一種自定位自動壓緊進電組件裝置及其安裝方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于薄膜太陽能光伏電池技術(shù)領(lǐng)域，應用于PECVD沉積爐內(nèi)進電組件定位壓緊，特別涉及一種自定位自動壓緊進電組件裝置及其安裝方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，為使每個電極在沉積爐內(nèi)鍍膜工藝保持穩(wěn)定性，需要等離子體增強型化學氣相沉積裝置的電極接觸必須良好。因此要求每次在工件架進入沉積爐移動到位后，需要操作人員戴著高溫手套對18根進電組件一一插進鎖座、壓緊鎖座手柄；在工件架拉出沉積爐前又需要對18根進電組件進行手動拔出。
[0003]然而，由于生產(chǎn)過程中進出爐時的高溫和時間的嚴格控制，操作人員的操作不規(guī)范，進電組件接頭易松動和被拔掉、卡槽缺少緩沖部分而造成受力不均勻等原因，使進電組件的使用周期大大縮短，嚴重影響了進電組件的壽命。其次，由于現(xiàn)有鍍金圓柱電極頭在插拔進電組件的時候，容易把圓柱表面的一層鍍金給刮傷，從而易氧化和反射。在每次出現(xiàn)反射，查看工件架電極頭氧化磨損及松動情況和銅壓板氧化情況都需要使用2mm內(nèi)六角擰松鎖座上的兩個緊固螺絲，拆下鎖座，這時就容易出現(xiàn)以下兩個問題:1、內(nèi)六角滑絲；2、鎖座卡死。每次出現(xiàn)上述情況不僅費時而且費力，都需要使用注射器滴入潤滑油，一個人使用鯉魚鉗來回晃動，一個人使用鯉魚鉗使勁往外拽，才能拆下鎖座，給操作人員帶來諸多不便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是如何克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種自定位自動壓緊進電組件裝置。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還提供了一種自定位自動壓緊進電組件裝置的安裝方法。
[0006]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
本一種自定位自動壓緊進電組件裝置，包括:
進電組件保護機構(gòu)，其包括套設并固定于進電組件上的可在進電組件作業(yè)過程中對進電組件起到杜絕應力集中進而360度保護的喇叭口卡槽；
自動定位進電組件機構(gòu)，其包括錐形六角緊固電極頭、錐形電極母頭、安裝于電極桿上的屏蔽管和套設于屏蔽管上的可使進電組件自動定位同時方便查看錐形六角緊固電極頭狀況的定位喇叭口鎖座，所述錐形電極母頭由錐面自動定位連接所述錐形六角緊固電極頭;
自動壓緊進電組件機構(gòu)，其為在PECVD工序中工件架進入沉積爐移動到位的同時使進電組件自動壓緊、工藝結(jié)束出爐時工件架離開沉積爐限位的同時使進電組件自動松開的杠桿自動壓緊機構(gòu)。
[0007]作為優(yōu)化，所述喇叭口卡槽與進電組件的接觸部分采用圓弧結(jié)構(gòu)。
[0008]作為優(yōu)化，所述喇叭口卡槽通過前固定塊、后固定塊、內(nèi)六角螺栓I和螺母I固定。
[0009]作為優(yōu)化，所述自動定位進電組件機構(gòu)還包括安裝于電極桿上的絕緣管，所述定位喇叭口鎖座通過過盈配合安裝于屏蔽管上。
[0010]作為優(yōu)化，所述杠桿自動壓緊機構(gòu)包括套設于進電組件上并將壓緊力傳遞給錐形電極母頭的壓緊彈簧、直接作用于壓緊彈簧的彈簧壓柄、活動銷軸、活動銷軸套和杠桿壓桿，所述杠桿壓桿前后兩端垂直通過氣焊焊接在活動銷軸的活動銷軸套上。
[0011]作為優(yōu)化，還包括可調(diào)節(jié)橫板和可調(diào)節(jié)基板，所述彈簧壓柄通過內(nèi)六角螺絲II和螺母II固定在可調(diào)節(jié)橫板上，所述活動銷軸連接可調(diào)節(jié)基板，可調(diào)節(jié)基板由內(nèi)六角螺栓固定在沉積爐底板上。
[0012]上述一種自定位自動壓緊進電組件裝置的安裝方法，包括以下步驟:
1)在非晶硅薄膜太陽能PECVD工件架電極桿上旋轉(zhuǎn)錐形六角緊固電極頭，并把非晶硅薄膜太陽能PECVD屏蔽管、絕緣管安裝在電極桿上，注意把屏蔽管、絕緣管安裝到位；
2)將定位喇叭口鎖座通過過盈配合安裝在屏蔽管上；
3)將壓緊彈簧、喇叭口卡槽順序套在進電組件上，然后把進電組件螺母套上，再把進電組件螺旋擰緊安裝在沉積爐內(nèi)，最后由前固定塊、后固定塊固定喇叭口卡槽，再使用內(nèi)六角螺栓I和螺母I固定；
4)將焊接在活動軸銷套上的杠桿壓桿以及彈簧壓柄、可調(diào)節(jié)基板通過活動銷軸連接在一條軸線上，然后使用內(nèi)六角螺栓固定可調(diào)節(jié)基板在沉積爐底板上，再把彈簧壓柄通過內(nèi)六角螺絲II和螺母II固定在焊接杠桿壓桿的可調(diào)節(jié)橫板上，最后把帶有壓緊彈簧的進電組件推進彈簧壓柄槽口內(nèi)；
5)將PECVD工件架進入沉積爐移動到位的同時工件架槽鋼對杠桿壓桿的壓力，通過彈簧壓柄作用于壓緊彈簧，再由壓緊彈簧把壓緊力傳遞給錐形電極母頭，錐形電極母頭在安裝在屏蔽管的喇叭口鎖座內(nèi)由于切向力作用自動向中軸線偏移定位，進而起到自定位自動壓緊作用，從而實現(xiàn)了工件架進爐進電組件自動定位、自動壓緊；
6)工藝結(jié)束出爐時，由于工件架離開沉積爐限位的同時使進電組件自動松開。
[0013]作為優(yōu)化，針對個別電極頭氧化松動磨損情況，在工藝前后直接通過內(nèi)六角套筒進行擰緊或卸下更換。
[0014]作為優(yōu)化，所述進電組件為18根。
[0015]本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明，設計科學，在不影響原有功能的前提下，減少生產(chǎn)和維護所需人力物力，提高進電組件的使用壽命，減少生產(chǎn)成本。具體為:
1、通過設置喇叭口卡槽，可以在進電組件作業(yè)過程中對進電組件起到杜絕應力集中進而360。的保護作用；
2、通過設置喇叭口鎖座，可以使進電組件自動定位同時方便查看電極頭的狀況及工件架清洗時起到防止電極進水；
3、通過設置錐型六角緊固電極頭，可以獲得更大的有效接觸面積、較小的磨損、良好的抗氧化性、更方便的緊固方式；
4、通過設置自動壓緊進電組件機構(gòu)，可以自動壓緊進電組件保證電極接觸穩(wěn)定性；
5、在PECVD工序，工件架進入沉積爐移動到位的同時使18根進電組件自動定位、自動壓緊；工藝結(jié)束出爐時，工件架離開沉積爐限位的同時使18根進電組件自動松開；該裝置在能夠不影響目前工藝要求的情況下，保護電極接觸的穩(wěn)定性和進電組件物理特性，提高電極頭和進電組件壽命，延長使用周期，大大提高設備稼動率，降低產(chǎn)品報廢率，減少人體的勞動強度；可以大幅度的降低成本，對于大規(guī)模生產(chǎn)具有極大的推廣價值。
【附圖說明】
[0016]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明一種自定位自動壓緊進電組件裝置及其安裝方法作進一步說明:
圖1是本發(fā)明一種自定位自動壓緊進電組件裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是圖1中的喇叭口卡槽主視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是圖1中的喇叭口卡槽俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4是圖1中的前固定塊結(jié)構(gòu)示意圖；
圖5是圖1中的后固定塊結(jié)構(gòu)示意圖；
圖6是圖1中的錐形六角緊固電極頭主視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖7是圖1中的錐形六角緊固電極頭右視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖8是圖1中的錐形電極母頭主視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖9是圖1中的錐形電極母頭左視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖10是圖1中的錐形六角緊固電極頭和錐形電極母頭配合結(jié)構(gòu)示意圖；
圖11是圖1中的喇叭口鎖座主視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖12是圖1中的喇叭口鎖座右視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖13是圖1中的自動壓緊進電組件機構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖；
圖14是圖1中的自動壓緊進電組件機構(gòu)的仰視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖中:1為進電組件、2為進電組件保護機構(gòu)、2.1為喇叭口卡槽、2.2為前固定塊、
2.3為后固定塊、2.4為內(nèi)六角螺栓1、2.5為螺母1、3為自動定位進電組件機構(gòu)、3.1為屏蔽管、3.2為絕緣管、3.3為錐形六角緊固電極頭、3.4為錐形電極母頭、3.5為喇叭口鎖座、4為自動壓緊進電組件機構(gòu)、4.1為壓緊彈簧、4.2為彈簧壓柄、4.3為可調(diào)節(jié)橫板、4.4為內(nèi)六角螺絲I1、4.5為螺母I1、4.6為活動銷軸、4.7為活動銷軸套、4.8為杠桿壓桿、4.9為可調(diào)節(jié)基板、4.10為內(nèi)六角螺栓。
【具體實施方式】
[0018]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下參照附圖并舉實施例，對本發(fā)明進一步詳細說明。
[0019]每個電極在沉積爐內(nèi)鍍膜工藝的穩(wěn)定性，需要等離子體增強型化學氣相沉積裝置的電極接觸必須良好。根據(jù)杠桿原理，本發(fā)明設計一種新型的自定位自動壓緊進電組件裝置，在不影響原有功能的前提下，減少生產(chǎn)和維護所需人力物力，提高進電組件的使用壽命，減少生產(chǎn)成本。另外，本自定位自動壓緊進電組件裝置可以使電極接觸更好。
[0020]如圖1至圖14所示，本一種自定位自動壓緊進電組件裝置，包括:
進電組件保護機構(gòu)2，其包括套設并固定于18根進電組件I上的可在18根進電組件I作業(yè)過程中對18根進電組件I起到杜絕應力集中進而360度保護的喇叭口卡槽2.1 ； 自動定位進電組件機構(gòu)3，其包括錐形六角緊固電極頭3.3、錐形電極母頭3.4、安裝于電極桿上的屏蔽管3.1和套設于屏蔽管3.1上的可使18根進電組件I自動定位同時方便查看錐形六角緊固電極頭3.3狀況的定位喇叭口鎖座3.5，所述錐形電極母頭3.4由錐面自動定位連接所述錐形六角緊固電極頭3.3 ;
自動壓緊進電組件機構(gòu)4，其為在PECVD工序中工件架進入沉積爐移動到位的同時使18根進電組件I自動壓緊、工藝結(jié)束出爐時工件架離開沉積爐限位的同時使18根進電組件I自動松開的杠桿自動壓緊機構(gòu)。
[0021]具體的，所述喇叭口卡槽2.1與進電組件I的接觸部分