一種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，該自吹積瘤裝置包括位于噴涂罐外且依次利用氣管連通的空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐及位于噴涂罐內(nèi)且依次利用高溫氣管連通的脈沖電磁閥、吹氣架。本實用新型空氣壓縮機通過送氣管和減壓閥與儲氣罐進氣口連接，保證儲氣罐內(nèi)充滿氣體并處于恒定高壓狀態(tài)，而儲氣罐出氣口與脈沖電池閥進氣口連接，脈沖電磁閥出氣口與吹氣架相連，進而實現(xiàn)在不暫停等離子噴涂作業(yè)情況下，自動吹除在等離子噴涂過程噴咀上產(chǎn)生的積瘤，大幅度降低了噴涂大尺寸、高純度旋轉(zhuǎn)靶材的時間和人力成本，間接提高了旋轉(zhuǎn)靶材的結(jié)合強度和致密性。
【專利說明】一種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型一種旋轉(zhuǎn)靶材生產(chǎn)過程中的在線高壓自動吹積瘤裝置，特別涉及一種 真空等離子噴涂設(shè)備上用的自動吹積瘤裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 在真空等離子噴涂旋轉(zhuǎn)靶材過程中，少量過熔粉末會凝結(jié)在噴咀上形成積瘤，不 及時處理，積瘤會濺射到靶材上，使靶材出現(xiàn)大面積積瘤導(dǎo)致報廢。目前，公知的處理積瘤 的方式為：在發(fā)現(xiàn)噴咀處出現(xiàn)積瘤后，暫停等離子噴涂設(shè)備運行，采用人工手動方式去除 噴咀上的積瘤。由于制造旋轉(zhuǎn)靶材特別是大尺寸、高純度的靶材周期較長，經(jīng)常停機除積瘤 不僅會大幅度提高了生產(chǎn)靶材的時間成本和人力成本,而且頻繁暫停等離子噴涂作業(yè)會導(dǎo) 致旋轉(zhuǎn)靶材粉末的結(jié)合強度和致密性大幅度降低。
[0003] 由此，本發(fā)明人考慮對現(xiàn)有靶材噴涂吹積瘤裝置結(jié)構(gòu)進行改進，本案由此產(chǎn)生。 實用新型內(nèi)容
[0004] 為了克服在生產(chǎn)大尺寸、高純度旋轉(zhuǎn)靶材過程中需要吹除積瘤而經(jīng)常暫停等離子 噴涂作業(yè)的不足。本實用新型提供一種真空等離子噴涂自動吹積瘤裝置，該吹積瘤裝置 能在不暫停等離子噴涂作業(yè)的情況下吹除噴咀上產(chǎn)生的積瘤，不但大幅度降低了生產(chǎn)大尺 寸、高純度旋轉(zhuǎn)靶材的時間和人力成本，而且還能間接提高靶材粉末的結(jié)合強度和致密性。
[0005] 為達到上述目的，本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：
[0006] -種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，該自吹積瘤裝置包括位于噴涂罐外且依次利 用氣管連通的空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐及位于噴涂罐內(nèi)且依次利用高溫氣管連通的脈 沖電磁閥、吹氣架。
[0007] 進一步，所述空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐之間利用不銹鋼氣管連通，且噴涂罐的 上方的輸出端利用高溫氣管與脈沖電磁閥連通。
[0008] 進一步，所述脈沖電磁閥連通利用高溫氣管與吹氣架側(cè)面兩吹氣孔連通。
[0009] 進一步，所述吹氣架為一金屬圓環(huán)體，其中央通孔與罐體上方設(shè)置的噴嘴套接，形 成噴嘴支撐構(gòu)架。
[0010] 進一步，所述吹氣架下端面向下延伸形成弧形側(cè)壁，該弧形側(cè)壁上開設(shè)有兩吹氣 孔，每個吹氣孔垂直與套于中央通孔內(nèi)噴嘴的噴出端垂直，從而形成針對噴嘴及中央通孔 周側(cè)邊沿的吹積瘤結(jié)構(gòu)。
[0011] 進一步，所述兩吹氣孔中心夾角呈銳角。
[0012] 進一步，所述噴涂罐體可為授權(quán)公告CN203373415U所描述的罐體結(jié)構(gòu)。
[0013] 本實用新型空氣壓縮機通過送氣管和減壓閥與儲氣罐進氣口連接，保證儲氣罐內(nèi) 充滿氣體并處于恒定高壓狀態(tài)，而儲氣罐出氣口與脈沖電池閥進氣口連接，脈沖電磁閥出 氣口與吹氣架相連。在等離子噴涂作業(yè)過程中，噴槍將會根據(jù)旋轉(zhuǎn)靶材的長度通過行走機 構(gòu)的傳動進行往返水平運動，當(dāng)?shù)入x子噴槍行走至正好超出旋轉(zhuǎn)靶材兩端的位置時，由等 離子噴涂系統(tǒng)控制柜向脈沖電磁閥發(fā)出控制信號，脈沖電磁閥打開，儲氣罐中氣體由于壓 力作用從吹氣架上吹出，從而達到不暫停等離子噴涂作業(yè)情況下自動吹除等離子噴涂過程 中噴咀上積瘤目的。
[0014] 本實用新型的有益效果是，可以在不暫停等離子噴涂作業(yè)情況下，自動吹除在等 離子噴涂過程噴咀上產(chǎn)生的積瘤，大幅度降低了噴涂大尺寸、高純度旋轉(zhuǎn)靶材的時間和人 力成本，間接提高了旋轉(zhuǎn)靶材的結(jié)合強度和致密性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015] 圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016] 圖2是本實用新型所述吹氣架結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017] 圖3是本實用新型實施例中所述行走機構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0018] 下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明：
[0019] 實施例：請參閱圖1至圖2所示，一種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，該自吹積瘤 裝置包括位于噴涂罐A外且依次利用氣管連通的空氣壓縮機1、減壓閥2、儲氣罐3及位于 噴涂罐A內(nèi)且依次利用高溫氣管4連通的脈沖電磁閥5、吹氣架6。
[0020] 請參閱圖1至圖2所示，前述空氣壓縮機4的出氣口通過直徑為025的304不銹 鋼氣管7與減壓閥2的進氣口相連，減壓閥2的出氣口通過直徑為025的304不銹鋼氣管7 與儲氣罐3的進氣口相連，而儲氣罐3的出氣口通過直徑為020的高溫氣管4的穿過真空 罐體法蘭盤8的與脈沖電磁閥5的進氣口連接，脈沖電磁閥5的出氣口與吹氣架6相連。
[0021] 請參閱圖1至圖2所示，前述吹氣架6為一金屬圓環(huán)體，其中央通孔61與罐體上 方設(shè)置的噴嘴套接，所述吹氣架6下端面向下延伸形成弧形側(cè)壁62,該弧形側(cè)壁62上開設(shè) 有兩中心夾角呈銳角的吹氣孔63,該兩吹氣孔63均通過高溫氣管4與脈沖電磁閥5連通， 同時利用每個吹氣孔63垂直與套于中央通孔61內(nèi)噴嘴的噴出端垂直，從而形成針對噴嘴 及中央通孔周側(cè)邊沿的吹積瘤結(jié)構(gòu)。
[0022] 請參閱圖1至圖2所示，本實用新型的工作原理如下：
[0023] 空氣通過空氣壓縮機1壓縮后，經(jīng)過不銹鋼管7填充到儲氣罐3內(nèi)。在等離子噴涂 作業(yè)過程中，噴槍的噴嘴將會根據(jù)旋轉(zhuǎn)靶材的長度，通過行走機構(gòu)9的傳動往返水平運動。 當(dāng)?shù)入x子噴槍行走至正好超出旋轉(zhuǎn)靶材兩端的位置時，等離子噴涂系統(tǒng)PLC控制柜向脈沖 電磁閥5發(fā)出控制信號，脈沖電磁閥5打開，儲氣罐3中氣體由于壓力作用從吹氣架6上快 速吹出，從而達到不暫停等離子噴涂作業(yè)情況下自動吹除等離子噴涂過程中噴咀上產(chǎn)生的 積瘤目的。
[0024] 請參閱圖1至圖3所示，前述行走機構(gòu)9位于真空靶材噴涂罐體A內(nèi)并固定于罐 體A內(nèi)壁上；該行走機構(gòu)包括固定架92、移動車93及伺服電機94。
[0025] 請參閱圖1至圖3所示，前述所述固定架92包括固定板921及滑軌922,所述滑 軌922固定于固定板921上，而固定板921固定于罐體91內(nèi)壁上，其中滑軌922為兩個平 行設(shè)置的圓柱滑軌，每根滑軌下方均設(shè)置有滑軌支柱9221。
[0026] 請參閱圖1至圖3所示，前述移動車93包括車架931、靶材支架932及滾輪933， 所述滾輪933設(shè)置于車架931下方并分別與兩圓柱滑軌922配合形成滑動機構(gòu)，而靶材支 架932上端呈弧形并固定于車架931中央并與罐體頂端的噴槍相對應(yīng)；車架931 -側(cè)設(shè)置 有定位板95,該定位板95下方設(shè)置有齒排951，該齒排951與齒輪96相互嚙合，形成對移 動車移動方向的定位結(jié)構(gòu)，其中所述滾輪933為表面凹陷滾輪。
[0027] 請參閱圖1至圖3所示，前述伺服電機94穿過罐體A側(cè)壁伸入至罐體的噴涂腔內(nèi)， 前述齒輪固96定于伺服電機94的輸出桿的輸出端上，該齒輪96并與齒排951相互哨合。
[0028] 以上所記載，僅為利用本創(chuàng)作技術(shù)內(nèi)容的實施例，任何熟悉本項技藝者運用本創(chuàng) 作所做的修飾、變化，皆屬本創(chuàng)作主張的專利范圍，而不限于實施例所揭示者。
【權(quán)利要求】
1. 一種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，其特征在于：該自吹積瘤裝置包括位于噴涂罐 外且依次利用氣管連通的空氣壓縮機、減壓閥、儲氣罐及位于噴涂罐內(nèi)且依次利用高溫氣 管連通的脈沖電磁閥、吹氣架。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，其特征在于：所述空氣 壓縮機、減壓閥、儲氣罐之間利用不銹鋼氣管連通，且噴涂罐的上方的輸出端利用高溫氣管 與脈沖電磁閥連通。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，其特征在于：所述 脈沖電磁閥連通利用高溫氣管與吹氣架側(cè)面兩吹氣孔連通。
4. 據(jù)權(quán)利要求3所述的一種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，其特征在于：所述吹氣架 為一金屬圓環(huán)體，其中央通孔與罐體上方設(shè)置的噴嘴套接，形成噴嘴支撐構(gòu)架。
5. 據(jù)權(quán)利要求4所述的一種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，其特征在于：所述吹氣架 下端面向下延伸形成弧形側(cè)壁，該弧形側(cè)壁上開設(shè)有兩吹氣孔，每個吹氣孔垂直與套于中 央通孔內(nèi)噴嘴的噴出端垂直，從而形成針對噴嘴及中央通孔周側(cè)邊沿的吹積瘤結(jié)構(gòu)。
6. 據(jù)權(quán)利要求5所述的一種靶材等離子噴涂自吹積瘤裝置，其特征在于：所述兩吹氣 孔中心夾角呈銳角。
【文檔編號】C23C4/12GK203834001SQ201420243774
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年5月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月14日
【發(fā)明者】羅建冬 申請人:廈門映日新材料科技有限公司