一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及熱處理裝置領(lǐng)域，具體為一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空退火箱普通的循環(huán)水冷卻方式降溫速度過慢，無法滿足該冷卻要求，在高溫退火過程中，支架容易被氧化，發(fā)黃，對晶振的品質(zhì)、穩(wěn)定性造成了二次影響，加裝真空系統(tǒng)，在高真空的環(huán)境下對支架進行高溫退火，可以有效的防止支架被氧化，最終成功的消除了機械應力，保障了晶振的品質(zhì)，但真空加工下還是應密封度和溫度等原因產(chǎn)生真空環(huán)境需要大量的限制條件，從而造成的成本上升，所以我們需要加入其他氣體排出箱內(nèi)的空氣。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是設(shè)計一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置，能防止氮氣等加工的惰性氣體泄露和隨意排放。
[0004]本實用新型是通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)的:一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置，由氮氣儲存裝置、解壓裝置、調(diào)壓排送裝置、排真空回收和發(fā)散裝置組成；其中所述氮氣儲存裝置串聯(lián)到解壓裝置，調(diào)壓排送裝置設(shè)置在真空箱外，通過內(nèi)排送管連接真空箱內(nèi)的排真空回收和發(fā)散裝置，所述解壓裝置由設(shè)置在氮氣送氣管入口的過濾閥和送氣減壓閥組成，后設(shè)置的輸氣管連接到調(diào)壓排送裝置，調(diào)壓排送裝置由T型輸氣管和設(shè)置在T型輸氣管左邊的壓力栗和右邊的適壓栗組成，適壓栗通過內(nèi)排送管連接到真空箱內(nèi)的回收和排真空裝置上，所述排真空回收和發(fā)散裝置至少由五組排真空回收和發(fā)散栗，其中至少2組為氮氣排真空回收和發(fā)散栗，2組為空氣排真空回收和發(fā)散栗，1組為空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗，所述排真空回收和發(fā)散栗的所有進出氣管都串聯(lián)在主抽氣管和主排放管上；所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗由調(diào)壓栗、解壓栗、氮氣過濾裝置、氮氣儲存筒組成，所述空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗由空氣調(diào)壓栗、空氣解壓栗，空氣過濾裝置、空氣排出栗組成。
[0005]作為優(yōu)選所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗串聯(lián)氮氣儲存筒。
[0006]作為優(yōu)選所述空氣排真空回收和發(fā)散栗串聯(lián)空氣排出栗。
[0007]作為優(yōu)選所述送氣減壓閥還設(shè)置有壓力計。
[0008]作為優(yōu)選所述空氣排真空回收和發(fā)散栗的進氣管上設(shè)置有自適應壓力進出閥門。
[0009]作為優(yōu)選所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗的調(diào)壓栗和解壓栗之間還設(shè)置有一對速率控制電子閥在進氮氣管和出氮氣管上。
[0010]本實用新型與【背景技術(shù)】相比，具有的有益的效果是:克服了真空退火箱在抽真空后再排放氮氣情況下會有一定的倒吸情況，同時進行了氮氣回收，不用每次開箱都有氮氣泄露，長期積累1造成了氮氣浪費，2制作環(huán)境因為是完全無塵的封閉環(huán)境較高，會造成制作場所氮氣含量增高對人體造成不適。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型整體組合圖。
[0012]圖2為氮氣排真空回收和發(fā)散栗圖。
[0013]圖3為空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0014]下面通過實施例，結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案作進一步具體的說明:
[0015]如圖1所示一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置，由氮氣儲存裝置1、解壓裝置
2、調(diào)壓排送裝置3、排真空回收和發(fā)散裝置4組成；其中所述氮氣儲存裝置串聯(lián)到解壓裝置，調(diào)壓排送裝置設(shè)置在真空箱外，通過內(nèi)排送管連接真空箱內(nèi)的排真空回收和發(fā)散裝置，所述解壓裝置由設(shè)置在氮氣送氣管入口 5的過濾閥6和送氣減壓閥7組成，后設(shè)置的輸氣管8連接到調(diào)壓排送裝置，調(diào)壓排送裝置由T型輸氣管9和設(shè)置在T型輸氣管左邊的壓力栗10和右邊的適壓栗11組成，適壓栗通過內(nèi)排送管12連接到真空箱內(nèi)的回收和排真空裝置上，所述排真空回收和發(fā)散裝置至少由五組排真空回收和發(fā)散栗13組成，其中至少2組為氮氣排真空回收和發(fā)散栗14，2組為空氣排真空回收和發(fā)散栗15，1組為空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗16，所述排真空回收和發(fā)散栗的所有進出氣管都串聯(lián)在主抽氣管17a和主排放管17b上；所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗由調(diào)壓栗18、解壓栗19、氮氣過濾裝置20、氮氣儲存筒21組成，所述空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗由空氣調(diào)壓栗22、空氣解壓栗23，空氣過濾裝置24、空氣排出栗25組成。
[0016]作為優(yōu)選所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗串聯(lián)氮氣儲存筒。
[0017]作為優(yōu)選所述空氣排真空回收和發(fā)散栗串聯(lián)空氣排出栗。
[0018]作為優(yōu)選所述送氣減壓閥還設(shè)置有壓力計26。
[0019]作為優(yōu)選所述空氣排真空回收和發(fā)散栗的進氣管上設(shè)置有自適應壓力進出閥門27。
[0020]作為優(yōu)選所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗的調(diào)壓栗和解壓栗之間還設(shè)置有一對速率控制電子閥28在進氮氣管29和出氮氣管30上。
[0021]真空退火箱的氮氣利用主要是將液氮排入前，將空氣抽空形成真空，并防止真空倒吸，并將液氮解壓排入真空箱內(nèi)，本裝置能電子控制機械達到和克服倒吸，首先真空箱形成真空后解壓裝置解壓，氮氣罐內(nèi)的氮氣開始輸送，根據(jù)真空的壓力情況由調(diào)壓排送裝置進行調(diào)壓排入真空箱，因為調(diào)壓后可以克服排不出氮氣或者倒吸空氣進氮氣罐，在制作過程完全后，調(diào)壓排送裝置增高壓力封閉氮氣管不排放氮氣，氮氣排真空回收和發(fā)散栗開始運作，將真空退火箱的氮氣吸入，進調(diào)壓和解壓后控制在安全壓力儲存進氮氣儲存筒內(nèi)，達到氮氣回收過程，并在這個過程中還設(shè)置過濾裝置進行過濾，以在逐漸積累后，再次排放的氮氣將由氮氣儲存筒中排出，而不再由氮氣罐內(nèi)排放。
[0022]本文中所描述的具體實施例僅僅是對本實用新型精神作舉例說明。本實用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似的方式替代，但并不會偏離本實用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置，由氮氣儲存裝置(1)、解壓裝置(2)、調(diào)壓排送裝置(3)、排真空回收和發(fā)散裝置(4)組成；其中所述氮氣儲存裝置串聯(lián)到解壓裝置，調(diào)壓排送裝置設(shè)置在真空箱外，通過內(nèi)排送管連接真空箱內(nèi)的排真空回收和發(fā)散裝置，所述解壓裝置由設(shè)置在氮氣送氣管入口( 5 )的過濾閥(6 )和送氣減壓閥(7 )組成，后設(shè)置的輸氣管(8)連接到調(diào)壓排送裝置，調(diào)壓排送裝置由T型輸氣管(9)和設(shè)置在T型輸氣管左邊的壓力栗(10)和右邊的適壓栗(11)組成，適壓栗通過內(nèi)排送管(12)連接到真空箱內(nèi)的回收和排真空裝置上，所述排真空回收和發(fā)散裝置至少由五組排真空回收和發(fā)散栗(13)組成，其中至少2組為氮氣排真空回收和發(fā)散栗(14)，2組為空氣排真空回收和發(fā)散栗(15)，1組為空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗(16)，所述排真空回收和發(fā)散栗的所有進出氣管都串聯(lián)在主抽氣管(17a)和主排放管(17b)上；所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗由調(diào)壓栗(18)、解壓栗(19)、氮氣過濾裝置(20)、氮氣儲存筒(21)組成，所述空氣輔助排真空回收和發(fā)散栗由空氣調(diào)壓栗(22)、空氣解壓栗(23)，空氣過濾裝置(24)、空氣排出栗(25)組成。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置，其特征是:所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗串聯(lián)氮氣儲存筒。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置，其特征是:所述空氣排真空回收和發(fā)散栗串聯(lián)空氣排出栗。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置，其特征是:所述送氣減壓閥還設(shè)置有壓力計(26)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置，其特征是:所述空氣排真空回收和發(fā)散栗的進氣管上設(shè)置有自適應壓力進出閥門(27 )。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置，其特征是:所述氮氣排真空回收和發(fā)散栗的調(diào)壓栗和解壓栗之間還設(shè)置有一對速率控制電子閥(28)在進氮氣管(29)和出氮氣管(30)上。
【專利摘要】本實用新型涉及熱處理裝置領(lǐng)域，具體為一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置。本實用新型的目的是設(shè)計一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置，能防止氮氣等加工的惰性氣體泄露和隨意排放。本實用新型是通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)的：一種真空退火箱的氮氣進出安全裝置,由氮氣儲存裝置、解壓裝置、調(diào)壓排送裝置、排真空回收和發(fā)散裝置組成；其中所述氮氣儲存裝置串聯(lián)到解壓裝置，調(diào)壓排送裝置設(shè)置在真空箱外，通過內(nèi)排送管連接真空箱內(nèi)的排真空回收和發(fā)散裝置，所述解壓裝置由設(shè)置在氮氣送氣管入口的過濾閥和送氣減壓閥組成，后設(shè)置的輸氣管連接到調(diào)壓排送裝置，適壓泵通過內(nèi)排送管連接到真空箱內(nèi)的回收和排真空裝置上。
【IPC分類】C21D1/26, C21D1/773
【公開號】CN205077101
【申請?zhí)枴緾N201520473436
【發(fā)明人】葉國萍, 湯海燕
【申請人】匯隆電子（金華）有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年7月5日