專利名稱：一種還原爐觀察窗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及還原爐的視窗，尤其是一種還原爐觀察窗裝置。
背景技術(shù)：
老式視窗是只有膨脹節(jié)的，經(jīng)過以后逐步的改進(jìn)增加了視窗的冷卻裝置，雖然在 生產(chǎn)的過程中用氫氣進(jìn)行置換，但是這并不能解決在視窗凹處存在大量的氮?dú)夥肿?、氧?分子及其他一些雜質(zhì)，因?yàn)樵谝暣暗陌继庪S著氫氣流動(dòng)，并不能在此處進(jìn)行有效的流動(dòng)進(jìn) 行置換，多晶硅的質(zhì)量要求是雜質(zhì)含量小于10的負(fù)9次方，而該處的雜質(zhì)含量相大于10的 負(fù)6次方，從而造成多晶硅質(zhì)量的嚴(yán)重下降。鑒于以上原因，還原爐視窗必須改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為了解決還原爐的老式視窗內(nèi)雜質(zhì)置換不充分，通過合理設(shè)計(jì)，提供 一種還原爐觀察窗裝置，確保視窗觀察清晰。本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)上述的發(fā)明目的，采用如下的技術(shù)方案是由，爐內(nèi)壁，爐外 壁，循環(huán)水管道，純氫管道，玻璃視窗，純氫管道進(jìn)口，水管進(jìn)口，水管出口，膨脹節(jié)，墊圈構(gòu) 成。還原爐的爐內(nèi)壁與爐外壁預(yù)留至少一個(gè)孔，爐外壁孔中設(shè)置循環(huán)水管道，爐內(nèi)壁孔中設(shè) 置純氫管道，純氫管道外周設(shè)置循環(huán)水管道，循環(huán)水管道外周設(shè)置膨脹節(jié)。循環(huán)水管道與純 氫管道和膨脹節(jié)端部設(shè)置玻璃視窗，玻璃至少為一層，玻璃視窗之間設(shè)置墊圈。循環(huán)水管道 外周設(shè)置水管進(jìn)口與水管出口 ；循環(huán)水管道與外周膨脹節(jié)上預(yù)留相對(duì)應(yīng)的孔，孔中穿入純 氫管道進(jìn)口，純氫管道進(jìn)口設(shè)置在循環(huán)水管道與外周膨脹節(jié)的孔中連接純氫管道。有益效果本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，簡(jiǎn)單便捷使用，清理雜質(zhì)完全，視窗觀察清晰。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明


圖1是，總裝結(jié)構(gòu)示意圖。
圖1中爐內(nèi)壁1，爐外壁2，循環(huán)水管道3，純氫管道4，玻璃視窗5，純氫進(jìn)口 6，水 管進(jìn)口 7，水管出口 8，膨脹節(jié)9。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖于實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。還原爐的爐內(nèi)壁1與爐外壁2預(yù)留至少一個(gè)孔，爐外壁2孔中設(shè)置循環(huán)水管道3， 爐內(nèi)壁1孔中設(shè)置純氫管道4，純氫管道4外周設(shè)置循環(huán)水管道3，循環(huán)水管道3外周設(shè)置 膨脹節(jié)9。循環(huán)水管道3與純氫管道4和膨脹節(jié)9端部設(shè)置玻璃視窗5，玻璃至少為一層， 玻璃視窗5之間設(shè)置墊圈10。循環(huán)水管道3外周設(shè)置水管進(jìn)口 7與水管出口 8 ；循環(huán)水管 道3與外周膨脹節(jié)9上預(yù)留相對(duì)應(yīng)的孔，孔中穿入純氫管道進(jìn)口 6，純氫管道進(jìn)口 6設(shè)置在 循環(huán)水管道3與外周膨脹節(jié)9的孔中連接純氫管道4。
權(quán)利要求一種還原爐觀察窗裝置，是由，爐內(nèi)壁(1)，爐外壁(2)，循環(huán)水管道(3)，純氫管道(4)，玻璃視窗(5)，純氫管道進(jìn)口(6)，水管進(jìn)口(7)，水管出口(8)，膨脹節(jié)(9)，墊圈(10)構(gòu)成，其特征在于還原爐的爐內(nèi)壁(1)與爐外壁(2)預(yù)留至少一個(gè)孔，爐外壁(2)孔中設(shè)置循環(huán)水管道(3)，爐內(nèi)壁(1)孔中設(shè)置純氫管道(4)，純氫管道(4)外周設(shè)置循環(huán)水管道(3)，循環(huán)水管道(3)外周設(shè)置膨脹節(jié)(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種還原爐觀察窗裝置，其特征在于循環(huán)水管道(3)與 純氫管道(4)和膨脹節(jié)(9)端部設(shè)置玻璃視窗(5)，玻璃至少為一層，玻璃視窗(5)之間設(shè) 置墊圈(10)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的一種還原爐觀察窗裝置，其特征在于循環(huán)水管道(3)外 周設(shè)置水管進(jìn)口(7)與水管出口(8)；循環(huán)水管道(3)與外周膨脹節(jié)(9)上預(yù)留相對(duì)應(yīng)的 孔，孔中穿入純氫管道進(jìn)口(6)，純氫管道進(jìn)口(6)設(shè)置在循環(huán)水管道(3)與外周膨脹節(jié) (9)的孔中連接純氫管道(4)。
專利摘要一種還原爐觀察窗裝置，是由爐內(nèi)壁，爐外壁，循環(huán)水管道，純氫管道，玻璃視窗，純氫管道進(jìn)口，水管進(jìn)口，水管出口，膨脹節(jié)，墊圈構(gòu)成。還原爐的爐內(nèi)壁與爐外壁預(yù)留至少一個(gè)孔，爐外壁孔中設(shè)置循環(huán)水管道，爐內(nèi)壁孔中設(shè)置純氫管道，純氫管道外周設(shè)置循環(huán)水管道，循環(huán)水管道外周設(shè)置膨脹節(jié)，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，簡(jiǎn)單便捷使用，清理雜質(zhì)完全，視窗觀察清晰。
文檔編號(hào)C01B33/021GK201704074SQ20102023614
公開日2011年1月12日 申請(qǐng)日期2010年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月24日
發(fā)明者張揚(yáng), 張智利, 李占青, 楊海建, 馬麟 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)世紀(jì)新源硅業(yè)科技有限公司