一種拋光機(jī)壓頭擋板構(gòu)件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于單晶硅拋光片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種拋光機(jī)壓頭擋板構(gòu)件。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅拋光片是IC行業(yè)的基礎(chǔ)材料，而拋光機(jī)是生產(chǎn)硅拋光片的必要設(shè)備。目前在市場(chǎng)上，SPEEDFAM公司生產(chǎn)的一種SPAW50型帶有4個(gè)壓頭的拋光機(jī)在國內(nèi)IC行業(yè)擁有較大保有量。SPAW50拋光機(jī)的壓頭擋板是拋光機(jī)上重要部件，其固定在壓頭的四周，在拋光過程中主要起到定位、固定陶瓷盤的作用。壓頭擋板的狀態(tài)對(duì)于生產(chǎn)單晶硅拋光片的品質(zhì)具有極其重要的影響。在拋光生產(chǎn)過程中，要求壓頭下降時(shí)能夠保證陶瓷盤準(zhǔn)確的壓在壓頭下面，拋光機(jī)大盤和壓頭轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)利用壓頭擋板固定住陶瓷盤與壓頭一起轉(zhuǎn)動(dòng)，且保證壓頭和陶瓷盤的同心度，實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片的拋光。但在生產(chǎn)使用中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有SPAW50粗拋機(jī)所使用的壓頭擋板存在著以下問題:因拋光機(jī)中心輪和導(dǎo)輪對(duì)陶瓷盤定位的偏差，不能保證陶瓷盤剛好在壓頭正下方，因此為保證壓頭下壓后陶瓷盤在壓頭擋板范圍內(nèi)，壓頭擋板下端超出壓頭的部分內(nèi)側(cè)面有一向外的臺(tái)階設(shè)計(jì)，使壓頭擋板有效直徑變大，超過陶瓷盤直徑，使拋光過程中陶瓷盤容易相對(duì)壓頭滑動(dòng)。壓頭擋板不能對(duì)陶瓷盤二次定位，不能修正陶瓷盤位置偏差，且拋光機(jī)壓頭為萬向設(shè)計(jì)，會(huì)出現(xiàn)壓頭壓下后和陶瓷盤不同心，使拋光過程中陶瓷盤受力、轉(zhuǎn)動(dòng)不均勻。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決上述問題，本實(shí)用新型提供了一種拋光機(jī)壓頭擋板構(gòu)件，可以準(zhǔn)確定位陶瓷盤，保證拋光過程中陶瓷盤和壓頭同心，且不會(huì)產(chǎn)生和壓頭的相對(duì)滑動(dòng)，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。
[0004]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種拋光機(jī)壓頭擋板構(gòu)件，包括多個(gè)擋板，多個(gè)擋板的內(nèi)側(cè)面通過固定件沿壓頭外圓周面上貼合設(shè)置，所述內(nèi)側(cè)面中對(duì)陶瓷盤進(jìn)行固定的表面由平整面和下端的圓弧面組成，平整面與圓弧面的連接處為圓滑過渡。
[0005]本實(shí)用新型所述的相鄰的擋板之間設(shè)有間隙。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0007]1、壓頭擋板通過螺絲孔固定在壓頭外周上，壓頭擋板超出壓頭下邊緣的內(nèi)側(cè)面部分用于固定陶瓷盤，可以準(zhǔn)確定位陶瓷盤，保證拋光過程中陶瓷盤和壓頭同心，且不會(huì)產(chǎn)生和壓頭的相對(duì)滑動(dòng)，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。
[0008]2、擋板與擋板之間存在間隙，改變的原有的無間隙結(jié)構(gòu)，在不影響對(duì)陶瓷盤的固定情況下，擋板圓弧面可以快速定位陶瓷盤，減少擋板與陶瓷盤邊緣之間的磨損。
[0009]【附圖說明】:
[0010]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是本實(shí)用新型的單個(gè)擋板的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3是圖2的A-A面剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖4是本實(shí)用新型的壓緊陶瓷盤之前的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖5是本實(shí)用新型的壓緊陶瓷盤之后的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖6是本實(shí)用新型的單個(gè)擋板的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖7是本實(shí)用新型的安裝結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0017]圖8是原擋板的安裝結(jié)構(gòu)剖視圖；
[0018]圖9是原擋板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖中:1、內(nèi)側(cè)面，2、壓頭，3、螺栓，4、陶瓷盤，5、擋板。
[0020]【具體實(shí)施方式】:
[0021]下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的實(shí)施方式如下:
[0022]如圖所示，本實(shí)用新型所述的一種拋光機(jī)壓頭擋板構(gòu)件，為一直徑與壓頭直徑一樣弧形擋板，由6個(gè)相同的擋板通過螺絲孔固定在壓頭外周上，擋板與擋板之間具有間隙，擋板面積減少，同樣也減少了對(duì)陶瓷盤對(duì)接時(shí)的對(duì)照面積，擋板內(nèi)側(cè)面上端部分對(duì)壓頭的外圓周面進(jìn)行壓緊，擋板超出壓頭下邊緣的內(nèi)側(cè)面部分用于固定陶瓷盤，主要由無臺(tái)階設(shè)計(jì)和弧度設(shè)計(jì)構(gòu)成，對(duì)陶瓷盤進(jìn)行固定的擋板的平整面拼成的固定面積與陶瓷盤完全匹配，對(duì)陶瓷盤進(jìn)行定位的擋板的圓弧面拼成的面積略大于陶瓷盤的表面積，壓頭下壓過程中定位陶瓷盤時(shí)，弧形設(shè)計(jì)的內(nèi)側(cè)面先接觸陶瓷盤，使陶瓷盤沿弧面向中心滑動(dòng)，直至陶瓷盤和壓頭同心，隨著壓頭的繼續(xù)下壓，無臺(tái)階設(shè)計(jì)內(nèi)側(cè)面接觸并固定死陶瓷盤，使拋光過程中陶瓷盤不會(huì)產(chǎn)生和壓頭的相對(duì)滑動(dòng)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種拋光機(jī)壓頭擋板構(gòu)件，包括多個(gè)擋板(5)，多個(gè)擋板(5)的內(nèi)側(cè)面(I)通過固定件沿壓頭(2)外圓周面上貼合設(shè)置，其特征在于:所述內(nèi)側(cè)面(I)中對(duì)陶瓷盤(4)進(jìn)行固定的表面由平整面(101)和下端的圓弧面(102)組成，平整面(101)與圓弧面(102)的連接處為圓滑過渡。2.如權(quán)利要求1所述的一種拋光機(jī)壓頭擋板構(gòu)件，其特征在于:所述的相鄰的擋板(5)之間設(shè)有間隙。
【專利摘要】一種拋光機(jī)壓頭擋板構(gòu)件，包括多個(gè)擋板，多個(gè)擋板的內(nèi)側(cè)面通過固定件沿壓頭外圓周面上貼合設(shè)置，所述內(nèi)側(cè)面中對(duì)陶瓷盤進(jìn)行固定的表面由平整面和下端的圓弧面組成，平整面與圓弧面的連接處為圓滑過渡?？梢詼?zhǔn)確定位陶瓷盤，保證拋光過程中陶瓷盤和壓頭同心，且不會(huì)產(chǎn)生和壓頭的相對(duì)滑動(dòng)，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。
【IPC分類】B24B41/00
【公開號(hào)】CN204893697
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520608391
【發(fā)明人】趙文龍, 李宏儒, 胡曉亮, 高燁, 卓元, 陳衛(wèi)群, 田志峰
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2015年8月13日