蝕刻方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及通過用腐蝕劑使對象物的表面腐蝕來加工對象物的表面的蝕刻方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為通過用腐蝕劑使對象物的表面腐蝕來加工對象物的表面的蝕刻方法，已知有包括以下步驟的方法:抗蝕膜形成步驟:在對象物的表面噴墨印刷油性樹脂液、紫外線固化樹脂液等抗蝕液，在對象物的表面上用抗蝕液形成抗蝕膜；表面腐蝕步驟:通過使腐蝕劑接觸在抗蝕膜形成步驟形成了抗蝕膜的對象物的表面?zhèn)?，使對象物的表面中沒有形成抗蝕膜的部分腐蝕；和抗蝕膜剝離步驟:在表面腐蝕步驟之后使抗蝕膜從對象物的表面剝離(參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開平6-228774號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的問題
[0007]然而，在現(xiàn)有的蝕刻方法中，在表面腐蝕步驟中，由于沒有預(yù)料到抗蝕膜因腐蝕劑而從對象物的表面剝離，因而對象物的表面中本來預(yù)期不腐蝕的部分有時發(fā)生腐蝕。另外，在現(xiàn)有的蝕刻方法中，抗蝕膜剝離步驟中抗蝕膜沒有從對象物的表面剝離而有時在對象物的表面上殘留。即，現(xiàn)有的蝕刻方法具有成品率差的問題。
[0008]因此，本發(fā)明的目的是提供與以往相比能夠提高成品率的蝕刻方法。
[0009]用于解決問題的方案
[0010]本發(fā)明的蝕刻方法是通過用腐蝕劑使對象物的表面腐蝕來加工前述表面的蝕刻方法，其特征在于，其包括:抗蝕膜形成步驟:在前述表面噴墨印刷抗蝕液，在前述表面利用前述抗蝕液形成抗蝕膜；表面腐蝕步驟:通過使前述腐蝕劑接觸在前述抗蝕膜形成步驟形成了前述抗蝕膜的前述對象物的前述表面?zhèn)?，使前述表面中沒有形成前述抗蝕膜的部分腐蝕；和抗蝕膜剝離步驟:在前述表面腐蝕步驟之后從前述表面剝離前述抗蝕膜，前述抗蝕膜形成步驟是利用含有單官能單體或單官能低聚物和多官能單體或多官能低聚物的前述抗蝕液形成前述抗蝕膜的步驟。
[0011]根據(jù)該構(gòu)成，本發(fā)明的蝕刻方法利用交聯(lián)密度高、難溶解的多官能單體或多官能低聚物在表面腐蝕步驟中抑制抗蝕膜從對象物的表面剝離，并且利用交聯(lián)密度低、容易溶解的單官能單體或單官能低聚物使抗蝕膜在抗蝕膜剝離步驟中容易從對象物的表面上剝離，因此與以往相比可以提高成品率。
[0012]另外，在本發(fā)明的蝕刻方法中，前述抗蝕膜形成步驟可以是利用含有40質(zhì)量％以上的前述單官能單體或前述單官能低聚物和30質(zhì)量％以下的前述多官能單體或前述多官能低聚物的抗蝕液來形成前述抗蝕膜的步驟。
[0013]另外，在本發(fā)明的蝕刻方法中，前述抗蝕膜形成步驟可以是將紫外線固化型的前述抗蝕液進行UV噴墨印刷的步驟。
[0014]根據(jù)該構(gòu)成，本發(fā)明的蝕刻方法由于抗蝕液是紫外線固化型的液體，因此與抗蝕液為有機溶劑型的液體的構(gòu)成相比，抗蝕液的固化速度快，結(jié)果可以提高系列加工的整體速度。
[0015]另外，在本發(fā)明的蝕刻方法中，前述抗蝕膜形成步驟可以是利用包含丙烯酸異冰片醋作為前述單官能單體的前述抗蝕液形成前述抗蝕膜的步驟。
[0016]另外，在本發(fā)明的蝕刻方法中，前述抗蝕膜形成步驟可以是利用包含丙烯酸酯作為前述單官能單體的前述抗蝕液形成前述抗蝕膜的步驟。
[0017]另外，在本發(fā)明的蝕刻方法中，前述抗蝕膜形成步驟可以是利用包含胺改性丙烯酸低聚物作為前述多官能單體的前述抗蝕液形成前述抗蝕膜的步驟。
_8] 發(fā)明的效果
[0019]本發(fā)明的蝕刻方法與現(xiàn)有方法相比可以提高成品率。
【附圖說明】
[0020]圖1是通過本發(fā)明的一個實施方式的蝕刻方法制造的加工品的側(cè)面截面圖。
[0021]圖2為用于制造圖1所不的加工品的喂'墨打印機的立體圖。
[0022]圖3A是通過本發(fā)明的一個實施方式的蝕刻方法加工之前的對象物的側(cè)面截面圖。圖3B是在表面上形成了抗蝕膜的圖3A所示的對象物的側(cè)面截面圖。
[0023]圖4是使表面中沒有形成抗蝕膜的部分腐蝕的圖3A和圖3B所示的對象物的側(cè)面截面圖。
【具體實施方式】
[0024]以下，通過附圖來說明本發(fā)明的一個實施方式。
[0025]首先，對通過本實施方式的蝕刻方法制造的加工品的構(gòu)成進行說明。
[0026]圖1是通過本實施方式的蝕刻方法制造的加工品10的側(cè)面截面圖。
[0027]如圖1所示，加工品10是通過對象物11的表面Ila凹進而生成的物品。例如，加工品10是在絕緣體的基材Ilb上涂布有銅等的導(dǎo)電體層即導(dǎo)電體層Ilc的印刷電路板。
[0028]接著，對于用于制造加工品10的噴墨打印機的構(gòu)成進行說明。
[0029]圖2是用于制造加工品10的噴墨打印機20的立體圖。
[0030]如圖2所示，噴墨打印機20具備:承載對象物11的平臺21、和在用箭頭20a所示主掃描方向上延伸的主體22。
[0031]平臺21在用箭頭20a表示的主掃描方向的兩側(cè)具有導(dǎo)向機構(gòu)21a，所述導(dǎo)向機構(gòu)2Ia在用箭頭20b所示的副掃描方向延伸、從而在用箭頭20b表示的副掃描方向上可移動地支撐主體22。
[0032]主體22具有:在用箭頭20a表示的主掃描方向上延伸的導(dǎo)軌23、和在用箭頭20a表示的主掃描方向上被導(dǎo)軌23可移動地支撐的滑架24?；?4搭載了用于將紫外線固化型的液滴向平臺21射出的沒有圖示的記錄頭、和用于向平臺21照射的用于使通過記錄頭噴射出的紫外線固化型的液體固化的紫外線的沒有圖示的LED (Light Emitting D1de，發(fā)光二極管)。
[0033]接著，對于用腐蝕劑使對象物11的表面Ila腐蝕來加工對象物11的表面Ila的蝕刻方法、即加工品10的制造方法進行說明。
[0034]圖3A是通過本實施方式的蝕刻方法加工之前的對象物11的側(cè)面截面圖。圖3B是在表面Ila上形成了抗蝕膜12的對象物11的側(cè)面截面圖。
[0035]1.抗蝕膜形成步驟
[0036]操作者將圖3A所示的對象物11固定在噴墨打印機20的平臺21的規(guī)定位置上，對噴墨打印機20進行指示以使得在對象物11上用紫外線固化型的抗蝕液記錄基于任意的印刷數(shù)據(jù)的圖像。
[0037]接受來自操作者的指示的噴墨打印機20使滑架24相對于平臺21沿著導(dǎo)軌23在用箭頭20a所示的主掃描方向上移動，并且使主體22相對于平臺21沿著導(dǎo)向機構(gòu)21a在用箭頭20b所示的副掃描方向上移動。即，噴墨打印機20對于固定于平臺21上的對象物11，根據(jù)印刷數(shù)據(jù)移動滑架24。而且，噴墨打印機20通過滑架24上的記錄頭將紫外線固化型的抗蝕液射出到固定于平臺21上的對象物11上，并且通過滑架24上的LED向射出到對象物11上的紫外線固化型的抗蝕液照射紫外線。即，噴墨打印機20以基于印刷數(shù)據(jù)的圖像的形狀在對象物11上UV噴墨印刷紫外