研磨拋光盤靜壓支撐裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種研磨拋光盤靜壓支撐裝置，包括機(jī)架底座，特征是：在機(jī)架底座上安裝機(jī)架座套，機(jī)架座套上安裝靜壓支撐座，機(jī)架座套和靜壓支撐座的中心安裝主軸，靜壓支撐座和主軸上端設(shè)置研磨拋光盤，研磨拋光盤與主軸固定；在所述機(jī)架座套上分別設(shè)置第一進(jìn)油通道和第一回油通道，在靜壓支撐座上分別設(shè)置第二進(jìn)油通道和第二回油通道，第一進(jìn)油通道和第二進(jìn)油通道連通，第一回油通道和第二回油通道連通；在所述靜壓支撐座的上端面設(shè)置進(jìn)油槽，進(jìn)油槽與第二進(jìn)油通道連通；在所述靜壓支撐座的上端面圍繞主軸的外側(cè)設(shè)置回油槽，在回油槽中設(shè)置固定塊，固定塊與回油槽之間形成回油腔。本實(shí)用新型承載力大、吸振性好，可提高研磨拋光加工精度和效率。
【專利說明】研磨拋光盤靜壓支撐裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體研磨拋光裝置，尤其是一種研磨拋光盤靜壓支撐裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)今光電、半導(dǎo)體、模具等產(chǎn)業(yè)，對(duì)于其使用零件(如銑、削加工后的工件)的表面精度要求均日益提高，因此，于工件表面進(jìn)行研磨拋光的精密微細(xì)加工已成為目前發(fā)展的主流加工技術(shù)。隨著研磨拋光加工工藝的不斷發(fā)展，為使工件獲得表面平坦化、表面粗糙度極低的光亮“鏡面”，對(duì)研磨拋光裝置也提出了更高的要求，如能承載更大的壓力、能獲得更大的工件線速度等。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，研磨拋光盤的支撐采用傳統(tǒng)的機(jī)械軸承，即將研磨拋光盤與主軸固定連接，研磨拋光盤的支撐完全靠套裝在主軸上的主軸軸承提供。這種裝置存在的問題是:研磨拋光盤和設(shè)置于研磨拋光盤上的待加工工件的重量及壓盤對(duì)待加工工件施加的壓力完全由主軸軸承來承擔(dān)，由于主軸軸承的承載力有限，這就限制了研磨拋光盤的承載力，也限制了研磨拋光盤的旋轉(zhuǎn)速度，旋轉(zhuǎn)速度稍大，容易引起研磨拋光盤的抖動(dòng)，進(jìn)而影響加工精度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種研磨拋光盤靜壓支撐裝置，承載力大、吸振性好，可提高研磨拋光加工精度和效率。
[0005]按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，一種研磨拋光盤靜壓支撐裝置，包括機(jī)架底座，特征是:在所述機(jī)架底座上端安裝機(jī)架座套，在機(jī)架座套上端安裝靜壓支撐座，在機(jī)架座套和靜壓支撐座的中心通孔中分別通過主軸軸承安裝主軸，在靜壓支撐座和主軸的上端面設(shè)置研磨拋光盤，研磨拋光盤與主軸固定；在所述機(jī)架座套上分別設(shè)置第一進(jìn)油通道和第一回油通道，在靜壓支撐座上分別設(shè)置第二進(jìn)油通道和第二回油通道，第一進(jìn)油通道和第二進(jìn)油通道連通，第一回油通道和第二回油通道連通；在所述靜壓支撐座的上端面設(shè)置進(jìn)油槽，進(jìn)油槽與第二進(jìn)油通道連通；在所述靜壓支撐座的上端面圍繞主軸的外側(cè)設(shè)置回油槽，在回油槽中設(shè)置固定塊，固定塊的外表面與回油槽的內(nèi)壁之間形成回油腔，該回油腔與第二回油通道連通。
[0006]所述固定塊為中心設(shè)有通孔的圓臺(tái)狀，固定塊的小端朝向研磨拋光盤一側(cè)。
[0007]在所述靜壓支撐座上端面的邊緣設(shè)置回油溝。
[0008]本實(shí)用新型所述研磨拋光盤靜壓支撐裝置通過壓力油形成靜壓支撐，用以懸浮支撐研磨拋光盤，以靜壓支撐代替?zhèn)鹘y(tǒng)技術(shù)的機(jī)械軸承支撐可實(shí)現(xiàn)更大的承載力，提高研磨拋光效率；同時(shí)，靜壓支撐具有吸振性好的優(yōu)點(diǎn)，當(dāng)研磨拋光盤高速旋轉(zhuǎn)時(shí)不會(huì)造成研磨拋光盤的抖動(dòng)，穩(wěn)定性好；再者，靜壓支撐無機(jī)械摩擦，不會(huì)對(duì)機(jī)械部件造成磨損，使用壽命長(zhǎng)?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合具體附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
[0011]如圖1所示:所述研磨拋光盤靜壓支撐裝置包括機(jī)架底座1、機(jī)架座套2、靜壓支撐座3、主軸4、主軸軸承5、研磨拋光盤6、第一進(jìn)油通道7-1、第二進(jìn)油通道7-2、第一回油通道8-1、第二回油通道8-2、進(jìn)油槽9、回油槽10、固定塊11、回油溝12等。
[0012]如圖1所示，本實(shí)用新型包括機(jī)架底座1，在機(jī)架底座I上端安裝機(jī)架座套2，在機(jī)架座套2上端安裝靜壓支撐座3，在機(jī)架座套2和靜壓支撐座3的中心通孔中分別通過主軸軸承5安裝主軸4，在靜壓支撐座3和主軸4的上端面設(shè)置研磨拋光盤6，研磨拋光盤6與主軸4固定；
[0013]在所述機(jī)架座套2上分別設(shè)置第一進(jìn)油通道7-1和第一回油通道8-1，在靜壓支撐座3上分別設(shè)置第二進(jìn)油通道7-2和第二回油通道8-2，第一進(jìn)油通道7-1和第二進(jìn)油通道
7-2連通，第一回油通道8-1和第二回油通道8-2連通，第一進(jìn)油通道7-1和第一回油通道
8-1分別外接油栗；在所述靜壓支撐座3的上端面設(shè)置進(jìn)油槽9，進(jìn)油槽9與研磨拋光盤6的下端面形成靜壓油腔，進(jìn)油槽9與第二進(jìn)油通道7-2連通；在所述靜壓支撐座3的上端面圍繞主軸4的外側(cè)設(shè)置回油槽10，在回油槽10中設(shè)置固定塊11，固定塊11為中心設(shè)有通孔的圓臺(tái)狀，固定塊11的小端朝向研磨拋光盤6 —側(cè)，固定塊11的外表面與回油槽11的內(nèi)壁之間形成回油腔，該回油腔與第二回油通道8-2連通；
[0014]在所述靜壓支撐座3上端面的邊緣設(shè)置回油溝12。
[0015]本實(shí)用新型的工作原理:供油系統(tǒng)的油栗發(fā)出的壓力油經(jīng)機(jī)架座套2和靜壓支撐座3內(nèi)的第一進(jìn)油通道7-1和第二進(jìn)油通道7-2進(jìn)入靜壓支撐座3上端的進(jìn)油槽9，壓力油在靜壓油腔內(nèi)形成靜壓支撐，待壓力油將研磨拋光盤6支撐起時(shí)，壓力油將從靜壓支撐座3與研磨拋光盤6形成的間隙中流至回油溝12和回油腔中，再經(jīng)靜壓支撐座3和機(jī)架座套2內(nèi)的第二回油通道8-2和第一回油通道8-1最后流入供油系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)循環(huán)作業(yè)。
【權(quán)利要求】
1.一種研磨拋光盤靜壓支撐裝置，包括機(jī)架底座(1)，其特征是:在所述機(jī)架底座(I)上端安裝機(jī)架座套(2 )，在機(jī)架座套(2 )上端安裝靜壓支撐座(3 )，在機(jī)架座套(2 )和靜壓支撐座(3)的中心通孔中分別通過主軸軸承(5)安裝主軸(4)，在靜壓支撐座(3)和主軸(4)的上端面設(shè)置研磨拋光盤(6)，研磨拋光盤(6)與主軸(4)固定；在所述機(jī)架座套(2)上分別設(shè)置第一進(jìn)油通道(7-1)和第一回油通道(8-1 )，在靜壓支撐座(3)上分別設(shè)置第二進(jìn)油通道(7-2)和第二回油通道(8-2)，第一進(jìn)油通道(7-1)和第二進(jìn)油通道(7-2)連通，第一回油通道(8-1)和第二回油通道(8-2)連通；在所述靜壓支撐座(3)的上端面設(shè)置進(jìn)油槽(9)，進(jìn)油槽(9)與第二進(jìn)油通道(7-2)連通；在所述靜壓支撐座(3)的上端面圍繞主軸(4)的外側(cè)設(shè)置回油槽(10)，在回油槽(10)中設(shè)置固定塊(11 )，固定塊(11)的外表面與回油槽(11)的內(nèi)壁之間形成回油腔，該回油腔與第二回油通道(8-2)連通。
2.如權(quán)利要求1所述的研磨拋光盤靜壓支撐裝置，其特征是:所述固定塊(11)為中心設(shè)有通孔的圓臺(tái)狀，固定塊(11)的小端朝向研磨拋光盤(6) —側(cè)。
3.如權(quán)利要求1所述的研磨拋光盤靜壓支撐裝置，其特征是:在所述靜壓支撐座(3)上端面的邊緣設(shè)置回油溝(12)。
【文檔編號(hào)】B24B37/34GK203600044SQ201320657281
【公開日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2013年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月23日
【發(fā)明者】唐丹, 王聯(lián), 王靜, 孫曉曉 申請(qǐng)人:無錫元明機(jī)械設(shè)備技術(shù)有限公司