤130具有圓弧面S，圓弧面S上任一點與曲率中心C的距離固定，因此當晶圓傳輸過程中，使載盤130繞著曲率中心C做公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)，即可使載盤130上任一個容置槽132在一段時間內(nèi)與工作臺面維持一固定位置關(guān)系。本實施例可將此固定位置關(guān)系定義為任意一容置槽132放置晶圓的平面A可在一段時間內(nèi)與工作臺面H平行，即位于可供取放構(gòu)件180取放元件的位置。當傳輸晶圓時，取放構(gòu)件180只需垂直或水平移動，不需要進行復(fù)雜的三維運動便可進行晶圓的取放。
[0074]此外，不論載盤130采用前述前置式或背置式的設(shè)計，在進行定位時，差異僅在于晶圓被置入的方向。換言之，所述兩種載盤設(shè)計均可透過本申請的構(gòu)想，使載盤130上任意一容置槽132放置晶圓的平面A與工作臺面H成水平，則晶圓被置入的方向可被簡化為由載盤130上方置入,或由載盤130下方置入。
[0075]為使容置槽132放置晶圓的平面A與工作臺面H成水平，則載盤130需繞著曲率中心C進行公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)。在本實施例中，載盤130的旋轉(zhuǎn)中心P與曲率中心C的連線為第二轉(zhuǎn)軸X2，而第一轉(zhuǎn)軸Xl則與第二轉(zhuǎn)軸X2互相垂直，并且通過曲率中心C。如此，參照圖
3,當載盤130繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl公轉(zhuǎn)，而旋轉(zhuǎn)一角度(天頂角Θ )時，載盤130由位置Dl被移動至D2的位置，且載盤130上的某一容置槽132放置晶圓的平面A由位置Rl被移動至與工作臺面H成水平的位置R2。此外，為使載盤130上每一容置槽132放置晶圓的平面A都能被移動至定位，并與工作臺面H成水平，更進一步使載盤130繞著第二轉(zhuǎn)軸X2自轉(zhuǎn)。
[0076]在此，可依據(jù)載盤130上的容置槽132排列的圓形軌跡的圈數(shù)與間距來定義出多個旋轉(zhuǎn)角Θ的數(shù)值。例如，使載盤130繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl旋轉(zhuǎn)對應(yīng)于兩圓形軌跡間距的旋轉(zhuǎn)角Θ的數(shù)值(公轉(zhuǎn))，則可使其中一個圓型軌跡上的容置槽132被移動到另一圓形軌跡上的容置槽132的位置，以達成前述 通過公轉(zhuǎn)實現(xiàn)的Θ坐標(天頂角)上的定位。另一方面，載盤130可繞著第二轉(zhuǎn)軸X2旋轉(zhuǎn)Φ角度(自轉(zhuǎn))，其中由于圓形軌跡的全圓周皆有容置槽132，故Φ角度范圍為O度至360度，而所旋轉(zhuǎn)的Φ角度的數(shù)值對應(yīng)于同一圓形軌跡上的兩容置槽的間距，以使同一圓型軌跡上的一個容置槽132被移動到另一個容置槽132的位置，以達成前述通過自轉(zhuǎn)實現(xiàn)的Φ坐標(方位角)上的定位。
[0077]以下再通過圖5A~5F來說明本實施例達成弧面定位的操作方法。首先，請參照圖5A與5B，當取放芯片由載盤130最內(nèi)圈的容置槽(Kl-1)開始，載盤130繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl旋轉(zhuǎn)一初始旋轉(zhuǎn)角α 1，則容置槽(Kl-1)即被移動至定位。此位置的容置槽(Kl-1)承載晶圓的平面與工作臺面H成水平，接著將載盤130繞著第二轉(zhuǎn)軸Χ2旋轉(zhuǎn)一角度β 1，則容置槽(Κ1-2)會被移動至定位。本實施例中，最內(nèi)圈的容置槽(Kl-1)~(Κ1-6)的排列為全圓周六等分排列，即等間距排列，故β I在本實施例為60度，且容置槽(Κ1-2)與容置槽(Κ1-3)、容置槽(Κ1-3)與容置槽(Κ1-4)、容置槽(Κ1-4)與容置槽(Κ1-5)、容置槽(Κ1-5)與容置槽(Κ1-6)之間的旋轉(zhuǎn)角Φ的數(shù)值也是60度。如此，重復(fù)前述步驟，可使最內(nèi)圈的容置槽(Kl-1)~(Κ1-6)依序移動到定位。
[0078]接著，參照圖5C與當載盤130最內(nèi)圈的晶圓取放完畢之后，則載盤130繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl旋轉(zhuǎn)一角度α2，則容置槽(K2-1)即被移動至定位。此位置的容置槽(K2-1)承載晶圓的平面與工作臺面H成水平，接著將載盤130繞著第二轉(zhuǎn)軸X2旋轉(zhuǎn)一角度β 2，則容置槽(Κ2-2)會被移動至定位。依此類推，本實施例中，第二圈的容置槽(Κ2-1)~(Κ2-12)的排列為全圓周十二等分排列，故β 2在本實施例為30度，且其他相鄰的容置槽(Κ2-1)~(K2-12)之間所對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角O也是30度。
[0079]然后，參照圖5E與5F，欲取放載盤130上第三圈的晶圓時，則載盤130繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl旋轉(zhuǎn)一角度a 3，則容置槽(K3-1)即被移動至定位。此位置的容置槽(K3-1)承載晶圓的平面與工作臺面H成水平。接著，將載盤130繞著第二轉(zhuǎn)軸X2旋轉(zhuǎn)一角度(63，則容置槽(K3-2)會被移動至定位。本實施例中，第三圈容置槽(K3-1)~(K3-18)的排列為全圓周十八等分排列，所以(63在本實施例為20度，且其余相鄰的容置槽(K3-1)~(K3-18)之間所對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角O也是20度。依此類推，載盤130最外圈的容置槽132同樣可通過前述步驟進行定位。 [0080]本申請并不限定載盤130上容置槽132的個數(shù)、圓形軌跡的圈數(shù)、容置槽130的間距以及圓形軌跡的間距。雖然前述實施例的同一圈的容置槽130為等間距排列，但本領(lǐng)域的技術(shù)人員也可依據(jù)實際需求來調(diào)整容置槽130之間的間距，例如，容置槽130之間可具有不同的間距，且相應(yīng)地，只需調(diào)整對應(yīng)于各間距的旋轉(zhuǎn)角O，便可達到定位效果。此外，本領(lǐng)域的技術(shù)人員也可選擇讓所述多個圓形軌跡之間為等間距排列或具有不同的間距。當所述多個圓形軌跡之間為等間距排列，則前述旋轉(zhuǎn)角9的數(shù)值al、a2、a 3會相等。類似地，本領(lǐng)域的技術(shù)人員也可依據(jù)實際需求來調(diào)整圓形軌跡之間的間距，且相應(yīng)地，只需調(diào)整對應(yīng)于各間距的旋轉(zhuǎn)角9，便可達到定位效果。
[0081]通過前述實施例提出的旋轉(zhuǎn)定位裝置100及其操作方法可以通過載盤130繞著兩個軸向X1、X2的公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)，來使載盤上任一個容置槽在特定時間點上與工作臺面維持固定的位置關(guān)系。例如，自容置槽取放晶圓時，不同容置槽內(nèi)的晶圓會被移動到與工作臺面平行的相同位置，以達成弧面定位的效果。如此，晶圓與載盤130之間的傳輸就不需再依靠多軸運動且具有復(fù)雜設(shè)計的機械手臂，只需通過如圖1所示的取放構(gòu)件180經(jīng)由固定路徑(如單軸或雙軸直線運動)自進料(或取料)位置抓取(或放置)晶圓。
[0082]前述的實施例中，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)120是通過將旋轉(zhuǎn)托架122經(jīng)由軸桿124樞接于固定座110使得旋轉(zhuǎn)托架122繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl相對于固定座110旋轉(zhuǎn)。然而，使旋轉(zhuǎn)機構(gòu)120繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl相對于固定座110旋轉(zhuǎn)的方式不并以此為限。
[0083]下述實施例沿用前述實施例的元件標號與部分內(nèi)容，其中采用相同的標號來表示相同或近似的元件，并且省略了相同技術(shù)內(nèi)容的說明。關(guān)于省略部分的說明可參考前述實施例，下述實施例不再重復(fù)贅述。圖6是依照本申請的一實施例的一種旋轉(zhuǎn)定位裝置以及自動取放系統(tǒng)。請參考圖6，旋轉(zhuǎn)定位裝置200包括固定座110、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)220、載盤130、第一驅(qū)動模塊140以及第二驅(qū)動模塊150。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)220設(shè)置在固定座110。第一驅(qū)動模塊140設(shè)置于固定座110上，并且耦接旋轉(zhuǎn)機構(gòu)220，以驅(qū)動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)220繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl相對于固定座110旋轉(zhuǎn)。
[0084]本實施例的旋轉(zhuǎn)定位裝置200與圖1的旋轉(zhuǎn)定位裝置100實質(zhì)上相似，兩者的差別主要在于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的構(gòu)件及作動方式不同。本實施例的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)220包括一旋轉(zhuǎn)托架222以及一弧形導(dǎo)引軌道224?；⌒螌?dǎo)引軌道224設(shè)置于固定座110上，且旋轉(zhuǎn)托架222滑設(shè)于弧形導(dǎo)引軌道224以繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl相對于固定座110旋轉(zhuǎn)。詳細而言，弧形導(dǎo)引軌道224具有一導(dǎo)引弧面224a，導(dǎo)引弧面224a的曲率中心Cl位在第一轉(zhuǎn)軸XI，且旋轉(zhuǎn)托架222設(shè)置在導(dǎo)引弧面224a上。如此，當旋轉(zhuǎn)托架222滑設(shè)于導(dǎo)引弧面224a上時，其繞著曲率中心Cl轉(zhuǎn)動且同時繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl相對于固定座110旋轉(zhuǎn)。[0085]如圖6中所示，第一驅(qū)動模塊140設(shè)置于固定座110并耦接于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)220，以驅(qū)動轉(zhuǎn)機構(gòu)220繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl相對于固定座110旋轉(zhuǎn)。詳細而言，本實施例的第一驅(qū)動模塊140包括一伺服馬達142，且旋轉(zhuǎn)機構(gòu)220包括以及一傳動件226，例如皮帶、齒條、鏈輪或拉繩。傳動件226配置在旋轉(zhuǎn)托架224以及第一驅(qū)動模塊140之間，伺服馬達142耦接于傳動件226以驅(qū)動傳動件226，進一步使旋轉(zhuǎn)托架224被帶動而繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl相對于固定座110旋轉(zhuǎn)。
[0086]此外，本實施例的載盤130經(jīng)由第二轉(zhuǎn)軸X2樞接于旋轉(zhuǎn)機托架222上方，而第二驅(qū)動模塊150配置于旋轉(zhuǎn)托架222下方，并且耦接載盤130。第二驅(qū)動模塊150可包括伺服馬達152，以通過伺服馬達152驅(qū)動載盤130繞著第二轉(zhuǎn)軸X2相對于旋轉(zhuǎn)托架222旋轉(zhuǎn)。本實施例的載盤130與圖3的實施例相似，其具有多個容置槽132，且載盤130例如是圓弧形，使得容置槽132位于一圓弧面S上。在本實施例中，圓弧面S的曲率中心C重合導(dǎo)引弧面224a的曲率中心Cl。并且，第二轉(zhuǎn)軸X2通過圓弧面S的曲率中心C，并且垂直于第一轉(zhuǎn)軸Xl (垂直圖紙表面的方向)。
[0087]據(jù)此，本實施例的旋轉(zhuǎn)定位裝置200可通過第一驅(qū)動模塊140驅(qū)動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)220繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl公轉(zhuǎn)，并通過第二驅(qū)動模塊150驅(qū)動載盤130繞著第二轉(zhuǎn)軸X2自轉(zhuǎn)，以架構(gòu)出一球坐標系統(tǒng)下的旋轉(zhuǎn)定位模式，使載盤130上的每一個容置槽132依序移動到一定位。請參考圖3，詳細而言，本實施例的載盤130與圖3的實施例相似，其采用球坐標系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)定位模式，其中曲率中心C(即圖6顯示的Cl)作為球坐標系統(tǒng)(r，θ，Φ)的原點。當旋轉(zhuǎn)托架122繞著第一轉(zhuǎn)軸Xl公轉(zhuǎn)時，可改變載盤130的容置槽132的Θ坐標；而當載盤130繞著第二轉(zhuǎn)軸X2自轉(zhuǎn)時，可改變?nèi)葜貌?32的Φ坐標。如此，本實施例的旋轉(zhuǎn)定位裝置200便可如圖5A至圖5F所示，使載盤130上的每一放置元件的平面都能被移動至定位而達到弧面定位的效果。在本實施例中，當放置元件的平面移動至定位時，放置元件的平面與圖6中固定座110的工作 臺面Hl成水平。
[0088]請參考圖6，圖6顯示了應(yīng)用旋轉(zhuǎn)定位裝置200的一自動取放系統(tǒng)50。本實施例的自動取放系統(tǒng)50通過旋轉(zhuǎn)定位裝置200達到弧面定位的效果，再配合其他裝置由載盤130固定或取放元件。在此須說明的是，本實施例是以自動取放系統(tǒng)50包括旋轉(zhuǎn)定位裝置200為例做說明，但自動取放系統(tǒng)50也可以應(yīng)用前述的旋轉(zhuǎn)定位裝置100達到弧面定位的效果。
[0089]自動取放系統(tǒng)50包括旋轉(zhuǎn)定位裝置200、一取放裝置300、多個定位組件400以及一致動元件500。在本實施例中，載盤130例如是一晶圓載盤。自動取放系統(tǒng)50的取放裝置300設(shè)置在固定座110，且位在載盤130的一側(cè)。當各容置槽132依序移動至一定位時，取放裝置300由容置槽132夾取或放置一晶圓。詳細而言,取放裝置300包括一第一傳輸機構(gòu)320、一第二傳輸機構(gòu)340以及一夾爪360。在本實施例中，夾爪360可為一撓性夾爪，且夾爪360連接至第一傳輸機構(gòu)320以及第二傳輸機構(gòu)340。第一傳樞機構(gòu)320適于帶動夾爪360沿一第一方向D3移動，且第二傳輸機構(gòu)340適于帶動夾爪360沿一第二方向D4移動。
[0090]在本實施例中，第一方向D3垂直于固定座110的工作臺面Hl的法線方向，而第二方向D4平行于固定座110的工作臺面Hl的法線方向。當?shù)谝粋鬏敊C構(gòu)320帶動夾爪360沿第一方向D3移動，夾爪360可相對于載盤130前后移動；當?shù)诙鬏敊C構(gòu)340帶動夾爪360沿第二方向D4移動,夾爪360可相對于載盤130上下移動。通過第一傳輸機構(gòu)320以及第二傳輸機構(gòu)340，夾爪360可接近或遠離載盤130。
[0091]此外,在本實施例中，自動取放系統(tǒng)50還包括多個定位組件400以及一致動元件500。各定位組件400設(shè)置在相應(yīng)的容置槽132旁，用以夾持容置槽132內(nèi)的晶圓。如此，各容置槽132內(nèi)的晶圓會被相應(yīng)的定位組件400固定，以避免放置在容置槽132內(nèi)的晶圓在載盤130轉(zhuǎn)動時由容置槽132掉落或偏移。致動元件500設(shè)置于固定座110上，用以在各容置槽132移動至所述的定位時解鎖定位組件400對晶圓的夾持。
[0092]圖7是圖6的B部分的放大圖。請參考圖7，各定位組件400包括一^^鉤420以及一彈性件440，例如彈簧。各彈性件440連接在各卡鉤420以及相應(yīng)的容置槽132之間。在本實施例中，致動元件500可設(shè)置在所述的定位附近，當容置槽132移動至定位時，致動元件500推動卡鉤420以解鎖定位組件400對晶圓的夾持，并且彈性件440在定位組件400解鎖后可復(fù)位卡鉤420。 [0093]圖8是圖6的載盤的容置槽承載晶圓時的不意圖。圖9是圖8的容置槽在另一視角的示意圖。請參考圖8以及圖9，卡鉤420由載盤130的背面延伸至載盤130的正面，用以夾持容置槽132內(nèi)的一晶圓10。容置槽132具有一側(cè)邊132a，且晶圓10具有一側(cè)邊10a。當晶圓10放置在容置槽132時，側(cè)邊IOa與側(cè)邊132a對齊，且卡鉤420鉤合在側(cè)邊IOa與側(cè)邊132a。此外，如圖9所示，卡鉤420具有一延伸部422。當容置槽132移動至所述的定位時，延伸部422會位在致動元件500旁(圖示未顯示)。如此,致動元件500可推動延伸部422使得卡鉤420遠離容置槽132以解除卡鉤420與晶圓10的鉤合關(guān)系。
[0094]以上已說明自動取放系統(tǒng)50的各構(gòu)件以及各構(gòu)件的功能，以下將舉例說明自動取放系統(tǒng)50的操作方法。舉例而言，當本實施例的自動取放系統(tǒng)50開始運作，取放裝置300的夾爪360由一起始位置抓取一晶圓。并且，第一傳輸機構(gòu)320帶動夾爪360沿第一方向D3移動以靠近載盤132。接著，旋轉(zhuǎn)定位裝置200的載盤132繞著兩個軸向X1、X2公轉(zhuǎn)與自轉(zhuǎn)，以使載盤132的各個容置槽132依序移動到一定位。此部分的說明可參考前述的圖5A至圖5F。
[0095]請同時參考圖5A、圖6至圖9。當載盤132如圖5A所顯示轉(zhuǎn)動以使容置槽(Kl-1)移動至一定位，致動元件500推動設(shè)置在容置槽(Kl-1)的卡鉤420的延伸部422以使卡鉤420遠離容置槽(Kl-1)。在致動元件500推動卡鉤420的過程中，卡鉤420帶動彈性件440變形，且彈性件440在變形的過程中儲存彈性位能。之后，取放裝置300的第二傳輸機構(gòu)340帶動夾爪360沿第二方向D4移動以使夾爪360移動到前述的定位，此時夾爪360松開其抓取的晶圓，使晶圓放置在容置槽(Kl-1)中。接著，致動元件500釋放卡鉤420的延伸部422，且釋放彈性件440在伸長的過程中所儲存的彈性位能，以帶動卡鉤420復(fù)位，進一步夾持放置在容置槽(Kl-1)上的晶圓。之后，取放裝置300的第一傳輸機構(gòu)320以及第二傳輸機構(gòu)340帶動夾爪360回到前述的起始位置，以夾取另一個晶圓。
[0096]之后,第一傳輸機構(gòu)320帶動夾爪360沿第一方向D3移動以靠近載盤130,而載盤130繼續(xù)轉(zhuǎn)動，如圖5B所示，使下一個容置槽(K1-2)移動至前述的定位。接著，致動元件500推動設(shè)置在容置槽(K1-2)的卡鉤420并重復(fù)前述的步驟以夾持放置在容置槽(K1-2)上的晶圓。通過重復(fù)前述的步驟即可在各容置槽132中放置晶圓且固定晶圓。
[0097]在此需說明的是，前述的說明是以夾爪360將晶圓放置在容置槽132為例，但夾爪360也可用于夾取原先放置在容置槽132的晶圓。此部分的步驟與前述的步驟類似，兩者的差異主要在于當夾爪360用于夾取原先放置在容置槽132的晶圓時，在起始位置并不夾持晶圓。并且在第一傳輸機構(gòu)320以及第二傳輸機構(gòu)340帶動夾爪360至所述定位之后，致動元件500將推動延伸部422以解鎖定位組件400對容置槽132內(nèi)的晶圓的夾持。此時，夾爪360可由容置槽132夾取位在容置槽132的晶圓。接著，致動元件500遠離容置槽132，而彈性件132復(fù)位卡鉤420。
[0098]本實施例的自動取放系統(tǒng)50通過旋轉(zhuǎn)定位裝置200使載盤130上的每一放置晶圓的平面都能被移動至定位，并與工作臺面Hl成水平。如此，取放裝置300只需要沿著第一方向D3以及第二方向D4平移，而不需要復(fù)雜的移動方式，便能由容置槽132夾取或放置一晶圓。此外，各容置槽132旁設(shè)置相應(yīng)的定位組件400，可在載盤轉(zhuǎn)動的過程中固定放置在容置槽132的元件。另外，定位組件400可配合致動元件500以解鎖定位組件400對元件的夾持。如此，自動取放系統(tǒng)50可取代現(xiàn)有的采用人工取放元件的做法，并大幅節(jié)省生產(chǎn)時間與成本。
[0099]以上所述的具體實施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi) 。
【權(quán)利要求】
1.一種旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，包括: 一固定座； 一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，設(shè)置于該固定座上； 一第一驅(qū)動模塊，設(shè)置于該固定座上，并且耦接該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，以驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著一第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)； 一載盤，具有多個容置槽，該些容置槽位于該載盤的一圓弧面上，該載盤經(jīng)由一第二轉(zhuǎn)軸樞接于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其中該第二轉(zhuǎn)軸通過該圓弧面的曲率中心并且垂直于該第一轉(zhuǎn)軸，且該曲率中心位于該第一轉(zhuǎn)軸上；以及 一第二驅(qū)動模塊，配置于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上，并且耦接該載盤，以驅(qū)動該載盤繞著該第二轉(zhuǎn)軸相對于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括: 一旋轉(zhuǎn)托架，承載該載盤與該第二驅(qū)動模塊；以及 一軸桿，該旋轉(zhuǎn)托架經(jīng)由該軸桿樞接于該固定座上，且該軸桿重合于該第一轉(zhuǎn)軸。
3.如權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，該固定座包括兩固定支架，分別立于該旋轉(zhuǎn)托架的相對兩側(cè)，且各固定支架與該旋轉(zhuǎn)托架相互樞接。
4.如權(quán)利要求1所 述的旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括: 一旋轉(zhuǎn)托架；以及 一弧形導(dǎo)引軌道，設(shè)置于該固定座上，該旋轉(zhuǎn)托架滑設(shè)于該弧形導(dǎo)引軌道，以繞著該第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)。
5.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，該第二轉(zhuǎn)軸通過該載盤的一旋轉(zhuǎn)中心，且該些容置槽沿著以該旋轉(zhuǎn)中心為圓心的至少一圓形軌跡排列。
6.如權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，同一圓形軌跡上的該些容置槽之間為等間距排列。
7.如權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，同一圓形軌跡上的該些容置槽之間具有不同的間距。
8.如權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，該些容置槽沿著多個同心圓軌跡排列。
9.如權(quán)利要求8所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，該些圓形軌跡之間為等間距排列。
10.如權(quán)利要求8所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，該些圓形軌跡之間具有不同的間距。
11.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置，其特征在于，該第一驅(qū)動模塊或該第二驅(qū)動模塊包括一伺服馬達。
12.—種自動取放系統(tǒng),適用于取放一兀件,其特征在于,該自動取放系統(tǒng)包括: 一旋轉(zhuǎn)定位裝置，包括: 一固定座； 一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，設(shè)置于該固定座上； 一第一驅(qū)動模塊，設(shè)置于該固定座上，并且耦接該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，以驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著一第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)； 一載盤，具有多個容置槽，該些容置槽位于該載盤的一圓弧面上，該載盤經(jīng)由一第二轉(zhuǎn)軸樞接于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其中該第二轉(zhuǎn)軸通過該圓弧面的曲率中心并且垂直于該第一轉(zhuǎn)軸，且該曲率中心位于該第一轉(zhuǎn)軸上；以及 一第二驅(qū)動模塊，配置于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上，并且耦接該載盤，以驅(qū)動該載盤繞著該第二轉(zhuǎn)軸相對于該旋轉(zhuǎn)托架旋轉(zhuǎn)，其中當該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著該第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)，且該載盤繞著該第二轉(zhuǎn)軸相對于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)時，各該容置槽依序移動至一相同位置； 一取放裝置，其中當各該容置槽依序移動至該相同位置時，該取放裝置夾取或放置該元件；以及 多個定位組件，各該定位組件設(shè)置在該相應(yīng)的容置槽旁，用以夾持該容置槽內(nèi)的該元件；以及 一致動元件，設(shè)置于該固定座上，用以在各該容置槽移動至該相同位置時，解鎖該定位組件對該元件的夾持。
13.如權(quán)利要求12所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括: 一旋轉(zhuǎn)托架，承載該載盤與該第二驅(qū)動模塊；以及 一軸桿，該旋轉(zhuǎn)托架經(jīng)由該軸桿樞接于該固定座上，且該軸桿重合于該第一轉(zhuǎn)軸。
14.如權(quán)利要求13所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，該固定座包括兩固定支架，分別立于該旋轉(zhuǎn)托架的相對兩側(cè)，且各固定支架與該旋轉(zhuǎn)托架相互樞接。
15.如權(quán)利要求12所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括: 一旋轉(zhuǎn)托架；以及 一弧形導(dǎo)引軌道，設(shè)置于`該固定座上，該旋轉(zhuǎn)托架滑設(shè)于該弧形導(dǎo)引軌道，以繞著該第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)。
16.如權(quán)利要求12所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，該取放裝置包括: 一第一傳輸機構(gòu)； 一第二傳輸機構(gòu)；以及 一夾爪，連接至該第一傳輸機構(gòu)以及該第二傳輸機構(gòu)，其中該第一傳樞機構(gòu)適于帶動該夾爪沿一第一方向移動，且該第二傳輸機構(gòu)適于帶動該夾爪沿一第二方向移動。
17.如權(quán)利要求12所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，各該定位組件包括: 一卡鉤，用以夾持該容置槽內(nèi)的該元件；以及 一彈性件，該彈性件連接在該卡鉤以及該容置槽之間，以復(fù)位該卡鉤。
18.如權(quán)利要求12所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，該第二轉(zhuǎn)軸通過該載盤的一旋轉(zhuǎn)中心，且該些容置槽沿著以該旋轉(zhuǎn)中心為圓心的至少一圓形軌跡排列。
19.如權(quán)利要求18所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，同一圓形軌跡上的該些容置槽之間為等間距排列。
20.如權(quán)利要求18所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，同一圓形軌跡上的該些容置槽之間具有不同的間距。
21.如權(quán)利要求18所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，該些容置槽沿著多個同心圓軌跡排列。
22.如權(quán)利要求21所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，該些圓形軌跡之間為等間距排列。
23.如權(quán)利要求21所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，該些圓形軌跡之間具有不同的間距。
24.如權(quán)利要求12所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，該第一驅(qū)動模塊或該第二驅(qū)動模塊包括一伺服馬達。
25.如權(quán)利要求12所述的自動取放系統(tǒng)，其特征在于，所述操作方法包括: 通過該第一驅(qū)動模塊來驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著該第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)； 通過該第二驅(qū)動模塊來驅(qū)動該載盤繞著該第二轉(zhuǎn)軸相對于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)，使得該載盤上的該些容置槽依序移動到該相同位置； 通過該取放裝置自該相同位置上的該容置槽夾取或放置該元件；以及 通過該定位組件夾持放置在該容置槽上的該元件。
26.一種旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)定位裝置包括: 一固定座； 一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，設(shè)置于該固定座上； 一第一驅(qū)動模塊，設(shè)置于該固定座上，并且耦接該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，以驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著一第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)； 一載盤，具有多個容置槽，該些容置槽位于該載盤的一圓弧面上，該載盤經(jīng)由一第二轉(zhuǎn)軸樞接于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其中該第二轉(zhuǎn)軸通過該圓弧面的曲率中心并且垂直于該第一轉(zhuǎn)軸，且該曲率中心位于該第一轉(zhuǎn)軸上；以及 一第二驅(qū)動模塊，配置于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上，并且耦接該載盤， 該操作方法包括: 通過該第一驅(qū)動模塊來驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著該第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)；以及 通過該第二驅(qū)動模塊來驅(qū)動該載盤繞著該第二轉(zhuǎn)軸相對于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)， 使得該載盤上的該些容置槽依序移動到一相同位置。
27.如權(quán)利要求26所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括一旋轉(zhuǎn)托架以及一軸桿，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)經(jīng)由該軸桿樞接于該固定座上，該軸桿重合于該第一轉(zhuǎn)軸，且該旋轉(zhuǎn)托架繞著該軸桿相對于該固定座旋轉(zhuǎn)。
28.如權(quán)利要求26所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括一旋轉(zhuǎn)托架以及一弧形導(dǎo)引軌道，且該弧形導(dǎo)引軌道設(shè)置于該固定座上，該旋轉(zhuǎn)托架滑設(shè)于該弧形導(dǎo)引軌道，以繞著該第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)。
29.如權(quán)利要求26所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，還包括: 通過一取放裝置自該相同位置上的該容置槽夾取或放置一元件。
30.如權(quán)利要求29所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該取放裝置包括一第一傳輸機構(gòu)、一第二傳輸機構(gòu)以及一夾爪，該夾爪連接至該第一傳輸機構(gòu)以及該第二傳輸機構(gòu)，其中該第一傳樞機構(gòu)適于帶動該夾爪沿一第一方向移動，且該第二傳輸機構(gòu)適于帶動該夾爪沿一第二方向移動。
31.如權(quán)利要求26所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，還包括: 通過一定位組件夾持放置在各該容置槽上的一元件。
32.如權(quán)利要求31所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該定位組件包括一卡鉤以及一彈性件，該彈性件連接在該卡鉤以及該容置槽之間，則自該相同位置上的該容置槽夾取或放置該元件的步驟包括:推動該卡鉤以使該卡鉤遠離該容置槽，并且該彈性件儲存一彈性位能； 通過該取放裝置自該相同位置上的該容置槽夾取或放置該元件；以及 釋放該彈性件所儲存的該彈性位能，以帶動該卡鉤復(fù)位。
33.如權(quán)利要求26所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該第二轉(zhuǎn)軸通過該載盤的一旋轉(zhuǎn)中心，且該些容置槽沿著以該旋轉(zhuǎn)中心為圓心的至少一圓形軌跡排列，則通過該第二驅(qū)動模塊來驅(qū)動該載盤繞著該第二轉(zhuǎn)軸相對于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)的步驟包括:使該載盤旋轉(zhuǎn)對應(yīng)于同一圓形軌跡上的兩容置槽間距的一第一旋轉(zhuǎn)角。
34.如權(quán)利要求33所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，同一圓形軌跡上的該些容置槽之間為等間距排列。
35.如權(quán)利要求33所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，同一圓形軌跡上的該些容置槽之間具有不同的間距。
36.如權(quán)利要求33所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該些容置槽沿著多個同心圓軌跡排列，則通過該第一驅(qū)動模塊來驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)托架繞著該第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)的步驟包括:使該載盤旋轉(zhuǎn)一第二旋轉(zhuǎn)角，該第二旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)于相鄰兩圓形軌跡的間距。
37.如權(quán)利要求36所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該些圓形軌跡之間為等間距排列。
38.如權(quán)利要求36所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該些圓形軌跡之間具有不同的間距。
39.一種旋轉(zhuǎn)定位裝置 的操作方法，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)定位裝置包括: 一固定座； 一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，設(shè)置于該固定座上； 一第一驅(qū)動模塊，設(shè)置于該固定座上，并且耦接該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，以驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著一第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)； 一載盤，具有多個容置槽，該些容置槽位于該載盤的一圓弧面上，該載盤經(jīng)由一第二轉(zhuǎn)軸樞接于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其中該第二轉(zhuǎn)軸通過該載盤的一旋轉(zhuǎn)中心以及該圓弧面的曲率中心，并且垂直于該第一轉(zhuǎn)軸，該曲率中心位于該第一轉(zhuǎn)軸上，且該些容置槽沿著以該旋轉(zhuǎn)中心為圓心的多個同心圓軌跡排列；以及 一第二驅(qū)動模塊，配置于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上，并且耦接該載盤， 該操作方法包括: 步驟1、通過該第二驅(qū)動模塊來驅(qū)動該載盤繞著該第二轉(zhuǎn)軸相對于該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)旋轉(zhuǎn)一第一旋轉(zhuǎn)角，該第一旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)于同一圓形軌跡上的兩容置槽間距； 步驟2、重復(fù)步驟1，使該同一圓形軌跡上的所有容置槽依序移動到一相同位置； 步驟3、通過該第一驅(qū)動模塊來驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)繞著該第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)一第二旋轉(zhuǎn)角，該第二旋轉(zhuǎn)角對應(yīng)于兩圓形軌跡的間距，使另一圓形軌跡上的其中一個容置槽移動到該相同位置；以及步驟4、重復(fù)步驟I到步驟2。
40.如權(quán)利要求39所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括一旋轉(zhuǎn)托架以及一軸桿，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)經(jīng)由該軸桿樞接于該固定座上，該軸桿重合于該第一轉(zhuǎn)軸，且該旋轉(zhuǎn)托架繞著該軸桿相對于該固定座旋轉(zhuǎn)。
41.如權(quán)利要求39所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括一旋轉(zhuǎn)托架以及一弧形導(dǎo)引軌道，且該弧形導(dǎo)引軌道設(shè)置于該固定座上，該旋轉(zhuǎn)托架滑設(shè)于該弧形導(dǎo)引軌道，以繞著該第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)。
42.如權(quán)利要求39所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該操作方法還包括: 通過一取放裝置自該相同位置上的該容置槽夾取或放置一元件。
43.如權(quán)利要求42所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該取放裝置包括一第一傳輸機構(gòu)、一第二傳輸機構(gòu)以及一夾爪，該夾爪連接至該第一傳輸機構(gòu)以及該第二傳輸機構(gòu)，其中該第一傳樞機構(gòu)適于帶動該夾爪沿一第一方向移動，且該第二傳輸機構(gòu)適于帶動該夾爪沿一第二方向移動。
44.如權(quán)利要求39所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該操作方法還包括: 通過一定位組件夾持放置在各該容置槽上的一元件。
45.如權(quán)利要求44所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該定位組件包括一卡鉤以及一彈性件，該彈性件連接在該卡鉤以及該容置槽之間，則自該相同位置上的該容置槽夾取或放置該元件的步驟包括: 推動該卡鉤以使該卡鉤遠離該容置槽，并且該彈性件儲存一彈性位能； 通過該取放裝置自該相同位置上的該容置槽夾取或放置該元件；以及 釋放該彈性件所儲存的該彈性位能，以帶動該卡鉤復(fù)位。
46.如權(quán)利要求39所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，同一圓形軌跡上的該些容置槽之間為等間距排列。
47.如權(quán)利要求39所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，同一圓形軌跡上的該些容置槽之間具有不同的間距。
48.如權(quán)利要求39所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該些圓形軌跡之間為等間距排列。
49.如權(quán)利要求39所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該些圓形軌跡之間具有不同的間距。
50.如權(quán)利要求39所述的旋轉(zhuǎn)定位裝置的操作方法，其特征在于，該操作方法還包括在步驟I之前，通過該第一驅(qū)動模塊來驅(qū)動該旋轉(zhuǎn)托架繞著該第一轉(zhuǎn)軸相對于該固定座旋轉(zhuǎn)一初始旋轉(zhuǎn)角，使步驟I中的該圓形軌跡上的其中一個容置槽移動到該相同位置。
【文檔編號】C23C14/22GK103668075SQ201310399068
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年9月5日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月5日
【發(fā)明者】陳冠州, 吳佩珊, 李升亮, 陳家銘, 董福慶, 李志中, 林灣松, 陳冠翰 申請人:財團法人工業(yè)技術(shù)研究院