技術(shù)總結(jié)
用于薄膜太陽(yáng)能電池制造的高溫蒸發(fā)爐,包括導(dǎo)流件、吊裝法蘭、隔熱屏、坩堝、導(dǎo)流加熱器、坩堝加熱器;所述隔熱屏設(shè)在導(dǎo)流件和坩堝外圍,所述導(dǎo)流件為管狀空心結(jié)構(gòu),坩堝是具有一開口的罐狀容器,導(dǎo)流件與坩堝通過(guò)開口相連通,所述導(dǎo)流件的側(cè)壁設(shè)有可透射物料的噴孔;所述導(dǎo)流加熱器設(shè)置在導(dǎo)流件外圍,所述導(dǎo)流加熱器設(shè)置通過(guò)具有絕緣性的固定環(huán)設(shè)置在導(dǎo)流件與隔熱屏之間;所述坩堝加熱器設(shè)置在坩堝外圍,所述坩堝加熱器設(shè)置設(shè)置在坩堝與隔熱屏之間;所述隔熱屏側(cè)壁設(shè)有對(duì)應(yīng)噴孔的通道,所述吊裝法蘭將導(dǎo)流件與隔熱屏組裝固定。
技術(shù)研發(fā)人員:張衛(wèi)衛(wèi);王孟孟;朱家寬;劉杰鵬;高錦龍
受保護(hù)的技術(shù)使用者:旭科新能源股份有限公司
文檔號(hào)碼:201710101282
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.24
技術(shù)公布日:2017.05.10