專利名稱：一種帶有預(yù)警機(jī)制的超純氮脫氧凈化器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于工業(yè)氣體生產(chǎn)加工領(lǐng)域，具體是一種帶有預(yù)警機(jī)制的超純氮脫氧凈化器。
背景技術(shù)：
純度是氮?dú)獾囊粋€(gè)重要技術(shù)參數(shù)，按國(guó)標(biāo)氮?dú)獾募兌瓤煞譃榧兊?、高純氮和超純氮三?jí)，超純氮主要應(yīng)用于電子產(chǎn)品的生產(chǎn)加工中，是一種重要的工業(yè)原料，如在半導(dǎo)體和超導(dǎo)體的加工過(guò)程中，其對(duì)氮?dú)饧兌鹊囊蠓浅８?，即使是痕量的雜質(zhì)，也會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢。然而，遺憾的是即使制氮工廠能夠把氮提純到足夠的純度，由于在充裝、儲(chǔ)存、使用環(huán)節(jié)，高純氨都存在被污染的可能，為了確保進(jìn)入使用系統(tǒng)的高純氮純度免遭污染，通常在使用點(diǎn)裝有超純氣體終端凈化器，避免雜質(zhì)進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備。但因氮?dú)庠诔溲b、儲(chǔ)存、使用等環(huán)節(jié)中可能遭受的污染程度不一，進(jìn)入終端凈化器的氮?dú)怆s質(zhì)含量也有差別，當(dāng)入口雜質(zhì)超 標(biāo)，凈化器因脫氧放出的熱量引起床層溫升，當(dāng)溫度超過(guò)規(guī)定值時(shí)容易引起凈化設(shè)備的損壞。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的技術(shù)目的是解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，提供一種安全、有效的一種帶有預(yù)警機(jī)制的超純氮脫氧凈化器。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種帶有預(yù)警機(jī)制的超純氮脫氧凈化器，設(shè)有凈化系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，其特征在于所述凈化系統(tǒng)的脫氧反應(yīng)器內(nèi)設(shè)有溫度傳感器，所述凈化系統(tǒng)通過(guò)管路分別與氮?dú)庠陷敵鲅b置和氮?dú)馐褂迷O(shè)備連接，所述凈化系統(tǒng)與氮?dú)庠陷敵鲅b置連接的管路上設(shè)有電磁閥，所述溫度傳感器和所述電磁閥與所述控制系統(tǒng)連接，所述控制系統(tǒng)設(shè)有報(bào)警裝置。所述凈化系統(tǒng)還設(shè)有與外界深度凈化系統(tǒng)連接的備用管口，所述備用管口上設(shè)有氣體閥門。本裝置使用時(shí)，氮?dú)庠贤ㄟ^(guò)凈化系統(tǒng)的凈化，然后再進(jìn)入氮?dú)馐褂迷O(shè)備，當(dāng)氣體雜質(zhì)含量超標(biāo)時(shí)，凈化系統(tǒng)內(nèi)在脫氧過(guò)程中產(chǎn)生的熱量使脫氧反應(yīng)器升溫，溫度傳感器將測(cè)到的溫度傳輸給控制系統(tǒng)，用于監(jiān)控脫氧反應(yīng)器的運(yùn)行狀況，當(dāng)溫度超出一定值時(shí)，觸發(fā)警報(bào)裝置，對(duì)使用者發(fā)出警報(bào)，控制電磁閥關(guān)閉氮?dú)庠陷斎牍苈吠Ｖ沟獨(dú)廨斔?，或?qū)⒌獨(dú)馔ㄟ^(guò)備用管口輸送至外界的深度凈化系統(tǒng)內(nèi)進(jìn)行進(jìn)一步的凈化后再使用。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，大大提高了產(chǎn)品的良品率和生產(chǎn)加工過(guò)程的穩(wěn)定性。

[0010]圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了闡明本實(shí)用新型的技術(shù)方案及技術(shù)目的，
以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的介紹。如圖所示，一種帶有預(yù)警機(jī)制的超純氮脫氧凈化器，設(shè)有凈化系統(tǒng)I和控制系統(tǒng)2，所述控制系統(tǒng)設(shè)有報(bào)警裝置6。所述凈化系統(tǒng)I的脫氧反應(yīng)器3內(nèi)對(duì)稱布置有若干溫度傳感器4，所述凈化系統(tǒng)I通過(guò)管路分別與氮?dú)庠陷敵鲅b置和氮?dú)馐褂迷O(shè)備連接，所述凈化系統(tǒng)I與氮?dú)庠陷敵鲅b置連接的管路上設(shè)有電磁閥5，所述溫度傳感器4和所述電磁閥5與所述控制系統(tǒng)2連接。本裝置采用催化脫氧加吸附干燥的方法去除氮?dú)庵械难鯕夂退?，所述脫氧反?yīng)器3內(nèi)裝有高效加氫脫氧催化劑，氮?dú)庵械难蹼s質(zhì)和氫氣反應(yīng)生成水后除去，同時(shí)放出大量熱量。所述凈化系統(tǒng)I還設(shè)有與外界深度凈化系統(tǒng)連接的備用管口 7，所述備用管口上設(shè)有氣體閥門8，當(dāng)?shù)獨(dú)怆s質(zhì)含量超標(biāo)時(shí)，所述警報(bào)裝置6發(fā)出警報(bào)，關(guān)閉凈化系統(tǒng)I的脫氧反應(yīng)器3的氮?dú)馊肟?，開啟所述氣體閥門8，使超標(biāo)氮?dú)膺M(jìn)入外界的深度凈化系統(tǒng)中進(jìn)行進(jìn)
一步處理。以上已以較佳實(shí)施例公開了本實(shí)用新型，然其并非用以限制本實(shí)用新型，凡采用等同替換或者等效變換方式所獲得的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種帶有預(yù)警機(jī)制的超純氮脫氧凈化器，設(shè)有凈化系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，其特征在于 所述凈化系統(tǒng)的脫氧反應(yīng)器內(nèi)設(shè)有溫度傳感器，所述凈化系統(tǒng)通過(guò)管路分別與氮?dú)庠陷敵鲅b置和氮?dú)馐褂迷O(shè)備連接，所述凈化系統(tǒng)與氮?dú)庠陷敵鲅b置連接的管路上設(shè)有電磁閥，所述溫度傳感器和所述電磁閥與所述控制系統(tǒng)連接，所述控制系統(tǒng)設(shè)有報(bào)警裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種帶有預(yù)警機(jī)制的超純氮脫氧凈化器，其特征在于所述凈化系統(tǒng)還設(shè)有與外界深度凈化系統(tǒng)連接的備用管口，所述備用管口上設(shè)有氣體閥門。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種帶有預(yù)警機(jī)制的超純氮脫氧凈化器，設(shè)有凈化系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，所述凈化系統(tǒng)的脫氧反應(yīng)器內(nèi)設(shè)有溫度傳感器，所述凈化系統(tǒng)通過(guò)管路分別與氮?dú)庠陷敵鲅b置和氮?dú)馐褂迷O(shè)備連接，所述凈化系統(tǒng)與氮?dú)庠陷敵鲅b置連接的管路上設(shè)有電磁閥，所述溫度傳感器和所述電磁閥與所述控制系統(tǒng)連接，所述控制系統(tǒng)設(shè)有報(bào)警裝置。本實(shí)用新型能夠有效去除氮?dú)庠显诔溲b、儲(chǔ)存、使用過(guò)程中可能產(chǎn)生的氧氣污染，并且通過(guò)溫度傳感器和警報(bào)系統(tǒng)的設(shè)置，避免了含有超標(biāo)雜質(zhì)的氮?dú)膺M(jìn)入凈化系統(tǒng)后，脫氧散發(fā)的熱量過(guò)高損壞凈化系統(tǒng)，有效保障了凈化質(zhì)量，維護(hù)后續(xù)工藝的安全進(jìn)行。
文檔編號(hào)C01B21/04GK202430007SQ201220038129
公開日2012年9月12日 申請(qǐng)日期2012年2月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月7日
發(fā)明者周旻, 陳軍 申請(qǐng)人:南京特種氣體廠有限公司