一種粗拋機中心輪的制作方法
【專利摘要】一種粗拋機中心輪，用于生產(chǎn)單晶硅拋光片的拋光機上。中心輪由外圈的定位頁片（1）和內(nèi)圈的支撐軸（2）組成，內(nèi)圈支撐軸（2）采用一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，拋棄了軸承、密封環(huán)的復雜設(shè)計方式，杜絕了漏油、漏銹的可能性。定位頁片（1）和支撐軸底座（6）通過四個絲孔相對、上下表面平齊的組裝方式，避免了組裝時偏轉(zhuǎn)45度角的問題。中心輪整體通過固定法蘭（3）安裝固定在設(shè)備中心軸上，改變了中心輪安裝固定在大盤上的方式，使中心輪定位載體盤準確，且中心輪和拋光布不接觸。本實用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單，安裝操作方便，易于維修，方便使用，克服了原有中心輪設(shè)計中存在的定位載體盤不準確和易產(chǎn)生拋光片沾污劃傷的問題，降低了使用成本，提高了產(chǎn)品質(zhì)量和工作效率。
【專利說明】一種粗拋機中心輪

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于單晶硅拋光片生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，主要涉及一種粗拋機中心輪。

【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅拋光片是IC行業(yè)的基礎(chǔ)材料，而拋光機是生產(chǎn)硅拋光片的必要設(shè)備。目前在市場上，SPEEDFAM公司生產(chǎn)的一種SPAW50拋光機，在國內(nèi)IC行業(yè)擁有較大保有量。SPAW50粗拋機中心輪是粗拋機上的重要裝置，與導輪一起準確定位了載體盤在拋光布上的位置；同時，設(shè)備通過中心輪中間的孔將拋光液供給到拋光布上。中心輪的運行狀態(tài)對于生產(chǎn)單晶硅拋光片的品質(zhì)具有極其重要的影響。在拋光生產(chǎn)過程中，要求中心輪除能夠保證載體盤的準確定位、平穩(wěn)運行以外，還要在運行過程中保證潔凈、不產(chǎn)生顆粒，有較好的耐用性，易于維護、修理、清潔，使生產(chǎn)能連續(xù)進行。但在生產(chǎn)使用中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有SPAW50粗拋機所使用的中心輪存在著以下4個問題:
[0003]1、結(jié)構(gòu)復雜，故障率高，維修難度大?，F(xiàn)有中心輪主要由外圈起定位作用的四瓣形塑料定位頁片和內(nèi)圈起支撐作用的軸承組成，內(nèi)圈軸承又主要包含內(nèi)外金屬殼及金屬殼內(nèi)的軸承、密封環(huán)、高度定位螺栓、固定螺栓等部件，其中內(nèi)層金屬殼安裝在大盤上起支撐中心輪作用，隨大盤轉(zhuǎn)動；外層金屬殼支撐定位頁片，并與設(shè)備中心軸軟連接以定位載體盤，不隨大盤轉(zhuǎn)動。因中心輪位于拋光布正中央，處于高溫、潮濕、有腐蝕性的環(huán)境中，且拋光液通過中心輪中間的孔流到拋光布上,使中心輪軸承易于進水、拋光液而生銹,進而產(chǎn)生油污、金屬銹泄漏；中心輪內(nèi)金屬密封環(huán)易變形、高度定位螺栓易松動，使內(nèi)外金屬殼相對位置改變相互摩擦產(chǎn)生金屬屑，造成拋光片沾污、劃道。中心輪定位頁片和外金屬殼由8個螺絲連接，組裝時易產(chǎn)生四瓣形定位頁片與外金屬殼相對位置偏轉(zhuǎn)45度角的錯誤。中心輪組成的零件數(shù)過多，整體部件可靠性差，損壞后再次裝配時，外殼高度難以精確定位，需多次進行裝配、清潔、放在拋光布上定位的工作，組裝難度大，對生產(chǎn)和質(zhì)量有較大影響。
[0004]2、內(nèi)外金屬殼層間容易積存拋光液結(jié)晶、灰塵,難以清理,有產(chǎn)生拋光片劃傷的風險；
[0005]3、中心輪和中心軸通過塑料花鍵接觸式軟連接，連接用塑料花鍵易變形損壞，導致中心輪定位頁片旋轉(zhuǎn)不到位，載體盤定位不準，進而導至拋光時載體盤擺動，產(chǎn)生不良拋光；
[0006]4、中心輪安裝固定在大盤正中心，中心輪質(zhì)量大，換布時裝卸工作強度大，且安裝中心輪時需在拋光布中心割一直徑為250_的圓孔,破壞了拋光布的整體性，影響拋光布實際使用效果。
實用新型內(nèi)容
[0007]鑒于現(xiàn)有技術(shù)中使用的SPAW50粗拋光機中心輪所存在的問題，本實用新型設(shè)計提出了一種新型SPAW50粗拋機上用中心輪。中心輪內(nèi)圈支撐軸采用無軸承、無密封的一體化簡單設(shè)計，解決了原有設(shè)計中漏油、漏銹、內(nèi)外金屬殼摩擦產(chǎn)生金屬屑、難以清潔和裝配困難的問題。外圈定位頁片和內(nèi)圈支撐軸承采用4個螺絲連接的方式，避免了組裝時產(chǎn)生定位頁片偏轉(zhuǎn)45度角的問題。中心輪和設(shè)備中心軸連接處采用螺栓固定的硬連接方式，這樣首先可以保證定位頁片偏轉(zhuǎn)到位，準確定位載體盤；其次設(shè)備中心軸可以起到固定中心輪的作用，使中心輪不再安裝固定在大盤上，不與大盤接觸，換布后安裝中心輪時不需將拋光布中心割孔，改善拋光布使用效果。
[0008]為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實用新型采取的技術(shù)方案是:一種粗拋機中心輪，主要是由四瓣形定位頁片及支撐軸組成，其中支撐軸為工形結(jié)構(gòu)，由下端的支撐軸底座、上端的固定法蘭及中間的空心連接桿構(gòu)成；定位頁片底部設(shè)計一個圓柱形空腔，圓柱形空腔上均布4個凹陷式設(shè)計的螺栓孔，對應定位頁片的四瓣頁片。支撐軸整體采用不銹鋼材料制作，支撐軸底座下部設(shè)計一個10毫米高的凸臺，凸臺上均布4個支撐軸底座上絲孔，用以與定位頁片相配合，防止定位頁片在工作時產(chǎn)生形變造成脫落。定位頁片通過過盈配合和支撐軸底座組裝成一體，然后用4個螺栓固定，安裝后支撐軸底座和定位頁片上下表面平齊，以利于衛(wèi)生清潔。支撐軸上端設(shè)計有固定法蘭，用螺栓通過四個固定法蘭上絲孔固定在設(shè)備的中心軸上，四個固定法蘭上絲孔與定位頁片上的螺栓孔對應，以保證和中心軸連接后定位頁片位置準確，避免組裝后定位頁片出現(xiàn)偏轉(zhuǎn)45度角的錯誤。
[0009]本實用新型所述的一種粗拋機中心輪，所用的組件數(shù)量很少，加工工藝簡單，安裝操作方便，可靠性強，有效地解決中心輪進水漏油、漏銹、難以清理及組裝、更換困難的問題。中心輪采用整體結(jié)構(gòu)設(shè)計，不含軸承，易于清理，減少拋光片沾污劃傷風險。中心輪固定在設(shè)備中心軸上，不再與大盤接觸，定位載體盤準確，更換拋光布時不需割孔，改善拋光布使用效果。降低了使用成本，提高了產(chǎn)品質(zhì)量、工作效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為定位頁片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3為本實用新型中定位頁片的俯視圖。
[0013]圖中:1、定位頁片，2、支撐軸，3、固定法蘭，4、固定法蘭上絲孔，5、空心連接桿，6、支撐軸底座，7、支撐軸底座上絲孔，8、凸臺，9、圓柱形空腔。

【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖給出本實用新型的實施方式如下:
[0015]如圖1、圖2、圖3所示，本實用新型所述的一種粗拋機中心輪，主要是由四瓣形定位頁片I和支撐軸2構(gòu)成，其中支撐軸2為工形結(jié)構(gòu)，由下端的支撐軸底座6、上端的固定法蘭3和中間的空心連接桿5組成；支撐軸2整體采用不銹鋼材料制作，支撐軸底座6下部設(shè)計有一個1mm高的凸臺8，凸臺8上均布四個支撐軸底座上絲孔7，用以與定位頁片I相配合。防止定位頁片I在工作時產(chǎn)生形變造成脫落。定位葉片I底部設(shè)計有一個圓柱形空腔9，圓柱形空腔9上均布四個凹陷式設(shè)計的螺栓孔，對應定位頁片I的四瓣頁片，定位頁片I通過過盈配合與支撐軸底座6組裝成一體，通過支撐軸底座上絲孔7用螺栓固定。安裝后支撐軸底座6和定位頁片I上下表面平齊，有利于衛(wèi)生清潔。支撐軸2上端的固定法蘭3用螺栓通過四個固定法蘭上絲孔4固定在設(shè)備的中心軸上。四個固定法蘭上絲孔4與定位頁片I上的螺栓孔對應，以確保粗拋機中心輪也設(shè)備上的中心軸連接后定頁葉片I位置準確，避免組裝后定位頁片I出現(xiàn)偏轉(zhuǎn)45度角的錯誤。
【權(quán)利要求】
1.一種粗拋機中心輪，其特征是:所述的一種粗拋機中心輪，主要是由四瓣形定位頁片(I)和支撐軸(2 )構(gòu)成，其中支撐軸(2 )為工形結(jié)構(gòu)，包括有下端的支撐軸底座(6 )、上端的固定法蘭(3)和中間的空心連桿(5);支撐軸底座(6)下部設(shè)有一個凸臺(8)，凸臺(8)上均布四個支撐軸底座上絲孔(7);定位頁片(I)底部設(shè)有一個圓柱形空腔(9)，圓柱形空腔(9)上均布的四個凹陷式螺栓孔對應定位頁片(I)的四瓣頁片；支撐軸(2)上端的固定法蘭(3)上設(shè)置的四個固定法蘭上絲孔(4)與定位頁片(I)上均布的四個凹陷式螺栓孔對應；定位頁片(I)通過過盈配合與支撐軸底座(6 )組裝成一體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種粗拋機中心輪，其特征是:支撐軸(2)采用不銹鋼材料制作。
【文檔編號】B24B29/02GK203936756SQ201420268738
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年5月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月26日
【發(fā)明者】趙文龍, 胡曉亮, 李珩粉, 高燁 申請人:洛陽單晶硅有限責任公司