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      真空鍍膜方法

      文檔序號:3293368閱讀:1201來源:國知局
      真空鍍膜方法
      【專利摘要】一種真空鍍膜方法,包括以下步驟:提供一帶狀基材,該帶狀基材經(jīng)過螺旋盤繞之后圍成一圓筒狀結(jié)構(gòu),該待鍍膜表面即為該圓筒狀結(jié)構(gòu)的外表面;將所述圓筒狀結(jié)構(gòu)置于真空鍍膜機(jī)中,該真空鍍膜機(jī)內(nèi)設(shè)置有待鍍膜材料,使用該待鍍膜材料對所述待鍍膜表面進(jìn)行第一次鍍膜,形成一第一薄膜層;以及;將所述圓筒狀結(jié)構(gòu)倒置,對所述待鍍膜表面進(jìn)行第二次鍍膜,從而在第一薄膜層的表面形成一第二薄膜層,兩次鍍膜后形成的鍍膜材料層整體厚度均勻。
      【專利說明】真空鍍膜方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及一種真空鍍膜方法。尤其涉及一種能夠?qū)崿F(xiàn)均勻的在長度較大、寬度較小的帶狀基材上鍍膜,及均勻的在長度較大、直徑較小的管狀結(jié)構(gòu)內(nèi)壁上鍍膜的方法。
      【背景技術(shù)】
      [0002]涂硼稻草管中子探測器,需要在其管狀內(nèi)壁上涂硼或碳化硼等薄膜,使其能夠探測中子。如何在長度較大、直徑較小的管狀內(nèi)壁上大面積均勻鍍膜是實(shí)現(xiàn)涂硼稻草管中子探測器的關(guān)鍵技術(shù)。真空鍍膜方法為現(xiàn)有技術(shù)中常用的一種鍍膜方法。真空鍍膜法鍍膜速度較快,而且可以使得到的薄膜厚度較小,適合應(yīng)用于對薄膜的厚度具有較高要求的領(lǐng)域。
      [0003]但是,現(xiàn)有的真空鍍膜方法,基于現(xiàn)有的真空鍍膜設(shè)備,常常由于被鍍材料源與被鍍基材不同位置的遠(yuǎn)近或者重力作用等原因,造成所鍍薄膜的厚度不均勻。因此,很難在一曲面上實(shí)現(xiàn)大面積均勻鍍膜;很難在長度較大、寬度較小的帶狀基材表面實(shí)現(xiàn)均勻鍍膜;很難在長度較大、直徑較小的管狀結(jié)構(gòu)內(nèi)壁上實(shí)現(xiàn)均勻鍍膜。從而限制了真空鍍膜技術(shù)的應(yīng)用。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0004]有鑒于此,確有必要提供一種可以實(shí)現(xiàn)大面積均勻鍍膜,及在長度較大、寬度較小的帶狀基材表面均勻鍍膜的真空鍍膜方法。進(jìn)而實(shí)現(xiàn)在長度較大、直徑較小的管狀內(nèi)壁上均勻鍍膜。
      [0005]一種真空鍍膜方法,包括以下步驟:提供一帶狀基材,該帶狀基材經(jīng)過螺旋盤繞之后圍成一圓筒狀結(jié)構(gòu),該待鍍膜表面即為該圓筒狀結(jié)構(gòu)的外表面;將所述圓筒狀結(jié)構(gòu)置于真空鍍膜機(jī)中,該真空鍍膜機(jī)內(nèi)設(shè)置有待鍍膜材料,使用該待鍍膜材料對所述待鍍膜表面進(jìn)行第一次鍍膜,形成一第一薄`膜層;以及將所述圓筒狀結(jié)構(gòu)倒置,對所述待鍍膜表面進(jìn)行第二次鍍膜,從而在第一薄膜層的表面形成一第二薄膜層,兩次鍍膜后形成的鍍膜材料層整體厚度均勻。
      [0006]一種真空鍍膜方法,包括以下步驟:提供一基材,該基材具有一待鍍膜表面,使待鍍膜表面形成一曲面,該曲面為一圓筒狀結(jié)構(gòu)的至少部分外表面;將所述基材置于真空鍍膜機(jī)中,該真空鍍膜機(jī)內(nèi)設(shè)置有待鍍膜材料,使用該待鍍膜材料對基材的待鍍膜表面進(jìn)行第一次鍍膜,形成一第一薄膜層;以及將所述基材倒置,對該基材的待鍍膜表面進(jìn)行第二次鍍膜,從而在第一薄膜層的表面形成一第二薄膜層。
      [0007]本發(fā)明所提供的真空鍍膜方法,通過將一基材圍成一圓筒狀結(jié)構(gòu),該圓筒狀結(jié)構(gòu)的外表面為待鍍膜表面,通過對該待鍍膜旋轉(zhuǎn)前后的兩次鍍膜,將鍍膜材料在真空腔中蒸鍍到基材上,可以消除被鍍膜材料源到待鍍膜表面距離或者重力等原因?qū)Ρ∧ず穸鹊挠绊?,可在基材表面?shí)現(xiàn)大面積均勻鍍膜;另外,本發(fā)明通過將一帶狀基材螺旋盤繞成一圓筒狀結(jié)構(gòu),可以在長度較大、寬度較小的帶狀基材表面實(shí)現(xiàn)均勻鍍膜;通過將鍍制完成后的帶狀基材展開,并將所述帶狀基材卷制成管狀結(jié)構(gòu),卷制成管狀結(jié)構(gòu)過程中被鍍膜表面設(shè)定為所述管狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁面,可以長度較大、直徑較小的管狀結(jié)構(gòu)內(nèi)壁上實(shí)現(xiàn)均勻鍍膜。本發(fā)明還具有的涂膜效率高、生產(chǎn)設(shè)備簡單等優(yōu)點(diǎn)。
      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0008]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的真空鍍膜方法的流程圖。
      [0009]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的真空鍍膜方法所采用的真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0010]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的帶狀基材固定于支撐體表面后的結(jié)構(gòu)示意圖。
      [0011]主要元件符號說明
      【權(quán)利要求】
      1.一種真空鍍膜方法,包括以下步驟: S1:提供一帶狀基材,該帶狀基材經(jīng)過螺旋盤繞之后圍成一圓筒狀結(jié)構(gòu),待鍍膜表面即為該圓筒狀結(jié)構(gòu)的外表面; S2:將所述圓筒狀結(jié)構(gòu)置于真空鍍膜機(jī)中,該真空鍍膜機(jī)內(nèi)設(shè)置有待鍍膜材料,使用該待鍍膜材料對所述待鍍膜表面進(jìn)行第一次鍍膜,形成一第一薄膜層;以及; S3:將所述圓筒狀結(jié)構(gòu)倒置,對所述待鍍膜表面進(jìn)行第二次鍍膜,從而在第一薄膜層的表面形成一第二薄膜層,兩次鍍膜后形成的鍍膜材料層整體厚度均勻。
      2.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜方法,其特征在于,可進(jìn)一步包括步驟S4:將步驟S3得到的已鍍膜的帶狀基材展開后重新卷制成一管狀結(jié)構(gòu),卷制過程中被鍍膜表面設(shè)定為管狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)壁面。
      3.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜方法,其特征在于,所述步驟SI中進(jìn)一步包括提供一支撐體,所述支撐體為圓筒或圓柱體,所述帶狀基材螺旋盤繞設(shè)置于該支撐體的外表面。
      4.如權(quán)利要求3所述的真空鍍膜方法,其特征在于,所述支撐體外表面設(shè)置有螺旋型凹槽,該螺旋型凹槽的寬度與所述帶狀基材的寬度相互吻合,將所述帶狀基材沿所述螺旋型凹槽纏繞于所述支撐體的外表面,帶狀基材位于凹槽內(nèi)。
      5.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜方法,其特征在于,所述步驟S2包括以下步驟: 將所述圓筒狀結(jié)構(gòu)固定于真空鍍膜機(jī)的真空腔內(nèi)的一旋轉(zhuǎn)裝置上; 將待鍍膜材料設(shè)置于真空腔內(nèi),并與所述圓筒狀結(jié)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)裝置間隔設(shè)置; 對真空腔進(jìn)行抽真空,使真空`腔內(nèi)保持一定的真空度; 使所述圓筒狀結(jié)構(gòu)圍繞其中心軸勻速旋轉(zhuǎn),利用電子束轟擊待鍍膜材料,使待鍍膜材料蒸發(fā)后沉積在所述待鍍膜表面,形成第一薄膜層。
      6.如權(quán)利要求5所述的真空鍍膜方法,其特征在于,所述圓筒狀結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的過程中,待鍍膜材料與所述圓筒狀結(jié)構(gòu)中心軸的距離保持不變。
      7.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜方法,其特征在于,在步驟S3中,所述圓筒狀結(jié)構(gòu)倒置后的中心軸的位置不變,所述對帶狀基材的待鍍膜表面進(jìn)行第二次鍍膜的具體步驟與對該待鍍膜表面進(jìn)行第一次鍍膜的具體步驟相同。
      8.一種真空鍍膜方法,包括以下步驟: 提供一基材,該基材具有一待鍍膜表面,使待鍍膜表面形成一曲面,該曲面為一圓筒狀結(jié)構(gòu)的至少部分外表面; 將所述基材置于真空鍍膜機(jī)中,該真空鍍膜機(jī)內(nèi)設(shè)置有待鍍膜材料,使用該待鍍膜材料對基材的待鍍膜表面進(jìn)行第一次鍍膜,形成一第一薄膜層;以及 將所述基材倒置,對該基材的待鍍膜表面進(jìn)行第二次鍍膜,從而在第一薄膜層的表面形成一第二薄膜層。
      9.如權(quán)利要求8所述的真空鍍膜方法,其特征在于,所述基材為圓柱或圓筒狀結(jié)構(gòu)。
      10.如權(quán)利要求8所述的真空鍍膜方法,其特征在于,所述基材為一二維的層狀結(jié)構(gòu),所述二維的層狀結(jié)構(gòu)圍成一曲面,該曲面為一圓筒狀結(jié)構(gòu)的至少部分外表面。
      【文檔編號】C23C14/30GK103526161SQ201310453456
      【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年9月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月29日
      【發(fā)明者】宮輝, 王學(xué)武, 李元景, 楊祎罡, 王永強(qiáng), 朱守糯, 王燕春, 常建平 申請人:清華大學(xué)
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