一種用于真空室內(nèi)多工位濺射靶的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提出了一種用于真空室內(nèi)多工位濺射靶的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)，其包括進(jìn)水器、旋轉(zhuǎn)水接頭、中空旋轉(zhuǎn)軸和長(zhǎng)進(jìn)水管；進(jìn)水器為中空結(jié)構(gòu)，其下端與側(cè)面裝有出水嘴的旋轉(zhuǎn)水接頭的進(jìn)水端連接旋轉(zhuǎn)水接頭的旋轉(zhuǎn)端與中空旋轉(zhuǎn)軸的上端連接，并采用密封墊密封；長(zhǎng)進(jìn)水管穿過(guò)中空旋轉(zhuǎn)軸和旋轉(zhuǎn)水接頭伸入進(jìn)水器內(nèi)，其上末端與進(jìn)水器之間裝有聚氨酯油封圈進(jìn)行旋轉(zhuǎn)密封；長(zhǎng)進(jìn)水管的下端與中空旋轉(zhuǎn)軸的下端內(nèi)孔焊接密封；中空旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)面開(kāi)有回水口。本發(fā)明的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，拆卸方便，并且旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)位于真空室外，解決了冷卻水如何安全可靠的進(jìn)出真空室成為濺射靶冷卻的難題，特別適合于多工位靶各面靶材單獨(dú)直接水冷。
【專利說(shuō)明】—種用于真空室內(nèi)多工位濺射靶的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及鍍膜行業(yè)的濺射靶材的水冷卻領(lǐng)域，特別涉及一種用于真空室內(nèi)多工位濺射靶的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)代薄膜技術(shù)中，離子束濺射由于其污染小、缺陷少、成膜致密，因而被大量應(yīng)用于高質(zhì)量光學(xué)薄膜的制備中。其原理是在一定真空條件下，利用離子源引出高速、高能量的離子束，經(jīng)中和器產(chǎn)生的負(fù)電子中和變成中性離子束后轟擊靶材，將靶材以原子、分子或原子團(tuán)的形態(tài)濺射出來(lái)，再沉積到基片上形成薄膜。
[0003]為了連續(xù)鍍制多種材料的薄膜，減少因更換靶材所需的輔助時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，離子束濺射靶設(shè)計(jì)成可同時(shí)安裝多種靶材的多工位靶，靶材通過(guò)真空室外電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行換位。在鍍膜過(guò)程中，靶材會(huì)因?yàn)R射導(dǎo)致發(fā)熱而降低靶材的使用壽命，所以需要對(duì)靶材進(jìn)行水冷。由于濺射靶是在真空室內(nèi)且工作時(shí)需轉(zhuǎn)動(dòng)，因此冷卻水如何安全可靠的進(jìn)出真空室成為濺射靶冷卻的難題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明要解決的問(wèn)題是提供一種用于真空室內(nèi)多工位濺射靶的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種用于真空室內(nèi)多工位濺射靶的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)，其包括進(jìn)水器、旋轉(zhuǎn)水接頭、中空旋轉(zhuǎn)軸和長(zhǎng)進(jìn)水管；進(jìn)水器為中空結(jié)構(gòu)，其下端與側(cè)面裝有出水嘴的旋轉(zhuǎn)水接頭的進(jìn)水端連接；旋轉(zhuǎn)水接頭的旋轉(zhuǎn)端與中空旋轉(zhuǎn)軸的上端連接，使中空旋轉(zhuǎn)軸可相對(duì)旋轉(zhuǎn)水接頭以軸線為轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，連接處采用密封墊密封；長(zhǎng)進(jìn)水管穿過(guò)中空旋轉(zhuǎn)軸和旋轉(zhuǎn)水接頭伸入進(jìn)水器內(nèi)，其上末端與進(jìn)水器之間裝有聚氨酯油封圈進(jìn)行旋轉(zhuǎn)密封；長(zhǎng)進(jìn)水管的下端外壁與中空旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)腔下端口固定連接形成密封；中空旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)面開(kāi)有回水口 ；所述進(jìn)水器及長(zhǎng)進(jìn)水管連通組成進(jìn)水通道；所述長(zhǎng)進(jìn)水管外壁與中空旋轉(zhuǎn)軸及旋轉(zhuǎn)水接頭的內(nèi)腔壁之間的空隙構(gòu)成回水通道。
[0006]作為本發(fā)明一種用于真空室內(nèi)多工位濺射靶的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)在一方面的改進(jìn)，所述進(jìn)水器包括進(jìn)水嘴、進(jìn)水法蘭與分水法蘭；裝有進(jìn)水嘴的進(jìn)水法蘭與分水法蘭采取法蘭形式連接并且連接處用O型密封圈密封。
[0007]本發(fā)明中，中空旋轉(zhuǎn)軸穿過(guò)真空室壁，交界處用磁流體做動(dòng)密封；中空旋轉(zhuǎn)軸下端連接多工位靶，帶動(dòng)多工位靶旋轉(zhuǎn)換位。多工位靶處在真空室內(nèi)，旋轉(zhuǎn)水接頭和進(jìn)水器處于真空室外。
[0008]工作時(shí)，冷卻水由進(jìn)水法蘭上的進(jìn)水嘴進(jìn)入分水法蘭，經(jīng)長(zhǎng)進(jìn)水管從其下端出口流入靶材的冷卻水套，依次經(jīng)過(guò)多塊靶材的冷卻水套后經(jīng)中空旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)面回水口流至中空旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)壁與長(zhǎng)進(jìn)水管外壁之間構(gòu)成的回水空隙，最后由旋轉(zhuǎn)水接頭固定外殼上的出水嘴流出。[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，拆卸方便，將進(jìn)水通道和回水通道集成在一根管道中，并且旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)位于真空室外，即使密封出現(xiàn)故障，也不會(huì)對(duì)對(duì)真空室造成影響，解決了一直以來(lái)冷卻水如何安全可靠的進(jìn)出真空室成為濺射靶冷卻的難題，特別適合于多工位靶各面靶材單獨(dú)直接水冷。
[0010]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明，其作為本說(shuō)明書的一部分，通過(guò)實(shí)施例來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的原理，本發(fā)明的其他方面、特征及其優(yōu)點(diǎn)通過(guò)該詳細(xì)說(shuō)明將會(huì)變得一目了然。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]構(gòu)成本發(fā)明的一部分的附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。
[0012]圖1為本發(fā)明的剖視圖；
圖2為本發(fā)明的外部結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3為圖1的I處局部放大圖；
圖4為圖1的II處 局部放大圖。
[0013]圖1-4中附圖標(biāo)記的對(duì)應(yīng)關(guān)系為:
1-中空旋轉(zhuǎn)軸；2_長(zhǎng)進(jìn)水管；3_旋轉(zhuǎn)水接頭；4_出水嘴；5_分水法蘭；6_進(jìn)水法蘭；7-進(jìn)水嘴；8-0型密封圈；9_聚氨酯油封圈；10-密封墊；11-真空室壁；12-回水口 ；13_靶材連接軸；14_進(jìn)水器；15_回水管；16_靶材水連接管；17-磁流體密封；18_靶體。
【具體實(shí)施方式】
[0014]需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本發(fā)明中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。
[0015]如圖1-4所示，一種用于真空室內(nèi)多工位濺射靶的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)，其包括進(jìn)水器14、旋轉(zhuǎn)水接頭3、中空旋轉(zhuǎn)軸I和長(zhǎng)進(jìn)水管2 ;進(jìn)水器14為中空結(jié)構(gòu)，其下端與側(cè)面裝有出水嘴4的旋轉(zhuǎn)水接頭3的進(jìn)水端連接；旋轉(zhuǎn)水接頭3的旋轉(zhuǎn)端與中空旋轉(zhuǎn)軸I的上端連接，使中空旋轉(zhuǎn)軸I可相對(duì)旋轉(zhuǎn)水接頭3以軸線為轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，連接處采用密封墊10密封；長(zhǎng)進(jìn)水管2穿過(guò)中空旋轉(zhuǎn)軸I和旋轉(zhuǎn)水接頭3伸入進(jìn)水器14內(nèi)，其上末端與進(jìn)水器14之間裝有聚氨酯油封圈9進(jìn)行旋轉(zhuǎn)密封；長(zhǎng)進(jìn)水管2的下端外壁與中空旋轉(zhuǎn)軸I內(nèi)腔下端口固定連接形成密封；中空旋轉(zhuǎn)軸I的側(cè)面開(kāi)有回水口 12 ;所述進(jìn)水器14及長(zhǎng)進(jìn)水管2連通組成進(jìn)水通道；所述長(zhǎng)進(jìn)水管2外壁與中空旋轉(zhuǎn)軸I及旋轉(zhuǎn)水接頭3的內(nèi)腔壁之間的空隙構(gòu)成回水通道。
[0016]上述進(jìn)水器14包括進(jìn)水嘴7、進(jìn)水法蘭6與分水法蘭5 ;裝有進(jìn)水嘴7的進(jìn)水法蘭6與分水法蘭5采取法蘭形式連接并且連接處用O型密封圈8密封。
[0017]所述聚氨酯油封圈9進(jìn)行旋轉(zhuǎn)密封以隔斷冷卻水的進(jìn)水與出水。
[0018]中空旋轉(zhuǎn)軸I穿過(guò)真空室壁11，交界處用磁流體做動(dòng)密封；中空旋轉(zhuǎn)軸I下端連接靶材連接軸13，帶動(dòng)多工位靶旋轉(zhuǎn)換位。多工位靶處在真空室內(nèi)，旋轉(zhuǎn)水接頭3和進(jìn)水器14處于真空室外。
[0019]本冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)工作時(shí)，旋轉(zhuǎn)水接頭3的外殼體以及連接其上的進(jìn)水器14 (分水法蘭5、進(jìn)水法蘭6和進(jìn)水嘴7)是固定不動(dòng)的，中空旋轉(zhuǎn)軸I及與其焊接在一起的長(zhǎng)進(jìn)水管2 —起旋轉(zhuǎn)。冷卻水從進(jìn)水法蘭6上的進(jìn)水嘴7進(jìn)入分水法蘭5，通過(guò)長(zhǎng)進(jìn)水管2進(jìn)入濺射靶冷卻水套，通過(guò)靶材水連接管16依次經(jīng)過(guò)多塊靶材的冷卻水套后，經(jīng)過(guò)回水管15進(jìn)入中空旋轉(zhuǎn)軸1，從長(zhǎng)進(jìn)水管2與中空旋轉(zhuǎn)軸I內(nèi)壁之間的回水通道流進(jìn)旋轉(zhuǎn)水接頭3，經(jīng)過(guò)旋轉(zhuǎn)水接頭3上的出水嘴4流出，完成整個(gè)冷卻過(guò)程。
[0020]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所 作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于真空室內(nèi)多工位濺射靶的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括進(jìn)水器(14)、旋轉(zhuǎn)水接頭(3 )、中空旋轉(zhuǎn)軸(1)和長(zhǎng)進(jìn)水管(2 );進(jìn)水器(14)為中空結(jié)構(gòu)，其下端與側(cè)面裝有出水嘴(4)的旋轉(zhuǎn)水接頭(3)的進(jìn)水端連接；旋轉(zhuǎn)水接頭(3)的旋轉(zhuǎn)端與中空旋轉(zhuǎn)軸(1)的上端連接，使中空旋轉(zhuǎn)軸(1)可相對(duì)旋轉(zhuǎn)水接頭(3)以軸線為轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，連接處采用密封墊(10)密封；長(zhǎng)進(jìn)水管(2)穿過(guò)中空旋轉(zhuǎn)軸(1)和旋轉(zhuǎn)水接頭(3)伸入進(jìn)水器(14)內(nèi)，其上末端與進(jìn)水器(14)之間裝有聚氨酯油封圈(9)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)密封；長(zhǎng)進(jìn)水管(2)的下端外壁與中空旋轉(zhuǎn)軸(1)內(nèi)腔下端口固定連接形成密封；中空旋轉(zhuǎn)軸(1)的側(cè)面開(kāi)有回水口(12);所述進(jìn)水器(14)及長(zhǎng)進(jìn)水管(2)連通組成進(jìn)水通道；所述長(zhǎng)進(jìn)水管(2)外壁與中空旋轉(zhuǎn)軸(1)及旋轉(zhuǎn)水接頭(3)的內(nèi)腔壁之間的空隙構(gòu)成回水通道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空室內(nèi)多工位濺射靶的冷卻水進(jìn)出結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述進(jìn)水器(14)包括進(jìn)水嘴(7)、進(jìn)水法蘭(6)與分水法蘭(5);裝有進(jìn)水嘴(7)的進(jìn)水法蘭(6)與分水法蘭(5)采取法蘭形式連接并且連接處用O型密封圈(8)密封。
【文檔編號(hào)】C23C14/34GK103952673SQ201410127157
【公開(kāi)日】2014年7月30日 申請(qǐng)日期:2014年4月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月1日
【發(fā)明者】陳特超, 胡凡 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所