技術特征：

技術總結(jié)
本發(fā)明涉及一種微波等離子體化學氣相沉積裝置，包括殼體，殼體的上表面設有微波輸入口，微波輸入口的下方設置有基板，基板的底面設置有環(huán)形天線，基板與殼體之間設置有由微波介質(zhì)材料制成的管狀微波窗，殼體的底端設置有沉積臺，沉積臺位于環(huán)形天線的下方，并且沉積臺能夠在第一升降裝置的驅(qū)動下上下移動，沉積臺的外側(cè)面設置有管狀結(jié)構(gòu)的等離子體穩(wěn)定環(huán)，沉積臺、等離子體穩(wěn)定環(huán)、殼體、管狀微波窗及基板包圍形成封閉的諧振腔。本發(fā)明的微波等離子體化學氣相沉積裝置結(jié)構(gòu)簡單、加工成本低、生產(chǎn)效率高且產(chǎn)成品品質(zhì)高。此外，本發(fā)明還設計該微波等離子體化學氣相沉積裝置的生產(chǎn)方法。

技術研發(fā)人員：凌海林;袁穩(wěn);陳天鵬;凌天杰
受保護的技術使用者：無錫遠穩(wěn)烯科技有限公司
技術研發(fā)日：2017.07.25
技術公布日：2017.10.03