本發(fā)明涉及光伏領(lǐng)域，特別是一種用于大尺寸晶片單面拋光的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)式上軸機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，晶片的尺寸越做越大，晶片的規(guī)格千變?nèi)f化；對于加工質(zhì)量的要求也越來越嚴(yán)格。

而在大尺寸不同規(guī)格晶片的單面拋光中，面臨著巨大的挑戰(zhàn)和考驗(yàn)；拋光的效率決定了加工的成本，拋光磨削的均勻性決定著加工品質(zhì)的好壞；降低成本，提高品質(zhì)也成為技術(shù)研發(fā)的目標(biāo)和方向。

在傳統(tǒng)的單面拋光中，采用陶瓷盤貼片卡入上盤面內(nèi)的拋光方式和化學(xué)與機(jī)械相結(jié)合的拋光工藝；由于導(dǎo)熱效果，陶瓷盤與上盤面的溫度會隨著拋光溫度的上升而上升，熱脹的原理會導(dǎo)致陶瓷盤與上盤面表面的平坦度發(fā)生變化；而此上軸作用于單片拋光晶片的壓力則會因?yàn)樯陷S與陶瓷盤面型的變化而分布不均勻，導(dǎo)致晶片磨削不均勻，拋光后晶片表面的平坦度較差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對上述問題， 本發(fā)明提出了一種用于大尺寸晶片單面拋光的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)式上軸機(jī)構(gòu)。

為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案是:

一種用于大尺寸晶片單面拋光的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)式上軸機(jī)構(gòu)，包括氣缸、旋轉(zhuǎn)接頭、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)齒輪、連接軸桿和上盤面，其特征在于，所述氣缸豎直固定設(shè)置，其伸縮端豎直朝下，所述氣缸、旋轉(zhuǎn)接頭、旋轉(zhuǎn)軸、連接軸桿和上盤面自上而下依次相連；

所述旋轉(zhuǎn)接頭由轉(zhuǎn)接套、旋轉(zhuǎn)塊和蓋板構(gòu)成，所述轉(zhuǎn)接套呈中空圓柱形，其上設(shè)有連接桿、密封通道、氣管接入口、水管接入口、水管接出口和漏水檢測口，所述連接桿豎直設(shè)置，位于轉(zhuǎn)接套的上端面上，所述密封通道呈圓柱形，其上端設(shè)有呈圓環(huán)形的蓋板限位槽，密封通道的內(nèi)壁上自上而下依次設(shè)有進(jìn)氣槽、漏水檢測槽、進(jìn)水槽和出水槽；所述進(jìn)氣槽、漏水檢測槽、進(jìn)水槽和出水槽均呈環(huán)形環(huán)繞，進(jìn)氣槽、漏水檢測槽、進(jìn)水槽和出水槽互相平行；

所述旋轉(zhuǎn)塊由密封塊和連接塊構(gòu)成，所述密封塊和連接塊為一體式結(jié)構(gòu)，密封塊呈中空圓柱形，套于轉(zhuǎn)接套內(nèi)，并與密封通道間隙密封，密封塊上設(shè)有進(jìn)氣口、進(jìn)水口和出水口，且所述進(jìn)氣口、進(jìn)水口、出水口的位置分別與氣管接入口、水管接入口、水管接出口的位置一一對應(yīng)；所述蓋板設(shè)置于蓋板限位槽內(nèi)，與密封塊的上端面貼合，并通過螺栓與密封塊固定連接；

所述氣缸的伸縮端上設(shè)有氣缸軸，所述轉(zhuǎn)接套通過連接桿與氣缸軸固定連接，進(jìn)而與氣缸相連；所述旋轉(zhuǎn)塊通過連接塊，用螺栓與旋轉(zhuǎn)軸固定連接；

所述旋轉(zhuǎn)軸呈圓柱形，其外壁上設(shè)有2個豎直對稱設(shè)置的滑槽，所述滑槽的截面呈半圓形，所述旋轉(zhuǎn)齒輪上設(shè)有半圓形的滑塊，所述滑塊與滑槽對應(yīng)配合，旋轉(zhuǎn)齒輪通過滑槽、滑塊，與旋轉(zhuǎn)軸滑動連接；

所述連接軸桿位于旋轉(zhuǎn)軸的下端，并與旋轉(zhuǎn)軸固定連接，連接軸桿和上盤面通過萬向軸承相連；所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)固定設(shè)置于旋轉(zhuǎn)齒輪一側(cè)，并通過主動齒輪與旋轉(zhuǎn)齒輪聯(lián)動，所述主動齒輪的齒口與旋轉(zhuǎn)齒輪的齒口契合；

進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣口、進(jìn)氣槽、氣管接入口互相連通，所述進(jìn)水口、進(jìn)水槽、水管接入口互相連通，所述出水口、出水槽、水管接出口互相連通，所述漏水檢測口與漏水檢測槽互相連通；

進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)軸、連接軸桿均為中空結(jié)構(gòu)，所述進(jìn)氣口、進(jìn)水口和出水口通過膠管分別與上盤面上的噴氣口和進(jìn)、出水口相連通；

進(jìn)一步的，所述蓋板呈圓形，其所呈的圓形的直徑大于密封通道所呈的圓柱形的直徑。

本發(fā)明的有益效果為：

本發(fā)明提出的一種用于大尺寸晶片單面拋光的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)式上軸機(jī)構(gòu)，包括氣缸、旋轉(zhuǎn)接頭、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、旋轉(zhuǎn)齒輪、連接軸桿和上盤面，氣缸控制上盤面升降，旋轉(zhuǎn)電機(jī)控制旋轉(zhuǎn)齒輪、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)塊、連接軸桿和上盤面轉(zhuǎn)動，氣管接入口連接氣動電子閥，水管接入口、水管接出口連接水箱；本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理，橡膠密封片和漏水檢測口的設(shè)置，有效提高了旋轉(zhuǎn)接頭的密封性，并為監(jiān)控旋轉(zhuǎn)接頭的漏水情況，提供了監(jiān)控，同時，拋光作業(yè)過程中，可有效上盤面進(jìn)行冷卻，避免上盤面溫度上升而導(dǎo)致陶瓷盤與上盤面表面的平坦度發(fā)生變化、穩(wěn)定性被破壞，進(jìn)而提高拋光均勻度，提高拋光晶片表面的平坦度，而且，陶瓷盤與上盤面底部間的真空層破除簡單，在取晶片時，更加快捷。

附圖說明

圖1本發(fā)明示意圖。

圖2旋轉(zhuǎn)接頭分解圖。

圖3旋轉(zhuǎn)接頭截面直觀圖（無蓋板）。

圖4旋轉(zhuǎn)接頭截面直觀分解圖（無蓋板）。

圖5旋轉(zhuǎn)接頭定位不動原理圖。

具體實(shí)施方式

如圖所示的一種用于大尺寸晶片單面拋光的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)式上軸機(jī)構(gòu)，包括氣缸1、旋轉(zhuǎn)接頭2、旋轉(zhuǎn)軸3、旋轉(zhuǎn)電機(jī)4、旋轉(zhuǎn)齒輪5、連接軸桿6和上盤面7，其特征在于，所述氣缸1豎直固定設(shè)置，其伸縮端豎直朝下，所述氣缸1、旋轉(zhuǎn)接頭2、旋轉(zhuǎn)軸3、連接軸桿6和上盤面7自上而下依次相連；

所述旋轉(zhuǎn)接頭2由轉(zhuǎn)接套8、旋轉(zhuǎn)塊9和蓋板10構(gòu)成，所述轉(zhuǎn)接套8呈中空圓柱形，其上設(shè)有連接桿11、密封通道12、氣管接入口13、水管接入口14、水管接出口15和漏水檢測口16，所述連接桿11豎直設(shè)置，位于轉(zhuǎn)接套8的上端面上，所述密封通道12呈圓柱形，其上端設(shè)有呈圓環(huán)形的蓋板限位槽17，密封通道12的內(nèi)壁上自上而下依次設(shè)有進(jìn)氣槽18、漏水檢測槽19、進(jìn)水槽20和出水槽21；所述進(jìn)氣槽18、漏水檢測槽19、進(jìn)水槽20和出水槽21均呈環(huán)形環(huán)繞，進(jìn)氣槽18、漏水檢測槽19、進(jìn)水槽20和出水槽21互相平行；

所述旋轉(zhuǎn)塊9由密封塊22和連接塊23構(gòu)成，所述密封塊22和連接塊23為一體式結(jié)構(gòu)，密封塊22呈中空圓柱形，套于轉(zhuǎn)接套8內(nèi)，并與密封通道12間隙密封，密封塊22上設(shè)有進(jìn)氣口24、進(jìn)水口25和出水口26，且所述進(jìn)氣口24、進(jìn)水口25、出水口26的位置分別與氣管接入口13、水管接入口14、水管接出口15的位置一一對應(yīng)；所述蓋板10設(shè)置于蓋板限位槽17內(nèi)，與密封塊22的上端面貼合，并通過螺栓與密封塊22固定連接；

所述氣缸1的伸縮端上設(shè)有氣缸軸27，所述轉(zhuǎn)接套8通過連接桿11與氣缸軸27固定連接，進(jìn)而與氣缸1相連；所述旋轉(zhuǎn)塊9通過連接塊23，用螺栓與旋轉(zhuǎn)軸3固定連接；

所述旋轉(zhuǎn)軸3呈圓柱形，其外壁上設(shè)有2個豎直對稱設(shè)置的滑槽28，所述滑槽28的截面呈半圓形，所述旋轉(zhuǎn)齒輪5上設(shè)有半圓形的滑塊，所述滑塊與滑槽28對應(yīng)配合，旋轉(zhuǎn)齒輪5通過滑槽28、滑塊，與旋轉(zhuǎn)軸3滑動連接；

所述連接軸桿6位于旋轉(zhuǎn)軸3的下端，并與旋轉(zhuǎn)軸3固定連接，連接軸桿6和上盤面7通過萬向軸承29相連；所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)4固定設(shè)置于旋轉(zhuǎn)齒輪5一側(cè)，并通過主動齒輪30與旋轉(zhuǎn)齒輪5聯(lián)動，所述主動齒輪30的齒口與旋轉(zhuǎn)齒輪5的齒口契合；

進(jìn)一步的，所述進(jìn)氣口24、進(jìn)氣槽18、氣管接入口13互相連通，所述進(jìn)水口25、進(jìn)水槽20、水管接入口14互相連通，所述出水口26、出水槽21、水管接出口15互相連通，所述漏水檢測口16與漏水檢測槽19互相連通；

進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)軸3、連接軸桿6均為中空結(jié)構(gòu)，所述進(jìn)氣口24、進(jìn)水口25和出水口26通過膠管分別與上盤面7上的噴氣口和進(jìn)、出水口相連通；

進(jìn)一步的，所述蓋板10呈圓形，其所呈的圓形的直徑大于密封通道12所呈的圓柱形的直徑。

本實(shí)施例中，氣缸控制上盤面升降，旋轉(zhuǎn)電機(jī)控制旋轉(zhuǎn)齒輪、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)塊、連接軸桿和上盤面轉(zhuǎn)動，氣管接入口連接氣動電子閥，水管接入口、水管接出口連接水箱；

進(jìn)行拋光作業(yè)時，上盤面轉(zhuǎn)動，水箱通水，水管接入口和水管接出口進(jìn)行冷卻水循環(huán)，對上盤面進(jìn)行冷卻，避免上盤面溫度上升而導(dǎo)致陶瓷盤與上盤面表面的平坦度發(fā)生變化、穩(wěn)定性被破壞，進(jìn)而提高拋光均勻度，提高拋光晶片表面的平坦度；

當(dāng)拋光作業(yè)完成，氣缸收縮，控制上盤面抬升，此時，氣動電子閥打開，對上盤面噴氣，破除陶瓷盤與上盤面底部間的真空層，方便陶瓷盤與上盤面脫離，便于取下晶片；

旋轉(zhuǎn)接頭的設(shè)置，則是保證氣管和水管不會隨著上盤面轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動，而且，漏水檢測口連接漏水檢測感應(yīng)器，避免旋轉(zhuǎn)接頭密封性被破壞，水滲透到上盤面，影響到拋光效果，同時也方便檢修和更換。

同時，在進(jìn)氣槽、漏水檢測槽、進(jìn)水槽和出水槽的上下兩側(cè)，均設(shè)有橡膠密封片，亦可有效避免漏水漏氣。

如圖5所示，所述旋轉(zhuǎn)齒輪5通過支撐機(jī)構(gòu)31，保持水平位置不偏移，所述支撐機(jī)構(gòu)31包括轉(zhuǎn)動軸承32和支撐板33，所述轉(zhuǎn)動軸承32的上端面與旋轉(zhuǎn)齒輪5固定連接，所述支撐板33與轉(zhuǎn)動軸承32相連，位于轉(zhuǎn)動軸承32下端，并通過連接支架34連接設(shè)備殼體。

以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。